用于将基板的基板位置压紧的压紧器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于将基板的基板位置压紧的压紧器。
【背景技术】
[0002]这样的压紧器被用在用于安装本领域中被称为“裸片”的部件的自动安装机中，即被用在所谓的裸片结合器中，以便在安装期间将基板的基板位置压靠支撑件。用于裸片的示例特别是半导体芯片，还可以是电容器、金属片晶、金属盖等。
[0003]安装半导体芯片的通常做法是借助焊料将半导体芯片主要是功率半导体连接至基板，以便经由焊接确保源自半导体芯片在操作期间产生的热损失的有效耗散。适用于该工艺的裸片结合器由申请人在名称DB2009 SSI下发行。所述的裸片结合器包含带有压紧器的贯通型炉。压紧器要经受300°C至450°C的工艺温度。
【发明内容】
[0004]本发明基于开发带有简单结构和高可靠性的压紧器的目的，该压紧器能够在300°C至450°C的工作温度下使用。
[0005]根据该发明，用于将基板的基板位置压紧的压紧器，包含:
[0006]板，所述板带有中央开口和与所述中央开口相邻地布置在两侧上的两个另外的开P ；
[0007]压紧器板，所述压紧器板带有开口和在所述开口处布置在底侧上的压紧器条，其中所述压紧器板以铰接的方式安装在所述板的底侧上，使得所述压紧器板的所述开口与所述板的所述中央开口对准；
[0008]第一气动驱动器和第二气动驱动器，其中所述第一气动驱动器和所述第二气动驱动器中的每一个均包含缸和驱动元件，在所述缸和所述驱动元件之间形成压力室，其中所述第一驱动器的所述缸被固定在所述板的上侧上，且被固定在所述另外的开口中的第一个开口的上方，并且所述第二驱动器的所述缸被固定在所述板的上侧上，且被固定在所述另外的开口中的第二个开口的上方；以及
[0009]第一压力管线，所述第一压力管线用于对所述第一气动驱动器和所述第二气动驱动器的所述压力室供应压缩气体。
[0010]优选地，所述第一气动驱动器的所述驱动元件包含接合在所述压紧器板的球形凹部中的球形凸起，并且所述第二气动驱动器的所述驱动元件包含接合在所述压紧器板的伸长凹部中的球形凸起，所述伸长凹部包含带有圆形横截面的中间段，其中所述第一气动驱动器的所述驱动元件的所述球形凸起与所述压紧器板的所述球形凹部具有相同的半径，并且其中所述第二气动驱动器的所述驱动元件的所述球形凸起的半径等于所述压紧器板的所述伸长凹部的所述中间段的所述横截面的半径。
[0011]气动驱动器的驱动元件可以例如是活塞或隔膜。
[0012]压紧器优选地包含包含第二压力管线和传感器，所述第二压力管线用于对所述第一气动驱动器和所述第二气动驱动器的所述压力室供应气体，所述传感器用于监测所述第二压力管线中的压力或气流，使得能够在操作中检查当终止供应压缩气体时所述活塞或所述隔膜是否分别返回至缩回位置。
[0013]有利地借助于螺钉进行在所述板的底侧上对所述压紧器板的支承，所述螺钉被引导穿过复位弹簧且穿过在所述板中的无螺纹钻孔，所述复位弹簧布置在所述板的上侧上，并且所述螺钉被旋入到所述压紧器板中，其中所述复位弹簧被预张紧，使得所述螺钉将所述压紧器板拉靠所述板的底侧。
【附图说明】
[0014]附图被合并到本说明书中并且构成本说明书的一部分，示出了本发明的一个或更多个实施例，并且连同具体的描述一起用来阐释本发明的原理和实现方式。出于清晰的原因，这些图没有按照比例绘制。在附图中:
[0015]图1示出了根据本发明的带有板和压紧器板的压紧器的第一实施例的透视图；
[0016]图2从下方示出了第一实施例的压紧器；
[0017]图3从下方示出了根据本发明的压紧器的第二实施例；
[0018]图4、5示出了在剖视图中在两种操作状态下的压紧器；并且
[0019]图6在剖视图中示出了根据本发明的压紧器的第二实施例。
【具体实施方式】
[0020]图1在透视图中示出了根据本发明的压紧器的第一实施例。压紧器包含板1，该板I带有中央开口 2和两个另外的开口 3与4(图4和5)。另外的开口 3和4与中央开口2相邻地布置在两侧上，并且所述另外的开口 3和4有利地是大体圆形但还可以具有任何其它形状。在该实施例中，中央开口 2是伸长的，并且允许接近基板的基板位置用于结合裸片，基板位置至少布置在一行中。
[0021]压紧器进一步包含第一气动驱动器和第二气动驱动器。两个气动驱动器中的每一个均包含缸5与6和驱动元件，在缸5与6和驱动元件之间形成压力室。例如，驱动元件是可移位的活塞7与8(图4和5)，或还可以是可弹性变形的且/或可挠曲的隔膜18、19 (图6)。第一气动驱动器的缸5在开口 3的上方被固定在板I的上侧上，并且第二气动驱动器的缸6在开口 4的上方被固定在板I的上侧上。在带有活塞7与8的实施例中，它们是与由板I跨越的平面垂直地可移位的，并且在隔膜18与19的实施例中，它们至少在该方向上是可变形的。第一压力管线9布置在板I的上侧，用于向两个气动驱动器的压力室供应压缩气体。保护性气体可以用作压缩气体，使得基板不会被氧化。例如，常用的保护性气体是氮气或合成气体，诸如N2H2。
[0022]压紧器进一步包含带有开口 11的压紧器板10。图2从下方以局部视图示出了第一实施例的压紧器。在该实施例中，开口 11是伸长的，并且压紧器板10相应地是十字形的。压紧器板10在它的底侧上即它的背离板I的一侧上包含布置在开口 11中的若干压紧器条
12。压紧器条12沿开口 11的两个伸长的侧边缘布置在此。如果必要的话，压紧器条12能够横向延伸过开口 11。压紧器板10布置在板I的底侧上，并且压紧器板10安装在板I上使得压紧器板10的伸长开口 11与板I的中央开口 2对准，该中央开口 2在该实施例中也是伸长的。压紧器板10以铰接的方式安装在板I上，使得当气动驱动器用压缩气体被致动时，它能够适应基板的取向。例如，压紧器板10借助四个螺钉13而固定至板I。螺钉13被引导穿过复位弹簧14(图1)且穿过板I中无螺纹的钻孔，并且螺钉13旋入到压紧器板10中，其中被布置在螺钉13的螺钉头与板I的上侧之间的复位弹簧14被预张紧。复位弹簧14因此将螺钉头压离板I，使得螺钉13将压紧器板10拉靠板I的底侧。
[0023]压紧器板10在它的上侧上包含两个凹部15与16，这两个凹部布置在开口 11的中心的两侧上，并且这两个凹部的位置在图2中采用虚线指出，该图2示意性示出了压紧器板10的底侧。凹部15是球形的。凹部16是伸长的，并且凹部16由两个近似的半球形端部区域和带有圆形横截面的中间段构成。凹部16的纵向方向与在本实施例中是伸长的开口 11的纵向方向正交地延伸。
[0024]图3从下方示出了压紧器的第二实施例的截面图。在该实施例中，板I的中央开口 2和压紧器板10的开口 11是正方形的或矩形的/伸长的，例如以便使单位置基板的基板位置容易接近。据此，压紧器板10分别是宽的和窄的或伸长的。压紧器板10的凹部16的纵向方向在该实施例中与压紧器板10的纵向方向平行地延伸。
[0025]所述另外的开口 3与4在两个实施例中均优选地关于中央开口 2对称布置。对称意味着位于开口 2的中心的两侧上和位于离开口 2的中心相同的距离处。
[0026]图4和5在剖视图中示出了在带有作为驱动元件的活塞7、8的实施例中的压紧器，其中图4示出了当两个气动驱动器的压力室被减压时的第一操作状态，并且图5示出了当两个气动驱动器的压力室被压缩气体致动使得活塞7、8将压紧器板10压离板I且压靠基板时的第二操作状态。活塞7、8的上边缘具有被降低了的肩