专利名称：叠层压电致动器的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及通过弯曲可位移的叠层压电致动器，特别是涉及能用于纺织机，尤其是能用于织袜机的织针驱动机构(用于针织机的选针装置)或用于织机的经纱控制机构的压电致动器。
以前，对象锆酸铅(PbZrO3)，钛酸铅(PbTiO3)，钛酸钡(BaTiO3)以及磷酸钡这样的压电物质(晶体)施加机械能(力)例如压力或者张力已众所周知，以便使静电(电荷)出现于每个晶体的一个表面上，以致把静电电荷分离成正侧以及负侧(极化或带电)。由于机械应力而引起的极化或带电现象被称作压电正效应(piezoelectric direct effect)，相反，当施加电压时发生变形的现象被称作压电负效应(piezoelectric reverse effect)。在这种情况下，作用在晶体上的力随施加电压的极性而变化。
对于在极化的方向以及力的方向之间的关系，在极化的方向与力的方向相同(它们同轴)时，称作压电纵向压电效应(piezoelectriclongitudinal effect)，而当极化的方向与力的方向成直角时，称作压电横向效应(piezoelectric transverse effect)。
利用以上所述的压电陶瓷材料的产品已广泛用于各个领域，与线圈绕于磁体的通用电磁致动器相比，用位移或由压电现象产生的力作为驱动源的压电致动器具有极好的特性，例如，降低的动力消耗，快速的感应速度，增加的移位，减少的热生成以及减小的大小和重量。
作为在压电致动器中把电能以及机械能相互转换的转换元件，主要有双压电晶元件以及叠层元件。
通常，双压电晶元件3包括例如一个金属垫片构件1以及两个压电陶瓷板2，它们的伸缩特性彼此不同，所述的板2用粘合剂粘合到垫片构件1上，如图7(A)所示。当通过电极(图中未示出)把电压施于双压电晶元件3上时，压电板2的其中一个伸展，而另一个收缩，以便通过弯曲整个压电板而产生位移，如图7(A)所示。参考标号4所示的箭头示出极化的方向。双压电晶元件的优点在于增加位称，而缺点在于具有磁滞特性，动力生成，机械强度以及疲劳特性的问题，另外提高共振频率是困难的。
另一方面，叠层元件5通常包括例如几十至几百个叠层的且固定的薄压电陶瓷板2，因此，厚度方向上的极化4的方向一个接着一个是相反的，如图7(B)中所示。参见图7(B)，参考标号6表示内电极，而参考标号7表示外电极，为了引出叠层元件5的电极，正电极和负电极分别并连地连接，由此，所有压电陶瓷层的极化方向与施加电压的方向相同，以此朝叠层方向位移。叠层元件5的位移小，但具有非常快速的响应速度、增加的动力生成、高转换率以及高共振频率的优点。
图8(A)中所示的叠层压电致动器5具有利用纵向效应这样的结构，其中，交替地叠加在其两表面上带有金属电极膜并且在厚度方向上极化的压电陶瓷板2以及金属片8，并通过粘合剂成一体。在外部通过导线9每隔一片并联电连接各个金属片8，引出电终端10。对电终端10施加电压使致动器5朝箭头所示的高度方向伸缩运动。
另一方面，也提出了具有这样结构的叠层压电致动器5，在所述结构中，采用称作生片法(green sheet method)的叠层陶瓷电容器的技术并且利用纵向效应，如图8(B)所示。
在这种致动器中，许多金属内电极11以层状被嵌入压电陶瓷板2中，以便不采用粘合剂就能把内电极11与陶瓷板2制成一整体。每隔一层并联连接各个内电极11。可以把与叠层陶瓷电容器的相似制造方法应用于制造具有这种结构的致动器，所以，可以使其加工自动化，并且大量的并以低成本进行制造。为了把叠层压电致动器与叠层陶瓷电容器进行比较，图8(C)中示出了叠层陶瓷电容器的剖面视图，这一比较说明结构的区别，即每个内电极层11的面积与用于叠层压电致动器5的陶瓷板2的面积相同，因此，每个内电极13的面积小于用于电容器12的陶瓷2的面积，就电容器12来说，上和下内电极13的非叠层部分是压电非活性的，结果，产生应力生成源。当这个电容器被用作致动器时，长时间重复施加电压会引起其机械损坏。
由以上所述可以看出，陶瓷是铁电物质，需要极化，以利用其压电性。对于以上描述的双压电晶元件3来说，通过对两个压电陶瓷板2、2的每个施加电场来实现极化。对于叠层元件5，通过将电场施于整个叠层体来实现极化。例如，通过整个叠层体使所有压电陶瓷层极化，以便，一经加热叠层体而后在施加电场的同时使其冷却，使极性具有相同方向。
就通过极化使元件位移而言，对于以上描述的双压电晶位移元件3，一个压电极2伸展，而另一个压电板2收缩，通过经电极施加电压，使整体弯曲，来引起位移。相反，沿叠层方向移动叠层元件5，并且只在高度方向上进行伸缩运动，如图8(a)、8(b)及8(c)所示，而不会如双压电晶元件通过弯曲产生位移。
所以，当这种叠层元件被用作压电致动器时，它的确可用于利用在叠层方向上位移的应用中，但不能用作弯曲式叠层元件，此处所述弯曲式叠层元件是一种叠层元件，并如双压电晶元件那样通过弯曲产生位移。例如，当压电致动器被用作织袜机的织针驱动机构或织机的经纱控制机构时(以下将要描述)，较好的是，通过如双压电晶元件那样弯曲来使压电致动器位移，因此，能以高速选择针织织针或控制经纱。
例如在日本未审查的专利公开60-211176，61-15383，55-104149以及54-133124中已描述了这些压电致动器。
所以，本发明的目的是提供一种通过弯曲能位移的弯曲式叠层压电致动器，与双压电晶元件相比，所述的致动器位移小，但具有非常快速的响应速度，增加的动力生成，高转换率以及高共振频率的优点，特别是提供能用于纺织机，尤其是能用于织袜机的织针驱动机构或织机的经纱控制机构中的一种压电致动器。
本发明的上述的以及其它的目的和特点从说明书的整个描述中将会明显看到。
本发明提供通过弯曲能位移的一种叠层压电致动器(下文被称作厚度转换叠层压电致动器)，它包括叠加在一芯材料的一表面上的许多压电陶瓷层，以及叠加在其另一表面上的许多压电陶瓷层，所述的叠加在两表面上的压电陶瓷层的厚度从所述芯材料向外逐渐减小。
本发明还提供通过弯曲能位移的一种压电致动器(下文被称作压电常数转换叠层压电致动器)，它包括叠加在一芯材料的一表面上的许多压电陶瓷层，以及叠加在其另一表面上的许多压电陶瓷层，叠加在两层上的所述压电陶瓷层的压电常数d31从内层到外层逐渐增加。
此外，本发明提供通过弯曲能位移的一种叠层压电致动器(下文被称作电压转换叠层压电致动器)，它包括叠加在一芯料的一表面上的许多压电陶瓷层，以及叠加在其另一表面上的许多压电陶瓷层，对叠加在两表面上的所述压电陶瓷层所施加的电压从内层到外层逐渐增加。
图1(A)是示出本发明的一厚度转换叠层压电致动器的主要部分的剖视图；图1(B)是用于说明体现本发明的厚度转换叠层压电致动器的压电操作的示意图；图1(C)是示出体现本发明的另一厚度转换叠层压电致动器的主要部分的剖视图；图2是示出织袜机的织针驱动机构的剖视图，其中，体现本发明的压电致动器用于织袜机中；图3(A)和3(B)是用于说明织袜机的织针驱动机构中的压电致动器的织针驱动操作过程；图4是用于说明织袜机的示意图；图5(A)是示出织机的经纱控制机构的平面图，体现本发明的压电致动器被用于织机中；图5(B)是图5(A)中示出的经纱控制机构的剖视图；图6(A)和6(B)是用于说明织机的经纱控制机构中的压电致动器的控制操作的视图；图7(A)是示出通用双压电晶元件的示意图；图7(B)是示出通用叠层压电元件的示意透视图；以及图8(A)、8(B)以及8(C)是示出通用叠层压电元件的示意图。
参见附图描述本发明的实施例。
图1(A)是示出体现本发明的厚度转换叠层压电致动器的主要部分的剖视图，图1(B)是用于说明体现本发明的厚度转换叠层压电致动器的示意图，以及图1(C)是示出体现本发明的另一厚度转换叠层压电致动器的主要部分剖视图。
图2是示出使用体现本发明的压电致动器的织袜机的织针驱动机构的剖视图。
图3(A)和3(B)是用于说明织袜机的织针驱动机构中的压电致动器的织针驱动操作的视图。
图4是用于说明织袜机的示意图。
图5(A)是示出使用本发明的压电致动器的织机的经纱控制机构的平面图，图5(B)是图5(A)中示出的经纱控制机构的剖视图。
图6(A)和6(B)是用于说明织机的经纱控制机构中的压电致动器的控制操作的视图。
如图4中所示，在例如提花圆型针织机或提花横机的织袜提花针织机中，一个织针驱动机构(织针驱动压电致动器)被用于把在一存储器例如软盘中存储的图案程序传送到织针的上下运动中。绕针筒16设置有许多控制织针14的上下运动的织针驱动机构15，这些驱动机构被连接到一个图案控制器17上。从图案控制器17提供图案程序，以实现织针14的上下运动，因此，进行袜子的提花针织。虽然图中未示出，具有突出针踵的许多织针驱动推片被设置在织针的下面，并且使织针与推片的上部靠接在一起。针织纱线18从筒子19被供到针筒16上，使织针驱动机构15作用于织针驱动推片上，以便实现如上所述的织针14的上下运动，因此，进行袜子的提花针织。可以使织针驱动机构15直接作用于织针14上。
在织针驱动机构15的一个实施例中，如图2所示，压电致动器20由一支承件(壳体)21呈多级支承，突指22被连接到压电驱动器20的端部。突指22的前端向外伸出穿过支承件21的止动块23和孔24，并且使每个压电致动器20由图案控制器17经导线25来操作。另外，突指22的操作实现上述的织针14的上下运动，因此进行袜子的提花针织。
下面描述压电控制系统的织针驱动操作的一个例子。如图3(B)所示，把电压从图案控制器17经导线25施加到压电致动器20(或施加正脉冲)使压电致动器20弯曲，以致使突指22偏转，例如向下，这没把突指压在织针驱动推片26的针踵27上。所以，织针驱动推片26保持垂直位置。结果，在织针驱动推片26的底端凸出的用于起针三角的针踵28与起针三角29进入接合状态，以便使织针驱动推片16和与其上部靠接的织针向上移动，结果由织针14形成一针织圈。另一方面，如图3(A)所示，未施加电压(或施加负脉冲)不会使压电致动器20弯曲，所以，压着织针驱动推片26的针踵27。结果，在织针驱动推片26的底端凸出的用于起针三角的针踵28不与起针三角29相接合，以便使与织针驱动推片26的上部相靠接的织针14不进行针织操作。
然后，根据图5和6描述用于织机的经纱控制机构的一个压电致动器根据织机的一般原理，在平纹组织的情况下，经纱通过综片，由综片的上下运动被分成两组以形成梭口。然后，纬纱用梭子穿过梭口，并被压入织口。此后，形成另一经纱组合，随后穿过纬纱，这样推进织造。
压电致动器也被用于控制经纱以及综片。
如图5和6所示，一突指22被连接到一压电致动器20上，它被电连接到一综片控制机构上(图中未示出)，并且通过操作突指22压电致动器20控制被连接到一控制杆31的底部上的综片(图中未示出)，以及经纱。当电压(脉冲)被施于压电致动器20上时，通过弯曲压电致动器20位移，由于突指22与压电致动器20相连，突指22也随着压电致动器20的弯曲而产生的位移移动。带有一钩30(或一钩孔)的突指22与同样带有一钩或一孔310的控制杆31进入接合。另一方面，当电压(脉冲)未被施加到压电致动器20上时，突指22没有与控制杆31进入接合，并保持相分离的位置。这样，突指22能与控制杆31进行选择性地接合并保持控制杆31。如上所述，控制杆31在钩或孔310的底部处被连接到综片上(图中未示出)。控制杆31与综片可操作地相连以控制综片以及经纱。厚度转换叠层压电致动器叠层压电致动器能被用作如上所述的纺织机中的压电致动器20。
如图1(A)所示，压电致动器(厚度转换叠层压电致动器)20是叠层状。许多压电陶瓷层2，…被叠加于一芯料32的一个表面上，而许多压电陶瓷层2，…被叠加于其另一表面上。被叠加于两表面上的压电陶瓷层2，…其厚度从芯料32向外逐渐减小。
必须从芯料32向外逐渐减小叠加于芯料32的两表面上的压电陶瓷层2，…的厚度，如图中所示。如从图1(A)和1(B)所看到那样，叠加于芯料32的上侧的压电陶瓷层2，…的厚度从下层到上层是逐渐减小的。另一方面，叠加于芯料32上的下侧上的压电陶瓷层2，…的厚度从上层到下层是逐渐减小的。当把叠层体作一整体看时，在附图中最底层侧变成最内侧层。所以，叠加于芯料32的一侧上的压电陶瓷层2，…的厚度从一内层到一外层是逐渐减小的，而叠加于芯料32的另一侧上的压电陶瓷层2，…的厚度从外层到内层是逐渐减小的。
在上述的情况下，如果与芯料32相切的压电陶瓷层2的厚度是t，在它外边设置的压电陶瓷层2的厚度是t-x1，那么，该厚度被逐渐减为t-x2，t-x3，…t-xn(x1＜x2＜x3＜xn)。
作为构成上述压电陶瓷层2的压电物质(晶体)，能使用各种压电物质(晶体)。其特殊的例子包括被称作PZT的锆酸铅(PbZrO3)以及钛酸铅(PbTiO3)的固体溶液，锆酸铅(PbZrO3)，钛酸铅(PbTiO3)，钛酸钡(BaTiO3)及磷酸钡。粘合剂例如Nb，Co及Mn可被添加到压电物质中。压电物质可以是以上所述物质与聚合物的复合物。
芯料32的例子包括陶瓷和金属材料。较好的是上述压电物质被用作芯料32。也就是，芯料较好的是与叠加在其上的、构成压电陶瓷层2的陶瓷相同的材料。采用相同的材料使热伸展率相匹配以防止芯料32与压电陶瓷层2的接触面相分离。压电常数转换叠层电压致动器在另一实施例中，本发明的叠层压电致动器形成一压电常数转换叠层压电致动器，叠加于一芯料32的两表面上的压电陶瓷层2，…的压电常数d31从内层到外层是逐渐增加的。在这种情况下，把靠近芯料32的层看作两侧的内层。
与上述实施例相类似，这里提供了通过弯曲可位移的叠层压电致动器。
现描述上述的压电常数d31。这基于经计算及测量压电陶瓷所得的压电常数(压电应力常数)。
虽然有用来描述压电现象的各种基本公式，正如上述的那样d式被用于本发明中，在d式中，为了确定压电陶瓷中的材料常数，机械变量(S应力)以及电变量(电位移D)由下列公式(1)表示基本公式S＝SET+dED＝dT+ETE…(1)其中，D和E代表矢量，假设压电陶瓷的晶体结构具有高的对称性；T和S代表对称的张量；d代表E＝0时的弹性柔量；并且ET代表T＝0时的绝缘常数。
在根据这些矢量D和E及对称张量T和S的系数阵中，不为0的独立系数是d31系数。
按照U.S.A中IEEE标准176-1978，日本电子材料工业协会标准EMAS-6001-6006以及国际IEC标准版483，第1版来制定根据把压电体作为共振器来处理的所谓共振法的计算以及测定法。
压电系数d31从下式(2)推出d31=K31ϵ33T·S11E----(2)]]>其中K是电机械耦合系数，把一矩形板的长度振动作为K31，并且压电系数d31的单位为CN(m/v)。
由下式确定的圆柱的纵向振动中的压电系数d33是用于整个叠层的一个值，并且在本发明中，用于每个叠层压电陶瓷层的压电系数d31必须满足上述公式。d33=K33ϵ33T·S33E----(3)]]>其中K是电机械耦合系数，并且把一圆柱的纵向振动看作K33。
通过适当选择组合物及材料例如被称作PZT的锆酸铅(PbZrO3)及钛酸铅(PbTiO3)的固溶体、钛酸铅(PbTiO3)、钛酸钡(BaTiO3)及磷酸钡能调整用于每个叠层压电陶瓷层的压电系数d31。电压转换叠层压电致动器在又一实施例中，本发明的叠层压电致动器构造成电压转换叠层压电致动器，对叠加于一芯料32的两表面上的压电陶瓷层2施加的电压从内层到外层是逐渐增加的。在这种情况下，把靠近芯料32的层作为两侧上的内层。
与上述实施例相似，这提供了通过弯曲可位移的一种叠层压电致动器。
为了获得通过弯曲可位移的叠层压电致动器，较好的是用于本发明的芯料32不被极化，而是非极化的压电非活性层。
可以把本发明中的压电常数转换叠层压电致动器以及电压转换叠层致动器用于具有与图1(C)所示的相同厚度的压电陶瓷层2，…的叠层压电致动器以便获得通过弯曲可位移的一种叠层压电致动器，然而把所述致动器与厚度转换相结合能提供更好的通过弯曲可位称的叠层压电致动器。另外，当芯料32是如上所述的非极化的、压电非活性层并且每个压电陶瓷层2，…的极化结构33是反向极化(如以下描述的那样)时，所获得另一更好的，通过弯曲可位移的叠层压电致动器。
为了获得通过弯曲更能位移的一种叠层压电致动器，叠加于芯料32的一个表面上的许多压电陶瓷层2，…以及叠加于其另一表面上的许多压电陶瓷层2，…在每个极化结构33中被相反向极化，例如，如图1(C)所示。
例如按以下方法可获得根据本发明的叠层压电致动器。
有机溶剂、粘合剂、塑性剂、分散剂等类似物被添加到压电陶瓷的锻烧粉末中，然后混合。接着生成的混合物形成一生片，它被压成适当大小。用于带有Ag-Pd或Pd的内电极的导电糊被筛网印制，并且叠加所需数量的这些生片，并被压成一体。在加压下加热这些生片(通常在500℃～600℃)，接着烧制，例如在大约1200℃下以便获得一种叠层陶瓷产品。在切割所述叠层产品之后，把绝缘体以及外电极连接到其上。每隔一层并联地连接内电极。此外，为了生产叠层压电致动器，能采用称作生片法的叠层陶瓷电容器的上述技术。
生成的叠层产品被极化以便利用其压电性。例如在空气中或硅油中能进行极化。可以采用电场冷却法，其中，在一经被加热到居里点(Curie point)或更高点后，当施加电场时逐渐冷却叠层产品。
在这种情况下，较好的是叠加于芯料32的一个表面上的许多压电陶瓷层2，…以及叠加于其另一表面上的许多压电陶瓷层2，…在每个极化结构33中被反向极化。
另外，在这种情况下，较好的是芯料32不被极化，而是非极化的，压电非活性层。
虽然通过用粘合剂把这些生片制成一整体可以生产上述的弯曲式叠层压电致动器，较好的是由相同材料制成整体，而不采用粘合剂，通过用内电极用的且允许从其中延出的(如上所述的)的导电糊把它们制成一整体。
由此可避免这样的缺点，即通过采用粘合剂把伸缩特性彼此不同的两个压电陶瓷片粘接于金属垫片构件上来生产的致动器，例如双压电晶元件，其接触面相分离，并且由于增加了粘接步骤而使成本增加。不用粘合剂使相同的材料成整体能提高粘接强度，并省掉粘接步骤，降低了成本。此外，采用相同的材料能使热伸展系数相匹配。在这方面，也提高了粘接强度，并且在生产中不必制备不同的金属材料。
当把本发明的压电致动器20用于如上所述的织机的经纱控制机构以及织袜机的织针驱动机构中时，较好的是采用不会阻止其弯曲移动的一种结构，如上述的实施例中所述的那样。
例如以织袜机的织针驱动机构15为例，把一球体34连接到压电致动器20的后端，把连接有球体34的压电致动器20的后端插入支承件21的压电致动器装配部分35的一槽36中。使球体34的球形部分可沿压电致动器装配部分35的槽36移动，从而，可使压电致动器20的后端移动。
另外，也可把与上述相类似的球体34连接到压电致动器20的前端。在突指22的后端可使球体34移动，从而也可以使压电致动器20的前端移动。
此外，一转动体38被固定连接到压电致动器20的后端及前端之间的中间位置处，而转换体38的两端被转动地安装在支承件21的一转动体装配部分(中间支点部)39，所以，压电致动器20的后端及前端之间的中间位置的移动不会随转动体38而停止。
根据这种系统及设备，使压电致动器20自由地移动，其移动不会被阻止并且形成中间支点。所以这具有极好的优点，即，显著地增加了织针驱动速度，以及延长压电致动器20的寿命。
在这方面，压电致动器同样也可以被用于织机的经纱控制机构。一球体34被连接到压电致动器20的上端并被可移动地支承在于支承件(控制杆支承件)21中形成的一槽36中，并且其下端被可移动地连接到突指22上。在压电致动器20的上端及下端之间的中间部分被固定到可转动地安装在控制杆支承件21的一转动体38上，并且使致动器20的上端和下端以及在其间的中间部分可随致动器20的弯曲移动而运动，结果不会阻止压电致动器20的弯曲移动。其优点在于能提高控制杆31的控制操作，综片及选择控制操作的速度，延长压电致动器20的使用寿命，并且更能减少所施加的电压。
虽然已经描述了本发明的特殊实施例，当然应该理解这些实施例并不限制本发明的保护范围，并且在不脱离本发明的精神及范围的情况下可以对本发明做各种变化及修改。
采用本发明的压电致动器的织机的经纱控制机构主要用于提花机中，在提花机中，根据由提花机提出的提花图案穿孔的纹板被用来仅在与纹板的孔相对应的位置处把钩往上拉，从而通过综线仅上拉与钩相连的经纱，并在上拉的经纱与仍在原位的经纱之间形成梭口。
本发明也能被用作舀取系统的压电致动器来代替织袜机的织针驱动机构的压制系统的上述致动器。
在上述实施例中，本发明的压电致动器被用于纺织机中。然而，本发明也能被用于除纺织机之外的各种领域中的压电致动器。例如，本发明的压电致动器可被用于各种领域包括定位器(定位装置)、印刷头、超声波电机、电压继电器、压电阀、电子计算机以及其机关设备(小型计算机及印刷机)、民用电子设备(电视机，收音机及磁带录象器)、商用设备(复制机及打字机)、办公用品及精密仪器(照像机及手表)。
以下简要描述通过在该申请中公开的本发明的压电致动器的典型实施例所获得的效果。
也就是根据本发明通过弯曲可位移的弯曲式叠层压电致动器，与双压电晶元件相比，所述致动器位移小，但具有非常快速的感应速度，提高的生成动力，高转换率以及高共振频率的优点，特别是能适用于纺织机，尤其是用于织袜机的织针驱动机构或织机的经纱控制机构中的压电致动器。
权利要求
1.通过弯曲可位移的叠层压电致动器，包括叠加于一芯料的一表面上的许多压电陶瓷层，以及叠加在其另一表面上的许多压电陶瓷层，叠加于两表面上的所述压电陶瓷层的厚度从所述芯料向外逐渐减小。
2.通过弯曲可位移的叠层压电致动器，包括叠加于一芯料的一表面上的许多压电陶瓷层，以及叠加于其另一表面上的许多压电陶瓷层，叠加于两表面上的所述压电陶瓷层的压电常数d31从内层到外层逐渐增加。
3.通过弯曲可位移的叠层压电致动器，包括叠加于一芯料的一表面上的许多压电陶瓷层，以及叠加于其另一表面上的许多压电陶瓷层，叠加于两表面上的所述压电陶瓷层的所施加的电压从内层到外层是逐渐增加的。
4.根据权利要求1～3中的任一个的叠层压电致动器，其中，所述的芯料由非极化的、压电非活性的层制成。
5.根据权利要求4的叠层压电致动器，其中，所述的芯料由陶瓷制成。
6.根据权利要求4的叠层压电致动器，其中，所述芯料由金属制成。
7.根据权利要求1～6的任一个的叠层压电致动器，其中，叠加于芯料的两表面上的许多压电陶瓷层在每个极化结构中被反向地极化。
8.根据权利要求1～7的任一个的叠层压电致动器，其中，所述的叠层压电致动器是用于纺织机的叠层压电致动器。
9.根据权利要求8的叠层压电致动器，其中，所述的叠层压电致动器是一织袜机的织针驱动机构中的叠层压电致动器。
10.根据权利要求8的叠层压电致动器，其中，所述的叠层压电致动器是织机的经纱控制机构中的叠层压电致动器。
全文摘要
本发明公开的是通过弯曲可位移的一种叠层压电致动器，包括叠加于一芯料的一表面上的许多压电陶瓷层，以及叠加于其另一表面上的许多压电陶瓷层，叠加于两表面上的所述的压电陶瓷层的厚度从所述芯料向外逐渐减小，或压电常数d31从内层到外层逐渐增加，或所施加的电压从内层到外层逐渐增加。
文档编号H01L41/083GK1164767SQ9710220
公开日1997年11月12日 申请日期1997年1月10日 优先权日1996年1月11日
发明者渡辺千晴, 榎本隆 申请人:Wac资料服务有限公司