专利名称：晶片容器软垫盖的利记博彩app
技术领域：
本发明与在运输和储藏中对硅晶片之类进行约束的器件有关，具体有关这种晶片储藏容器的保护盖及可除卸的软垫。
储藏或运输中的晶片，一般为硅晶片，待加工放入电路芯片中。其他材料的晶片，诸如砷化镓也用于同用途。其他的晶片也用同样方式加工和运输，诸如记忆磁碟等，并可能是在一侧上有加工覆盖层的金属;也可能是有加工覆盖层的玻璃基质。本文中凡用到晶片一词，所指包括一切这种类型的晶片，和磁盘及基质。
这种晶片在储存及运输时，必然涉及到晶片破碎的可能性及其损坏，因为加工中的晶片价格很高，而晶片又较易发生破碎。晶片厚度可能约0.050英寸，一般直径尺寸范围为48mm，65mm或以上。至少这些较小的晶片常放在的晶片载架中，在侧壁上有间隔件，将晶片互相间隔;这种晶片载架有敞开的顶部和底部，便于接受包括清洗水的加工液。虽然这种晶片载架可能在某些情况下，关闭在有盖的盒或容器中，但也可在某些情况下，仅在晶片载架的顶部和底部上各加一个盖，将晶片完全封闭，进行运输或储藏比较方便。这种盖过去为已知，如美国专利第4，557，382号所示。
重要的是使晶片在运输和储藏时，在晶片架中比较静定，因此，在盖中设置了缓冲器件，如上述专利所示。这种缓冲件为向下伸的指杆，加盖时一般沿晶片边缘摩擦，倾向于产生颗粒，使晶片表面受这种颗粒的污染。
本发明的一个目的，是提供一种新颖的改良垫，与约束在储藏及运输容器中的晶片接触，限制其活动。
本发明的另一目的，是生产一种改良的晶片载架盖，关闭载架的整个顶部和端壁，并在盖中设置可拆卸并可更换的垫件，在载架的中线上压在晶片中线上，与晶片接触，限制晶片的活动，而不产生污染颗粒。
本发明的一个特点，是晶片架的盖中的垫，在架中作可拆除的放置，再用盖时可将垫更换。垫件有悬臂式垫部伸出，压迫设在中点上的元件，使之压在储藏或运输中的磁盘的边缘上，悬臂式垫部有基本水平伸展的安装臂，交替向可拆卸的框的相对侧部伸展，对晶片压迫元件作弹性推压，压迫晶片边缘，限制晶片在载架中活动。
发明的另一特点，是晶片载架的盖，有顶板供在晶片架的两侧之间的中点上，安装可拆除的垫;盖还有下垂的端壁，朝向晶片架的U形端，将其关闭。盖的下垂端壁有偏置部，穿过架端壁的U形部分。盖的端壁的理想偏置形式，为尺寸小的载架的盖中，用倾斜的偏置部;尺寸大的晶片载架的盖的理想偏置形式，为均匀偏置，均匀通过晶片架的端壁孔。偏置件必然能对整个盖加劲，减小与载架端壁卷边部作可活动连接的端壁的任何弯曲。偏置件还可使颗粒较难进入载架。
图1 为载架与顶盖及底盖组装后的侧视，为详示细节有部分拆卸。
图2 为带底盖及顶盖的晶片载架的拆卸侧视，为详示细节将全部拆卸。
图3 为载架上下盖之端视，示两者的拆卸关系。
图4 为沿图2线4-4附近的放大细节前视。
图5 为沿图1线5-5附近的放大细节剖视。
图6 为从盖上拆除的垫件的侧视。
图7 为图6所示的垫的俯视。
图8 为沿图7中线8-8附近的放大细节剖视。
图9 为与改型盖组装后的载架细节剖视。
图示并以本文说明发明的一种形式。硅，砷化镓等等的晶片的有盖运送箱，图中用号10标示的整体，有晶片载架11，底盖12及顶盖13。
晶体载架11有侧壁14及15，各有基本垂直的上部，如从图3可见，有弯曲或圆形的下部14.1，15.1，支持这种晶片W。晶片W从图4可见，其边缘插入相邻间隔件或突棱17之间的槽16中，突棱的弧形随侧壁下部14.1，15.1的弧形。间隔棱17有平滑倒角，因此，将晶片插入槽16中时，因突棱有倒角面，故晶片即刻被顺利引入槽中。
晶片载架11还有端壁17，与侧壁14，15一体形成，因而整个晶片载架为一体。两端壁基本完全相似，都有大致U形的口18在上面形成，在加工这种晶片时，形成载架中的晶片的出入口。每一端壁17有单一的连续U形棱，或卷边，或基本U形的突缘19，形状与端壁17上的口18相符。
在晶片载架11的一端，有突片19从突棱19上下垂，引导盖13进入正确位置。
可见晶片载架11有开敞顶端21，和开敞底端22，接受液流，例如在晶片加工中接受诸如清水之类的清洁流体流过。载架的侧壁14及15有支脚23与开敞底端相邻，将载架放在架上或台面上时支持载架。
盖12用与载架11相似的塑料形成，诸如聚丙烯，聚乙烯或类似塑料，包括氟聚合物。可见底盖12套在载架的开敞底端上，将支脚13及端壁的下缘，纳入沿底盖12全周缘伸展的槽24内。
载盒11的顶盖13也用与载架相似的塑料模制，为整体成形或一体的结构。保护盖13上也安放可拆除的垫件，图中用号25作一般标示，位于正对载架11的纵向中心线的上方，与晶片上中点附近的上缘接触。
保护盖13有长顶板部26，沿载架11的全长伸展，放置在载架的侧壁14，15的上缘上，关闭其开敞顶端21。顶板部有侧边部，形成下垂突缘27，板部26上还形成槽28，当盖全部套在载架上时，槽中纳入侧壁14，15的上缘。
保护盖13还有端壁29，与板部26一体形成，从板部26上下垂，完全面对端壁17的U形口18，将其关闭。端壁部29有端壁板部30，为一直壁，形状为矩形;端板部29有突块31在内侧上形成，在载架的相对端壁17上的U形突棱或卷边19上，作可拆除的钩挂。
端壁29也有偏置部32，有大致的U形，与载架11的端壁上的U形口18一致。在图1-3示的本发明的形式中，偏置部32有一个板，相对于端壁板30倾斜放置，从而偏置部32的伸入载架端壁的U形口18中的多少将连续变化。
或者偏置部可有其他形状，如图9所示，其偏置部32.1形成梯级或肩台32.2，与晶片载架端壁的U形口18的形状相符。图9中的梯级偏置部，可减少进入晶体载架的污染颗粒。与此相似，图1-3中的倾斜偏置部32，还可减少颗粒的横向转移，进入载架，并且在盖13的使用后，便于作迅速而简易的清洗与干燥。
图9所示的盖的另一形式13.1，也有板部26.1，与图1-3中的板部26相似。
保护盖13也安置或承放垫件，图中一般用号25标示。垫件25有长形框23，形状为一矩形环。垫件的框33容放在盖的板部26中形成的凹槽或凹座34中。板部26上形成若干小突片或插片35，放在垫件25的矩形框33的侧部37，38上形成的夹持片36中夹紧。突片35及36互相对插，将垫件25在盖13中精确定位，从而垫相对于间隔件17之间的槽16中的晶片W作用，若干槽中各有一个晶片。
垫件有若干悬臂式的晶片垫部39，在框33的横向，和盖的长板部26的横向上伸展。晶片垫部39有晶片的若干长形镇压元件40，在相对侧部37，38之间的中点附近，沿长形的框33单行排列。镇压元件有晶片接触面41，为槽形，如图6及8中之42。
因此，应能了解每一晶片镇压元件40，与一个晶片接触，压在晶片的上缘上，使之既不能上下也不能横向移动。
晶片垫部39还有若干长形柔弹性安装臂43，与框的侧壁37，38一体形成。应能了解，安装臂43交替在框的相对侧部37，38上固定，即，相邻的镇压元件40的安装臂在相对的框侧上固定。
从图5可最清晰观察，安装臂与镇压元件一体形成，镇压臂的基本水平伸展的部分与镇压元件40相邻。图5中的实线，示松弛状态中的柔弹性安装臂43的形状，可了解当将盖13压在处于图1所示姿态的晶片载架上时，晶片W与镇压元件40互相依靠，晶片将镇压元件向上推到虚线。所示位置P，因而安装臂43的相邻部分将基本处于水平姿态。
镇压元件与相邻的安装臂部分，在将盖压在晶片架上然后开盖时，先与盖的板部26接近，然后分离，从而将晶片在架中压紧，然后放松。
既了解到晶片的尺寸与形状，尤其在镇压元件40与晶片接触的具体地点上，并上完全一致，所以镇压元件能克服安装臂43的柔弹性而自由上下是很重要的。经常晶片W在周缘的一个部分有一个平坦点或区域，因此，如镇压元件接触晶片的这种平坦边缘区域，必须有自由度可靠近晶片，将晶片在这状态中夹持。
因此可见本发明提出了一种供运输或储藏晶片用的容器或载架的盖，这盖有端板，可将载架的有U形口的端部关闭，并有一个垫件，在盖上作可拆除的安装，有一排镇压元件在载架中的晶片的中心(圆心)的上方，而在垫件框两侧之间的中点附近。镇压元件安装在柔弹性安装臂上，臂交替安装在长框的相对两侧上，从而相邻两镇压元件，在框的相对两侧上固定。镇压元件可在晶片的中心线上自由上下摆动，从而在晶片上加压力，达到夹持位置，而不需沿晶片边缘滑动，以尽量减小产生颗粒的可能性，否则颗粒可能污染晶片表面。
本发明可按其他的特定方式实施，而不超出本发明的精神及主要特点，因此，希将本实施方案的一切方面，考虑为进行解说，而并非作任何限制，关于发明的范围，应以文后权利要求书为准，而非以上的说明。
权利要求
1.收藏在容器中的晶片用的垫件，它有一个盖，其中包括一个长形框，安装在容器盖内，框上的若干悬臂式晶片垫部，有晶片接触镇压元件沿框互相对正，圈定一个晶片接触面，压在晶片边缘的上部，悬臂式垫部还有柔弹性安装臂，在镇压元件与框之间连接。
2.如权利要求1之垫件，其特征为晶片接触面有槽形部，将晶片边缘容纳其中。
3.如权利要求1之垫件，其特征为框有长侧部互相相对，每一该侧部安装晶片的某种该悬臂垫部。
4.如权利要求1之垫件，其特征为框有长形侧部互相相对，相邻悬臂晶片垫部分别安装在框的相对部上。
5.如权利要求1之垫件，其特征为框有长形侧部，该镇压元件在该两侧部间成行放置。
6.如权利要求5之垫件，其特征为柔弹性安装臂大致水平伸展，可弯折，并使镇压元件可分别活动。
7.如权利要求1之垫件，其特征为晶片接触面为长形，有长形槽，容纳晶片边缘，有压力加在晶片上时，可相对于晶片边缘移动。
8.如权利要求1之垫件和一个安装该框的盖，供安放该垫部，一个晶片载架包括有槽的侧壁部供安放晶片，晶片顶缘接触该镇压元件。
9.包覆晶片载架顶口和有口端部以将晶片藏入容器的保护盖，包括一个长形板部，卧置在载架顶口上，基本将顶口关闭，板部有长形的相对侧部，与载架的边侧相邻，板部上的端壁部，从板部上下垂，朝向晶片载架的开口端，至少将其部分关闭，板部上的若干晶片垫部，有晶片镇压元件，基本在板部的侧部之间的中线上，直线单行排列，镇压元件有晶片接触面，可向板部退让。
10.如权利要求9之保护盖，其特征为晶片垫部为长形，设有镇压元件的悬臂安装件。
11.如权利要求9之保护盖，其特征为晶片垫部在板部上作可拆除的安装。
12.如权利要求9之保护盖，其特征为晶片垫部为单个柔性安装臂部，与各镇压元件相连，而伸过板部，使镇压元件及接触表面可与板部趋近或远离。
13.如权利要求12之保护盖，其特征为晶片垫部有一个长框，在板部上作可拆除的安装，框有相对的侧部，相邻两镇压元件的安装臂向相反方向伸展，固定在相对的框侧上。
14.如权利要求9之保护盖，其特征为板部有长槽部，该垫件有一个框部埋在该槽部中，因而在板部上为可拆除的安装。
15.一种包覆晶片载架的开敞顶部和U形端壁的中央开口部的保护盖，包括一个长板部卧置在载架的开敞顶部上，基本将顶部关闭，板部上的一个端盖部从板部上下垂，与晶片载架的端壁面对，端盖部有一个偏置部，伸入端壁的U形开口部中。
16.如权利要求15之保护盖，其特征为该偏置部基本为U形。
17.如权利要求15之保护盖，其特征为该偏置部斜向放置，逐渐改变伸入晶片载架端壁的部分的多少。
18.如权利要求17之保护盖，其特征为该偏置部基本为U形，有上和下部，偏置部倾斜，从而伸入晶片载架端壁该上部，比伸入该下部多些。
19.如权利要求16之保护盖，其特征为偏置部伸入载架的端壁基本上下一致。
20.如权利要求16之保护盖，而特征为偏置部有上部及下部，端盖部有一个钩耳，供向载架端壁的一部分上钩挂。
21.如权利要求15之保盖，而特征为端盖部为基本直边的盖壁，偏置部在其内形成。
全文摘要
一种晶片载架的垫盖，有板部覆盖载架顶部，将顶部关闭，端壁有偏置部，关闭载架的U形端壁，盖中有可拆除的垫件，有单行镇压元件安装在柔性水平臂上，使镇压元件可上下活动，在晶片边缘上加压力，相邻镇压件的安装臂，固定在垫件框的相对侧上。
文档编号H01L21/673GK1064843SQ9111269
公开日1992年9月30日 申请日期1991年12月30日 优先权日1991年3月20日
发明者D·A·曼克 申请人:氟器皿有限公司