一种可接收移动排废口废液的封闭装置的利记博彩app

本发明涉及生产过程中产生废液的收集装置，具体地说是一种可接收移动排废口废液的封闭装置。

背景技术：

目前，半导体行业中晶片湿法处理设备都涉及化学废液的排放。对于喷嘴较多的涂胶单元，经常将喷嘴设计成可以切换的结构。工作工程中，根据当前工艺所需的光刻胶，喷嘴切换结构将对应的喷嘴移动到胶臂可夹取的位置。喷嘴的切换导致其下方的排废口是移动的，而工作腔体下方的排废管是固定的，因此，以往固定的废液盒不再适用。若将固定废液盒的盒盖设有方形口供移动的排废口移动，又会有大量废液挥发到工作腔体中，影响工作环境与晶片质量。所以，需要一个既能过渡上方移动排废口与下方固定排废管、又能避免大量化学废液挥发到工作环境中的装置。

技术实现要素：

为了解决喷嘴切换结构的移动废液口与下方固定排废管的连接问题，本发明的目的在于提供一种可接收移动排废口废液的封闭装置。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括接液盒、端部密封片、限位密封片、转动密封片、废液管固定板及废液管夹紧块，其中接液盒的两端分别设有端部密封片，两端所述端部密封片的一侧均转动连接在接液盒上，所述废液管固定板位于两端所述端部密封片之间，在该废液管固定板上安装有夹紧移动废液管的废液管夹紧块；所述废液管固定板两侧与每端所述端部密封片之间均设有多个限位密封片及多个转动密封片，每侧的各限位密封片与转动密封片均间隔布置，所述废液管固定板的两侧均通过下转动轴转动连接限位密封片，每端所述端部密封片的另一端均通过上转动轴转动连接限位密封片，相邻的所述限位密封片与转动密封片之间通过所述上转动轴或下转动轴转动连接；所述废液管固定板及废液管夹紧块随所述废液管移动，进而带动所述限位密封片与转动密封片之间及端部密封片与限位密封片之间相对转动，并将相对转动转变为所述废液管夹紧块与所述废液管的同步水平移动。

其中：所述限位密封片上设有限制端部密封片及转动密封片转动极限位置的凸起B，所述端部密封片及转动密封片的转动极限位置均为竖直方向或所述限位密封片上的凸起B与端部密封片或转动密封片相切；

所述端部密封片分为中间部A及位于该中间部A两侧的圆柱A和圆柱B，所述圆柱B通过端部转动轴与接液盒转动连接，所述圆柱A通过上转动轴与限位密封片的一侧转动连接；所述中间部A为平板状，所述圆柱A的轴向中心线与圆柱B的轴向中心线分别位于中间部A的两侧，并与所述中间部A两侧表面共面；在所述圆柱B上设有限制端部密封片转动极限位置的凸起A；所述圆柱B的轴向长度与中间部A的长度相同，所述圆柱A的轴向长度小于中间部A的长度，并在所述圆柱A的两端与中间部A之间形成止口A；

所述限位密封片分为中间部B及位于该中间部B两侧的铰接部A和铰接部B，所述铰接部A通过上转动轴与端部密封片或相邻一侧的转动密封片转动连接，所述铰接部B通过下转动轴与相邻另一侧的转动密封片或所述废液管固定板转动连接；所述铰接部A上设有凸起B，通过该凸起B与端部密封片或转动密封片的抵接，限制所述端部密封片或转动密封片的转动极限位置；所述中间部B为平板状，所述铰接部A和铰接部B的端面均为圆形，该铰接部A的圆心和铰接部B的圆心分别位于中间部B的两侧，并与所述中间部B两侧表面共面；所述限位密封片呈“工”字形，每一端的两侧分别为铰接部A及铰接部B；

所述转动密封片分为中间部C及位于该中间部C两侧的圆柱C和圆柱D，所述圆柱C及圆柱D分别通过上转动轴、下转动轴与相邻的限位密封片转动连接；所述中间部C为平板状，所述圆柱C的轴向中心线与圆柱D的轴向中心线分别位于中间部C的两侧，并与所述中间部C两侧表面共面；所述圆柱C及圆柱D的轴向长度相等，且均小于所述中间部C的长度，在所述圆柱C的两端与中间部C之间及圆柱D的两端与中间部C之间均形成止口B；

所述废液管固定板分为中间部D及位于该中间部D两侧的圆柱E和圆柱F，所述圆柱E和圆柱F均通过下转动轴与限位密封片转动连接；所述中间部D为平板状，所述圆柱E的轴向中心线与圆柱F的轴向中心线位于中间部D的同侧，且与该侧表面共面；所述圆柱E及圆柱F的轴向长度相等，且均小于所述中间部D的长度，在所述圆柱E的两端与中间部D之间及圆柱F的两端与中间部D之间均形成止口C；所述中间部D上开有供废液管穿过的通孔；

所述接液盒两侧内壁上开有凹槽，各所述上转动轴或下转动轴的 两端位于该凹槽内。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明在移动的废液管水平移动时，端部密封片、限位密封片、转动密封片将自身的转动转变为随移动废液管的水平移动，可接收上方移动废液口的废液，且与下方固定的排废管连接紧固，解决了喷嘴切换结构的移动废液口与下方固定排废管的连接问题。

2.本发明结构封闭，能够有效防止排放的废液挥发到工作腔体内。

附图说明

图1为本发明的结构主视图；

图2为本发明的立体结构示意图；

图3A为图1中端部密封片的立体结构示意图；

图3B为图1中端部密封片的结构主视图；

图3C为图3B的左视图；

图3D为图3B的俯视图；

图4A为图1中限位密封片的立体结构示意图；

图4B为图1中限位密封片的结构主视图；

图4C为图4B的左视图；

图4D为图4B的俯视图；

图5A为图1中转动密封片的立体结构示意图；

图5B为图1中转动密封片的结构主视图；

图5C为图5B的左视图；

图5D为图5B为俯视图；

图6A为图2中废液管固定板的立体结构示意图；

图6B为图2中废液管固定板的结构主视图；

图6C为图6B的左视图；

图6D为图6B的俯视图；

其中：1为接液盒，2为端部密封片，201为中间部A，202为圆柱A，203为圆柱B，204为止口A，205为凸起A，3为限位密封片，301为中间部B，302为铰接部A，303为铰接部B，304为凸起B，4为转动密封片，401为中间部C，402为圆柱C，403为圆柱D，404为止口B，5为端部转动轴，6为上转动轴，7为下转动轴，8为废液管固定板，801为中间部D，802为圆柱E，803为圆柱F，804为止口C，805为通孔，9为废液管夹紧块，10为凹槽。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1、图2所示，本发明包括接液盒1、端部密封片2、限位密封片3、转动密封片4、废液管固定板8及废液管夹紧块9，其中接液盒1的下部固定于工作腔体的底板上，接液盒1的上部为敞口状；在接液盒1上部的两端分别设有端部密封片2，两端端部密封片2的一侧均通过端部转动轴5连接在接液盒1上，并可绕端部转动轴5转动。废液管固定板8位于两端端部密封片2之间，在该废液管固定板8的上表面固定有两个废液管夹紧块9，每个废液管夹紧块9上均开有直径与上方移动的废液管管径相同的槽，槽的截面小于半圆。两个废液管夹紧块9通过螺栓连接后，中间部分形成的圆槽夹紧移动的废液管。

废液管固定板8两侧与每端端部密封片2之间均设有多个限位密封片3及多个转动密封片4，每侧的各限位密封片3与转动密封片4均间隔布置；废液管固定板8的两侧均通过下转动轴7转动连接限位密封片3，即距离两端端部密封片2最远的两个下限位密封片3分别通过下转动轴7与废液管固定板8的两侧转动连接；每端端部密封片2的另一端均通过上转动轴6转动连接限位密封片3，限位密封片3与一侧相邻的转动密封片4之间通过上转动轴6转动连接，与另一侧相邻的转动密封片4之间通过下转动轴7转动连接，端部密封片2与限位密封片3可相对转动，限位密封片3与转动密封片4可相对转动；本实施例在废液管固定板8的一侧与每端的端部密封片2之间设置了五个限位密封片3及四个转动密封片4。废液管固定板8及废液管夹紧块9随废液管移动，进而带动限位密封片3与转动密封片4之间及端部密封片2与限位密封片3之间相对转动，并将相对转动转变为废液管夹紧块9与废液管的同步水平移动。

如图3A～3D所示，端部密封片2分为中间部A201及位于该中间部A201两侧的圆柱A202和圆柱B203，中间部A201为平板状，圆柱A202的轴向中心线与圆柱B203的轴向中心线分别位于中间部A201的两侧，并与中间部A201两侧表面共面；在圆柱B203上设有限制端部密封片2转动极限位置的凸起A205；圆柱B203的轴向长度与中间部A201的长度相同，圆柱A202的轴向长度小于中间部A201的长度，并在圆柱A202的两端与中间部A201之间形成止口A204。圆柱B203通过端部转动轴5与接液盒1转动连接，圆柱A202通过上转动轴6与限位密封片3的一侧转动连接。

如图4A～4D所示，限位密封片3分为中间部B301及位于该中间部B301两侧的铰接部A302和铰接部B303，限位密封片3呈“工”字形，每一端的两侧分别为铰接部A302及铰接部B303；中间部B301 为平板状，铰接部A302和铰接部B303的端面均为圆形，铰接部A302的圆心和铰接部B303的圆心分别位于中间部B301的两侧，并与中间部B301两侧表面共面。在铰接部A302上设有凸起B304，通过该凸起B304与端部密封片2或转动密封片4的抵接，限制端部密封片2或转动密封片4的转动极限位置。铰接部A302通过上转动轴6与端部密封片2上的圆柱A202或相邻一侧的转动密封片4转动连接，铰接部B303通过下转动轴7与相邻另一侧的转动密封片4或废液管固定板8转动连接。限位密封片3两端的铰接部A302与端部密封片2连接时，两个铰接部A302位于端部密封片2的圆柱A202两端的止口A204处。

端部密封片2与限位密封片3的自身结构决定其相对转动的极限位置为竖直方向或限位密封片3上的凸起B304与端部密封片2相切，即端部密封片2与限位密封片3的一个相对转动的极限位置通过端部密封片2上圆柱B203上的凸起A205限位，当端部密封片2和限位密封片3均转动至竖直状态时，端部密封片2的中间部A201与限位密封片3的中间部B301面面接触，凸起A205抵接在接液盒1的端部，限制转动；端部密封片2与限位密封片3的另一个相对转动的极限位置通过限位密封片3上铰接部A302上的凸起B304限位，端部密封片2和限位密封片3转动至凸起B304与端部密封片2相切。

如图5A～5D所示，转动密封片4分为中间部C401及位于该中间部C401两侧的圆柱C402和圆柱D403，中间部C401为平板状，圆柱C402的轴向中心线与圆柱D403的轴向中心线分别位于中间部C401的两侧，并与中间部C401两侧表面共面。圆柱C402及圆柱D403的轴向长度相等，且均小于中间部C401的长度，在圆柱C402的两端与中间部C401之间及圆柱D403的两端与中间部C401之间均形成止口B404。圆柱C402及圆柱D403分别通过上转动轴6、下转动轴7与相邻的限位密封片3上的铰接部A302或铰接部B303转动连接。转动密封片4与两侧相邻的限位密封片3连接时，两侧相邻的限位密封片3共四个铰接部B303分别位于转动密封片4上的四个止口B404处。

转动密封片4与限位密封片3的自身结构决定其相对转动的极限位置为竖直方向或限位密封片3上的凸起B304与转动密封片4相切，当转动密封片4和限位密封片3均转动至竖直状态时，转动密封片4的中间部C401与限位密封片3的中间部B301面面接触；转动密封片4与限位密封片3的另一个相对转动的极限位置通过限位密封片3上铰接部A302上的凸起B304限位，转动密封片4和限位密封片3转动至凸起B304与转动密封片4相切。

如图6A～6D所示，废液管固定板8分为中间部D801及位于该中间部D801两侧的圆柱E802和圆柱F803，中间部D801为平板状，圆柱E802的轴向中心线与圆柱F803的轴向中心线位于中间部D801的同侧，且与该侧表面共面；圆柱E802及圆柱F803的轴向长度相等，且均小于中间部D801的长度，在圆柱E802的两端与中间部D801之间及圆柱F803的两端与中间部D801之间均形成止口C804。中间部D801上开有供废液管穿过的通孔805。圆柱E802和圆柱F803均通过下转动轴7与限位密封片3的铰接部B303转动连接。每侧的限位密封片3两端的铰接部B303与废液管固定板8连接时，两个铰接部B303位于废液管固定板8每侧的两个止口C804处。

在接液盒1两侧内壁上沿长度方向开有方形的凹槽10，各上转动轴6或下转动轴7的两端位于该凹槽10内；本实施例是将各下转动轴7的两端位于凹槽10内。

本发明的工作原理为：

相邻的端部密封片2、限位密封片3、转动密封片4可相对转动，限位密封片3的凸起B304可限定端部密封片2和转动密封片4相对转动而展开时的极限位置。各密封片折叠时，端部密封片2的极限位置由其自身结构决定为竖直方向，限位密封片3与转动密封片4的极限位置为两个相邻面贴合。距离两个端部密封片2最远的两个限位密封片3分别通过下转动轴7连接废液管固定板8的两端。废液管固定板8上方固定两个废液管夹紧块9，两个废液管夹紧块9夹紧移动的废液管。移动的废液管水平移动时，端部密封片2、限位密封片3、转动密封片4将自身的转动转变为随移动废液管的水平移动。移动废液管的废液流入接液盒1，并经过接液盒1流入下方固定的排废管中。

此外，该装置中各相对运动零件均为面面接触，装置密封良好，有效防止接液盒1中残留废液挥发到单元内，确保单元内部工作环境。