晶圆与晶圆载具接合分离机及其晶圆接合分离升降单元的利记博彩app
【专利摘要】一种晶圆与晶圆载具接合分离机，其具有：一晶圆定位单元；一晶圆载具供应单元，其系相邻于该晶圆定位单元；一晶圆载具位移单元，其系相邻于该晶圆载具供应单元；一晶圆载具定位单元，其系相邻于晶圆载具供应单元；一晶圆移动单元，其系相邻于该晶圆定位单元；以及一晶圆接合分离升降单元，其系设于该晶圆载具定位单元的下方。本实用新型晶圆接合分离升降单元能够使一晶圆与一晶圆载具二者相接合或分离，以此降低人工装载时间与破片的风险。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种晶圆与晶圆载具接合分离机及其晶圆接合分离升降单元，尤 指一种能够将晶圆自晶圆载具上自动化装载或卸除的装置。 晶圆与晶圆载具接合分离机及其晶圆接合分离升降单元
【背景技术】
[0002] 于晶圆制程中，晶圆会经过多道制程，然于各制程中，晶圆由载具到工作机台之间 的传送系大都以人工传送，待该工作机台的制程结束后，再将该晶圆以人工方式放置于载 具。
[0003] 再将该载具移至下一制程的工作机台，而后以人工方式取出晶圆，待该制程结束 后，以人工方式将晶圆放置回载具。
[0004] 由上所述之内容可知，晶圆制程中，晶圆与载具之间的分离与结合，其系依靠人工 方式进行。然以人工方式系造成晶圆的装载与分离之时间过于冗长，而且晶圆易于人工搬 运的过程中提高晶圆毁损的风险性，故各厂商无不思考如何降低人工使用的可能性。
【发明内容】
[0005] 本实用新型目的在于提供一种晶圆与晶圆载具接合分离机及其晶圆接合分离升 降单元，以自动化的方式将一晶圆与一晶圆载具二者相互分离或接合，藉以达到自动化装 载或卸除，进而降低人工装载的时间，以及降低晶圆破损的可能性。
[0006] 为达到上述目的，本实用新型采用的晶圆与晶圆载具接合分离机技术方案是：一 种晶圆与晶圆载具接合分离机，其具有：
[0007] -晶圆定位单元；
[0008] -晶圆载具供应单兀，其系相邻于该晶圆定位单兀；
[0009] -晶圆载具位移单元，其系相邻于该晶圆载具供应单元；
[0010] -晶圆载具定位单兀，其系相邻于晶圆载具供应单兀；
[0011] -晶圆移动单兀，其系相邻于该晶圆定位单兀；以及
[0012] 一晶圆接合分离升降单元，其系设于该晶圆载具定位单元的下方。
[0013] 上述方案中，还具有至少一晶圆匣盒区，该晶圆匣盒区系相对于该晶圆定位单兀。
[0014] 上述方案中，还具有至少一晶圆载具匣盒区，该晶圆载具匣盒区系相邻于该晶圆 载具定位单元，该晶圆载具匣盒区具有至少一晶圆载具匣盒升降模组。
[0015] 上述方案中，所述晶圆定位单元具有一晶圆旋转器与一晶圆定位感应器，该晶圆 定位感应器系设于该晶圆旋转器的上方。所述晶圆定位单元还具有一晶圆序号读取器，该 晶圆序号读取器系设于该晶圆旋转器的上方。
[0016] 上述方案中，所述晶圆载具供应单元具有一晶圆载具升降模组与一晶圆载具吸附 模组，该晶圆载具吸附模组系设于该晶圆载具升降模组的上方。所述晶圆载具供应单元还 具有一晶圆载具轨道模组，该晶圆载具轨道模组系设于该晶圆载具升降模组与该晶圆载具 吸附模组之间，或者该晶圆载具轨道模组系设于该晶圆载具升降模组的上方。
[0017] 上述方案中，所述晶圆载具位移单元具有一线性移动模组与一晶圆载具拿持模 组，该线性移动模组系位于该晶圆吸附模组的一侧，该晶圆载具拿持模组系耦接该线性移 动模组，并且位于该晶圆载具拿持模组之间。所述线性移动模组为一线性移动装置、一线性 滑轨总成、一线性轨道移动总成或一线性链条移动总成；该晶圆载具拿持模组为一夹具总 成、一钩具总成或一推具总成。
[0018] 为达到上述目的，本实用新型采用的晶圆接合分离升降单元的技术方案是：一种 晶圆接合分离升降单元，其设于一晶圆载具定位单元的下方，该晶圆接合分离升降单元具 有：
[0019] 一升降模组；以及
[0020] 一晶圆承台，其系设于该升降模组的顶端。
[0021] 上述方案中，所述晶圆载具定位单元还具有一晶圆载具序号读取器和晶圆序号读 取器。
[0022] 本实用新型晶圆与晶圆载具接合分离机，是以自动化进行晶圆之装载与卸除的动 作，藉以提升工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0023] 图1为本实用新型实施例晶圆与晶圆载具接合分离机的立体示意图；
[0024] 图2为本实用新型实施例晶圆与晶圆载具接合分离机的局部立体示意图；
[0025] 图3为本实用新型实施例晶圆与晶圆载具接合分离机的另一角度局部立体示意 图。晶圆旋转器
[0026] 以上附图中：10、晶圆匣盒区；100、晶圆匣盒；11、晶圆定位单元；110、晶圆；111、 晶圆旋转器；112晶圆定位感应器；113、晶圆序号读取器；12、晶圆载具供应单元；120、晶圆 载具升降模组；121、晶圆载具吸附模组；122、晶圆载具；123、晶圆载具轨道模组；13、晶圆 载具位移单元；130、线性移动模组；131、晶圆载具拿持模组；14、晶圆载具定位单元；140、 晶圆载具感应器；141、晶圆载具序号读取器；15、晶圆载具匣盒区；150、晶圆载具匣盒； 151、晶圆匣盒升降模组；16、晶圆移动单元；17、晶圆接合分离升降单元。
【具体实施方式】
[0027] 下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
[0028] 实施例：参见图1-3所示：
[0029] 请配合参考第1图至与第3图所示，本创作系一种晶圆与晶圆载具接合分离机，其 具有至少一晶圆匣盒区10、一晶圆定位单元11、一晶圆载具供应单元12、一晶圆载具位移 单元13、一晶圆载具定位单元14、至少一晶圆载具匣盒区15、与一晶圆移动单元16与晶圆 接合分离升降单元17。
[0030] 晶圆匣盒区10的数量系能够为一个或多个，其系依实际使用状况，而增减。
[0031] 晶圆定位单元11系相对于晶圆匣盒区10,晶圆定位单元11具有一晶圆旋转器 111、一晶圆定位感应器112与一晶圆序号读取器113。晶圆旋转器111系能够使一晶圆110 旋转。晶圆定位感应器112系设于晶圆旋转器111的上方，晶圆定位感应器112系能够感 应旋转中之晶圆110所具有的定位标记，该定位标记如缺角或一平边。晶圆序号读取器113 系设于晶圆旋转器111的上方，晶圆序号读取器113系能够读取位于晶圆110表面之序号。 晶圆序号读取器113的设置位置系不限定，故晶圆序号读取器113亦可设于晶圆载具定位 单元14,其系未示于图中，所以晶圆序号读取器113的设置位置不限定。
[0032] 晶圆载具供应单元12系相邻于晶圆定位单元11，如第2图与第3图所示，晶圆载 具供应单元12具有一晶圆载具升降模组120、与一晶圆载具吸附模组121与一晶圆载具轨 道模组123。晶圆载具升降模组120系能收纳至少一或多个晶圆载具122,晶圆载具吸附模 组121系设于晶圆载具升降模组120的上方。晶圆载具轨道模组123系设于晶圆载具升降 模组120与晶圆载具吸附模组121之间，或者晶圆载具轨道模组123系设于晶圆载具升降 模组120的上方。晶圆载具轨道模组123系朝向两侧开展，该开展的距离系可供一晶圆载 具122通过。晶圆载具升降模组120系使得一晶圆载具122上升，该晶圆载具122系通过 开展之晶圆载具轨道模组123,并高于晶圆载具轨道模组123,晶圆载具吸附模组121系下 降并吸附晶圆载具122,而当晶圆载具吸附模组121吸附晶圆载具122后，晶圆载具吸附模 组121系连同晶圆载具122上升，晶圆载具升降模组120系下降至一预备位置。晶圆载具 轨道模组123系回覆至最初位置，即原收拢状态，晶圆载具吸附模组121系下降，以使晶圆 载具122置放于晶圆载具轨道模组123。晶圆载具吸附模组121系停止吸附晶圆载具122， 并上升至最初位置。
[0033] 晶圆载具位移单兀13系相邻于晶圆载具供应单兀12。晶圆载具位移单兀13具 有一线性移动模组130与一晶圆载具拿持模组131。线性移动模组130系位于晶圆吸附模 组121的一侧，线性移动模组130系能够一线性移动装置、一线性滑轨总成、一线性轨道移 动总成或一线性链条移动总成。晶圆载具拿持模组131系耦接线性移动模组130,并且晶圆 载具拿持模组131系位于晶圆载具升降模组120与晶圆载具吸附模组121之间。晶圆载具 拿持模组131能够为一夹具总成、一钩具总成或一推具总成。晶圆载具拿持模组131系拿 持、钩动或推动位于晶圆载具轨道模组123之晶圆载具122,以下仅以拿持晶圆载具122论 述，而非限制。该夹具总成系为一夹持装置之组合，其系能够拿持晶圆载具122。该钩具总 成系为钩具装置之组合，其系能够钩拉晶圆载具122。该推具总成系为一推杆装置之组合， 其系能够推动晶圆载具122。
[0034] 晶圆载具定位单兀14系相邻于晶圆载具供应单兀12,晶圆载具定位单兀14具有 至少一晶圆载具感应器140与一晶圆载具序号读取器141。如上所述，当晶圆载具拿持模组 131系拿持晶圆载具122后，线性移动模组130系将晶圆载具拿持模组131移动至晶圆载具 定位单元14的上方，晶圆载具拿持模组131系放开晶圆载具122,以使晶圆载具122放置 于晶圆载具定位单元14,线性移动模组130系使晶圆载具拿持模组131回到最初位置。晶 圆载具感应器140系感应位于晶圆载具定位单元14是否确实定位，若无确实定位，则该晶 圆与晶圆载具接合分离机系发出一警讯，以使工作人员得知晶圆载具122未确实定位。晶 圆载具序号读取器141系位于晶圆载具定位单元14的上方，晶圆载具序号读取器141系能 够读取位于晶圆载具122之序号。当晶圆与晶圆载具接合时，可将晶圆载具122之序号与 上述之晶圆110之序号分别读取并连结，以作为后续制程确认与比对晶圆与晶圆载具的依 据，更能够迅速判别晶圆110的制程阶段。
[0035] 若更进一步论述，晶圆载具序号读取器141系能够读取晶圆载具122之序号，晶圆 序号读取器113系能够读取晶圆110之序号，该些序号系能够分别读取并连结，或者共同读 取并连结，其系依取决于晶圆序号读取器113所设置的位置，该些序号系用于判别晶圆110 的制程阶段。
[0036] 晶圆载具匣盒区15系相邻于晶圆载具定位单兀14,或者相邻于晶圆匣盒区10。如 上述之晶圆匣盒区10,晶圆载具匣盒区15的数量系能够为一个或多个，其系依实际使用状 况，而增减。晶圆载具匣盒区15具有至少一晶圆匣盒升降模组151。当晶圆载具匣盒150 放置于晶圆匣盒升降模组151，晶圆匣盒升降模组151系能够上升或下降，以使晶圆载具匣 盒150随之升降。
[0037] 晶圆移动单元16系位于晶圆匣盒区10与晶圆定位单元11之间。晶圆移动单元 16系能够为一挟持总成或一机械手臂总成。
[0038] 晶圆接合分离升降单元17系设于晶圆载具定位单元14的下方，晶圆接合分离升 降单元17具有一晶圆承台与一升降模组，晶圆承台系设于升降单元的顶端。
[0039] 本实施例能够进行两种|吴式，一为晶圆与晶圆载具接合|吴式，另一为晶圆与晶圆 载具分离模式。以下系先以晶圆与晶圆载具接合模式进行论述。
[0040] 于进行晶圆与晶圆载具接合模式进行论述，请再配合参考第1图至第3图所示，晶 圆匣盒区10系具有一晶圆匣盒100,晶圆匣盒100中具有至少一晶圆110。
[0041] 晶圆移动单元16将晶圆110由晶圆匣盒100中取出，并放置于晶圆定位单元11。 如上所述，晶圆定位单元11系定位晶圆110,并读取晶圆110的序号。该序号系用于判别该 晶圆110之制程阶段。
[0042] 晶圆载具供应单兀12系提供一晶圆载具122。晶圆载具位移单兀13系将晶圆载 具122移动至晶圆载具定位单兀14。晶圆载具定位单兀14系确认晶圆载具122是否有确 实定位，并读取晶圆载具122的序号。若晶圆载具122已确实定位，晶圆接合分离升降单元 17的晶圆承台系受到升降模组的驱动而上升，该晶圆承台系高于位于晶圆载具定位单元 14之晶圆载具122。晶圆移动单元16系将已定位之晶圆110自晶圆定位单元14移动至该 晶圆承台，并将晶圆110放置于晶圆承台。
[0043] 待晶圆110已放直于晶圆承台后，升降|旲组系使晶圆承台下降，该晶圆承台系下 降至低于晶圆载具122之位置，以使晶圆100位于晶圆载具122中。具有晶圆110之晶圆 载具122系移入位于晶圆载具匣盒区15之晶圆载具匣盒150中。晶圆载具122为一框体， 框体能够为环状、矩形或多边形。晶圆匣盒升降模组151系配合晶圆载具匣盒150内之晶 圆载具122的数量而升降，以利晶圆载具122之移入。
[0044] 若于进行晶圆与晶圆载具分离模式时，位于晶圆载具匣盒区15之晶圆载具匣盒 150中之具有晶圆110之晶圆载具122系被移动至晶圆载具定位单元14。上述之升降模组 系使晶圆承台上升，以将晶圆110与晶圆载具122 _者相分尚。
[0045] 晶圆移动单兀16系移动位于晶圆承台之晶圆110,并将晶圆110移入位于晶圆匣 盒区10之晶圆匣盒100中，或者晶圆移动单元16移动至晶圆定位单元11，待晶圆110定位 后，再将晶圆122移入晶圆匣盒100中。
[0046] 位于晶圆载具定位单兀14且未具有晶圆110之晶圆载具122系被晶圆载具位移 单元13移动至晶圆载具供应单元12。晶圆载具吸附模组121系下降并吸附晶圆载具122， 晶圆载具轨道模组123系展开，晶圆载具升降模组120系上升以承载晶圆载具122。待晶 圆载具升降模组120承载晶圆载具122后，晶圆载具吸附模组121停止吸附晶圆载具122 并回复至最初位置，晶圆载具升降模组120系下降以收纳晶圆载具122,晶圆载具轨道模组 123系回到最初位置。晶圆匣盒升降模组151系配合晶圆载具匣盒150内之晶圆载具122 的数量而升降，以利晶圆载具122的移出。
[0047] 综合上述，本实施例系使用晶圆移动单元运送晶圆，故无须使用人工，其系可大量 节省人工支出。
[0048] 再者，本实施例系更使用晶圆定位单元与晶圆载具定位单元，二者系能够分别定 位晶圆与晶圆载具，藉以提升后续晶圆加工之精度。
[0049] 再一，本实施例之晶圆匣盒区与晶圆载具匣盒区，二者系能够依实际使用状况而 增减，故能够分别设置单一或多个晶圆匣盒与晶圆载具匣盒，藉由自动化以提升工作效率。
[0050] 再二，本实施例系能够分别执行晶圆与晶圆载具接合模式，以及晶圆与晶圆载具 分离模式，故本创作能够以自动化进行晶圆之装载与卸除的动作，藉以提升工作效率。
[0051] 上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术 的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。 凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之 内。
【权利要求】
1. 一种晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：其具有： 一晶圆定位单元； 一晶圆载具供应单元，其系相邻于该晶圆定位单元； 一晶圆载具位移单元，其系相邻于该晶圆载具供应单元； 一晶圆载具定位单元，其系相邻于晶圆载具供应单元； 一晶圆移动单元，其系相邻于该晶圆定位单元；以及 一晶圆接合分离升降单元，其系设于该晶圆载具定位单元的下方。
2. 根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：还具有至少一晶圆 匣盒区，该晶圆匣盒区系相对于该晶圆定位单元。
3. 根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：还具有至少一晶圆 载具匣盒区，该晶圆载具匣盒区系相邻于该晶圆载具定位单元，该晶圆载具匣盒区具有至 少一晶圆载具匣盒升降模组。
4. 根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述晶圆定位单元 具有一晶圆旋转器与一晶圆定位感应器，该晶圆定位感应器系设于该晶圆旋转器的上方。
5. 根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述晶圆载具供应 单元具有一晶圆载具升降模组与一晶圆载具吸附模组，该晶圆载具吸附模组系设于该晶圆 载具升降模组的上方。
6. 根据权利要求5所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述晶圆载具供应 单元还具有一晶圆载具轨道模组，该晶圆载具轨道模组系设于该晶圆载具升降模组与该晶 圆载具吸附模组之间，或者该晶圆载具轨道模组系设于该晶圆载具升降模组的上方。
7. 根据权利要求1所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述晶圆载具位移 单元具有一线性移动模组与一晶圆载具拿持模组，该线性移动模组系位于该晶圆吸附模组 的一侧，该晶圆载具拿持模组系耦接该线性移动模组，并且位于该晶圆载具拿持模组之间。
8. 根据权利要求7所述晶圆与晶圆载具接合分离机，其特征在于：所述线性移动模组 为一线性移动装置、一线性滑轨总成、一线性轨道移动总成或一线性链条移动总成；该晶圆 载具拿持模组为一夹具总成、一钩具总成或一推具总成。
9. 一种晶圆接合分离升降单元，其特征在于：其设于一晶圆载具定位单元的下方，该 晶圆接合分离升降单元具有 ： 一升降模组；以及 一晶圆承台，其系设于该升降模组的顶端。
10. 根据权利要求9所述晶圆接合分离升降单元，其特征在于：所述晶圆载具定位单元 还具有晶圆载具序号读取器和晶圆序号读取器。
【文档编号】H01L21/677GK203850265SQ201420220838
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年5月4日 优先权日:2014年5月4日
【发明者】赖宏能 申请人:苏州均华精密机械有限公司