光罩传送夹具的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型揭示了一种光罩传送夹具，用于光罩的转移，包括手柄，一对内手臂及一对外手臂，所述外手臂包围所述内手臂，所述一对内手臂与一对外手臂皆设置于所述手柄的同一端两侧。在移动光罩时，由于具有更多的夹持点，能够有效的保持光罩的稳定性，防止光罩受到损坏。
【专利说明】光罩传送夹具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种光罩传送夹具。
【背景技术】
[0002]光罩(mask)是在光刻工艺中不可缺少的一部分,光罩质量的优劣直接影响着工厂半导体制造能力强弱，那么除了在光罩制造时提升工艺水平，如何在制造完成后防止光罩受损也是一个重要的问题，尤其是一些复杂的光罩，通常也不具有备份，因此，对光罩在平时加以保护就显得尤为重要。
[0003]通常,光罩自制作完成后，就面临着各种被转移，例如从一个光罩盒(box)移到另一个之中，或者在光罩盒与晶盒(cassette)之间转移，以及为了去除表面颗粒杂质(particle)或者由于在操作中的不当所附着的指纹等，都需要将光罩利用器件取出。
[0004]如图1所示，光罩10放置在晶盒(cassette) 20中，当需要将其移动时，利用夹具30，首先需要将其移出一部分。然而，如图2所示，很容易发生光罩一端脱离支撑架的情况，从而会歪斜甚至掉落，这就很容易导致光罩破损。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于，提供一种光罩传送夹具，以降低在传送光罩时可能造成光罩破损的几率。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光罩传送夹具，用于光罩的转移，包括手柄，一对内手臂及一对外手臂，所述外手臂包围所述内手臂，所述一对内手臂与一对外手臂皆设置于所述手柄的同一端两侧。
[0007]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述内手臂和外手臂皆包括垂直所述手柄的第一部分及垂直所述第一部分的第二部分，所述第一部分的一端连接所述手柄，另一端与所述第二部分的一端相连接，所述第二部分的另一端设置有接触端。
[0008]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述第一部分与手柄通过铰接件连接，所述第一部分以所述铰接件为轴绕所述手柄具有O?20°的旋转空间。
[0009]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述手柄上设置有与内手臂和外手臂相对应的内手臂锁和外手臂锁。
[0010]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述接触端为台阶状结构。
[0011]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述内手臂的第二部分之间的间距为160mm?180mm,所述内手臂的第二部分的长度为90mm?120mm。
[0012]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述外手臂的第二部分之间的间距为200mm?240mm,所述外手臂的第二部分的长度为130mm?160mm。
[0013]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述内手臂和外手臂的接触端在远离第二部分的一端对齐。
[0014]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述第二部分的另一端低于所述手柄所在平面。
[0015]可选的，对于所述的光罩传送夹具，所述内手臂的第二部分与所述手柄所在平面的夹角为140°?150°，所述外手臂的第二部分与所述手柄所在平面的夹角为170°?180。。
[0016]与现有技术相比，本实用新型提供的光罩传送夹具，设置有内手臂与外手臂，从而在夹持光罩时，具有更多的夹持点，能够很好的稳定光罩，防止在移动过大时光罩的掉落，防止了光罩破损的情况发生。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为现有技术中光罩的一种放置示意图；
[0018]图2为现有技术中光罩的一种放置不意图；
[0019]图3a为本实用新型一实施例中光罩传送夹具的俯视图；
[0020]图3b为本实用新型一实施例中光罩传送夹具的侧视图；
[0021]图4为本实用新型一实施例中光罩传送夹具外手臂张开时的俯视图；
[0022]图5为本实用新型一实施例中光罩传送夹具内外手臂皆张开的俯视图。
【具体实施方式】
[0023]下面将结合示意图对本实用新型的光罩传送夹具进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0024]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0025]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0026]本实用新型的核心思想在于，设置一光罩传送夹具，该光罩传送夹具包括有两对手臂，从而能够防止光罩在移动中发生偏斜，防止破损。基于该思想，请参考图3a_图3b，本实用新型提供的一种光罩传送夹具包括:手柄1，一对内手臂及一对外手臂，所述外手臂包围所述内手臂，所述一对内手臂与一对外手臂皆设置于所述手柄的同一端两侧。
[0027]所述内手臂包括第一部分21、第二部分22及接触端23，所述第一部分21的一端通过铰接件连接与所述手柄I另一端与所述第二部分22相连接，并且优选为固定连接，例如第一部分21与第二部分22可以是一体成型，所述第二部分22的另一端设置有接触端23，所述接触端23用于夹持光罩，较佳的，所述接触端设置成台阶状，从而起到更好的夹持效果。图3a示出的是所述光罩传送夹具处于夹持状态的样式，所述内手臂的第二部分22之间的距离LI为160mm?180mm,例如可以是160mm、170mm、175mm等。如图3b所示，所述内手臂的第二部分22的长度L3为90mm?120mm，例如可以是100mm、IlOmm等，且第二部分22为倾斜的，具体是远离手柄I的一端低于所述手柄I所在的平面，从而所述内手臂的第二部分22与设备I之间具有夹角Θ 1，其范围可以是140°?150°。所述外手臂具有与内手臂相似的结构，可结合图3a、图3b及对内手臂的描述加以获悉，在此不做赘述，所述外手臂与内手臂的区别在于，所述外手臂的第二部分32之间的距离L2大于所述内手臂的第二部分22之间的距离LI,例如可以是200_?240mm,较佳的，为200mm、215mm、220_等，所述外手臂的第二部分32的长度L4大于所述内手臂的第二部分22的长度L3，例如可以是130mm?160mm,较佳的，为140mm、145mm等，所述外手臂的第二部分32与所述手柄I之间的夹角Θ 2为170°?180°。
[0028]请参考图3a，为了进一步提高所述光罩传送夹具的可靠性，在所述手柄I上设置有与内手臂和外手臂相对应的内手臂锁11和外手臂锁12，用于控制内手臂与外手臂的开合，并控制内手臂与外手臂的状态。
[0029]请参考图4-图5，如图4中，外手臂通过外手臂锁12的控制处于打开状态，所述外手臂的第一部分31与所述手柄I的法向呈夹角α，其范围可以是O?20°。如图5中，在外手臂打开后，通过内手臂锁11的控制使得内手臂处于打开状态，通常，内手臂的第一部分21与外手臂的第一部分31所能够张开的角度相同。在内手臂与外手臂打开后，便可将光罩伸入，然后通过内手臂锁和外手臂锁将内手臂和外手臂与光罩夹紧，从而实现光罩的移动。利用本实用新型的光罩传送夹具，即便出现如图2所示的状况，由于具有内手臂的接触端与外手臂的接触端与光罩夹持，保证了光罩不易甚至不会出现向下掉落的情况，改善了在移动光罩时的风险。
[0030]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种光罩传送夹具，用于光罩的转移，其特征在于，包括手柄，一对内手臂及一对外手臂，所述外手臂包围所述内手臂，所述一对内手臂与一对外手臂皆设置于所述手柄的同一端两侧。
2.如权利要求1所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述内手臂和外手臂皆包括垂直所述手柄的第一部分及垂直所述第一部分的第二部分，所述第一部分的一端连接所述手柄，另一端与所述第二部分的一端相连接，所述第二部分的另一端设置有接触端。
3.如权利要求2所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述第一部分与手柄通过铰接件连接，所述第一部分以所述铰接件为轴绕所述手柄具有O?20°的旋转空间。
4.如权利要求3所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述手柄上设置有与内手臂和外手臂相对应的内手臂锁和外手臂锁。
5.如权利要求2所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述接触端为台阶状结构。
6.如权利要求2所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述内手臂的第二部分之间的间距为160mm?180mm,所述内手臂的第二部分的长度为90mm?120mm。
7.如权利要求2所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述外手臂的第二部分之间的间距为200mm?240mm,所述外手臂的第二部分的长度为130mm?160mm。
8.如权利要求2所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述内手臂和外手臂的接触端在远离第二部分的一端对齐。
9.如权利要求2所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述第二部分的另一端低于所述手柄所在平面。
10.如权利要求9所述的光罩传送夹具，其特征在于，所述内手臂的第二部分与所述手柄所在平面的夹角为140°?150°，所述外手臂的第二部分与所述手柄所在平面的夹角为 170。?180。。
【文档编号】H01L21/687GK203644751SQ201320878776
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年12月27日 优先权日:2013年12月27日
【发明者】吴苇 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司