一种扩散设备的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型公开了一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶、气源和扩散炉，所述源瓶和所述气源通过进气管连通，所述源瓶和所述扩散炉通过出气管连通，还包括补液部件和液位检测部件，所述液位检测部件用于检测所述源瓶内所述源液的实际液位，源瓶内源液的实际液位低于预设液位，所述补液部件为所述源瓶补充所述源液。与现有技术相比，上述扩散设备在原有源瓶的基础上，引入了补液部件和液位检测部件，当源瓶内实际液位低于预设液位时，由补液部件向源瓶补充源液，直至源液实际液位升高至预设液位处，使源瓶内源液量基本保持不变，以保证携带气体内的源液量基本恒定，从而提高太阳能电池片的方阻均匀性，进而提高其电性能。
【专利说明】一种扩散设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及扩散设备【技术领域】，特别涉及一种扩散设备，该扩散设备主要用于加工太阳能电池片。
【背景技术】
[0002]太阳能电池片的加工工艺流程包括制绒、扩散、湿法刻蚀、镀膜和丝网印刷等，其中，扩散工艺的主要目的在于进行磷掺杂，形成P-N结。
[0003]扩散工艺在扩散设备内进行，现结合图1来说明现有扩散设备的结构示意图。由图1可知，扩散设备主要包括气源P、源瓶2'和扩散炉3'，源瓶2'通过进气管4'与气源I'连通，通过出气管5'与扩散炉3'连通。扩散用源液存放在源瓶2'中，携带气体经由源瓶2'通过，与此同时携带一定量的源液至扩散炉3'管内进行扩散工艺。为了便于更好地理解源瓶、进气管和出气管的具体结构及连接方式，请一并参考图2和图3，其中，图2示出了图1中所示扩散设备的源瓶、进气管和出气管装配体的结构示意图，图3示出了图2中所示装配体的俯视示意图。
[0004]经扩散工艺处理后的硅片的质量控制参数为方阻，方阻与携带气体所携带的源液量有着密切的联系，而携带气体携带的源液量又受源瓶2'中的源液量限制。随着生产的不断进行源瓶2'中的源液量不断减少，势必造成携带气体携带的源液量的不断减少，这样将会造成产品的方阻值不均匀，进而影响到太阳能电池片成品的电性能。
[0005]有鉴于此，本领域技术人员亟待对现有扩散设备结构进行改进，以保证源瓶内源液量基本保持恒定，从而提高太阳能电池片的方阻均匀性，进而提高太阳能电池片的电性倉泛。
实用新型内容
[0006]针对上述缺陷，本实用新型的核心目的在于，提供一种用于加工太阳能电池片的扩散工艺的扩散设备，以保证源瓶内源液量基本保持恒定，从而提高太阳能电池片方阻的均匀性，进而优化太阳能电池的电性能。
[0007]本实用新型所提供的一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶、气源和扩散炉，所述源瓶和所述气源通过进气管连通，所述源瓶和所述扩散炉通过出气管连通，还包括补液部件和液位检测部件，所述液位检测部件用于检测所述源瓶内所述源液的实际液位，所述源瓶中所述源液的实际液位低于预设液位，所述补液部件为所述源瓶补充所述源液。
[0008]优选地，所述补液部件包括补液瓶和输液管，所述液位检测部件为通气管；所述补液瓶位于所述源瓶的上方，所述输液管的一端位于所述补液瓶内所述源液的实际液位以下，另一端位于所述源瓶内所述源液的实际液位以下，所述通气管的一端位于所述补液瓶内所述源液的液位以上，另一端位于所述源瓶内所述预设液位处。
[0009]优选地，所述输液管位于所述补液瓶中端口与所述补液瓶的底端上表面平齐。[0010]优选地，所述通气管位于所述补液瓶一端的上端口靠近所述补液瓶的顶端。
[0011]优选地，所述输液管和所述通气管中至少一者包括两段刚性管，两段所述刚性管通过柔性管连通，所述输液管和/或所述通气管通过两段所述刚性管中一者与所述补液瓶连通，另一者与所述源瓶连通。
[0012]优选地，所述柔性管具体为耐酸性柔性管。
[0013]本实用新型所提供的一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶、气源和扩散炉，源瓶和气源通过进气管连通，源瓶和扩散炉通过出气管连通，还包括补液部件和液位检测部件，液位检测部件用于检测所述源瓶内所述源液的实际液位，所述源瓶内所述源液的实际液位低于预设液位，补液部件为源瓶补充源液。
[0014]与现有技术相比，本方案所提供的扩散装置在原有源瓶的基础上，引入了补液部件和液位检测部件，当源瓶内实际液位低于预设液位时，由补液部件向源瓶补充源液直至源液实际液位升高至预设液位，将源瓶内源液的实际液位控制基本上与预设液位平齐，以保证携带气体内的源液量基本恒定，从而实现提高太阳能电池片方阻的均匀性的目的。
[0015]本实用新型的一优选方案中，补液部件包括补液瓶和输液管，液位检测部件为通气管；补液瓶位于源瓶的上方，输液管的一端位于补液瓶内源液的实际液位以下，另一端位于源瓶内源液的实际液位以下，通气管的一端位于补液瓶内源液的液位以上，另一端位于源瓶内预设液位处。
[0016]当源瓶内源液的实际液位与预设液位平齐时，通气管上位于源瓶内一端封闭，补液瓶内位于源液实际液位以上空间内压强恒定，补液瓶内源液停止流动；当源瓶内源液的实际液位低于预设液位时，通气管上位于源瓶内一端开启，补液瓶内位于源液实际液位以上空间内压强增大，在该压强作用下补液瓶内源液由输液管流动至源瓶，直至源瓶内实际液位与预设液位平齐。
[0017]本方案利用静压力基本方程，在现有源瓶的基础上，采用位于源瓶上方的补液瓶、输液管和通气管，将源瓶和补液瓶巧妙方式连通，通过简单的机械结构实现了对源瓶源液的自动补充，使源瓶内源液量的基本保持恒定的目的，而未改变扩散设备中其他结构，也为采用复杂的电液控制方式，从而具有改造工艺简单、周期短和成本低的特点。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1示出了现有扩散设备的结构示意图；
[0019]图2示出了图1中所示扩散设备的源瓶、进气管和出气管装配体的结构示意图；
[0020]图3示出了图2中所示装配体的俯视示意图；
[0021]图4示出了本实用新型所提供扩散设备具体实施例的结构示意图；
[0022]图5示出了图4中所示扩散装置中源瓶的主视示意图；
[0023]图6示出了图4中所示源瓶的俯视示意图。
[0024]图1至图3中附图标记与各个部件名称之间的对应关系:
[0025]I'气源、2'源瓶、3'扩散炉、4'进气管、5'出气管。
[0026]图4至图6中附图标记与各个部件名称之间的对应关系:
[0027]I源瓶、2进气管、3出气管、4补液瓶、5输液管、6通气管、7温度检测装置。【具体实施方式】
[0028]本实用新型的核心在于，提供一种用于扩散工艺的扩散设备，以解决因现有扩散设备携带气体内源液量不一致，而导致经扩散工艺处理后电池片方阻均匀性差的问题。
[0029]不失一般性，现结合附图来说明本实用新型所提供的用于加工太阳能电池片的扩散工艺的扩散设备的具体结构。
[0030]请参见图4，图4示出了本实用新型所提供扩散设备具体实施例的结构示意图。
[0031]如图4所示，本方案中所提供的扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶1、进气管2和出气管3 ;其中，进气管2的一端位于源瓶I内源液的实际液位以下，另一端与扩散设备的气源连通，出气管3的一端位于源瓶I内源液的实际液位以上；还包括补液瓶4、输液管5和通气管6,输液管5的一端位于源瓶I内源液实际液位下方，另一端位于补液瓶4内源液实际液位下方，通气管6的一端为位于源瓶I内源液实际液位上方，另一端位于补液瓶4内源液实际液位上方。为了便于更好地理解上述扩散设备中源瓶I的具体结构，请一并参见图5和图6，其中，图5示出了图4中所示扩散装置中源瓶的主视示意图，图6示出了图4中所示源瓶的俯视示意图。
[0032]当源瓶I内源液的实际液位与预设液位平齐时，通气管6上位于源瓶I内一端封闭，补液瓶4内位于源液实际液位以上空间内压强不变，补液瓶4内源液静止；当源瓶I内源液的实际液位低于预设液位时，通气管6上位于源瓶I内一端开启，补液瓶4内位于源液实际液位以上空间内压强增大，在该增加后压强的作用下，补液瓶4内源液由输液管5补充至源瓶1，直至源瓶I内实际液位升高至预设液位处。
[0033]与现有技术相比，本方案所提供的扩散装置在原有源瓶的基础上，引入了由补液瓶4和输液管5构成的补液部件，和由通气管6形成的用于检测源瓶I内实际液位与预设液位关系的液位检测部件。当源瓶I内实际液位低于预设液位时，由补液部件向源瓶I补充源液，直至源液实际液位升高至预设液位，使源瓶I内源液量基本保持不变，以保证携带气体内的源液量基本恒定，从而实现提高太阳能电池片方阻的均匀性的目的。
[0034]需要说明的是，本方案在现有源瓶的基础上，采用位于源瓶I上方的补液瓶4、输液管5和通气管6，将源瓶I和补液瓶4巧妙的方式连通，通过简单的机械结构实现了对源瓶I内源液的自动补充，使源瓶I内源液量的基本保持恒定的目的，而未改变扩散设备中其他结构，也为采用复杂的电液控制方式，从而具有改造工艺简单、周期短和成本低的特点。
[0035]可以理解，本方案采用其他结构的补液部件和液位检测部件，亦可实现实时补充源瓶I内源液，以保持源瓶I内源液量基本保持恒定的目的。接下来通过两个【具体实施方式】来加以说明。
[0036]1、采用电子液位计作为液位检测部件，再配以源液箱、液压泵及控制单元；其中，液压泵的进油端与盛放有源液的源液箱连通，其出油端与源瓶I连通，控制单元的信号接收端与电子液位计连接，其信号输出端与液压泵的电源连接；当实际液位与预设液位平齐时，控制单元控制液压泵停止向源瓶I补充源液，当实际液位低于预设液位时，控制单元控制液压泵工作向源瓶I补充源液，直至实际液位升高至预设液位处。
[0037]2、采用电子液位计作为液位检测装置，再配具体实施例一中倒置的补液瓶4和输液管5，并再源瓶I和补液瓶4之间设置电磁开关阀，以控制源瓶I和补液瓶4的导通和断开，且电磁开关阀的信号接收端与电子液位计连接；当实际液位值与预设液位平齐时，电磁开关阀关闭，补液瓶4和源瓶I断开，当实际液位低于预设液位时，电磁开关阀开启，补液瓶4在源液在重力作用下补充至源瓶1，直至实际液位升高至预设液位处。
[0038]当然，在满足自动补充源液功能基础上，本方案中的补液部件和液位检测部件也可以采用本领域技术人员常用的其他结构，因此，上述三个具体实施例的任何等同技术方案均在本实用新型的保护范围之内。
[0039]进一步，如图3所示，本方案中输液管5位于补液瓶4中端部与补液瓶4的底部内壁平齐，而通气管6位于补液瓶4中端部靠近补液瓶4的顶部，这种结构在保证补液瓶4内存储源液量最大化的基础上，能将补液瓶4内源液完全用完，从而可提高源液的利用率、降低太阳能电池片制造成本。当然，在满足补液功能、加工工艺及装配工艺的基础上，通气管6和输液管5与补液瓶4亦可米用其他连通方式。
[0040]此外，本方案中输液管5和通气管6均包括两段刚性管，两段刚性管通过柔性管连接，输液管5和通气管6通过两段刚性管中一者与补液瓶4连通，另一者与源瓶I连通。通过上述结构的输液管5和通气管6，一方面可以实现源瓶I和补液瓶4的柔性化连接，以符合不同安装空间的实际要求，从而可拓展扩散设备的适用范围，另一方面可直接采用市面现有的源瓶作为补液瓶4，从而可简化对现有扩散设备的改进难度，降低改进成本。
[0041]需要说明的是，由于扩散工艺中通常采用POCl3(三氯氧磷)作为扩散用源液，而POCl3遇水分解后生产酸性物质，因此，本方案中采用耐酸性柔性管，以提高扩散设备的使用寿命。当然，柔性管的具体材质可根据所采用源液的特性而定。
[0042]此外，由于POCl3(三氯氧磷)的特性限定，在实际使用过程中需要控制其温度，为此，本方案中源瓶I和补液瓶4中均设置有温度检测装置7，以实时监测源液温度，并将具体温度值传输至扩散设备的控制单元，以使源液温度符合工艺要求。当然，在满足温度控制要求的基础上，本方案中可仅在源瓶I或补液瓶4中一者设置该温度检测装置7。
[0043]以上所述仅为本实用新型的优选实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的权利要求保护范围之内。
【权利要求】
1.一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶(I)、气源和扩散炉，所述源瓶(I)和所述气源通过进气管(2)连通，所述源瓶(I)和所述扩散炉通过出气管(3)连通，其特征在于，还包括补液部件和液位检测部件，所述液位检测部件用于检测所述源瓶(I)内所述源液的实际液位，所述源瓶中所述源液的实际液位低于预设液位，所述补液部件为所述源瓶(I)补充所述源液。
2.根据权利要求1所述的扩散设备，其特征在于，所述补液部件包括补液瓶(4)和输液管(5)，所述液位检测部件为通气管(6);所述补液瓶(4)位于所述源瓶(I)的上方，所述输液管(5)的一端位于所述补液瓶(4)内所述源液的实际液位以下，另一端位于所述源瓶(I)内所述源液的实际液位以下，所述通气管(6)的一端位于所述补液瓶(4)内所述源液的液位以上，另一端位于所述源瓶(I)内所述预设液位处。
3.根据权利要求2所述的扩散设备，其特征在于，所述输液管(5)位于所述补液瓶(4)中端口与所述补液瓶(4)的底端上表面平齐。
4.根据权利要求2或3所述的扩散设备，其特征在于，所述通气管(6)位于所述补液瓶(4)一端的上端口靠近所述补液瓶(4)的顶端。
5.根据权利要求2所述的扩散设备，其特征在于，所述输液管(5)和所述通气管(6)中至少一者包括两段刚性管，两段所述刚性管通过柔性管连通，所述输液管(5)和/或所述通气管(6)通过两段所述刚性管中一者与所述补液瓶(4)连通，另一者与所述源瓶(I)连通。
6.根据权利要求5所述的扩散设备，其特征在于，所述柔性管为耐酸性柔性管。
【文档编号】H01L31/18GK203513833SQ201320645220
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年10月18日 优先权日:2013年10月18日
【发明者】张术军, 李建朋, 郑志勇, 石亚芬, 高奎, 张继伟 申请人:天津英利新能源有限公司