减薄柔性三结砷化镓太阳能电池的利记博彩app
【专利摘要】本实用新型涉及一种减薄柔性三结砷化镓太阳能电池，包括GaInP/GaAs/Ge三结砷化镓外延片，外延片背光面上的下电极、外延片受光面上的上电极和上电极上的减反射膜，其特点是：所述外延片的厚度去薄至0.14mm以下；所述上电极上制有梳状密栅形栅线。本实用新型由于减薄型的衬底，使外延片厚度为0.14mm以下，由于减小了电池的厚度，有效降低了电池的重量，大大提高太阳电池的功率/重量，并且提高了电池的柔韧性，延长了电池的使用寿命；由于上电极采用了梳状密栅形栅线结构，有效减小了遮光功率损失与串联电阻功率损失之和，提高了电池的光电转换效率。
【专利说明】减薄柔性三结砷化镓太阳能电池【技术领域】[0001]本实用新型属于太阳能电池【技术领域】，特别是涉及一种减薄柔性三结砷化镓太阳 能电池。【背景技术】[0002]随着砷化镓太阳能电池技术的不断发展，砷化镓太阳能电池由于具有高光电转换 效率以及良好的可靠性逐渐成为了倍受青睐的新一代高性能长寿命空间主电源。上世纪80 年代初，航天飞行器空间主电源尤其是小卫星空间电源系统开始应用砷化镓太阳能电池， 砷化镓组件在空间电源领域的应用比例日益增大，目前已超过90%。砷化镓太阳能电池已成 为太阳能电池领域的应用与研究的热点。[0003]目前，三结砷化镓太阳能电池已凭借高光电转换效率、高抗辐射能力等优势基本 上取代了单结砷化镓太阳能电池。虽然三结砷化镓太阳能电池与单结砷化镓太阳能电池采 用的原材料基本相同，但由于三结砷化镓太阳能电池有三个P-N结，外延结构复杂，而每一 层外延生长质量都直接影响整个砷化镓太阳能电池的性能，并且由于三结砷化镓电池厚度 较大、功率/重量低、柔性差，并且电池使用寿命低。
【发明内容】
[0004]本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题而提供厚度薄、重量轻、功率/重 量高、柔韧性好、使用寿命长、牢固可靠的减薄柔性三结砷化镓太阳能电池。[0005]本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题，采用如下技术方案:[0006]减薄柔性三结砷化镓太阳能电池,包括GalnP/GaAs/Ge三结砷化镓外延片，夕卜延 片背光面上的下电极、外延片受光面上的上电极和上电极上的减反射膜，其特点是:所述外 延片的厚度去薄至0.14mm以下；所述上电极上制有梳状密栅形栅线。[0007]本实用新型还可以采用如下技术措施:[0008]所述上电极为Au-Ge-Ag-Au结构上电极；所述下电极为Au-Ge-Ag结构下电极。[0009]所述减反射膜为TiO2Al2O3减反射膜。[0010]所述上电极的厚度为50nm的Au、20nm的Ge、300nm的Ag和50nm的Au ;所述下电 极的厚度为50nm的Au、30nm的Ge和4000nm的Ag。[0011]所述减反射膜的厚度为60nm的TiO2和90nm的A1203。[0012]本实用新型具有的优点和积极效果:[0013]1、本实用新型采用了减薄型的衬底，使外延片厚度为0.14mm以下，由于减小了电 池的厚度，有效降低了电池的重量，大大提高太阳电池的功率/重量，并且提高了电池的柔 韧性，延长了电池的使用寿命；由于上电极采用了梳状密栅形栅线结构，有效减小了遮光功 率损失与串联电阻功率损失之和，提高了电池的光电转换效率。[0014]2、本实用新型采用Au-Ge-Ag-Au和Au-Ge-Ag作为收集光生电流的上、下电极材料 体系，与电池半导体材料形成良好的欧姆接触，有效提高了上、下电极的可焊性和牢固度。[0015]3、本实用新型采用Ti02、Al2O3材料作为减反射膜，能在短波段获得很好的减反射效果，有效最低了电池表面的反射率，使短路电流的增益达到最高。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型减薄柔性三结砷化镓太阳能电池结构主视示意图；
[0017]图2是图1中上电极的俯视示意图；
[0018]图3是本实用新型电池表面反射率曲线图。
[0019]图中的标号分别为:1-下电极；2_外延片；3_上电极；4_减反射膜；5_栅线。【具体实施方式】
[0020]为能进一步公开本实用新型的
【发明内容】
、特点及功效，特例举以下实例并结合附图1-3进行详细说明如下:
[0021]减薄柔性三结砷化镓太阳能电池,包括GalnP/GaAs/Ge三结砷化镓外延片，夕卜延片背光面上的下电极、外延片受光面上的上电极和上电极上的减反射膜。
[0022]本实用新型的创新点在于:
[0023]所述外延片的厚度去薄至0.14mm以下；所述上电极上制有梳状密栅形栅线。
[0024]本实用新型的创新点还包括:
[0025]所述上电极为Au-Ge-Ag-Au结构上电极；所述下电极为Au-Ge-Ag结构下电极。
[0026]所述减反射膜为TiO2Al2O3减反射膜。
[0027]所述上电极的厚度为50nm的Au、20nm的Ge、300nm的Ag和50nm的Au ;所述下电极的厚度为50nm的Au、30nm的Ge和4000nm的Ag。
[0028]所述减反射膜的厚度为60nm的TiO2和90nm的A1203。
[0029]本实用新型减薄柔性三结砷化镓太阳能电池的制作过程:
[0030]⑴减薄衬底
[0031]选用购买厚度为0.18mm±0.02mm的GalnP/GaAs/Ge三结砷化镓外延片。
[0032]如图1所示，外延片2的上层面为外延片的受光面，用涂胶机在外延片的受光面旋涂PZ2731型胶，放入80?100°C的烘箱中烘烤20?60s，将外延片的受光面被保护起来；然后将外延片放入比例为双氧水:氢氟酸=200ml:100ml的溶液中，腐蚀减薄衬底，使外延片厚度至0.14mm以下，取出后用去离子水清洗2?3次，完成对外延片上衬底的减薄；然后放入丙酮中浸泡5?lOmin，去离子水清洗2?3次，用甩干机甩干，完成去胶的过程。由于减小了外延片上衬底的厚度，减轻了外延片的重量，提高了外延片的柔韧性，使得电池使用寿命得到提闻。
[0033]⑵光刻外延片
[0034]将减薄好的外延片用涂胶机在外延片的受光面涂光刻胶后，放入60?100°C的烘箱中烘烤20?40s。根据图2中梳状密栅形栅线的图形制作好光刻板，通过光刻机对受光面进行光刻，光刻时间为2?6s ;然后将光刻好的外延片放入显影液中显影20?35s后；在去离子水中清洗6?8次，用甩干机甩干，外延片的受光面上形成梳状密栅形栅线槽5作为蒸镀上电极的图形；
[0035]⑶蒸镀上电极[0036]按照体积比硫酸:双氧水=3:1配制出腐蚀液，将光刻好的外延片放入腐蚀液中腐 蚀25?45s，取出后用去离子水清洗2?3次；再将外延片放入浓度20%的盐酸溶液中腐 蚀20?30s，去离子水清洗2?3次，用甩干机甩干，腐蚀清洗掉外延片的受光面上栅线槽 内的杂质。[0037]将外延片装入自动蒸发设备中，在设备的坩埚中装料，设定自动蒸镀程序，在外延 片受光面上梳状密栅形栅线槽内依次蒸镀厚度50nm的Au、20nm的Ge、300nm的Ag和50nm 的Au，取出外延片放入丙酮中浸泡5?lOmin，去离子水清洗2?3次，用甩干机甩干，去掉 光刻胶,外延片的受光面上形成图1所示Au-Ge-Ag-Au上电极3，上电极的表面形成图2所 示的梳状密栅形栅线；[0038]⑷蒸镀下电极[0039]将蒸镀好的上电极外延片放入涂胶机中，在受光面和上电极涂上PZ218型胶， 60?110°C的烘箱中烘烤40?60s，将受光面和上电极保护起来；将外延片放入浓度为 10?20%的氢氟酸溶液中腐蚀20?40s，去离子水清洗2?3次，用甩干机甩干，腐蚀清洗 掉外延片背光面的杂质；[0040]将外延片装入UZLV型自动蒸发设备中，在设备的坩埚中装料，设定自动蒸镀程 序，在外延片的背光面依次蒸镀厚度50nm的Au、30nm的Ge和4000nm的Ag,制出图1所示 的Au-Ge-Ag下电极I ;将外延片放入丙酮中浸泡5?IOmin,去离子水清洗2?3次,用甩 干机甩干，去掉受光面和上电极表面的胶；[0041](5)划片[0042]将蒸镀好下电极的外延片放入自动划片机中，按照图2所示图形程序划割出本实 用新型电池。[0043](6)蒸镀减反射膜[0044]将划割后的电池放到高真空镀膜机的蒸镀盘上，将TiO2和Al2O3分别装入坩埚内， 关闭高真空镀膜机的真空室门，对高真空镀膜机进行真空度大于5X 10_4Pa的抽真空，在上 电极先后蒸镀60nm厚的TiO2和90nm厚的Al2O3蒸镀，完成图1中TiO2Al2O3减反射膜4的 蒸镀过程；即完成本实用新型减薄柔性三结砷化镓太阳能电池制作过程。经对电池表面进 行反射率测试，取得了如附图3所示很好的减反射效果。[0045]尽管上面结合附图对本实用新型的优选实施例进行了描述，但是本实用新型并不 局限于上述的【具体实施方式】，上述的【具体实施方式】仅仅是示意性的，并不是限制性的，本领 域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的 范围情况下，还可以作出很多形式。这些均属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.减薄柔性三结砷化镓太阳能电池，包括GalnP/GaAs/Ge三结砷化镓外延片，外延片背光面上的下电极、外延片受光面上的上电极和上电极上的减反射膜，其特征在于:所述外延片的厚度去薄至0.14mm以下；所述上电极上制有梳状密栅形栅线。
2.根据权利要求1所述的减薄柔性三结砷化镓太阳能电池，其特征在于:所述上电极为Au-Ge-Ag-Au结构上电极；所述下电极为Au-Ge-Ag结构下电极。
3.根据权利要求1所述的减薄柔性三结砷化镓太阳能电池，其特征在于:所述减反射膜为TiO2AI2O3减反射膜。
4.根据权利要求2所述的减薄柔性三结砷化镓太阳能电池，其特征在于:所述上电极的厚度为50nm的Au、20nm的Ge、300nm的Ag和50nm的Au ;所述下电极的厚度为50nm的Au、30nm 的 Ge 和 4000nm 的 Ag。
5.根据权利要求3所述的减薄柔性三结砷化镓太阳能电池，其特征在于:所述减反射膜的厚度为60nm的TiO2和90nm的A1203。
【文档编号】H01L31/0224GK203398124SQ201320474536
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年8月5日 优先权日:2013年8月5日
【发明者】赵宇, 肖志斌, 许军, 韩志刚 申请人:天津恒电空间电源有限公司, 中国电子科技集团公司第十八研究所