一种外延用真空吸笔的利记博彩app
【专利摘要】本发明公开了一种外延用真空吸笔，包括真空泵（1）和中空手柄（2），还包括叉状引导头（5）和压簧开关（4）。通过叉引导头（5），引导吸笔插入，吸取晶圆。降低真空吸笔无引导插入晶圆盒时划伤晶圆表面的可能。
【专利说明】一种外延用真空吸笔
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空吸笔，具体是一种外延工序用真空吸笔，属于半导体制造【技术领域】。
【背景技术】
[0002]在半导体制造的外延工序中，操作工必须使用真空吸笔抓取晶圆进行转移或检测。此时的晶圆分正面和背面，操作指导书要求操作过程只能触碰晶圆的背面。当前使用的真空吸笔的形状是铲状笔头加上握柄构成，与真空泵连接。对于已经外延好图形的晶圆进行吸取时，下笔过程中，有可能误操作，刮伤晶圆正表面。怎样通过简单的机械部件，引导操作工下笔过程中，避免触碰晶圆正表面，成为一个急需解决的问题。
【发明内容】
[0003]针对上述现有技术存在的问题，本发明提供一种外延工序用真空吸笔，能够有效降低人工操作过程中刮伤晶圆正表面的概率。
[0004]为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是:本外延工序用真空吸笔，包括真空泵、中空手柄，还包括叉状引导头和压簧开关，叉状引导头通过压簧开关与中空手柄连接。叉状引导头的U型空间大于晶圆的厚度。优选方案还包括中空手柄与叉状引导头之间安装铰链。
[0005]通过叉状引导头和压簧开关限制操作工的下笔习惯，在下笔吸取晶圆时，不会因为手的抖动刮伤相邻晶圆的正表面。叉状引导头通过铰链围绕中空手柄的活动，增加了操作工下笔的角度，提高了工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本发明的真空吸笔示意图。
[0007]图中:1、真空泵，2、中空手柄，3、铰链，4、压簧开关，5、叉状引导头。
【具体实施方式】
[0008]如图1所示，叉状引导头5通过压簧开关4和铰链3连接到中空手柄2，中空手柄2与真空泵连接。叉状引导头I在铰链3的控制范围内可以围绕中空手柄2运动，压簧开关4在压缩到一定行程后打开真空吸气通道。
[0009]使用时，只需要对准晶圆的侧面向下压叉状引导头5，经过一定压缩行程后，抽真空启动，晶圆被吸附在叉状引导头5上，完成抓取晶圆的动作。操作简单，降低刮伤晶圆正面的风险，提升工作效率。
【权利要求】
1.一种外延用真空吸笔，包括真空泵(I)和中空手柄(2)，其特征在于:还包括叉状引导头(5)和压簧开关(4)，叉状引导头(5)位于中空手柄的前部，通过压簧开关(4)连接中空手柄。
2.根据权利要求1所述的一种真空吸笔，其特征在于:叉状引导头(5)与中空手柄(2)之间安装铰链(3)。
【文档编号】H01L21/683GK103500726SQ201310457396
【公开日】2014年1月8日 申请日期:2013年9月30日 优先权日:2013年9月30日
【发明者】李超亚 申请人:徐州锡贾工业园投资发展有限公司