一种基片传输方法和系统的利记博彩app

一种基片传输方法和系统的利记博彩app
【专利摘要】本发明实施例提供了一种基片传输方法和系统，以解决目前的技术在载板上未摆满电池片时工作效率低下的问题。方法包括：当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，载板为M行×N列的载板；根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为M行×1列的龙门架；从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置；判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤。本发明实施例提高了基片从上料台传输到载板以及从载板传输到下料台时的效率。
【专利说明】一种基片传输方法和系统

【技术领域】
[0001] 本发明实施例涉及设备工艺控制【技术领域】，特别是涉及一种基片传输方法和系 统。

【背景技术】
[0002] 在设备工艺控制过程中，涉及到基片的传输。例如，在太阳能电池片的制作过程 中，上料时需要将电池片（即基片）从上料台向载板传输，下料时需要将电池片从载板向下 料台传输，等等。
[0003] 以等离子体增强化学气相沉积（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition， PECVD)为例，PECVD是指借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等 离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
[0004] 在太阳能电池片的制作过程中，多采用PECVD工艺。参照图1，为PECVD系统的基 本架构图，该系统可以包括：1、装载台；2、装载腔；3、工艺腔；4、卸载腔；5、卸载台；6、回收 系统。在PECVD系统中，电池片(基片）在装载台区域被装载到载板上，进入装载腔室进行 预热处理，当基片达到工艺温度要求后被传送至工艺腔进行PECVD工艺，然后由卸载腔传 出到达卸载台（卸载台和装载台都是可以升降的)，在卸载台将载板降到下层后传到回收系 统，然后传输到装载台下方，升到装载台上层。
[0005] 其中，装载台可以包括上料台和下料台，装载台的主要结构为龙门架，电池片从上 料台向载板传输和从载板向下料台传输时均使用龙门架完成。
[0006]目前，电池片从上料台向载板传输时，通过机械手从上料台取电池片，放置到传输 皮带上，从载板的第一列开始，龙门架首先判断载板上第η列需要放置电池片的位置，然后 按照该位置从传输皮带上取电池片，再将电池片放置到载板的第η列上；然后按照上述方 法返回传输皮带取第η+1列的电池片，将第η+1列电池片放置到载板上。电池片从载板向 下料台传输时，从载板的最后一列开始，龙门架取下第η列的电池片，将第η列的电池片放 置到下料台；然后返回载板取第η-1列的电池片，将第η-1列的电池片放置到下料台。
[0007] 上述方法适用于载板上摆满基片的情况。但是，当进行系统实验或者判断基片工 艺不均性等需求时，载板上是不需要摆满基片的。在这种情况下，采用上述方法载板上的每 一列都需要龙门架往返运行一次，因此将会极大地降低工作效率。


【发明内容】

[0008] 本发明实施例提供了一种基片传输方法和系统，以解决目前的技术在载板上未摆 满电池片时工作效率低下的问题。
[0009] 为了解决上述问题，本发明公开了一种基片传输方法，其特征在于，包括：
[0010] 当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，所述载板为Μ 行ΧΝ列的载板，Μ、Ν为正整数；
[0011] 根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基 片，所述龙门架为Μ行X1列的龙门架；
[0012] 从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的 位置；
[0013] 判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返 回根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步 骤。
[0014] 可选地，所述根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从 上料台获取基片，包括：
[0015] 从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否存在需要放置基片的位置；
[0016] 若存在，则控制龙门架从上料台获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架 上与所述载板的当前行相对应的行中。
[0017] 可选地，所述从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需 要放置基片的位置，包括：
[0018] 当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第η列第m行是否为需要放置基片的位 置；
[0019] 当载板上第η列第m行为需要放置基片的位置时，判断载板上第m行第n+1列到 第m行第N列中是否存在需要放置基片的位置；
[0020] 当载板上第m行第n+1列到第m行第N列中不存在需要放置基片的位置时，控制 龙门架将龙门架第m行的基片放置在载板上的第η列第m行；
[0021] 当载板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的位置时，控制龙 门架不将龙门架第m行的基片放置在载板上的第η列第m行；
[0022] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=l，2, 3, · · ·，N。
[0023] 另一方面，本发明还公开了一种基片传输方法，其特征在于，包括：
[0024] 当基片从载板传输到下料台时，获取载板上已放置基片的位置，所述载板为Μ 行ΧΝ列的载板，Μ、Ν为正整数；
[0025] 根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第Ν列开始，控制龙 门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置到下料台；所述龙门架 为Μ行XI列的龙门架；
[0026] 判断载板上是否还存在未取下的基片，若存在，则返回根据载板上每一行中是否 存在已放置基片的位置，从载板的第Ν列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位 置取下基片的步骤。
[0027] 可选地，所述根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第Ν列 开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，包括：
[0028] 当载板上第m行存在已放置基片的位置时，判断载板上第η列第m行是否为已放 置基片的位置；
[0029] 当载板上第η列第m行为已放置基片的位置时，判断龙门架的第m行是否存在基 片；
[0030] 当龙门架的第m行不存在基片时，控制龙门架取下载板上第η列第m行的基片，并 将所述载板上第η列第m行的基片放置到龙门架的第m行；
[0031] 当龙门架的第m行存在基片时，控制龙门架不取下载板上第η列第m行的基片；
[0032] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=N，N_l，N-2, · · ·，1。
[0033] 另一方面，本发明还公开了一种基片传输系统，其特征在于，包括：
[0034] 上料位置获取模块，用于当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基 片的位置，所述载板为Μ行XN列的载板，M、N为正整数；
[0035] 基片获取模块，用于根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙 门架从上料台获取基片，所述龙门架为Μ行XI列的龙门架；
[0036] 基片放置模块，用于从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载 板上需要放置基片的位置；
[0037] 位置判断模块，用于判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的 位置；
[0038] 当所述位置判断模块的判断结果为存在时，所述基片获取模块再次根据载板上每 一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片。
[0039] 可选地，所述基片获取模块包括：
[0040] 逐行判断子模块，用于从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否存在 需要放置基片的位置；
[0041] 获取子模块，用于当所述逐行判断子模块的判断结果为存在时，控制龙门架从上 料台获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架上与所述载板的当前行相对应的行 中。
[0042] 可选地，所述基片放置模块包括：
[0043] 第一上料判断子模块，用于当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第η列第m行 是否为需要放置基片的位置；
[0044] 第二上料判断子模块，用于当所述第一上料判断子模块判断出载板上第η列第m 行为需要放置基片的位置时，判断载板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要 放置基片的位置；
[0045] 放置子模块，用于当所述第二上料判断子模块判断出载板上第m行第n+1列到第 m行第N列中不存在需要放置基片的位置时，控制龙门架将龙门架第m行的基片放置在载 板上的第η列第m行；当所述第二上料判断子模块判断出载板上第m行第n+1列到第m行 第N列中存在需要放置基片的位置时，控制龙门架不将龙门架第m行的基片放置在载板上 的第η列第m行；
[0046] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=l，2, 3, · · ·，N。
[0047] 另一方面，本发明还公开了一种基片传输系统，其特征在于，包括：
[0048] 下料位置获取模块，用于当基片从载板传输到下料台时，获取载板上已放置基片 的位置，所述载板为Μ行XN列的载板，Μ、N为正整数；
[0049] 基片取下模块，用于根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的 第Ν列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置到 下料台；所述龙门架为Μ行X1列的龙门架；
[0050] 基片判断模块，用于判断载板上是否还存在未取下的基片；
[0051] 当所述基片判断模块的判断结果为存在时，所述基片取下模块再次根据载板上每 一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放 置基片的位置取下基片。
[0052] 可选地，所述基片取下模块包括：
[0053] 第一下料判断子模块，用于当载板上第m行存在已放置基片的位置时，判断载板 上第η列第m行是否为已放置基片的位置；
[0054] 第二下料判断子模块，用于当所述第一下料判断子模块判断出载板上第η列第m 行为已放置基片的位置时，判断龙门架的第m行是否存在基片；
[0055] 取下子模块，用于当所述第二下料判断子模块判断出龙门架的第m行不存在基片 时，控制龙门架取下载板上第η列第m行的基片，并将所述载板上第η列第m行的基片放置 到龙门架的第m行；当所述第二下料判断子模块判断出龙门架的第m行存在基片时，控制龙 门架不取下载板上第η列第m行的基片；
[0056] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=N，N_l，N-2, · · ·，1。
[0057] 与现有技术相比，本发明实施例包括以下优点：
[0058] 首先，本发明实施例中当基片从上料台传输到载板时，可以首先获取载板上需要 放置基片的位置；然后控制龙门架根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置从上 料台获取基片；最后从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要 放置基片的位置。通过上述方法龙门架可以不再针对载板上每一列需要放置基片的位置都 往返运行一次将基片放置到载板上，而是在一次放片过程中，根据载板上需要放置基片的 位置的总行数获取基片，然后一次性将这些基片放置到载板上，从而极大地提高了基片从 上料台传输到载板时的效率。
[0059] 其次，本发明实施例中当基片从载板传输到下料台时，可以首先获取载板上已放 置基片的位置；然后根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开 始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片；最后将所述基片放置到下料台。 通过上述方法龙门架可以不再针对载板上每一列基片都往返运行一次将基片放置到下料 台，而是在一次取片过程中，根据载板上已放置基片的位置的总行数从载板上取下基片，然 后一次性将这些基片放置到下料台，从而极大地提高了基片从载板传输到下料台时的效 率。

【专利附图】

【附图说明】
[0060] 图1是现有技术中PECVD系统的基本架构图；
[0061] 图2是本发明实施例中执行所述基片传输方法的结构图；
[0062] 图3是本发明实施例一所述的一种基片传输方法的流程图；
[0063] 图4是本发明实施例二所述的一种基片传输方法的流程图；
[0064] 图5是本发明实施例三所述的一种基片传输方法的流程图；
[0065] 图6是本发明实施例三所述的一种载板上放置基片的示意图；
[0066] 图7是本发明实施例三所述的另外一种载板上放置基片的示意图；
[0067] 图8是采用【背景技术】中的方法针对图6和图7所示的情况执行上料过程的流程 图；
[0068] 图9是本发明实施例三中针对图6和图7所示的情况执行上料过程的流程图；
[0069] 图10是本发明实施例三中针对图6和图7所示的情况执行下料过程的流程图；
[0070] 图11是本发明实施例四所述的一种基片传输系统的结构框图；
[0071] 图12本发明实施例五所述的一种基片传输系统的结构框图。

【具体实施方式】
[0072] 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实 施方式对本发明作进一步详细的说明。
[0073] 本发明实施例在放片以及取片的过程中，龙门架都可以根据载板上的位置情况一 次性获取尽可能多的基片放置到载板上，或者一次性从载板上取下尽可能多的基片，从而 减少龙门架的往返运行次数，极大地提高了基片从上料台传输到载板以及从载板传输到下 料台时的效率。
[0074] 本发明实施例中主要以PECVD系统为例进行说明，但是本发明实施例所提出的基 片传输方法并不限定于应用在PECVD系统工艺中，其应用在任何其他具有基片传输过程的 工艺中均是可行的。其中，PECVD系统可以应用于太阳能电池片的制作过程，此时，电池片 即为基片，当然，PECVD系统也可以应用于其他工艺过程，本发明实施例对此并不加以限制。
[0075] 目前基片传输过程中，当基片从上料台传输到载板或者从载板传输到下料台时， 龙门架都是根据载板上每一列的情况，在每次往返运行过程中，从上料台获取对应载板上 的一列的基片，并将基片放置到载板上的对应列中；或者从载板上取下一列的基片，并将基 片放置到下料台中。
[0076] 上述方法适用于载板上摆满基片的情况。但是，当进行系统实验或者判断基片工 艺不均性等需求时，载板上是不需要摆满基片的。在这种情况下，采用上述方法载板上的每 一列都需要龙门架往返运行一次，因此将会极大地降低工作效率。
[0077] 针对上述问题，本发明实施例提出了一种基片传输方法，该方法可以提高基片从 上料台传输到载板以及从载板传输到下料台时的效率。
[0078] 首先，介绍一下本发明实施例中执行所述基片传输方法的结构图，如图2所示。
[0079] 图2中，机械手用于从上料台的料盒中获取基片，并将基片放置到传输皮带上，通 过电缸控制伺服电机（图中未标出)带动传输皮带转动。上料时，首先，可以通过上位工控机 或电脑或可编程逻辑控制器（Programmable Logic Controller,PLC)设置好载板上需要放 置基片的位置；然后，通过电磁阀控制龙门架上的吸盘，从传输皮带上吸取基片（即图中的 电池片）；最后龙门架将基片放置到载板上；下料时，龙门架从载板上取下基片，然后将基片 放置到下料台。
[0080] 利用图2所示的结构，采用【背景技术】中的基片传输方法将基片从上料台传输到载 板时，如果载板的每一列中均放置8个基片，则传输过程为：首先机械手从料盒获取一个基 片后传送到传输皮带位置1上，此时传输皮带在伺服电机的带动下高速转动，将基片传送 到位置2 ;然后机械手再次从料盒获取一个基片传送到位置1，此时传输皮带在伺服电机的 带动下高速转动，将第一个基片传送到位置3,将第二个基片传送到位置2 ;机械手再从料 盒获取一个基片，此过程重复到皮带位置8有基片为止。传输皮带位置载满后，龙门架运行 到传输皮带处进行吸片，然后运行到载板上，将基片放置到载板的第一列。此后重复前面的 动作，直到载板装满，上料结束。
[0081] 针对载板上每一列都放满基片的情况，采用上述方法是可行的。但是，如果载板上 需要放置的基片数量较少，则采用上述方法会降低上料和下料的效率。
[0082] 下面，分别通过以下几个实施例论述本发明实施例中利用图2所示的结构执行的 一种基片传输方法。
[0083] 实施例一：
[0084] 参照图3,示出了本发明实施例一所述的一种基片传输方法的流程图，该流程图主 要是将基片从上料台传输到载板时（即上料）的过程。
[0085] 所述方法可以包括：
[0086] 步骤301，当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置。
[0087] 当基片从上料台传输到载板时，可以通过上位工控机或电脑或PLC获取载板上需 要放置基片的位置，然后根据获取到的位置可以确定龙门架如何从上料台获取基片。
[0088] 本发明实施例中，所述载板可以为Μ行XN列的载板，所述龙门架可以为Μ行XI 列的龙门架，即所述龙门架可以沿着载板的列，一列一列地在载板上运动。其中，Μ、Ν为正 整数。
[0089] 步骤302,根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料 台获取基片。
[0090] 本发明实施例中，可以通过上位工控机或电脑或PLC判断载板上每一行中是否存 在需要放置基片的位置，然后根据判断出的情况，控制龙门架从上料台获取基片。
[0091] 具体的，可以首先由机械手从上料台获取基片，然后将基片放置到传输皮带上，最 后龙门架从传输皮带上获取基片。
[0092] 例如，如果载板的第一行中存在需要放置基片的位置，则可以控制龙门架从上料 台获取一个基片，并将该基片放置到龙门架的第一行。对于具体的过程，将在下面的实施例 中详细论述。
[0093] 步骤303,从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放 置基片的位置。
[0094] 龙门架在通过上述步骤303获取基片之后，即可从载板的第一列开始，依次将所 述基片放置到载板上需要放置基片的位置。
[0095] 例如，如果载板上的第一行中存在一个需要放置基片的位置，该位置为第一行第 一列，则龙门架运动到载板的第一列时，可以将自身第一行中的基片放置到载板上第一行 第一列中。对于具体的过程，将在下面的实施例中详细论述。
[0096] 步骤304,判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置。
[0097] 当龙门架从载板的第一列运动到载板的第Ν列，将其上的基片全部放置到载板上 之后，可以通过上位工控机或电脑或PLC判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未 放置基片的位置。
[0098] 如果存在，则返回步骤302,控制龙门架继续根据载板上每一行中是否存在需要放 置基片的位置，从上料台获取基片；如果不存在（即载板上需要放置基片的位置已全部放置 基片)，则结束基片从上料台传输到载板的过程。
[0099] 本发明实施例中，上述的判断、控制等过程并不限定于利用上位工控机或电脑或 PLC执行，还可以采用其他的设备进行控制。
[0100] 通过本发明实施例提出的上述方法，龙门架可以不再针对载板上每一列需要放置 基片的位置都往返运行一次将基片放置到载板上，而是在一次放片过程中，根据载板上需 要放置基片的位置的总行数获取基片，然后一次性将这些基片放置到载板上，极大地提高 了基片从上料台传输到载板时的效率。
[0101] 实施例二：
[0102] 参照图4,示出了本发明实施例二所述的一种基片传输方法的流程图，该流程图主 要是将基片从载板传输到下料台时（即下料）的过程。
[0103] 所述方法可以包括：
[0104] 步骤401，当基片从载板传输到下料台时，获取载板上已放置基片的位置。
[0105] 当基片从载板传输到下料台时，可以通过上位工控机或电脑或PLC获取载板上已 放置基片的位置，然后根据获取到的位置可以确定龙门架如何从载板上取下基片。
[0106] 本发明实施例中，所述载板可以为Μ行XN列的载板，所述龙门架可以为Μ行XI 列的龙门架，即所述龙门架可以沿着载板的列，一列一列地在载板上运动。其中，Μ、Ν为正 整数。
[0107] 步骤402,根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第Ν列开 始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置到下料台。
[0108] 本发明实施例中，可以通过上位工控机或电脑或PLC判断载板上每一行中是否存 在已放置基片的位置，然后根据判断出的情况，控制龙门架从载板的第Ν列开始，依次从载 板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置到下料台。
[0109] 例如，如果载板上的第一行中存在一个需要放置基片的位置，该位置为第一行第Ν 列，则龙门架运动到载板的第Ν列时，可以取下载板上第一行第Ν列中的基片，并将该基片 放置到龙门架的第一行。对于具体的过程，将在下面的实施例中详细论述。
[0110] 步骤403，判断载板上是否还存在未取下的基片。
[0111] 当龙门架从载板的第Ν列运动到载板的第一列，从载板上取下相应基片放置到下 料台之后，可以通过上位工控机或电脑或PLC判断载板上是否还存在未取下的基片。
[0112] 如果存在，则返回步骤402,龙门架继续根据载板上每一行中是否存在已放置基片 的位置，从载板的第Ν列开始，控制依次从载板上已放置基片的位置取下基片；如果不存在 (即载板上的基片已全部取下)，则结束基片从载板传输到下料台的过程。
[0113] 通过本发明实施例中提出的上述方法，龙门架可以不再针对载板上每一列基片都 往返运行一次将基片放置到下料台，而是在一次取片过程中，根据载板上已放置基片的位 置的总行数从载板上取下基片，然后一次性将这些基片放置到下料台，从而极大地提高了 基片从载板传输到下料台时的效率。
[0114] 实施例三：
[0115] 参照图5,示出了本发明实施例三所述的一种基片传输方法的流程图，该流程图主 要是基片从上料台传输到载板时（即上料）以及基片从载板传输到下料台时（即下料）的整 体过程。
[0116] 所述方法可以包括：
[0117] 步骤501，确定当前需要执行上料流程还是下料流程。
[0118] 如果需要执行上料流程，则执行步骤502 ;如果需要执行下料流程，则执行步骤 503。
[0119] 本发明实施例中，上料流程即为基片从上料台传输到载板的过程，下料流程即为 基片从载板传输到下料台的过程。
[0120] 步骤502，执行上料流程。
[0121] 该上料流程可以包括以下子步骤：
[0122] 子步骤5021，获取载板上需要放置基片的位置。
[0123] 其中，所述载板为Μ行XN列的载板，M、N为正整数。
[0124] 子步骤5022,根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从 上料台获取基片。
[0125] 其中，所述龙门架为Μ行XI列的龙门架。
[0126] 该子步骤5022可以包括：
[0127] al，从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否存在需要放置基片的位 置。
[0128] 若存在，则执行a2 ;若不存在，则执行a3。
[0129] a2,控制龙门架从上料台获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架上与所 述载板的当前行相对应的行中。
[0130] a3,控制龙门架不从上料台获取龙门架上与所述载板的当前行相对应的行中的基 片。
[0131] 子步骤5023,从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需 要放置基片的位置。
[0132] 该子步骤5023可以包括：
[0133] b 1，当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第η列第m行是否为需要放置基片的 位置；
[0134] 若是，则执行b2 ;若否，则执行b4。
[0135] 当龙门架第m行不存在基片时，则可以说明载板上第m行中不存在需要放置基片 的位置，因此可以不对载板上的第m行进行判断。
[0136] b2,判断载板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要放置基片的位置；
[0137] 若存在，则执行b4 ;若不存在，则执行b3。
[0138] b3,控制龙门架将龙门架第m行的基片放置在载板上的第η列第m行；
[0139] b4,控制龙门架不将龙门架第m行的基片放置在载板上的第η列第m行。
[0140] 当载板上第η列第m行不是需要放置基片的位置时；或者载板上第η列第m行为 需要放置基片的位置，并且载板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的 位置时，不将龙门架第m行的基片放置在载板上的第η列第m行。
[0141] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=l，2, 3, · · ·，N。
[0142] 子步骤5024,判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置。
[0143] 若存在，则返回子步骤5022 ;若不存在，则结束上料流程。
[0144] 步骤503，执行下料流程。
[0145] 该下料流程可以包括以下子步骤：
[0146] 子步骤5031，获取载板上已放置基片的位置。
[0147] 子步骤5032,根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列 开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片。
[0148] 该子步骤5032可以包括：
[0149] cl，当载板上第m行存在已放置基片的位置时，判断载板上第η列第m行是否为已 放置基片的位置；
[0150] 若是，则执行c2 ;若否，则执行c4。
[0151] 当载板上第m行不存在已放置基片的位置时，则可以说明龙门架不从载板上第m 行中取下基片，因此可以不对载板上的第m行进行判断。
[0152] c2,当载板上第η列第m行为已放置基片的位置时，判断龙门架的第m行是否存在 基片；
[0153] 若存在，则执行c4 ;若不存在，则执行c3。
[0154] c3,控制龙门架取下载板上第η列第m行的基片，并将所述载板上第η列第m行的 基片放置到龙门架的第m行；
[0155] c4,控制龙门架不取下载板上第η列第m行的基片。
[0156] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=N，N_l，N-2, · · ·，1。
[0157] 当载板上第η列第m行不是已放置基片的位置时；或者载板上第η列第m行为已 放置基片的位置，并且龙门架的第m行存在基片时，龙门架不取下载板上第η列第m行的基 片。
[0158] 子步骤5033,控制龙门架将所述基片放置到下料台。
[0159] 子步骤5034,判断载板上是否还存在未取下的基片。
[0160] 若存在，则返回子步骤5032 ;如果不存在，则结束下料流程。
[0161] 下面，举例介绍本发明实施例所述的基片传输方法。
[0162] 图6为本发明实施例三所述的一种载板上放置基片的示意图，图7为本发明实施 例三所述的另外一种载板上放置基片的示意图。从图6和图7可以看出，载板为8行X8 列的载板，则龙门架为8行X 1列的龙门架。
[0163] 如果采用【背景技术】中的方法针对图6和图7所示的情况执行上料过程，则流程如 图8所示，上料过程可以包括 ：
[0164] 步骤801，机械手从上料台犾取基片。
[0165] 步骤802,机械手将基片放置到传输皮带，龙门架运动到传输皮带处。
[0166] 步骤803,龙门架根据载板上第η列的基片放置情况从传输皮带上获取一个基片， 并放置到载板的第η列。
[0167] 令 η=η+1，并返回步骤 801，其中，η=1，2, · · ·，7。
[0168] 下料过程与上料过程基本相似，本发明实施例在此不再详细论述。
[0169] 参照图9,为本发明实施例三中针对图6和图7所示的情况执行上料过程的流程 图，上料过程可以包括：
[0170] 步骤901，机械手从上料台获取基片，并将基片放置到传输皮带。
[0171] 步骤902，龙门架根据载板上每一行需要放置基片的情况从传输皮带上获取基片。
[0172] 步骤903,龙门架运动到载板上的第η列，将相应基片放置到载板上的第η列。
[0173] 步骤904,龙门架运动到载板上的第η+1列，将相应基片放置到载板上的第η+1列， n=l，2,…，7〇
[0174] 步骤905,判断载板上是否放置完基片。
[0175] 若是，则结束上料过程；若否，则返回步骤901。
[0176] 参照图10,为本发明实施例三中针对图6和图7所示的情况执行下料过程的流程 图，下料过程可以包括：
[0177] 步骤1001，龙门架运动到载板上的第η列，取下第η列的基片，放置到龙门架的相 应位置。
[0178] 其中，η=8,7,6, · · ·，2。
[0179] 步骤1002,龙门架从第Ν列运动到第η-1列，取下第η-1列的基片，放置到龙门架 的相应位置。
[0180] 步骤1003,将龙门架上的基片放置到下料台。
[0181] 步骤1004,判断载板上的基片是否已取完。
[0182] 若是，则结束下料过程；若否，则返回步骤1001。
[0183] 下面，分别针对图6和图7进行介绍。
[0184] 针对图6:
[0185] 从图6可以看出，载板上每一列中只放置一个基片，每一行中也只放置一个基片。
[0186] 针对图6,如果采用【背景技术】提出的方法执行上料过程如下：首先，龙门架从传输 皮带获取一个基片，放置到龙门架的第一行，然后将龙门架第一行的基片放置到载板上的 第一列第一行，并返回传输皮带处；然后，龙门架从传输皮带获取一个基片，放置到龙门架 的第二行，然后将龙门架第二行的基片放置到载板上的第八列第二行，并返回传输皮带处， 以此类推，直至在载板上的第七列第八行放置完基片位置。
[0187] 可见，采用【背景技术】中的方法在载板上放置好基片，龙门架需要往返运行8次才 可完成。
[0188] 同样的，对于下料过程，龙门架也是每次从载板上取下一列中的基片，然后放置到 下料台，仍然需要往返运行8次才可完成，本发明实施例在此不再详细论述。
[0189] 针对图6,采用本发明实施例所述的方法执行上料过程如下：首先，机械手从上料 台获取8个基片，并将8个基片放置到传输皮带；然后判断出载板上每一行都需要放置一个 基片，则龙门架从传输皮带获取8个基片，并分别放置到龙门架的第一行至第八行；最后， 龙门架运动到载板的第一列，将龙门架第一行的基片放置到载板的第一列第一行，再运动 到载板的第二列，将龙门架第三行的基片放置到载板的第二列第三行。以此类推，直至运动 到载板的第八列，将龙门架第二行的基片放置到载板的第八列第二行位置。
[0190] 将龙门架第二行的基片放置到载板的第八列第二行位置之后，经过判断，载板上 已放置完基片，此时即可结束上料过程。
[0191] 因此，针对图6所示的情况，本发明实施例的上料过程只需龙门架往返运行一次 即可完成。
[0192] 针对图6,采用本发明实施例所述的方法执行下料过程如下：首先，龙门架运动到 载板的第八列，取下载板上第八列第二行的基片，放置到龙门架的第二行；然后，龙门架运 动到载板的第七列，取下载板上第七列第八行的基片，放置到龙门架的第八行；以此类推， 最后龙门架运动到载板的第一列，取下载板上第一列第一行的基片，放置到龙门架的第一 行。
[0193] 取下载板上第一列第一行的基片，放置到龙门架的第一行之后，龙门架将基片放 置到下料台。然后经过判断，载板上的基片已取完，此时即可结束下料过程。
[0194] 因此，针对图6所示的情况，本发明实施例的下料过程只需龙门架往返运行一次 即可完成。
[0195] 针对图7 :
[0196] 从图7可以看出，载板上第一列中放置两个基片，第二行也放置两个基片，其余每 一列中只放置一个基片，每一行中也只放置一个基片。
[0197] 针对图7,采用本发明实施例所述的方法执行上料过程如下：首先，机械手从上料 台获取8个基片，并将8个基片放置到传输皮带；然后判断出载板上每一行都需要放置基 片，则龙门架从传输皮带获取8个基片，并分别放置到龙门架的第一行至第八行；最后，龙 门架运动到载板的第一列，将龙门架第一行的基片放置到载板的第一列第一行，再运动到 载板的第二列，将龙门架第二行的基片放置到载板的第二列第二行。以此类推，直至运动到 载板的第八列，将龙门架第八行的基片放置到载板的第八列第八行位置。
[0198] 将龙门架第八行的基片放置到载板的第八列第八行位置之后，经过判断，载板上 第一列第二行还未放置基片，此时龙门架返回传输皮带处获取一个基片，放置到龙门架的 第二行，然后龙门架运动到载板的第一列，将龙门架第二行的基片放置到载板的第一列第 二行，结束上料过程。
[0199] 本发明实施例中，在上料过程中，不按照优先放置完载板上一列的情形运行，即不 首先放置载板上第一列的第一行和第二行，而是跳过第一列的第二行，在放完龙门架的所 有基片后，最后龙门架再往返运行一次放置第一列第二行的基片。
[0200] 在上料过程中，当载板上同一行出现多个基片的时候，优先将龙门架上对应该行 的基片放置到龙门架行程远的位置。
[0201] 因此，针对图7所示的情况，本发明实施例的上料过程只需龙门架往返运行两次 即可完成。
[0202] 针对图7,采用本发明实施例所述的方法执行下料过程如下：首先，龙门架运动到 载板的第八列，取下载板上第八列第八行的基片，放置到龙门架的第八行；然后，龙门架运 动到载板的第七列，取下载板上第七列第七行的基片，放置到龙门架的第七行；以此类推， 最后龙门架运动到载板的第一列，取下载板上第一列第一行的基片，放置到龙门架的第一 行。
[0203] 龙门架将基片放置到下料台，然后经过判断，载板上第一列第二行的基片还未取 下，此时龙门架返回载板上，取下载板上第一列第二行的基片，将基片放置到下料台，结束 下料过程。
[0204] 本发明实施例中，在下料过程中，不按照优先取完载板上一列的情形运行，即不首 先取完第一列的第一行和第二行，而是跳过第一列的第二行，在完成龙门架的所有取片后， 最后龙门架再往返运行一次取第一列第二行的基片。
[0205] 在下料过程中，当载板上同一行出现多个基片的时候，优先取下龙门架行程远的 位置上的基片，放置到龙门架对应的行中。
[0206] 因此，针对图7所示的情况，本发明实施例的下料过程只需龙门架往返运行两次 即可完成。
[0207] 本发明实施例在放片以及取片的过程中，龙门架都可以根据载板上的位置情况一 次性获取尽可能多的基片放置到载板上，或者一次性从载板上取下尽可能多的基片，从而 减少龙门架的往返运行次数，极大地提高了基片从上料台传输到载板以及从载板传输到下 料台时的效率。
[0208] 实施例四：
[0209] 参照图11，示出了本发明实施例四所述的一种基片传输系统的结构框图，该系统 主要是执行基片从上料台传输到载板时（即上料）的过程。该系统可以包括：上料位置获取 模块111、基片获取模块112、基片放置模块113和位置判断模块114。
[0210] 其中，
[0211] 上料位置获取模块111，用于当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置 基片的位置，所述载板为Μ行XN列的载板，Μ、N为正整数；
[0212] 基片获取模块112,用于根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制 龙门架从上料台获取基片，所述龙门架为Μ行X 1列的龙门架；
[0213] 所述基片获取模块112可以包括：
[0214] 逐行判断子模块1121，用于从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否 存在需要放置基片的位置；
[0215] 获取子模块1122,用于当所述逐行判断子模块的判断结果为存在时，控制龙门架 从上料台获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架上与所述载板的当前行相对应的 行中。
[0216] 基片放置模块113,用于从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到 载板上需要放置基片的位置；
[0217] 所述基片放置模块113可以包括：
[0218] 第一上料判断子模块1131，用于当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第η列第 m行是否为需要放置基片的位置；
[0219] 第二上料判断子模块1132,用于当所述第一上料判断子模块判断出载板上第η列 第m行为需要放置基片的位置时，判断载板上第m行第η+1列到第m行第Ν列中是否存在 需要放置基片的位置；
[0220] 放置子模块1133,用于当所述第二上料判断子模块判断出载板上第m行第η+1列 到第m行第Ν列中不存在需要放置基片的位置时，控制龙门架将龙门架第m行的基片放置 在载板上的第η列第m行；当所述第二上料判断子模块判断出载板上第m行第η+1列到第 m行第Ν列中存在需要放置基片的位置时，控制龙门架不将龙门架第m行的基片放置在载板 上的第η列第m行；
[0221] 其中，m=l，2,3，···，Μ;η=1，2,3，···，Ν。
[0222] 位置判断模块114,用于判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基 片的位置。
[0223] 当所述位置判断模块的判断结果为存在时，所述基片获取模块再次根据载板上每 一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片。
[0224] 本发明实施例中当基片从上料台传输到载板时，可以首先获取载板上需要放置基 片的位置；然后控制龙门架根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置从上料台获 取基片；最后从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基 片的位置。通过上述方法龙门架可以不再针对载板上每一列需要放置基片的位置都往返运 行一次将基片放置到载板上，而是在一次放片过程中，根据载板上需要放置基片的位置的 总行数获取基片，然后一次性将这些基片放置到载板上，从而极大地提高了基片从上料台 传输到载板时的效率。
[0225] 实施例五：
[0226] 参照图12,示出了本发明实施例五所述的一种基片传输系统的结构框图，该系统 主要是执行基片从载板传输到下料台时（即下料）的过程。该系统可以包括：下料位置获取 模块121、基片取下模块122和基片判断模块123。
[0227] 其中，
[0228] 下料位置获取模块121，用于当基片从载板传输到下料台时，获取载板上已放置基 片的位置，所述载板为Μ行XN列的载板，M、N为正整数；
[0229] 基片取下模块122,用于根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板 的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置 到下料台；所述龙门架为Μ行X1列的龙门架；
[0230] 所述基片取下模块122可以包括：
[0231] 第一下料判断子模块1221，用于当载板上第m行存在已放置基片的位置时，判断 载板上第η列第m行是否为已放置基片的位置；
[0232] 第二下料判断子模块1222,用于当所述第一下料判断子模块判断出载板上第η列 第m行为已放置基片的位置时，判断龙门架的第m行是否存在基片；
[0233] 取下子模块1223,用于当所述第二下料判断子模块判断出龙门架的第m行不存在 基片时，控制龙门架取下载板上第η列第m行的基片，并将所述载板上第η列第m行的基片 放置到龙门架的第m行；当所述第二下料判断子模块判断出龙门架的第m行存在基片时，控 制龙门架不取下载板上第η列第m行的基片；
[0234] 其中，m=l，2, 3, · · ·，Μ ;n=N，N_l，N-2, · · ·，1。
[0235] 基片判断模块123,用于判断载板上是否还存在未取下的基片。
[0236] 当所述基片判断模块的判断结果为存在时，所述基片取下模块再次根据载板上每 一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放 置基片的位置取下基片。
[0237] 本发明实施例中当基片从载板传输到下料台时，可以首先获取载板上已放置基片 的位置；然后根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制 龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片；最后将所述基片放置到下料台。通过上 述方法龙门架可以不再针对载板上每一列基片都往返运行一次将基片放置到下料台，而是 在一次取片过程中，根据载板上已放置基片的位置的总行数从载板上取下基片，然后一次 性将这些基片放置到下料台，从而极大地提高了基片从载板传输到下料台时的效率。
[0238] 对于上述系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单， 相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
[0239] 本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与 其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
[0240] 本发明实施例可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例 如程序模块。一般地，程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、 对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本发明，在这些分布式计算环 境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序模 块可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。
[0241] 对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但 是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某 些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描 述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
[0242] 最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将 一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作 之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语"包括"、"包含"或者其任何其他变体 意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括 那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或 者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句"包括一个……"限定的要素，并 不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0243] 以上对本发明所提供的一种基片传输方法和系统，进行了详细介绍，本文中应用 了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解 本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具 体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明 的限制。
【权利要求】
1. 一种基片传输方法，其特征在于，包括： 当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的位置，所述载板为Μ行XN 列的载板，Μ、Ν为正整数； 根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片， 所述龙门架为Μ行X1列的龙门架； 从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位 置； 判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位置，若存在，则返回根 据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片的步骤。
2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据载板上每一行中是否存在需要 放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片，包括： 从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否存在需要放置基片的位置； 若存在，则控制龙门架从上料台获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架上与 所述载板的当前行相对应的行中。
3. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述从载板的第一列开始，控制龙门架依 次将所述基片放置到载板上需要放置基片的位置，包括： 当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第η列第m行是否为需要放置基片的位置； 当载板上第η列第m行为需要放置基片的位置时，判断载板上第m行第n+1列到第m 行第N列中是否存在需要放置基片的位置； 当载板上第m行第n+1列到第m行第N列中不存在需要放置基片的位置时，控制龙门 架将龙门架第m行的基片放置在载板上的第η列第m行； 当载板上第m行第n+1列到第m行第N列中存在需要放置基片的位置时，控制龙门架 不将龙门架第m行的基片放置在载板上的第η列第m行； 其中，m=l，2,3，···，M;n=l，2,3，···，N。
4. 一种基片传输方法，其特征在于，包括： 当基片从载板传输到下料台时，获取载板上已放置基片的位置，所述载板为Μ行X N列 的载板，Μ、Ν为正整数； 根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第Ν列开始，控制龙门架 依次从载板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置到下料台；所述龙门架为Μ 行XI列的龙门架； 判断载板上是否还存在未取下的基片，若存在，则返回根据载板上每一行中是否存在 已放置基片的位置，从载板的第Ν列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取 下基片的步骤。
5. 根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据载板上每一行中是否存在已放 置基片的位置，从载板的第Ν列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基 片，包括： 当载板上第m行存在已放置基片的位置时，判断载板上第η列第m行是否为已放置基 片的位置； 当载板上第η列第m行为已放置基片的位置时，判断龙门架的第m行是否存在基片； 当龙门架的第m行不存在基片时，控制龙门架取下载板上第η列第m行的基片，并将所 述载板上第η列第m行的基片放置到龙门架的第m行； 当龙门架的第m行存在基片时，控制龙门架不取下载板上第η列第m行的基片； 其中，m=l，2,3, · · ·，Μ ;n=N，N-l，N-2, · · ·，1。
6. -种基片传输系统，其特征在于，包括： 上料位置获取模块，用于当基片从上料台传输到载板时，获取载板上需要放置基片的 位置，所述载板为Μ行XN列的载板，M、N为正整数； 基片获取模块，用于根据载板上每一行中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架 从上料台获取基片，所述龙门架为Μ行X 1列的龙门架； 基片放置模块，用于从载板的第一列开始，控制龙门架依次将所述基片放置到载板上 需要放置基片的位置； 位置判断模块，用于判断载板上需要放置基片的位置中是否还存在未放置基片的位 置； 当所述位置判断模块的判断结果为存在时，所述基片获取模块再次根据载板上每一行 中是否存在需要放置基片的位置，控制龙门架从上料台获取基片。
7. 根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述基片获取模块包括： 逐行判断子模块，用于从载板的第一行开始，逐行判断载板的当前行中是否存在需要 放置基片的位置； 获取子模块，用于当所述逐行判断子模块的判断结果为存在时，控制龙门架从上料台 获取一个基片，并将所述一个基片放置到龙门架上与所述载板的当前行相对应的行中。
8. 根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述基片放置模块包括： 第一上料判断子模块，用于当龙门架第m行存在基片时，判断载板上第η列第m行是否 为需要放置基片的位置； 第二上料判断子模块，用于当所述第一上料判断子模块判断出载板上第η列第m行为 需要放置基片的位置时，判断载板上第m行第n+1列到第m行第N列中是否存在需要放置 基片的位置； 放置子模块，用于当所述第二上料判断子模块判断出载板上第m行第n+1列到第m行 第N列中不存在需要放置基片的位置时，控制龙门架将龙门架第m行的基片放置在载板上 的第η列第m行；当所述第二上料判断子模块判断出载板上第m行第n+1列到第m行第N 列中存在需要放置基片的位置时，控制龙门架不将龙门架第m行的基片放置在载板上的第 η列第m行； 其中，111=1，2,3，...，]\1;11=1，2,3，··.，?^。
9. 一种基片传输系统，其特征在于，包括： 下料位置获取模块，用于当基片从载板传输到下料台时，获取载板上已放置基片的位 置，所述载板为Μ行XN列的载板，M、N为正整数； 基片取下模块，用于根据载板上每一行中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N 列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基片的位置取下基片，并将所述基片放置到下料 台；所述龙门架为Μ行X1列的龙门架； 基片判断模块，用于判断载板上是否还存在未取下的基片； 当所述基片判断模块的判断结果为存在时，所述基片取下模块再次根据载板上每一行 中是否存在已放置基片的位置，从载板的第N列开始，控制龙门架依次从载板上已放置基 片的位置取下基片。
10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述基片取下模块包括： 第一下料判断子模块，用于当载板上第m行存在已放置基片的位置时，判断载板上第η 列第m行是否为已放置基片的位置； 第二下料判断子模块，用于当所述第一下料判断子模块判断出载板上第η列第m行为 已放置基片的位置时，判断龙门架的第m行是否存在基片； 取下子模块，用于当所述第二下料判断子模块判断出龙门架的第m行不存在基片时， 控制龙门架取下载板上第η列第m行的基片，并将所述载板上第η列第m行的基片放置到 龙门架的第m行；当所述第二下料判断子模块判断出龙门架的第m行存在基片时，控制龙门 架不取下载板上第η列第m行的基片； 其中，m=l，2,3, · · ·，Μ ;n=N，N-l，N-2, · · ·，1。
【文档编号】H01L21/677GK104103564SQ201310129916
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2013年4月15日 优先权日:2013年4月15日
【发明者】赵海洋 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司