专利名称：一种Schmid石蜡掩膜细栅结构的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种Schmid石腊掩膜细栅结构,属于太阳能电池技术领域。
背景技术：
晶体硅太阳能电池(SE电池)的制备方法很多，有激光掺杂法，有二次扩散法，硅墨法，石蜡掩膜法等等，其中石蜡掩膜法的制备工艺如下:
(1)制绒硅片形成光陷阱表面；
(2)在绒面上扩散掺杂形成PN结；
(3)在扩散面上打印上起掩蔽作用的石蜡掩膜；
(4)在覆盖掩膜的片子上覆盖水膜；
(5)利用化学液去除硅片周边和背面多余的PN结；
(6)在石蜡的掩蔽作用下，利用化学液对硅片表面进行刻蚀；
(7)去除石蜡掩膜；
(8)磷硅玻璃的去除；
(9)镀氮化硅膜；
(10)印刷背面电极和背场；
(11)在石蜡掩膜对应位置处印刷银电极；
(12)烧结，测试电性能;
其中步骤(3)中打印的石蜡掩膜图形如图1、2所示。石蜡掩膜发制备SE电池一般来说，石蜡掩膜细栅为全实心的非镂空结构。掩膜法制备SE电池虽然在效率上较常规电池有0.3%左右的提升，但其较常规电池的生产工艺多了打印和去除石蜡掩膜的工序，这两个工序中石蜡成本占比较大，在保证转换效率的情况下，尽可能的减少石蜡消耗量是石蜡掩膜法制备SE电池的工艺重点。现有石蜡耗量的减少有以下的一些方法:
1.可以通过减少细栅的线宽来达到。2.可以通过调整石蜡掩膜打印的图形分辨率来达到，分辨率越低，打印同样的石蜡图形，消耗的石蜡越少。这些石蜡减少方法存在以下缺点:
1.减少细栅宽度后，细栅线间的横向电阻增加，引起串联电阻变大，填充因子变小，从而效率降低。2.石蜡打印分辨率的调整也有一定的限度，分辨率过低导致打印的石蜡掩膜致密度降低，片子在经过后续的化学槽时，石蜡就不能起到完全的掩蔽作用，石蜡下方也可能被化学液体腐蚀，从而对光电转换效率就有一定的影响。
发明内容
本发明针对上述问题的不足，提出一种Schmid石蜡掩膜细栅结构，该细栅结构不仅能够减少石蜡单耗成本，而且不影响电池片光电转换效率。本发明为解决上述技术问题提出的技术方案是:一种Schmid石蜡掩膜细栅结构，包括并排在一起的多个细栅，所述细栅包括实心段细栅和镂空段细栅，所述实心段细栅和镂空段细栅在一条直线上且互相间隔设置，同时所述实心段细栅之间通过导线串联起来，且所述导线的有效宽度小于实心段细栅的宽度。优选的:所述导线的中心以及实心段细栅的中心均在一条直线上。本发明的一种Schmid石蜡掩膜细栅结构，相比现有技术，具有以下有益效果:由于由实心段细栅和镂空段细栅通过导线串联在一起，因此其省了镂空段细栅处的石蜡，因而减少石蜡单耗成本，从而使电池的成本降低，同时由于通过导线将实心段细栅串联起来，因此不影响电池片光电转换效率。
图1是现有的细栅结构示意 图2是图1中A局部的放大 图3是本发明Schmid石蜡掩膜细栅结构的示意 图4是图2中单个的石蜡掩膜细栅结构放大示意 其中:1为主栅，2为细栅，3为实心段细栅，4为镂空段细栅，5为导线。
具体实施例方式附图非限制性地公开了本发明一个优选实施例的结构示意图，以下将结合附图详细地说明本发明的技术方案。
实施例本实施例的一种Schmid石腊掩膜细栅结构如图3、4所示,一种Schmid石腊掩膜细栅结构，包括并排在一起的多个细栅，所述细栅上设置有主栅，所述细栅包括实心段细栅和镂空段细栅，所述实心段细栅和镂空段细栅在一条直线上且互相间隔设置，同时所述实心段细栅之间通过一根平直的导线串联起来，且所述导线的有效宽度小于实心段细栅的宽度。所述导线的中心以及实心段细栅的中心均在一条直线上。本发明将实心的石蜡掩膜细栅线设计成分段竹节式石蜡掩膜细栅结构，每节实心段细栅的中间由细线(导线)连接，实心段细栅的长度为a，镂空段细栅的长度为b，且长度为a和长度b的长度比例为任意比例，连接实心段细栅的中间由I根导线连接两段实心段细栅，每节导线都连接实心段细栅的中心，因此本发明省了镂空段细栅处的石蜡，因而减少石蜡单耗成本，从而使电池的成本降低，同时由于通过导线将实心段细栅串联起来，因此不影响电池片光电转换效率。上面结合附图所描述的本发明优选具体实施例仅用于说明本发明的实施方式，而不是作为对前述发明目的和所附权利要求内容和范围的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属本发明技术和权利保护范畴。
权利要求
1.一种Schmid石腊掩膜细栅结构,包括并排在一起的多个细栅,其特征在于:所述细栅包括实心段细栅和镂空段细栅，所述实心段细栅和镂空段细栅在一条直线上且互相间隔设置，同时所述实心段细栅之间通过导线串联起来，且所述导线的有效宽度小于实心段细栅的宽度。
2.根据权利要求1所述Schmid石蜡掩膜细栅结构，其特征在于:所述导线的中心以及实心段细栅的中心均在一条直线上。
全文摘要
本发明涉及一种Schmid石蜡掩膜细栅结构，属于太阳能电池技术领域。包括并排在一起的多个细栅，所述细栅包括实心段细栅和镂空段细栅，所述实心段细栅和镂空段细栅在一条直线上且互相间隔设置，同时所述实心段细栅之间通过一根平直的导线串联起来，且所述导线的宽度小于实心段细栅的宽度。本发明不仅能够减少石蜡单耗成本，而且不影响电池片光电转换效率。
文档编号H01L31/0224GK103208539SQ201310093660
公开日2013年7月17日 申请日期2013年3月22日 优先权日2013年3月22日
发明者不公告发明人 申请人:江苏荣马新能源有限公司