载入机装置、搬运系统、以及容器搬出方法
【专利摘要】本发明提供载入机装置、搬运系统、以及容器搬出方法。防止装入搬运车的密闭容器的内部气体的浓度的降低。载入机装置是用于将具有气孔的容器（27）搬运到高架搬运车（59）的外侧输送单元（49）的装置，具备输送机（47）、净化装置（73）、和储料控制器（101）。输送机（47）延伸至外侧输送单元（49）。净化装置（73）配置于外侧输送单元（49）的附近，具有供气喷嘴（79），其用于通过与气孔连接来向容器（27）中供给净化气体，和第一升降机构（87），其使供气喷嘴（79）接近离开供气端口（65）。储料控制器（101）是控制净化装置（73）向容器（27）中的净化气体的供给单元，基于高架搬运车（59）到达外侧输送单元（49）来停止净化装置（73）的向容器（27）的净化气体的供给。
【专利说明】载入机装置、搬运系统、以及容器搬出方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于将具有内部空间以及气孔的容器从处理装置搬出的载入机装置(Load Port)、应用了该载入机装置的搬运系统、以及容器搬出方法。
【背景技术】
[0002]所谓的载入机装置，例如，是使收容有基板的密闭容器从半导体处理装置或者自动仓库入库或者出库的装置。密闭容器被搬运车从载入机装置搬运到其他的装置(例如，参照专利文献I。)。
[0003]密闭容器例如是F0UP、SMIF。在搬运或者保管基板时，密闭容器为密闭状态，因此防止尘埃侵入内部。
[0004]另外，以氮气等惰性气体来置换密闭容器的内部气氛，从而防止因半导体基板的自然氧化而引起的氧化膜的生长。
[0005]有时在搬运等待中、保管中，密闭容器内的氮气浓度降低至规定值以下。在这样的情况下，重新净化氮气浓度降低了的密闭容器。以下，对密闭容器的净化动作进行说明。可搬式密闭容器形成有连通内部与外部的供气端口以及排气端口。气体供给装置具备与供气端口气密连接的供气喷嘴、和与排气端口气密连接的排气喷嘴。供气喷嘴经由供气管与供给净化气体的气体供给源连接。排气喷嘴与进行排气的处理装置连接。净化气体从气体供给源经由供气管、供气喷嘴以及供气端口被供给到可搬式密闭容器内。另外，密闭容器内充满净化气体，若密闭容器内变为规定压力以上，则净化气体经由排气端口、排气喷嘴以及排气管排出。
[0006]专利文献1:日本特开2010 — 64806号公报
[0007]在设置于储料器的载入机装置中，密闭容器被输送机从储料器的内部搬运到等待位置。密闭容器在被装入搬运车之前处于等待位置。然而，在到搬运车到达的时间里，密闭容器内的氮气浓度也会降低。
【发明内容】
[0008]本发明的技术问题在于防止装入搬运车的密闭容器的内部气体的浓度的降低。
[0009]以下，作为用于解决课题的方法说明多个方式。这些方式能够根据需要而任意地组合。
[0010]本发明的一个观点的载入机装置，是用于将具有气孔的容器搬运到搬运车的装入位置的载入机装置，上述载入机装置具备输送机、喷嘴机构以及控制器。输送机延伸至装入位置。喷嘴机构配置在装入位置的附近，并具有:喷嘴，其用于通过与气孔连接来向容器的中供给净化气体；和移动机构，其使喷嘴接近或离开气孔。控制器是控制由喷嘴机构向容器中的净化气体的供给的单元，上述控制器根据搬运车到达装入位置来使由喷嘴机构向容器的净化气体的供给停止。
[0011]在该装置中，若通过输送机将容器搬运到装入位置，则接下来喷嘴通过移动机构与气孔连接，在该状态下喷嘴机构向容器供给净化气体。而且，控制器若掌握搬运车到达装入位置，则停止从喷嘴机构向容器的净化气体的供给。其结果，不浪费等待时间而向容器供给净化气体，并像以往那样迅速地执行搬运车的装入。而且，在到容器装入搬运车为止的等待时间里，也能够防止容器内的净化气体浓度降低。[0012]此外，所谓的“搬运车到达装入位置”包含搬运车充分接近装入场所，处于在装入位置的停止或者停止之前状态。
[0013]载入机装置也可以还具备判别部和对位机构。判别部判别配置于装入位置的附近的容器的气孔的位置。对位机构根据判别结果使喷嘴对位于气孔的位置。
[0014]在该装置中，由于对位机构使喷嘴对位于容器的气孔的位置，所以即使在使用了气孔的位置不同的多种容器的情况下，也能够使喷嘴与气孔连接。此外，气孔的位置的判别可以通过传感器的检测来进行，也可以通过得到容器的种类的信息来进行。
[0015]对位机构也可以具有水平移动机构，水平移动机构根据气孔的位置使喷嘴水平移动。
[0016]该水平移动机构能够使喷嘴例如在水平面内的一个方向或者所有方向上移动。因此，根据容器的气孔的位置能够使喷嘴的位置能够自由地移动，载入机装置对气孔的位置不同的容器也能够灵活地应对从而使气孔与喷嘴对位。
[0017]上述载入机装置还具备存储部，其将识别各容器的标识符与各容器的气孔的位置的建立关联，判别部也可以通过存储部来判别与搬运对象的容器的标识符对应的气孔的位置。即使不通过传感器等来检测气孔的位置，判别部也能够根据容器的标识符来掌握气孔的位置。
[0018]上述载入机装置也可以还具备传感器，上述传感器检测各容器的气孔的位置，判别部根据传感器检测出的位置来判别气孔的位置。由于通过传感器来检测气孔的位置，所以无需按照每个容器来预先存储气孔的位置。
[0019]喷嘴机构也可以还具备:第二喷嘴，其与喷嘴形状不同并通过移动机构来接近或离开气孔；和对位机构，其将喷嘴和第二喷嘴中的任意一个与气孔对位。
[0020]在该装置中，若通过输送机将容器搬运到装入位置，则接着喷嘴就通过移动机构与气孔连接，在该状态下喷嘴机构向容器供给净化气体。而且，控制器若掌握搬运车到达了装入位置，则停止从喷嘴机构向容器的净化气体的供给。其结果，不浪费等待时间而向容器供给净化气体，并且像以往那样迅速地执行搬运车的装入。
[0021]在该装置中，定位机构将形状不同的多个喷嘴对位于容器的气孔的位置，所以即使在使用气孔的形状不同的多种容器的情况下，也能够将喷嘴与气孔连接。
[0022]本发明的其他的观点的搬运系统具备上述的载入机装置和能够从装入位置装入容器的搬运车。
[0023]本发明的另一个观点的容器搬出方法是使用了将具有气孔的容器搬运到由搬运车进行装入的装入位置的载入机装置。上述载入机装置具有输送机和喷嘴机构。输送机延伸至装入位置。喷嘴机构配置于装入位置的附近，上述喷嘴机构具有:喷嘴，其用于通过与气孔连接来向容器中供给净化气体；和移动机构，其使喷嘴接近或离开气孔。容器搬出方法具备以下的步骤。
[0024]◎通过输送机将容器搬运到装入位置。[0025]◎将喷嘴与处于装入位置的容器的气孔连接，接着将净化气体供给到容器中。
[0026]◎掌握搬运车到达装入位置。
[0027]◎根据掌握来停止向容器中供给净化气体。
[0028]在该方法中，若通过输送机将容器搬运到装入位置，则接着喷嘴通过移动机构与气孔连接，并在该状态下喷嘴机构向容器供给净化气体。而且，若掌握搬运车到达了装入位置，则停止就从喷嘴机构向容器的净化气体的供给。其结果，不浪费等待时间地向容器供给净化气体，并且像以往那样迅速地执行搬运车的装入。[0029]在本发明的载入机装置中，能够防止装入搬运车的密闭容器的内部气体的浓度的降低。
【专利附图】
【附图说明】
[0030]图1是储料装置的侧面剖视图。
[0031]图2是储料装置的端口的结构的立体图。
[0032]图3是容器的平面图。
[0033]图4是净化装置的示意图。
[0034]图5是表示储料装置的控制结构的框图。
[0035]图6是表示储料装置的控制动作的流程图。
[0036]图7是容器的平面图。
[0037]图8是容器的平面图。
[0038]图9是净化装置的示意图。
[0039]图10是表示储料装置的控制结构的框图。
[0040]图11是表示储料装置的控制动作的流程图。
[0041]图12是容器的平面图。
【具体实施方式】
[0042](I)整体的结构
[0043]以下，参照附图，对储料装置的实施方式进行说明。
[0044]在生产半导体集成电路、液晶显示装置等的制造工艺中，在从某个制造工艺向下一制造工艺进行工序的阶段，制造中的基板被收容于容器。储料装置I是配置于无尘室内的暂时保管容器(在本实施方式中，是F0UP)的装置。
[0045]利用图1，对储料装置I的结构进行说明。图1是储料装置的侧面剖视图。储料装置I配置在形成无尘室的建筑物3内部。建筑物3具有一楼根基5、一楼地板7、二楼地板
9、以及建筑物天花板11。
[0046]如图1所示，储料装置I具有主体部21、货架23、和堆垛起重机25。储料装置I还具有一楼用端口 41、和二楼用端口 43 (后述)。
[0047]主体部21从一楼根基5开始贯穿一楼地板7，还贯穿二楼地板9，延伸至建筑物天花板11的附近。主体部21是与外部隔离的密闭构造的箱体。
[0048]货架23由对置排列的两列左右货架23a、23b构成。左右货架23a、23b具有多个架子23A。如图示那样，将容器27载置于架子23A。在左右货架23a、23b间的中央空间，自由移动地配置有堆垛起重机25。
[0049]堆垛起重机25具有堆垛支柱31、轮子33、驱动轮子33的移动机构(未图示)、以及自由升降堆垛支柱31的堆垛机械手35。堆垛机械手35是将容器27从下方提升并保持的手装置。堆垛起重机25能够在规定的架子23A、与一楼用端口 41以及二楼用端口 43的内侧输送单元51 (后述)之间，移载容器27。
[0050](2)端口的构造
[0051]利用图2对端口的构造进行说明。图2是表示储料装置的端口的构造的立体图。一楼用端口 41设置在一楼侧，二楼用端口 43设置在二楼侧。能够经由这些端口 41、43进行容器27的出入库。
[0052]一楼用端口 41与二楼用端口 43具有在主体部21的外侧面开口的开口部45、和设置于开口部45的内外两侧的输送机47。输送机47由设置在主体部21外侧的外侧输送单元49、和设置在主体部21内侧的内侧输送单元51构成。
[0053]一楼用端口 41与二楼用端口 43的各自的外侧输送单元49被来自天花板的吊装部件55支承。该外侧输送单元49的上方的天花板设置有沿着导轨57自由移动的高架搬运车59。高架搬运车59能够从外侧输送单元49运出容器27，或者向外侧输送单元49运送容器27。高架搬运车59由搬运车控制器113来控制(后述)。
[0054]输送单元49、51由在四角框的框架的左右侧面安装驱动辊61与从动辊63而构成。驱动辊61由辊驱动机构103 (图5)来驱动。
[0055]外侧输送单元49设置有用于检测容器27的搭载的搭载传感器107 (图5)。
[0056]此外，外侧输送单元49也可以设置有容器27的定位用销，也可以不设置。
[0057](3)搬运器
[0058]利用图3，对容器27进行说明。图3是容器的平面图。
[0059]容器27是用于在密闭状态下收容基板的容器，被其他的装置搬运。容器27具有壳体和盖。
[0060]在容器27的底面设置有适合活动销的槽即定位构造(未图示)。
[0061]在容器27的底部形成有贯通上下面的供气端口 65以及排气端口 67。供气端口65以及排气端口 67配置有未图示的逆止阀、过滤器，使得外部的受到污染的空气难以进入内部。
[0062](4)净化装置
[0063]利用图4，对净化装置73进行说明。图4是净化装置的示意图。
[0064]净化装置73是利用规定的气体(例如，清洁干燥的空气、N2等惰性气体)来净化容器27内的装置。净化装置73配置在外侧输送单元49的下方，对设置于外侧输送单元49的容器27进行净化。
[0065]净化装置73具有空气供给罐75、供气管77、和供气喷嘴79。空气供给罐75例如在内部具有清洁干燥的空气。供气管77从空气供给罐75开始延伸。供气喷嘴79固定于供气管77的前端。并且，在供气管77的中途设置有流量调整阀81和开关阀83。
[0066]净化装置73还具有排气管84和排气喷嘴85。排气喷嘴85固定于排气管84的前端。排气管84的另一端通过排气装置导入特别的处理装置(未图示)。
[0067]此外，在图上未记载，但在各部件彼此的接触部分设置有密封垫。[0068]净化装置73具有用于使供气喷嘴79升降的第一升降机构87。第一升降机构87是气缸机构，具有杆89和驱动杆89的气缸驱动部91。通过第一升降机构87，供气喷嘴79能够在与供气端口 65连接的位置和从供气端口 65解除连接的位置之间移动。
[0069]净化装置73具有用于使排气喷嘴85升降的第二升降机构93。第二升降机构93是气缸机构，具有杆95和驱动杆95的气缸驱动部97。通过第二升降机构93，排气喷嘴85能够在与排气端口 67连接的位置和从排气端口 67解除连接的位置之间移动。
[0070](5)控制结构
[0071]利用图5，对储料装置I的控制结构进行说明。图5是表示储料装置I的控制结构的框图。
[0072]储料控制器101是计算机，具有CPU、RAM、ROM等硬件，通过执行程序的命令，进行各种控制动作。
[0073]储料控制器101与堆垛起重机25、辊驱动机构103、流量调整阀81、开关阀83、第一升降机构87、第二升降机构93连接，能够对这些发送控制信号。
[0074]并且，储料控制器101与搭载传感器107以及ID读码器109连接，能够接收来自这些的检测信号。
[0075]储料控制器101与物流控制器111能够互相通信地连接。物流控制器111是储料控制器101以及搬运车控制器113的上位的控制器。若物流控制器111从制造控制器(未图示)接受搬运请求，则在伴随储料装置I中的出库的情况下，在规定的定时向储料控制器101发送出库指令。并且，物流控制器111将接受到的搬运请求转换成搬运指令，并将其分配给高架搬运车59。
[0076]储料控制器101与搬运车控制器113能够相互通信地连接。搬运车控制器113管理多个高架搬运车59，并具有向它们分配搬运指令的分配功能。搬运指令包含与移动相关的指令和与装货位置和卸货位置相关的指令。
[0077]例如，若物流控制器111将出库指令发送至储料控制器101，则储料控制器101通过控制堆垛起重机25以及辊驱动机构103，来进行出库动作。另外，物流控制器111将搬运指令发送至搬运车控制器113。其结果，搬运车控制器113将搬运指令分配给高架搬运车59。
[0078](6)搬出动作的控制
[0079]利用图6，对从储料装置I搬出容器27的控制动作进行说明。图6是表示储料装置的控制动作的流程图。
[0080]在步骤SI中，储料控制器101等待从物流控制器111发出的出库指令。
[0081]在步骤S2中，储料控制器101通过驱动堆垛起重机25，使容器27向输送机47移动。具体而言，堆垛起重机25从确定的架子23A运出容器27，并将容器27装载在端口 41、43的内侧输送单兀51上。
[0082]在步骤S3中，储料控制器101通过驱动辊驱动机构103，使容器27通过输送机47从主体部21搬出。具体而言，输送单元49、51被向搬出方向驱动，容器27移动至外侧输送单元49上。
[0083]在步骤S4中，储料控制器101等待容器27位于外侧输送单元49。此外，基于来自搭载传感器107的检测信号来进行容器27是否配置于外侧输送单元49的判断。[0084]在步骤S5中，储料控制器101通过驱动第一升降机构87以及第二升降机构93，来使供气喷嘴79以及排气喷嘴85上升，并分别与供气端口 65以及排气端口 67连接。另外，此时，通过同时也使设置于外侧输送单元49的下方的活动销(未图示)上升，来进行容器27的定位。此外，也可以通过使活动销比供气喷嘴79以及排气喷嘴85的上升先上升，来进行容器27的定位。
[0085]在步骤S6中，储料控制器101打开开关阀83。由此，从空气供给罐75向容器27内供给清洁干燥的空气。
[0086]在步骤S7中，储料控制器101等待从搬运车控制器113发出通知高架搬运车59已到达外侧输送单元49的信号。
[0087]在步骤S8中，储料控制器101关闭开关阀83。由此，停止向容器27内的供给来自空气供给罐75的清洁干燥的空气。此外，仅经过比通常的净化时间短的时间就能够执行该动作。
[0088]在步骤S9中，储料控制器101通过驱动第一升降机构87以及第二升降机构93，使供气喷嘴79以及排气喷嘴85下降，并从供气端口 65以及排气端口 67分离。这样，若高架搬运车59到达则立即停止净化气体的供给，并且能够搬出容器27，所以在由高架搬运车59进行的容器27的搬出中不浪费多余的时间。
[0089]此后，容器27被高架搬运车59搬运到下一工序的处理装置。
[0090]在该装置中，若通过输送机47将容器27搬运到外侧输送单元49，则接下来供气喷嘴79以及排气喷嘴85通过第一升降机构87以及第二升降机构93分别与供气端口 65以及排气端口 67连接，在该状态下净化装置73向容器供给净化气体。而且，若储料控制器101掌握高架搬运车59已到达外侧输送单元49，则停止从净化装置73向容器27的净化气体的供给。其结果，能够不浪费等待时间而向容器27供给净化气体，并且也像以往那样迅速地执行由高架搬运车59进行的装入。并且，到容器27被装入高架搬运车59的等待时间里，也能够防止容器27内的净化气体浓度降低。
[0091](7)第二实施方式
[0092]利用图7?图11，对第二实施方式进行说明。图7以及图8是容器的平面图，图9是净化装置的示意图。图10是表示储料装置的控制结构的框图。图11是表示储料装置的控制动作的流程图。
[0093]在图7所示的容器27’中，供气端口 65’以及排气端口 67’的位置偏离上述实施方式所示的容器27的供气端口 65以及排气端口 67的位置。并且，在图8所示的容器27’’中，供气端口 65’’的位置被更换为上述实施方式所示的容器27的排气端口 67的位置，排气端口 67”的位置被更换为上述实施方式所示的容器27的供气端口 65的位置。
[0094]如上所述，有时混合使用供气端口以及排气端口的位置不同的容器。为了与此对应，在本实施方式中采用下述的构造。
[0095]利用图9，对净化装置73’进行说明。
[0096]净化装置73’的基本的构造与上述实施方式相同，所以这里仅对不同点进行说明。
[0097]净化装置73’具有第一工作台121以及第二工作台123。第一工作台121利用顶部支承第一升降机构87。第二工作台123利用顶部支承第二升降机构93。
[0098]第一工作台121以及第二工作台123能够在水平面内的一个方向或者所有方向上自由移动。第一工作台121由第一水平移动机构125 (图10)来驱动。第二工作台123由第二水平移动机构127 (图10)来驱动。第一水平移动机构125以及第二水平移动机构127只要能够使第一工作台121以及第二工作台123水平方向移动，则是什么样的结构都可以。例如，可以是螺线管、X — Y工作台、滚珠丝杠机构。
[0099]利用图10，对储料装置I’的控制结构进行说明。储料控制器101’除了上述实施方式的结构，还具有第一水平移动机构125和第二水平移动机构127。
[0100]利用图11，对从储料装置I搬出容器27的控制动作进行说明。图11是表示储料装置的控制动作的流程图。
[0101]步骤SI?步骤S9的动作与上述实施方式相同，所以在这里省略说明。在本实施方式中，在步骤S4与步骤S5之间，执行步骤Sll以及步骤S12。
[0102]在步骤Sll中，储料控制器101’基于来自ID读码器109的检测信号，掌握容器27的种类，接着，基于容器27的种类来掌握供气端口以及排气端口的位置。
[0103]或者，也可以是传感器确定供气端口以及排气端口的位置，并发送至储料控制器101，。
[0104]在步骤S12中，储料控制器101’通过驱动第一水平移动机构125以及第二水平移动机构127，使供气喷嘴79与供气端口 65对位，并且使排气喷嘴85与排气端口 67对位。
[0105]在该装置中，由于上述的对位机构使喷嘴对位于容器的端口的位置，所以即使在使用端口的位置不同的多种容器的情况下，也能够使喷嘴与端口连接。
[0106](8)第三实施方式
[0107]利用图12，对第三实施方式进行说明。图12是容器的平面图。
[0108]在图12所示的容器27’’’中，供气端口 65’’’以及排气端口 67’’’的形状与上述实施方式所示的容器27的供气端口 65以及排气端口 67的形状不同。
[0109]如上所述，有时混合使用供气端口以及排气端口的形状不同的容器。为了与此对应，在本实施方式中采用如下述那样的构造。
[0110]如图12所示，针对供气端口 65’’’准备有第一供气喷嘴79A以及第二供气喷嘴79B，针对排气端口 67’ ’ ’准备有第一排气喷嘴85A以及第二排气喷嘴85B。第一供气喷嘴79A以及第二供气喷嘴79B的形状不同，与不同种类的供气端口对应。第一排气喷嘴85A以及第二排气喷嘴85B的形状不同，与不同种类的排气端口对应。
[0111]使各喷嘴升降的机构以及水平移动的机构与上述实施方式相同。
[0112]通过以上的结构，根据供气端口的形状，第一供气喷嘴79A以及第二供气喷嘴79B的一方与供气端口连接。另外，根据排气端口的形状，第二排气喷嘴85A以及第二排气喷嘴85B的一方与供气端口连接。
[0113]在该装置中，由于上述的定位机构使形状不同的多个喷嘴对位于容器的端口的位置，所以即使在使用端口的形状不同的多种容器的情况下，也能够使喷嘴与端口连接。
[0114](9)实施方式的作用效果
[0115]上述实施方式能够如下述那样表现。
[0116]载入机装置是用于将具有气孔的容器27搬运到高架搬运车59的装入位置的装置，具备输送机47、净化装置73以及储料控制器101。输送机47延伸至外侧输送单元49(装入位置)。净化装置73配置在外侧输送单元49的附近，并具有:供气喷嘴79 (喷嘴)，其用于通过与气孔连接来向容器27中供给净化气体；和第一升降机构87(移动机构)，其使供气喷嘴79接近或离开气孔。储料控制器101是控制由净化装置73进行的向容器27中的净化气体的供给的单元，并基于高架搬运车59到达外侧输送单元49来使净化装置73的向容器27的净化气体的供给停止。
[0117]在该装置中，若通过输送机47将容器27搬运到外侧输送单元49，则接着供气喷嘴79通过第一升降机构87与供气端口 65连接，在该状态下，净化装置73向容器27供给净化气体。而且，若通过储料控制器101掌握到高架搬运车59已到达外侧输送单元49，则停止从净化装置73向容器27的净化气体的供给。其结果，不浪费等待时间地向容器27供给净化气体，并且也像以往那样迅速地执行高架搬运车59的装入。
[0118](10)其他的实施方式
[0119]以上，对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式，能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更。特别是能够根据需要任意地组合在本说明书中记载的多个实施方式以及变形例。
[0120](a)载入机装置的构造并不限于上述实施方式。载入机装置也可以是与半导体处理装置连接的装置。载入机装置也可以与利用输送机在较长的区间搬运的输送机搬运装置的一端连接，或者，也可以与垂直输送机的出口侧连接。
[0121](b)储料装置的构造并不限于上述实施方式。
[0122](c)输送单元并不限于辊输送机。也可以是传送带。
[0123](d)排气管也可以连接排气用泵，积极地排气。
[0124](e)对于容器的定位，也可以不进行活动销的定位。该情况下，通过喷嘴与端口的嵌合来定位容器。
[0125](f)在上述实施方式中，储料控制器具有将容器的ID与种类关联起来的数据库，但该数据库也可以保存于物流控制器，储料控制器基于ID向物流控制器查询容器的种类。
[0126]作为其他的实施例，从物流控制器发出的出库指令中也可以包含容器的种类。并且作为其他的实施例，容器的ID信息中也可以包含容器的种类信息。
[0127]( g)为了知道容器的端口位置，也可以通过传感器来进行位置测定。并不特别限定传感器的种类，例如是光学传感器。
[0128](h)作为使喷嘴升降的机构也可以是由马达与凸轮的组合构成的机构。
[0129](i)储料控制器101可以根据高架搬运车59的移动位置与容器27的位置的关系，来停止向容器27的净化气体的供给，分离各喷嘴79与85以及端口 65与67。例如，储料控制器101从搬运车控制器113获取高架搬运车59的移动位置。储料控制器101对为了搬运而配置在外侧输送单元49的容器27的位置、和高架搬运车59的移动位置，与规定的阈值进行比较。若容器27的位置与移动位置是规定的阈值以下，则储料控制器101停止净化气体的供给，将喷嘴与端口分离。在高架搬运车59已到达容器27的等待位置时，容器27成为立刻能够搬运的状态。换言之，高架搬运车59也可以不等待净化气体的供给停止、和喷嘴、端口间的分离等处理，能够立刻搬运容器27。
[0130]本发明能够广泛地应用于用于将具有内部空间以及气孔的容器从处理装置搬出的载入机装置、使用了该载入机装置的搬运系统、以及容器搬出方法。
[0131]附图标记说明[0132]1…储料装置；3…建筑物；5----楼根基；7----楼地板；9…二楼地板；11...建筑物
天花板；21…主体部;23…货架;23A…架子；25…堆垛起重机；27…容器；31…堆垛支柱；33…轮子；35…堆垛机械手；41…一楼用端口(载入机装置);43…二楼用端口(载入机装置)；45…开口部；47…输送机；49...外侧输送单兀(装入位置)；51...内侧输送单兀；55...吊装部件；57…导轨；59…高架搬运车；61…驱动辊；63…从动辊;65…供气端口(气孔);67…排气端口 ；73…净化装置；75…空气供给罐；77…供气管；79…供气喷嘴(喷嘴)；81…流量调整阀；83…开关阀;84…排气管;85…排气喷嘴;87…第一升降机构;89…杆;91…气缸驱动部；93…第二升降机构;95…杆;97…气缸驱动部；101…储料控制器;103…棍驱动机构；107…搭载传感器；109…ID读码器；111…物流控制器；113…搬运车控制器；
【权利要求】
1.一种载入机装置，是用于将具有气孔的容器搬运到由搬运车进行装入的装入位置的载入机装置，其中，所述载入机装置具备: 输送机，其延伸至所述装入位置； 喷嘴机构，其配置在所述装入位置的附近，并具有:喷嘴，其用于通过与所述气孔连接来向所述容器中供给净化气体；和移动机构，其使所述喷嘴接近或离开所述气孔；以及 控制器，其是对由所述喷嘴机构向所述容器中供给净化气体进行控制的单元，所述控制器根据所述搬运车到达所述装入位置来使由所述喷嘴机构向所述容器的净化气体的供给停止。
2.根据权利要求1所述的载入机装置，其中，具备: 判别部，其判别配置于所述装入位置的附近的容器的所述气孔的位置；和 对位机构，其根据所述判别结果使所述喷嘴对位于所述气孔的位置。
3.根据权利要求2所述的载入机装置，其中， 所述对位机构具有水平移动机构，所述水平移动机构根据所述气孔的位置使所述喷嘴水平移动。
4.根据权利要求2所述的载入机装置，其中， 所述载入机装置还具备存储部，其将识别各容器的标识符与各容器的气孔的位置建立关联， 所述判别部通过所述存储部来判别与搬运对象的容器的标识符对应的气孔的位置。
5.根据权利要求2所述的载入机装置，其中， 所述载入机装置还具备传感器，所述传感器检测各容器的气孔的位置， 所述判别部根据所述传感器检测出的位置来判别气孔的位置。
6.根据权利要求1所述的载入机装置，其中， 所述喷嘴机构还具有:第二喷嘴，所述第二喷嘴与所述喷嘴形状不同并通过所述移动机构接近或离开所述气孔；和对位机构，其将适合于所述气孔的形状的所述喷嘴或者所述第二喷嘴中的任意一个与所述气孔对位。
7.一种搬运系统，其中，具备: 权利要求1所述的载入机装置；和 能够从所述装入位置装入所述容器的搬运车。
8.一种容器搬出方法，是使用了载入机装置的容器搬出方法，所述载入机装置用于将具有气孔的容器搬运到由搬运车进行装入的装入位置，所述载入机装置具备:输送机，其延伸至所述装入位置；和喷嘴机构，其配置于所述装入位置的附近，所述喷嘴机构具有:喷嘴，其用于通过与所述气孔连接来向所述容器中供给净化气体；和移动机构，其使所述喷嘴接近或离开所述气孔，其中， 通过所述输送机将所述容器搬运到所述装入位置； 将所述喷嘴与处于所述装入位置的所述容器的所述气孔连接，接着将净化气体供给到所述容器中； 掌握所述搬运车到达所述装入位置；以及 根据所述掌握来停止向所述容器中供给所述净化气体。
【文档编号】H01L21/677GK103548130SQ201280024471
【公开日】2014年1月29日 申请日期:2012年4月20日 优先权日:2011年5月25日
【发明者】富永忠正 申请人:村田机械株式会社