专利名称：一种真空吸笔的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池片生产的技术领域，尤其涉及取放硅片的辅助工具。
背景技术：
随着经济建设的快速发展，微电子技术得到了迅猛地发展，在硅片制造业中，最重要的就是产品合格率。由于硅片很薄、很脆弱、很精密，在生产、搬运、包装的过程中，如果用手直接拿硅片，易破片，并且硅片表面留下手指印或灰尘造成污染，表面的绒面结构容易被破坏，影响硅片的性能。为了避免这种情况，采用真空吸笔，但现有的真空吸笔采用硬连接，当吸笔吸住硅片在石墨舟和石英舟取放时，碰到舟的作用力过大就容易造成硅片破碎，导致产品报废率较高。
发明内容本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种可降低碎片的真空吸 笔。本实用新型的目的是这样实现的一种真空吸笔，包括吸管和吸盘，吸管的一端管壁上设置气孔，所述吸管与吸盘之间通过软管连接，所述气孔设置在吸管连接软管的一端。本实用新型的吸盘与吸管之间通过软管进行软连接，当吸笔吸住硅片与石墨舟或石英舟接触时，软管部分会卸掉相当大一部分作用力，而硅片本身承受的作用力就会很小，能够降低碎片，提高产品合格率。
图I为本实用新型的一种结构示意图。
具体实施方式
如图I所示，为真空吸笔，包括吸管I和吸盘4，吸管I与吸盘4之间通过软管3连接，吸管I连接软管3的一端管壁上设置气孔2。
权利要求1. 一种真空吸笔，包括吸管和吸盘，吸管的一端管壁上设置气孔，其特征在于所述吸管与吸盘之间通过软管连接，所述气孔设置在吸管连接软管的一端。
专利摘要一种真空吸笔，涉及太阳能电池片生产的技术领域，尤其涉及取放硅片的辅助工具，包括吸管和吸盘，吸管的一端管壁上设置气孔，所述吸管与吸盘之间通过软管连接，所述气孔设置在吸管连接软管的一端。本实用新型的吸盘与吸管之间通过软管进行软连接，当吸笔吸住硅片与石墨舟或石英舟接触时，软管部分会卸掉相当大一部分作用力，而硅片本身承受的作用力就会很小，能够降低碎片，提高产品合格率。
文档编号H01L21/683GK202695414SQ20122030290
公开日2013年1月23日 申请日期2012年6月27日 优先权日2012年6月27日
发明者鲁福建 申请人:扬州鑫晶光伏科技有限公司