专利名称：Mopa系统准分子激光同步控制中的信号获取方法
技术领域：
本发明涉及一种信号获取方法，尤其涉及一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法。
背景技术：
准分子激光器能够在紫外波段提供高能量、高峰值功率、高光束质量的激光输出，由于波长短、脉宽短、峰值功率高，其输出光束在冷加工中使多种金属、非金属材料气化，产生整齐的切边，无热影响区，在工业微加工领域准分子激光器有着广泛的应用，特别是在紫外光刻领域更是目前还有着无可取代的地位。近年来，用于光刻的准分子激光器输出功率越来越大，而关于脉冲能量稳定性、波长稳定性和带宽稳定性等光束参数的规范也越来越严格，这样的情况下，采用单一放电腔的准分子激光器设计基本不可行，因为对脉冲能量的精确控制可能会对波长或带宽造成不利影响。目前的国外的主流做法是采用两放电腔的准分子激光器。这类结构中，第一个放电腔产生激光能量较低但光束参数较好的种子光，种子光传输到第二个放电腔时，该放电腔放电，并对种子光进行能量放大，这样可以获得高重复频率条件下的能量较大且光束参数良好的准分子激光输出，过程如图1所示。由于准分子激光器的放电时间很短，一般2(T50ns，且激活介质的上能级寿命也在IOns量级，因此准分子激光器的粒子数反转仅能在放电期间存在。所以在这种双放电腔激光器中，第一个激光器的激光束到达第二个激光器时，该激光器必须粒子数反转才能实现对种子光的有效放大。因此，两激光器的放电必须时间上在一定范围内同步，例如±5ns。但是由于存在诸多影响激光器放电时间的因素，会随着工作时间和脉冲数量等逐渐改变初始的相对时序，影响两腔的同步性，所以MOPA结构的准分子激光器需要同步系统来进行两腔的放电同步。
发明内容
本发明目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法。本发明是通过以下技术方案实现的:
一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，并将两放电高压信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，采用光敏探头检测第一放电腔MO腔的光信号，采用高压探头检测第二放电腔PA腔的放电信号，第一放电腔MO腔的光信号和第二放电腔PA腔的放电信号为一个正脉冲和一个负脉冲，将第一放电腔MO腔的光信号和第二放电腔PA腔的放电信号传输至同步控制器中，同步控制器提取两信号的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。所述的高压探头采用P6015A高压探头或PPE20KV高压探头。所述的光敏探头采用DetlOA或Det25k，或者S1722-02或者R1328U-54，或者类似光敏探头。本发明的优点是:本发明可以有效的实时获得准分子激光器的放电时序信号，结合准分子激光器专用的同步控制器，可以有效的对MOPA结构的双腔准分子激光器进行同步控制，达到所需的控制精度。
图1为现有的两放电腔的准分子激光器放电装置。图2为本发明第一种方法的装置结构图。图3为本发明第二种方法的装置结构图。
具体实施例方式如图2所示，一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，包括有第一放电腔MO腔I和第二放电腔PA腔2，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头3，分别采用两高压探头4对两准分子激光放电头3进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，并将两放电高压信号传输至同步控制器5，同步控制器5提取其中的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。如图3所示，一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，包括有第一放电腔MO腔I和第二放电腔PA腔2，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头3，采用光敏探头6检测第一放电腔MO腔I的光信号，采用高压探头4检测第二放电腔PA腔2的放电信号，第一放电腔MO腔I的光信号和第二放电腔PA腔2的放电信号为一个正脉冲和一个负脉冲，将第一放电腔MO腔I的光信号和第二放电腔PA腔2的放电信号传输至同步控制器5中，同步控制器5提取两信号的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。所述的高压探头4采用P6015A高压探头或PPE20KV高压探头。所述的光敏探头6采用DetlOA或Det25k，或者S1722-02或者R1328U-54，或者类似光敏探头。
权利要求
1.一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，其特征在于:包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，并将两放电高压信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。
2.—种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，其特征在于:包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，采用光敏探头检测第一放电腔MO腔的光信号，采用高压探头检测第二放电腔PA腔的放电信号，第一放电腔MO腔的光信号和第二放电腔PA腔的放电信号为一个正脉冲和一个负脉冲，将第一放电腔MO腔的光信号和第二放电腔PA腔的放电信号传输至同步控制器中，同步控制器提取两信号的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。
3.根据权利要求1或2所述的MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，其特征在于:所述的高压探头采用Ρ6015Α高压探头或PPE20KV高压探头。
4.根据权利要2所述的MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，其特征在于:所述的光敏探头采用DetlOA或Det25k，或者S1722-02或者R1328U-54。
全文摘要
本发明公开了一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，或采用光敏探头检测第一放电腔MO腔的光信号，采用高压探头检测第二放电腔PA腔的放电信号，并将两信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。本发明可以有效的实时获得准分子激光器的放电时序信号，结合准分子激光器专用的同步控制器，可以有效的对MOPA结构的双腔准分子激光器进行同步控制，达到所需的控制精度。
文档编号H01S3/104GK103078246SQ201210578509
公开日2013年5月1日 申请日期2012年12月27日 优先权日2012年12月27日
发明者方晓东, 梁勖, 王效顺, 鲍健 申请人:中国科学院安徽光学精密机械研究所