一种超级结外延cmp工艺方法
【专利摘要】本发明公开了一种超级结外延CMP工艺方法，在多晶硅沟槽栅制作后不做回刻，而是直接完成沟槽回刻及沟槽外延生长的工艺，外延生长结束后再做CMP工艺，该步CMP可以同时完成沟槽栅多晶硅及沟槽外延的研磨，并保证两者表面的平坦性，防止外延残留的问题。
【专利说明】—种超级结外延CMP工艺方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种超级结双沟槽结构中，改善超级结外延CMP (Chemical Mechanical Planarization:化学机械平坦化)工艺中外延残留的方法。
【背景技术】
[0002]目前超级结双沟槽工艺平台流程中，双沟槽包含栅沟槽和外延沟槽，因此有两步沟槽填充及平坦化的工艺:
[0003]1.在棚沟槽中淀积多晶娃，淀积完成后进彳丁回刻；
[0004]2.进行外延沟槽的刻蚀，然后淀积外延，外延填充满外延沟槽后进行CMP工艺。
[0005]上述的两步沟槽的填充工艺，其流程的缺点是:沟槽栅多晶硅回刻工艺会导致沟槽栅多晶硅上部产生凹陷，如图1中的圈注5所示，图中外延沟槽2位于硅衬底I中，衬底中还具有栅沟槽3，栅沟槽3上方具有由氧化硅层4及氮化硅层7组成的阻挡层。回刻使沟槽栅多晶硅上方依次产生凹陷。回刻后，后续外延生长过程中外延会生长到多晶硅回刻引起的凹陷中(圈注6所示)，从而导致后续外延CMP工艺中，凹陷中的外延不容易被磨干净，产生外延残留，进而影响后续工艺过程，产生如图2所示的起皮剥落、颗粒等问题或缺陷。
【发明内容】
[0006]本发明所要解决的技术问题在于提供一种超级结外延CMP工艺方法。
[0007]为解决上述问题，本发明所述的超级结外延CMP工艺方法包含如下工艺步骤:
[0008]第I步，在硅衬底上进行栅沟槽刻蚀，并淀积一层氧化层；
[0009]第2步，栅沟槽内淀积多晶硅；
[0010]第3步，表面淀积氧化膜阻挡层；
[0011]第4步，光刻及刻蚀打开阻挡层窗口，使硅衬底露出；
[0012]第5步，对阻挡层打开区域的硅衬底进行外延沟槽刻蚀；
[0013]第6步，去除多晶硅上的氧化膜阻挡层；
[0014]第7步，器件表面淀积一层外延，填充满所刻蚀的外延沟槽；
[0015]第8步，进行CMP研磨，研磨停留在硅衬底表面的氧化层上。
[0016]进一步地，所述第4步中，阻挡层打开分氧化膜阻挡层刻蚀，多晶硅刻蚀以及氧化层刻蚀三步。
[0017]进一步地，所述第8步中的CMP研磨采用多晶硅CMP，硅衬底表面的氧化层作为多晶硅CMP工艺的研磨阻挡层。
[0018]本发明采用新的工艺流程，沟槽栅多晶硅淀积填充后不做回刻，而是直接完成外延沟槽刻蚀及沟槽外延生长的工艺，外延生长结束后再做CMP工艺，该步CMP可以同时完成沟槽栅多晶硅及沟槽外延的研磨，并保证两者表面的平坦性(不再产生多晶硅回刻中的凹陷现象)，防止产生外延残留的问题。【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是传统外延CMP工艺示意图；
[0020]图2是传统工艺产生的外延残留导致的工艺缺陷；
[0021]图3?10是本发明工艺步骤示意图；
[0022]图11是本发明工艺流程图。
[0023]附图标记说明
[0024]I是硅衬底，2是外延沟槽，3是栅沟槽，4是氧化硅阻挡层，5是凹陷，6是外延残留，7是氮化硅阻挡层；
[0025]21是衬底，22是氧化层,23是多晶娃，24是氧化膜阻挡层，25是外延沟槽，26是外延。
【具体实施方式】
[0026]本发明所述的超级结外延CMP工艺方法，包含如下工艺步骤:
[0027]第I步，如图3所示，在硅衬底21上进行栅沟槽刻蚀，并淀积一层氧化层22。
[0028]第2步，如图4所示，栅沟槽内淀积多晶硅23 ;淀积完成后沟槽上方的多晶硅23会产生凹陷。
[0029]第3步，如图5所示，表面淀积氧化膜阻挡层24。
[0030]第4步，如图6所示，光刻及刻蚀打开阻挡层24窗口，使硅衬底21露出；阻挡层打开分三步:氧化膜阻挡层24刻蚀，多晶硅23刻蚀以及氧化层22的刻蚀。
[0031]第5步，如图7所示，对阻挡层打开区域的硅衬底21进行外延沟槽刻蚀；形成外延沟槽25。
[0032]第6步，如图8所示，去除多晶硅23上的氧化膜阻挡层24。
[0033]第7步，如图9所示，器件表面淀积一层外延26，填充满所刻蚀的外延沟槽25。
[0034]第8步，如图10所示，进行CMP研磨，研磨停留在硅衬底21表面的氧化层22上，研磨完成。CMP研磨工艺采用的是多晶硅CMP，硅衬底21表面的氧化层22作为多晶硅CMP工艺的研磨阻挡层。
[0035]本发明所述的工艺方法，沟槽栅多晶硅生长前的工艺流程不变，与现有工艺流程最大的区别在于沟槽栅多晶硅后先不做多晶硅回刻，而是直接完成后续沟槽刻蚀及沟槽外延生长等工艺。考虑到多晶硅和外延同属硅介质，两者在多晶硅CMP工艺中有几乎相同的研磨速率，因此我们在外延生长结束后再做多晶硅CMP工艺，该步CMP可以同时完成沟槽栅多晶硅及沟槽外延的研磨，并保证两者表面的平坦性，防止产生现有工艺中外延残留的问题。
[0036]以上仅为本发明的优选实施例，并不用于限定本发明。对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种超级结外延CMP工艺方法，其特征在于:包含如下工艺步骤: 第I步，在硅衬底上进行栅沟槽刻蚀，并淀积一层氧化层； 第2步，器件表面淀积多晶硅，多晶硅填充满整个栅沟槽； 第3步，器件表面再淀积氧化膜阻挡层； 第4步，光刻及刻蚀打开阻挡层窗口，使硅衬底露出； 第5步，对阻挡层打开区域的硅衬底进行外延沟槽刻蚀； 第6步，去除多晶硅上的氧化膜阻挡层； 第7步，器件表面淀积一层外延，填充满所刻蚀的外延沟槽； 第8步，进行CMP研磨，研磨停留在硅衬底表面的氧化层上。
2.如权利要求1所述的一种超级结外延CMP工艺方法，其特征在于:所述第4步中，阻挡层打开分氧化膜阻挡层刻蚀，多晶硅刻蚀以及氧化层刻蚀三步。
3.如权利要求1所述的一种超级结外延CMP工艺方法，其特征在于:所述第8步中的CMP研磨采用多晶硅CMP，硅衬底表面的氧化层作为多晶硅CMP工艺的研磨阻挡层。
【文档编号】H01L21/28GK103854979SQ201210496251
【公开日】2014年6月11日 申请日期:2012年11月28日 优先权日:2012年11月28日
【发明者】李刚 申请人:上海华虹宏力半导体制造有限公司