专利名称：平面型功率mos晶体管及其制造方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造工艺，更具体地说，本发明涉及一种平面型功率MOS晶体管及其制造方法。
背景技术：
金属-氧化物-半导体(Metal-Oxide-Semiconductor)结构的晶体管简称MOS晶体管，有P型MOS管和N型MOS管之分。图I示意性地示出了一种平面型功率MOS晶体管的截面图。如图I所示的平面型 功率MOS晶体管包括依次层叠在硅片I表面的栅极氧化层2、栅极多晶硅层3、以及正硅酸乙酷层4。如图I所示的平面型功率MOS晶体管还包括布置在硅片I中的阱区6、布置在阱区6中的沟槽5、布置在沟槽5侧壁中的源极区域7、形成在源极区域7的内侧的侧墙隔离区9。图2示意性地示出了图I所示的根据现有技术的平面型功率MOS晶体管制造方法的流程图。如图2所示，为了制造如图I所示的平面型功率MOS晶体管，现有技术的平面型功率MOS晶体管制造方法包括如下步骤用于在硅片I上形成栅极氧化层2的栅极氧化层形成步骤SI ;用于在栅极氧化层2表面上形成栅极多晶硅层3的栅极多晶硅形成步骤S2 ;用于在栅极多晶硅层3上形成正硅酸乙酯层4的正硅酸乙酯层形成步骤S3 ;用于对正硅酸乙酯层4、栅极多晶硅层3、以及栅极氧化层2进行刻蚀以形成沟槽5的第一刻蚀步骤S4 ;用于在沟槽5下方形成源区7和阱区6的源阱区形成步骤S5 ;在沟槽侧壁淀积氮化硅8，并利用正硅酸乙酯填充侧壁，随后刻蚀形成侧墙隔离区9的侧墙形成步骤S6 ;用于对源区7和阱区6进行刻蚀以形成接触凹槽10的第二刻蚀步骤S8。但是根据图2所示的平面型功率MOS晶体管制造方法制成的平面型功率MOS晶体管的栅源漏电流较大，从而增大了平面型功率MOS晶体管的功耗且降低了平面型功率MOS晶体管的性能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够降低所制成的平面型功率MOS晶体管的栅源漏电流，从而降低平面型功率MOS晶体管的功耗并且改善平面型功率MOS晶体管的性能的平面型功率MOS晶体管制造方法。为了实现上述技术目的，根据本发明的第一方面，提供了一种平面型功率MOS晶体管制造方法，其包括用于在硅片上形成栅极氧化层的栅极氧化层形成步骤；用于在栅极氧化层表面上形成栅极多晶硅层的栅极多晶硅形成步骤；用于在栅极多晶硅层上形成正硅酸乙酯层的正硅酸乙酯层形成步骤；用于对正硅酸乙酯层、栅极多晶硅层、以及栅极氧化层进行刻蚀以形成沟槽的第一刻蚀步骤；用于在沟槽下方形成源区和阱区的源阱区形成步骤；在沟槽侧壁淀积氮化硅，并利用正硅酸乙酯填充侧壁，随后刻蚀形成侧墙隔离区的侧墙形成步骤；用于对所述侧墙隔离区进行退火的退火步骤。优选地，侧墙隔离区9的材料为正硅酸乙酯。优选地，利用N2O对侧墙隔离区9进行退火。优选地，在利用N2O对侧墙隔离区9进行退火的退火步骤S8中，退火温度为900-1150°C，退火时间为15-60分钟。根据本发明的第二方面，提供了一种根据本发明的第一方面所述的平面型功率MOS晶体管制造方法制成的平面型功率MOS晶体管，其包括依次层叠在硅片表面的栅极氧化层、栅极多晶硅层、以及正硅酸乙酯层；所述平面型功率MOS晶体管还包括布置在硅片中的阱区、布置在阱区中的沟槽、布置在沟槽侧壁中的源极区域、形成在源极区域的内侧的侧墙隔离区；其中，所述侧墙隔离区经历了退火工艺。 优选地，侧墙隔离区的材料为正硅酸乙酯。优选地，利用N2O对侧墙隔离区进行退火。根据本发明，通过利用N2O对侧墙隔离区进行，可以补偿侧墙隔离区(例如正硅酸乙酯侧墙隔离区)表面陷阱和界面陷阱，减少侧墙隔离区表面的自由键和界面状态，并且能够改进侧墙隔离区的质量，由此改进侧墙隔离区的抗击穿能力，进而降低平面型功率MOS晶体管的功耗并且改善平面型功率MOS晶体管的性能。
结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中图I示意性地示出了的平面型功率MOS晶体管的截面图。图2示意性地示出了根据现有技术的平面型功率MOS晶体管制造方法的流程图。图3示意性地示出了根据本发明实施例的平面型功率MOS晶体管制造方法的流程图。图4至图8示意性地示出了根据本发明实施例的平面型功率MOS晶体管制造方法的各个步骤。需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施例方式为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。<平面型功率MOS晶体管制造方法>图3示意性地示出了根据本发明实施例的平面型功率MOS晶体管制造方法的流程图。如图3所示，根据本发明实施例的平面型功率MOS晶体管制造方法包括用于在硅片I上形成栅极氧化层2的栅极氧化层形成步骤SI ；用于在栅极氧化层2表面上形成栅极多晶硅层3的栅极多晶硅形成步骤S2 ；
用于在栅极多晶硅层3上形成正硅酸乙酯层4的正硅酸乙酯层形成步骤S3 ;所得到的结构如图4所示；用于对正硅酸乙酯层4、栅极多晶硅层3、以及栅极氧化层2进行刻蚀以形成沟槽5的第一刻蚀步骤S4 ;所得到的结构如图5所示；用于在沟槽5下方形成源区7和阱区6的源阱区形成步骤S5 ;所得到的结构如图6所示；在沟槽侧壁淀积氮化硅8，并利用正硅酸乙酯填充侧壁，随后刻蚀形成侧墙隔离区9的侧墙形成步骤S6 ;所得到的结构如图7所示；与现有技术不同的是，根据本发明实施例的平面型功率MOS晶体管制造方法包括用于对侧墙隔离区9进行退火的退火步骤S7。 此后，优选地，根据本发明实施例的平面型功率MOS晶体管制造方法还包括用于对源区7和阱区6进行刻蚀以形成接触凹槽10的第二刻蚀步骤S8，所得到的结构如图8所
/Jn ο优选地，侧墙隔离区9的材料为正硅酸乙酯。可以看出，与现有技术不同的是，根据本发明实施例的平面型功率MOS晶体管制造方法增加了于对侧墙隔离区9进行退火的退火步骤S8。优选地，在退火步骤S8中，利用N2O对侧墙隔离区9进行退火。根据上述实施例，通过利用N2O对侧墙隔离区9进行，可以补充侧墙隔离区(例如正硅酸乙酯侧墙隔离区)表面陷阱和界面陷阱，减少侧墙隔离区表面的自由键和界面状态，并且能够改进侧墙隔离区的质量，由此改进侧墙隔离区的抗击穿能力，进而降低平面型功率MOS晶体管的功耗并且改善平面型功率MOS晶体管的性能。进一步优选地，在利用N2O对侧墙隔离区9进行退火的退火步骤S8中，退火温度为900-1150°C，退火时间为15-60分钟，即在900-1150。。的N2O中退火15-60分钟。<平面型功率MOS晶体管>根据本发明的另一优选实施例，还提供了一种根据图2所示的平面型功率MOS晶体管制造方法制成的平面型功率MOS晶体管，如图8所示。具体地说，根据本发明的另一优选实施例的平面型功率MOS晶体管包括依次层叠在硅片I表面的栅极氧化层2、栅极多晶硅层3、以及正硅酸乙酯层4。如图8所示的平面型功率MOS晶体管还包括布置在硅片I中的阱区6、布置在阱区6中的沟槽5、布置在沟槽5侧壁中的源极区域7、形成在源极区域7的内侧的侧墙隔离区9。优选地，侧墙隔离区9的材料为正硅酸乙酯。与现有技术不同的是，根据本发明的另一优选实施例的平面型功率MOS晶体管的侧墙隔离区9经历了退火工艺。优选地，利用N2O对侧墙隔离区9进行退火。根据上述实施例，通过利用N2O对侧墙隔离区9进行，可以补充侧墙隔离区(例如正硅酸乙酯侧墙隔离区)表面陷阱和界面陷阱，减少侧墙隔离区表面的自由键和界面状态，并且能够改进侧墙隔离区的质量，由此改进侧墙隔离区的抗击穿能力，进而降低平面型功率MOS晶体管的功耗并且改善平面型功率MOS晶体管的性能。
本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变 动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。
权利要求
1.一种平面型功率MOS晶体管制造方法，其特征在于包括 用于在硅片上形成栅极氧化层的栅极氧化层形成步骤； 用于在栅极氧化层表面上形成栅极多晶硅层的栅极多晶硅形成步骤； 用于在栅极多晶硅层上形成正硅酸乙酯层的正硅酸乙酯层形成步骤； 用于对正硅酸乙酯层、栅极多晶硅层、以及栅极氧化层进行刻蚀以形成沟槽的第一刻蚀步骤； 用于在沟槽下方形成源区和阱区的源阱区形成步骤； 在沟槽侧壁淀积氮化硅，并利用正硅酸乙酯填充侧壁，随后刻蚀形成侧墙隔离区的侧墙形成步骤； 用于对所述侧墙隔离区进行退火的退火步骤。
2.根据权利要求I所述的平面型功率MOS晶体管制造方法，其特征在于还包括用于对所述源区和所述阱区进行刻蚀以形成接触凹槽的第二刻蚀步骤。
3.根据权利要求I或2所述的平面型功率MOS晶体管制造方法，其特征在于，侧墙隔离区的材料为正硅酸乙酯。
4.根据权利要求I或2所述的平面型功率MOS晶体管制造方法，其特征在于，利用N2O对侧墙隔离区9进行退火。
5.根据权利要求4所述的平面型功率MOS晶体管制造方法，其特征在于，在利用N2O对侧墙隔离区9进行退火的退火步骤S 8中，退火温度为900-1150°C，退火时间为15-60分钟。
6.一种根据权利要求I至5之一所述的平面型功率MOS晶体管制造方法制成的平面型功率MOS晶体管，其包括依次层叠在硅片表面的栅极氧化层、栅极多晶硅层、以及正硅酸乙酯层； 所述平面型功率MOS晶体管还包括布置在硅片中的阱区、布置在阱区中的沟槽、布置在沟槽侧壁中的源极区域、形成在源极区域的内侧的侧墙隔离区； 其中，所述侧墙隔离区经历了退火工艺。
7.根据权利要求5所述的平面型功率MOS晶体管，其特征在于，侧墙隔离区的材料为正硅酸乙酯。
8.根据权利要求5或6所述的平面型功率MOS晶体管，其特征在于，利用N2O对侧墙隔离区进行退火。
全文摘要
本发明提供了一种平面型功率MOS晶体管及其制造方法。平面型功率MOS晶体管制造方法包括用于在硅片上形成栅极氧化层的栅极氧化层形成步骤；用于在栅极氧化层表面上形成栅极多晶硅层的栅极多晶硅形成步骤；用于在栅极多晶硅层上形成正硅酸乙酯层的正硅酸乙酯层形成步骤；用于对正硅酸乙酯层、栅极多晶硅层、以及栅极氧化层进行刻蚀以形成沟槽的第一刻蚀步骤；用于在沟槽下方形成源区和阱区的源阱区形成步骤；在沟槽侧壁淀积氮化硅，并利用正硅酸乙酯填充侧壁，随后刻蚀形成侧墙隔离区的侧墙形成步骤；用于对所述侧墙隔离区进行退火的退火步骤。本发明能改进侧墙隔离区的抗击穿能力，降低平面型功率MOS晶体管的功耗并改善平面型功率MOS晶体管的性能。
文档编号H01L21/324GK102800583SQ20121031274
公开日2012年11月28日 申请日期2012年8月29日 优先权日2012年8月29日
发明者吴亚贞 申请人:上海宏力半导体制造有限公司