专利名称：用于分离式电子器件的载体以及分离式电子器件的目视检查方法
技术领域：
本发明涉及一种用于分离式电子器件的载体以及一种用于对分离式电子器件的进行目视检查的方法。
背景技术：
在制造电子器件，更具体地例如制造半导体产品的过程中，这些器件通常与在其中生产出这些电子器件的较大电子器件单元相分离(也称作单件化或分割)。这种较大电子器件组件的例子可为条、板或圆片，其中很多可选地封装的电子器件被拼合在一起成为整体。在这些电子器件的后续分离(也称作脱离、单件化或个体化)过程中，相对其他方法，运用较为传统的机器加工工艺，例如液体喷射切割或激光切割的锯切和研磨。然后通常将分离式电子器件置于载体之上或载体之内。利用该载体作为产品载体，即可将分离式电子器件输送到一个或多个后续加工工位。分离后的一个特定工序为目视检查，其中会对这些器件的外径和其他方面进行检查。根据现有技术，将这些分离式电子器件放置在金属载板上，然后使该载板移位经过一相机系统(视觉系统)，这样使得能够通过该相机产生这些分离式电子器件的图像记录。这就能够例如根据质量，例如像通过移除偏离标准的分离式电子器件，来选择这些分离式电子器件。现有的分离式电子器件检查方法的缺点在于，例如由于这些器件在目视检查过程中产生分散注意力的亮度，因此这些检查方法具有有限的精度。现有的用于分离式电子器件的载体的另一个问题是，可能出现非受控的静电电荷(静电放电，ESD)，这可能损害到通常具有极高灵敏度的电子器件。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种用于分离式电子器件的载体，从而与现有技术相比降低因ESD导致浪费的 可能性。本发明的另一个目的是提供一种用于分离式电子器件的载体和目视检查方法，从而提闻目视检查的质量。为此目的，本发明提供了一种设有用于分离式电子器件的夹持器的平坦载体，该载体包括:一平坦金属平台，其设有凹入该平坦金属平台内的空间，该凹入空间对该平坦金属平台的多个平坦侧边之一是开放的；以及一环氧树脂载体结构，该结构以形式配合的方式设置在该凹入空间内，其中这些用于分离式电子器件的夹持器是由该载体结构的环氧树脂形成的。该构造的优点在于，该组装结构由于金属平台而具有高度保形性，而且该金属平台使该载体坚固并因此耐用。然而该坚固性还结合有利用该环氧树脂载体结构而获得的优点。这些优点为，由于在选择环氧树脂上的自由度以及在选择环氧树脂接触层的精整加工上的自由度，因此可在这些待夹持的分离式电子器件与该环氧树脂之间产生高视觉对比度；其结果是强化了这些分离式电子器件的可选后续目视检查的质量。进一步优点在于能够完全控制该环氧树脂的消散能力。因此，静电荷可通过选择特定消散能力而以完全受控的方式被完全地或不完全地放电，而不发生该载体的接触表面为导电性致使这些分离式电子器件承受峰值负载的风险。又另一个优点为可简易地加工该环氧树脂，使得用于制造目的的(机加工)生产装置的寿命相对较长，而同时在制造用于这些分离式电子器件的夹持器方面拥有很高的设计自由度。而且，可有效率地生产根据本发明的载体。在实践中，已经发现使该环氧树脂的接触侧边和该金属平台的与之相连的边缘在一表面内彼此连接是有利的，其他的目的在于将载体的污染最小化且不在后续工序中构成阻碍。该平台和该环氧树脂的形式配合联接具有重大意义，因为这样可对该载体作为整体的保形性进行控制。应用该环氧树脂载体结构的另一个优点在于，可由此将这些分离式电子器件受到的来自该载体的摩擦阻力保持得低，这有助于将这些分离式电子器件准确地放置(自我定位)在相对于该载体的所确定的位置处；而高位置准确度对于后续工序是有利的，这一点会很明显。此外，还可由此通过根据本发明的载体来加工非常紧凑的器件。在本发明的变形中，凹入该平坦金属平台内的空间仅对该平坦金属平台的其中一个平坦侧边是开放的。除了该留为开放的侧边，从而通过该金属平台将该环氧树脂载体结构整体地包封。这种几何结构与该平台内的环氧树脂的形式配合相结合，在环氧树脂与该平台之间产生了非常坚固的联接。因此完全排除这些个体器件之间不希望的相互脱离。用于这些分离式电子器件的夹持器可以是例如由凹入该环氧树脂内的接收空间所形成的，从而至少是在该载体的表面内将这些分离式电子器件在该载体上的位置固定。为了提高这些分离式电子器件 的定位精度，凹入该环氧树脂内的接收空间设有倒角定位边缘是有利的。因此，这些定位边缘将确保，至少当注意了在该定位边缘的位置处选择具有足够小摩擦阻力的环氧树脂时，仍可将未以完全准确的方式呈现的分离式电子器件放置在非常精确地确定的位置处。正是在使用这些定位边缘时，显著优点才变得甚至更加重要。该环氧树脂载体结构与这些分离式电子器件之间的对比度可选择为，使得该定位边缘并不会对目视检查，特别是这些分离式电子器件的外周的目视检查造成妨碍。在其中设置了带有定位边缘的凹槽的用于分离式电子器件的传统载体中，可能会因该定位边缘的阴影效应而在这些分离式电子器件的一个或多个侧边上产生测量不精确，而通常无法适当地辨别这些分离式电子器件的外周。利用根据本发明的载体可消除该问题，从而其可在该环氧树脂载体结构与这些分离式电子器件之间达到一对比度，使得能够准确地在视觉上辨别这些分离式电子器件的外周。作为凹入该环氧树脂内的接收空间的替代方案，这些分离式电子器件的夹持器，可选地与其他形式的夹持器相结合，可以是由从该环氧树脂表面伸出(即凸出)的环氧树脂承载元件组成。这种凸出的环氧树脂承载元件也称作“立柱”。凸出的环氧树脂承载元件的优点在于可“浮动地”定位这些分离式电子器件(即外周整体地或部分地脱离该环氧树脂)，这就例如使得可以更容易的对这些分离式电子器件的垂直边缘进行目视检查。这些载体结构的环氧树脂优选地是作为成型树脂引入该平坦金属平台内的凹入空间中。然而，也可将其他塑料(例如像塑胶或丙烯酸酯)应用于该载体结构，但必须以不同的方式实现该平坦金属平台内的凹入空间的形式配合联接。在所使用的环氧树脂的物理性质方面，硬度优选为[70-90]邵氏硬度D，并且电阻值处于105-109欧姆之间。该消散值可通过将例如像Al或Ag的金属的导体掺和到该载体结构的环氧树脂中来获得。例如可使该环氧树脂的表面粗糙度受到影响，从而决定非透明度或者与该表面质量相关的其他特性。在该环氧树脂上的磨擦工序之后，可选择磨擦该环氧树脂材料(摩擦精整)以去除像镜子一样呈现的光泽。通过这样的表面粗糙度，该环氧树脂足以消光而防止反射对目视检查造成妨碍。该平坦金属载体结构是由例如像铝的金属制成的。铝制是有利的，因为它具有相对有限的重量和足够的强度。通过选择这种金属，即可组装出足够强度的载体而保持其有限的重量。对于载体通常是用作输送夹持器来使相对有限的重量具有重要意义。在另一个变形中，由该载体结构的环氧树脂形成的用于这些分离式电子器件的夹持器设有连接到至少一个中央吸入线路的吸入口。可对这些吸入口施以低压力(例如约100-300mbar或更低的数量级)，从而使这些分离式电子器件一旦被定位，就被夹持在位；其结果是这些分离式电子器件在承载载体的有限加速和/或减速的情况下也将仍保持在位。在又一个变形中，该环氧树脂载体结构是以使得在整个接触表面上大致均匀地产生光激发的方式予以光照。这样获得的背景照明使得能够以甚至更高的精度检测这些分离式电子器件的外周。本发明还包括一种用于对分离式电子器件进行目视检查的方法，该方法包括以下步骤:A)将若干分离式电子器件装载于一如前所述的平坦载体；B)相对于一相机相对移动载有这些分离式电子器件的载体；以及C)利用该相机对由该载体夹持的这些分离式电子器件进行目视检查。这里，重要的是这些分离式电子器件在加工步骤A)的过程中是利用设置在该环氧树脂载体结构内的定位边缘以最小精度带入一固定的位置。因此，该环氧树脂载体结构内的凹槽的尺寸可具体表现为具有例如±50 μ m的余量，并且倾斜进入角度(定位边缘)可设置为例如宽度0.1_。所以，在这样的实施例中，仍能对该载体结构的表面内呈现最大150 μ m的位置变化加以补偿并校正。利用这样的方法，即可实现如上文中根据本发明的载体所述的优点；上述优点也可与根据本发明的方法相关地通过引用结合于此。在根据本发 明的方法的一个变形中，该环氧树脂载体结构中存在的静电电荷通过离子化气流被至少部分地放电。上文已参照该环氧树脂载体结构的消散能力，其优选的变化范围是在1.105-1.109欧姆之间。通过这种环氧树脂载体结构，可释放出静电电荷而不会出现将峰值电压施加于静电电荷的风险。然而，(部分的)静电电荷也可通过离子化气流的方式被放电，这样可进一步限制ESD的危险，即使在具有有限消散能力(1.105-1.109欧姆或者甚至更低)的环氧树脂载体中也是如此。为了防止这些分离式电子器件相对于该载体而移位，可选择通过降压的方式固定这些分离式电子器件以及用于这些分离式电子器件的夹持器的相互位置。
本发明将基于以下非限制性的示例性实施例作进一步阐述。图1为根据本发明的用于分离式电子器件的载体的透视图；并且图2为根据权利要求1所述的用于分离式电子器件的载体的截面的透视图。
具体实施例方式图1为用于分离式电子器件的载体I的透视图，仅示出了其中一个电子器件2。载体I为此目的设有凹槽形式的夹持器3，这些凹槽以“棋盘模式”遍布于该载体I中，使得所有夹持器3的纵向侧边留有余地。而且这些夹持器的所有拐角点都设有包围这些拐角点的凹槽4。这些凹槽4的优点在于待放入这些夹持器3中的电子器件2的拐角都与载体I无接触，这样有助于进行目视检查并且使得该载体I较不易受到影响。该载体是由一平坦金属平台5构造而成的，其中留空一个中央空间，环氧树脂载体结构6设于其内。该环氧树脂载体结构6仅能从该平台5的多个平坦侧边之一接触到。用于这些分离式电子器件2的夹持器3凹入到该环氧树脂载体结构6之中。该图进一步示出所有夹持器3都设有一中央开口 7，通过该中央开口可将放入这些夹持器3内的电子器件2吸入。为了相对于加工工位(这里未进一步示出)定位该载体I的目的，在该载体之内设有多个定位口 8，而在这些定位口内可放入参考脚。图2为图1的载体I的截面的透视图，其中可以看到所述环氧树脂载体结构6以形式配合的方式设置在该金属平台5中。一空间10凹入该金属平台5内。该空间10的边缘11被底切，并且在该底侧上设有一楔形凹槽12。该环氧树脂载体结构6紧密地配合于该空间10的壁，因为例如环氧树脂被浇铸到该空间10内，从而使得由于该环氧树脂载体结构6连接于这些底切边缘11及该楔形凹槽12，因此在该金属平台5与该环氧树脂载体结构6之间为形式配合联接。除所示根据本发明的载体的实施例之外，在本发明的范围内当然还有很多可能的变化。例如，也可将金属器件例如以杯子形式设置在(铸入)该环氧树脂载体结构6内，从而提高抗 磨损性。
权利要求
1.一种具有用于分离式电子器件的夹持器的平坦载体，包括: -平坦金属平台，其设有凹入所述平坦金属平台内的空间，所述凹入空间对于所述平坦金属平台的多个平坦侧边之一是开放的；以及 -环氧树脂载体结构，该结构以形式配合方式设置在所述凹入空间内，其中用于分离式电子器件的夹持器是由所述载体结构的环氧树脂形成的。
2.如权利要求1所述的平坦载体，其特征在于:凹入所述平坦金属平台内的所述空间仅对于所述平坦金属平台的平坦侧边之一是开放的。
3.如权利要求1或2所述的平坦载体，其特征在于:用于所述分离式电子器件的夹持器是通过接收凹入所述环氧树脂内的空间而形成的。
4.如权利要求3所述的平坦载体，其特征在于:凹入所述环氧树脂内的接收空间设有倒角定位边缘。
5.如以上权利要求中任一项所述的平坦载体，其特征在于:用于所述分离式电子器件的所述夹持器是通过凸出的环氧树脂承载元件形成的。
6.如以上权利要求中任一项所述的平坦载体，其特征在于:所述载体结构的所述环氧树脂作为成型树脂被引入所述平坦金属平台中的所述凹入空间内。
7.如以上权利要求中任一项所述的 平坦载体，其特征在于:所述载体结构的环氧树脂与金属导体混合。
8.如以上权利要求中任一项所述的平坦载体，其特征在于:所述平坦金属载体结构是由如像铝这样的金属制成的。
9.如以上权利要求中任一项所述的平坦载体，其特征在于:所述环氧树脂具有因表面被磨擦而提高的表面粗糙度。
10.如以上权利要求中任一项所述的平坦载体，其特征在于:由所述载体结构的环氧树脂形成的用于所述分离式电子器件的所述夹持器设有多个连接于至少一个中央吸入线路的吸入口。
11.一种用于对分离式电子器件进行目视检查的方法，包括以下加工步骤: A)将若干分离式电子器件装载于如以上权利要求中任一项所述的平坦载体； B)相对于一相机相对位移装载有分离式电子器件的载体；以及 C)利用所述相机对通过所述载体夹持的所述分离式电子器件进行目视检查。
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于:所述分离式电子器件在加工步骤A)的过程中利用设置在所述环氧树脂载体结构内的定位边缘以最小精度放入一固定的位置。
13.如权利要求11或12所述的方法，其特征在于:所述环氧树脂载体结构中存在的静电电荷通过离子化气流被至少部分地释放。
14.如权利要求11至13中任一项所述的方法，其特征在于:所述分离式电子器件以及用于所述分离式电子器件的所述夹持器的相互位置通过降压的方式被固定。
全文摘要
本发明涉及一种设有用于分离式电子器件的夹持器的平坦载体，包括平坦金属平台，具有凹入其内的空间；以及环氧树脂载体结构，其以形式配合的方式设置在所述空间内并设有用于所述分离式电子器件的夹持器。本发明还涉及一种用于对位于这种平坦载体上的分离式电子器件进行目视检查的方法。
文档编号H01L21/673GK103222042SQ201180052032
公开日2013年7月24日 申请日期2011年11月3日 优先权日2010年11月4日
发明者J·G·A·兹沃斯, J·H·G·胡易斯特德 申请人:贝斯荷兰有限公司