专利名称：一种集成探测器及其探测方法、光模块、光网络系统的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及通信领域，尤其涉及一种集成探测器及其探测方法、光模块、光网络系统。
背景技术：
近年来,无源光纤网络(Passive Optical Network, PON)技术凭借其点到多点的网络架构及无源等优势，在光纤接入(Fiber to the x, FTTx)领域,越来越受到运营商的青睐，并且无源光纤网络的大规模部署，直接受制于光模块成本的影响。然而，目前，光模块中需要设置两个探测器，以分别进行光信号的检测与转换，这就使得产品的封装工艺较为复 杂，光学部件较多，成本高。
发明内容
本发明的实施例提供一种集成探测器及其探测方法、光模块、光网络系统，能够实现在检测单元检测转换后的电信号的强弱的同时，数据恢复单元恢复出承载在光上的数据信号，进一步地，降低了封装工艺的复杂度。为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案一方面，本发明实施例提供一种集成探测器，包括检测单元和数据恢复单元，其中，所述检测单元，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；所述数据恢复单元，用于接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。一方面，本发明实施例提供一种集成探测器的探测方法，所述方法包括接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。一方面，本发明实施例提供一种光模块，包括激光器、滤波器和第一光波导，所述激光器通过所述第一光波导与所述滤波器连接，其特征在于，所述光模块还包括集成探测器和第二光波导，所述集成探测器通过所述第二光波导与所述激光器连接；其中，所述激光器，用于产生第一光信号，通过所述第一光波导将所述第一光信号发送给所述集成探测器；所述滤波器，用于接收光线路终端发送的第二光信号，将所述第二光信号发送给所述集成探测器；所述集成探测器，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；以及接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。一方面，本发明实施例提供一种光网路系统，所述光网络系统包括光线路终端、光网络单元、以及光分配网，所述光线路终端通过光分配网与所述光网络单元连接，所述光网络单元包括上述的任意一种集成探测器。本发明实施例提供的一种集成探测器及其探测方法、光模块、光网络系统，通过设置检测单元和数据恢复单元，其中，检测单元能够接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测转换后的电信号的强弱，数据恢复单元能够接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号，从而实现了在检测单元检测转换后的电信号的强弱的同时，数据恢复单元恢复出承载在光上的数据信号，进一步地，降低了封装工艺的复杂度。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本发明实施例的集成探测器结构示意图；图2为本发明实施例的集成探测器利记博彩app流程图；图3为本发明实施例的集成探测器的探测方法流程示意图；图4为本发明实施例的光模块结构示意图；
图5为本发明实施例的光网路系统结构示意图。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。实施例一本发明实施例提供一种集成探测器1，如图I所示，检测单元12和数据恢复单元13，其中，所述检测单元12，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；所述数据恢复单元13，用于接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。进一步地，集成探测器I还包括电隔离层103，用于将所述检测单元12的电信号与所述数据恢复单元13的电信号进行隔离。进一步地，所述检测单元12接收的第一光信号的入射方向与所述数据恢复单元13接收的第二光信号的入射方向相反，且所述第一光信号的入射方向及所述第二光信号的入射方向均平行于所述电隔离层103,或所述检测单兀12接收的第一光信号的入射方向与所述数据恢复单元12接收的第二光信号的入射方向相同，且所述第一光信号的入射方向及所述第二光信号的入射方向均平行于所述电隔离层103。进一步地，集成探测器I还包括衬底101，所述检测单元12和所述数据恢复单元13都集成在所述衬底101上，且所述衬底101为半绝缘磷化铟材料。进一步地，检测单元12包括第一台面、第一金属电极层109、第一子n极层104以及第一反射面114，其中，所述第一台面是在所述衬底101上依次沉积n极层102、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀P极层和吸收层所形成的，且所述n极层102为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料；所述第一金属电极层109是在所述第一台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法， 腐蚀所述金属层所形成的；所述第一子n极层104是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层102所形成的；所述第一反射面114是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层104所形成的；所述数据恢复单元13包括第二台面、第二金属电极层113、第二子n极层105以及第二反射面115，其中，所述第二台面是在所述衬底101上依次沉积所述n极层102、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀所述P极层和吸收层所形成的，且所述n极层102为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料；所述第二金属电极层113是在所述第二台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法，腐蚀所述金属层所形成的；所述第二子n极层105是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层102所形成的；所述第二反射面115是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第二子n极层105所形成的。进一步地，所述检测单元12还包括第一入光斜面116，所述第一入光斜面116是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层104所形成的，所述第一光信号由所述第一入光斜面116射入所述第一子n极层104 ；所述数据恢复单元13还包括第二入光斜面117，所述第二入光斜面117是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第二子n极层105所形成的，所述第二光信号由所述第二入光斜面117射入所述第二子n极层105。本发明实施例提供的集成探测器，通过设置检测单元和数据恢复单元，其中，检测单元能够接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测转换后的电信号的强弱，数据恢复单元能够接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号，从而实现了在检测单元检测转换后的电信号的强弱的同时，数据恢复单元恢复出承载在光上的数据信号，进一步地，降低了封装工艺的复杂度。实施例二本发明实施例提供一种集成探测器1，如图I所示，集成探测器I的具体结构包括检测单元12、数据恢复单元13，且检测单元12及数据恢复单元13均设置在半绝缘磷化铟材料的衬底101上，其中，检测单元12包括第一子n极层104，第一子n极层104可以为n型掺杂的磷化铟材料；
在第一子n极层104上设置的第一吸收层106，第一吸收层106可以为砷化铟镓材料；在第一吸收层106上设置的第一电极层107，第一电极107可以包括第一 P极层108和第一金属电极层109，其中，第一 P极层108可以为P型掺杂的磷化铟材料，第一金属电极层109可以为金属材料；在第一子n极层104中设置的第一反射面114 ；由第一子n极层104、第一吸收层106、第一 P极层108、第一金属电极层109以及第一反射面114所构成的检测单元12，能够接收来自有源光模块中激光器发出的光，即为第一光信号，并且在第一金属电极层109的作用下处于反向电压状态，检测单元12使得经过第一子n极层104的第一光信号，通过第一反射面114的反射作用，射入第一吸收层106，以检测转换后的电信号的强弱，此时的检测单元12相当于一个单独的监控探测器；数据恢复单元13包括 第二子n极层105，第二子n极层105可以为n型掺杂的磷化铟材料；在第二子n极层105上设置的第二吸收层110，第一吸收层110可以为砷化铟镓材料；在第二吸收层110上设置的第二电极层111，第一电极111可以包括第二 P极层112和第二金属电极层113，其中，第二 P极层112可以为P型掺杂的磷化铟材料，第二金属电极层113可以为金属材料；在第二子n极层105中设置的第二反射面115 ；由第二子n极层105、第二吸收层110、第二 P极层112、第二金属电极层113以及第二反射面115所构成的数据恢复单元13，能够通过有源光模块中滤波器接收来自光纤的光，即为第二光信号，并且在第二金属电极层113的作用下处于反向电压状态，数据恢复单元117使得经过第二子n极层105的第二光信号，通过第二反射面115的反射作用，射入第二吸收层110，以将光信号转化为电信号，恢复出承载在光上的数据信号，此时的数据恢复单元13相当于一个单独的光电探测器。进一步地，集成探测器I还包括电隔离层103，电隔离层103能够将检测单元12的电信号与数据恢复单元13的电信号进行隔离，电隔离层103具体可以为有机聚合物或者空气;需要说明的是，第一金属电极层109可以分为正金属电极1091、负金属电极1092,其中，正金属电极1091接正电压与第一子n极层104接触，负金属电极1092接负电压或者接地与第一 P极层108接触，这样在正金属电极1091、负金属电极1092的共同作用下，检测单元12便一直处于反向电压状态，以检测入射光信号的强弱。同样的，第二金属电极层113也可以分为正金属电极1131、负金属电极1132，其中，正金属电极1131接正电压与第二子n极层105接触，负金属电极1132接负电压与第二 P极层112接触，这样在正金属电极1131、负金属电极1132的共同作用下，数据恢复单元13便一直处于反向电压状态，以将入射的光信号转化为电流信号，恢复出承载在光上的数据信号。不例性的，第一光信号与第二光信号的入射方向相反且第一光信号与第二光信号的入射方向平行于电隔离层103，这样，能够避免第一光信号与第二光信号在射入集成探测器I前后发生串扰，并且，在电隔离层103的作用下，也避免了第一光信号与第二光信号在光电转换后发生电串扰。上述对第一光信号与第二光信号的入射方向的描述仅是示例性的，当然也能够采用别的入射方式，如入射方向相同且第一光信号与第二光信号的入射方向与电隔离层平行，或入射方向相反且第一光信号与第二光信号的入射方向与电隔离层垂直，因为均是要使集成探测器检测转换后的电信号的强弱或恢复出承载在光上的数据信号，所以原理相同此处不再赘述，但也应在本发明的保护范围之内。从图I中可以看出，由第一子n极层、第一吸收层、第一 P极层、第一金属电极层及第一反射面组成的检测单元，能够接收来自有源光模块中激光器发出的光，即为第一光信号，第一光信号进入第一子n极层，并在第一子n极层中传播，当第一光信号到达第一反射面时，在第一反射面的作用下，会射入第一吸收层，当第一光信号射入第一吸收层时，在第一金属电极层的作用而一直处于反向电压状态的检测单元，能够检测第一光信号的光强度，此时的检测单元相当于一个单独的监控探测器。同样的，由第二子n极层、第二吸收层、第二 P极层、第二金属电极层及第二反射面组成的数据恢复单元，能够通过有源光模块中滤波器接收来自光纤的光，即为第二光信号，第二光信号进入第二子n极层，并在第二子 n极层中传播，当第二光信号到达第二反射面时，在第二反射面的作用下，会射入第二吸收层。当第二光信号射入第二吸收层时，在第二金属电极层的作用而一直处于反向电压状态的数据恢复单元，能够将入射光信号转化为电信号，此时的数据恢复单元相当于一个单独的光电探测器。进一步地，本发明实施例对集成探测器I的利记博彩app进行示例性说明，如图2所示，利记博彩app为S201、在衬底上依次沉积n极层、吸收层、P极层。
在半绝缘磷化铟材料的衬底上，依次沉积n型掺杂的磷化铟材料的n极层、砷化铟镓材料的吸收层以及P型掺杂的磷化铟材料的P极层。S202、利用光刻工艺,刻蚀P极层和吸收层，形成第一台面及第二台面,第一台面包括第一吸收层和第一 P极层，第二台面包括第二吸收层和第二 P极层。采用光刻工艺，可以一次性刻蚀吸收层、P极层，以形成第一台面及第二台面，第一台面、第二台面的边缘可以不与n极层边缘重合，并且第一台面及第二台面之间存在间隔。第一台面包括第一吸收层和第一 P极层，第二台面包括第二吸收层和第二 P极层。需要指出的是，这里只是说明了第一台面与第二台面的利记博彩app，并未对第一台面与第二台面的形状进行限制，当然第一台面、第二台面可以是圆形、矩形或其他不规则形状，具体由晶格的形状所决定，但均是采用光刻工艺，因此利记博彩app相同，也应在本发明保护范围内。S203、在n极层、第一台面及第二台面上沉积金属层。在利用光刻工艺刻蚀出第一台面、第二台面后，在露出的n极层以及第一台面、第二台面上沉积金属层。S204、利用化学腐蚀法，腐蚀金属层，形成第一金属电极层、第二金属电极层。需要说明的是，这里的第一金属电极层可以分为正、负金属电极，正金属电极接正电压位于n极层上，且与第一台面之间有间隙，负金属电极接负电压或者接地位于第一台面上，即与第一 P极层接触。同样的，这里的第二金属电极层也可以分为正、负金属电极，正金属电极接正电压位于n极层上，且与第二台面之间有间隙，负金属电极接负电压或者接地位于第二台面上，即与第二 P极层接触。S205、利用湿法刻蚀法，刻蚀n极层分别形成第一入光斜面、第二入光斜面。利用湿法刻蚀法，刻蚀n极层，形成第一入光斜面及第二入光斜面，其具体位置可以为n极层的边缘，第一入光斜面与第二入光斜面可以位于n极层的同一侧，也可以位于n极层的不同侧，第一入光斜面及第二入光斜面不但能够减小入射光的反射，而且能够减小反射光对入射光产生的干扰。第一光信号由第一入光斜面射入n极层，第二光信号由第二入光斜面射入n极层。S206、利用湿法刻蚀法，刻蚀n极层，形成电隔离层，电隔离层将n极层分隔为第一子n极层和第二子n极层，同时刻蚀第一子n极层、第二子n极层，使得在第一子n极层中形成第一反射面，在第二子n极层中形成第二反射面。
首先需要说明的是，当步骤S206引出第一子n极层及第二子n极层的概念后，步骤S205中第一入光斜面及第二入光斜面的位置便更加明确了，步骤S205中利用湿法刻蚀形成第一入光斜面及第二入光斜面，该第一入光斜面及第二入光斜面分别位于第一子n极层及第二子n极层的边缘，即第一入光斜面及第二入光斜面的深度等于n极层的厚度。但优选的，在进行湿法刻蚀时，可以通过延长刻蚀时间，刻蚀部分衬底，若入射光在入射前发生散射进入衬底，那么位于衬底中的斜面也可以发挥其反射作用减小入射光的反射。进一步地，第一入光斜面可以位于第一台面的一侧的边缘，第二入光斜面可以位于第二台面的一侧的边缘，且第一入光斜面与第二入光斜面可以同侧，也可以不同侧，这样第一光信号与第二光信号的入射方向相反或者相同且平行于电隔离层，能够避免第一光信号与第二光信号在射入集成探测器之前发生光串扰。利用湿法刻蚀法，在第一台面与第二台面之间形成电隔离层，电隔离层将n极层分隔为第一子n极层和第二子n极层，并且第一台面、第一金属电极层位于第一子n极层上，第二台面、第二金属电极层位于第二子n极层上。该电隔离层可以是一空气间隙，也可以具体为有机聚合物，或者其他可以制作在半导体上的绝缘材料。同时，利用湿法刻蚀法，刻蚀第一子n极层，使得在第一子n极层中形成第一反射面，该第一反射面位于第一台面与电隔离层之间，能够将经过第一子n极层传输的光反射入第一吸收层中。同样的，利用湿法刻蚀法，刻蚀第二子n极层，使得在第二子n极层中形成第二反射面，该第二反射面位于第二台面与电隔离层之间，能够将经过第二子n极层传输的光反射入第二吸收层中。需要指出的是，第一反射面、第二反射面可以为梯形反射面，这是由晶体晶格的晶向所决定的。晶体的一个基本特点是具有方向性，沿晶格的不同方向晶体性质不同。例如，沿着某个特定的晶向，半导体器件可以很容易解离形成一个干净光滑的断裂面。同样的，在某些特定的晶向上，化学腐蚀液对晶体的腐蚀速率也完全不同。而对于磷化铟材料，在经过湿法刻蚀后，能够形成了一个左右对称的梯形，且斜边的斜率相同。根据半导体的晶向特性，正好可以实现一次湿法刻蚀法，就可以形成第一反射面及第二反射面。需要补充的是，步骤S206中利用湿法刻蚀形成电隔离层、第一反射面及第二反射面，该电隔离层在n极层中，即电隔离层的厚度等于n极层，第一反射面及第二反射面分别在第一子n极层及第二子n极层中，即第一反射面、第二反射面的深度等于n极层的厚度，也就是说，步骤S206利用湿法刻蚀法一次性刻蚀形成电隔离层、第一反射面及第二反射面。但优选的，在进行第一反射面及第二反射面的刻蚀时，可以通过延长刻蚀时间，刻蚀部分衬底，若在n极层中传输的光散射入衬底中，那么位于衬底中的反射面也可以发挥其反射作用将光反射入第一吸收层或第二吸收层中，此时，刻蚀形成电隔离层、第一反射面及第二反射面可以分为两个步骤，即先利用湿法刻蚀法，刻蚀n极层，形成电隔离层，电隔离层将n极层分隔为第一子n极层和第二子n极层，再利用湿法刻蚀法，刻蚀第一子n极层、第二子n极层及部分衬底，形成第一反射面及第二反射面。至此，本发明实施例的集成探测器制作完成，从上述集成探测器的利记博彩app可以看出，图I中的检测单元12与数据恢复单元13结构相同，并集成在同一衬底101上，且能够一次性在同一衬底101上制作出检测单元12和数据恢复单元13。
为了更加清楚地说明该集成探测器的工作原理，如图I所示进行说明。首先，对检测单元12的工作原理进行说明，第一光信号由第一入光斜面进入第一子n极层，并在第一子n极层中传播，当第一光信号到达第一反射面时，在第一反射面的作用下，会射入第一吸收层。由于检测单元的正金属电极通正电与第一子n极层连接，负金属电极通负电与第一 P极层连接，因此检测单元一直处于反向电压状态，当第一光信号射入第一吸收层时，第一吸收层能够检测第一光信号的光强度。其次，对数据恢复单元13的工作原理进行说明，第二光信号由第二入光斜面进入第二子n极层，并在第二子n极层中传播，当第二光信号到达第二反射面时，在第二反射面的作用下，会射入第二吸收层。由于数据恢复单元的正金属电极通正电与第二子n极层连接，负金属电极通负电与第二 P极层连接，因此数据恢复单元一直处于反向电压状态，当第二光信号射入第二吸收层时，第二吸收层能够将入射光信号转化为电信号，以恢复承载在光上的数据信号。本发明实施例提供的集成探测器，通过设置检测单元、数据恢复单元以及电隔离层，其中，电隔离层能够将检测单元的电信号与数据恢复单元的电信号进行隔离，检测单元能够接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测转换后的电信号的强弱，数据恢复单元能够接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号，从而实现了在检测单元检测转换后的电信号的强弱的同时，数据恢复单元恢复出承载在光上的数据信号，并且检测单元中的电信号与数据恢复单元中的电信号不发生电串扰，进一步地，降低了封装工艺的复杂度，提高了探测器的可靠性。实施例三本发明实施例提供一种集成探测器的探测方法，如图3所示，方法包括S301、检测单元接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱。S302、数据恢复单元接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。本发明实施例提供的集成探测器的探测方法，能够接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱，以及接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。进一步地，降低了封装工艺的复杂度。
实施例四本发明实施例提供一种光模块，如图4所示，激光器3、滤波器4和第一光波导5，光模块还包括集成探测器I和第二光波导2，集成探测器I通过第二光波导2与激光器3连接；激光器3,用于产生第一光信号,通过所述第一光波导5将所述第一光信号发送给所述集成探测器I ;滤波器4，用于接收光线路终端发送的第二光信号，将所述第二光信号发送给所述集成探测器I ;集成探测器1，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；以及接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。
进一步地，集成探测器I具体包括检测单元和数据恢复单元，其中，所述检测单元，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；所述数据恢复单元，用于接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。进一步地，集成探测器I还包括电隔离层，用于将所述检索单元的电信号与所述数据恢复单元的电信号进行隔离。进一步地，所述检测单元包括第一台面、第一金属电极层、第一子n极层以及第一反射面，其中，所述第一台面是在所述衬底上依次沉积n极层、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀P极层和吸收层所形成的，且所述n极层为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料；所述第一金属电极层是在所述第一台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法，腐蚀所述金属层所形成的；所述第一子n极层是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层所形成的；所述第一反射面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层所形成的。进一步地，所述检测单元还包括第一入光斜面，所述第一入光斜面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层所形成的，所述第一光信号由所述第一入光斜面射入所述第一子n极层。本发明实施例提供一种光模块，通过设置集成探测器，不但能够接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱，而且能够接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号，同时保证射入的两路光信号之间不发生串扰，进一步地，降低了光模块封装工艺的复杂度，提高了光模块的可靠性。进一步地，如图5所示，本发明实施例还提供一种光网路系统400，包括光线路终端410、光网络单元420、以及光分配网430，所述光线路终端410通过光分配网430与所述光网络单元420连接，光网络单元420包括集成探测器440，具体集成探测器440的结构可以参照图I以及实施例一所述的集成探测器的结构。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域 的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
权利要求
1.一种集成探测器，其特征在于，所述集成探测器包括检测单元和数据恢复单元，其中， 所述检测单元，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱； 所述数据恢复单元，用于接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。
2.根据权利要求I所述的集成探测器，其特征在于，所述集成探测器还包括电隔离层，用于将所述检测单元的电信号与所述数据恢复单元的电信号进行隔离。
3.根据权利要求I所述的集成探测器，其特征在于，所述检测单元接收的第一光信号的入射方向与所述数据恢复单元接收的第二光信号的入射方向相反，且所述第一光信号的入射方向及所述第二光信号的入射方向均平行于所述电隔离层，或所述检测单元接收的第 一光信号的入射方向与所述数据恢复单元接收的第二光信号的入射方向相同，且所述第一光信号的入射方向及所述第二光信号的入射方向均平行于所述电隔离层。
4.根据权利要求I所述的集成探测器，其特征在于，所述集成探测器还包括衬底，所述检测单元和所述数据恢复单元都集成在所述衬底上，且所述衬底为半绝缘磷化铟材料。
5.根据权利要求4所述的集成探测器，其特征在于，所述检测单元包括第一台面、第一金属电极层、第一子n极层以及第一反射面，其中， 所述第一台面是在所述衬底上依次沉积n极层、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀P极层和吸收层所形成的，且所述n极层为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料； 所述第一金属电极层是在所述第一台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法，腐蚀所述金属层所形成的； 所述第一子n极层是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层所形成的； 所述第一反射面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层所形成的； 所述数据恢复单元包括第二台面、第二金属电极层、第二子n极层以及第二反射面，其中， 所述第二台面是在所述衬底上依次沉积所述n极层、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀所述P极层和吸收层所形成的，且所述n极层为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料； 所述第二金属电极层是在所述第二台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法，腐蚀所述金属层所形成的； 所述第二子n极层是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层所形成的； 所述第二反射面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第二子n极层所形成的。
6.根据权利要求4所述的集成探测器，其特征在于，所述检测单元还包括第一入光斜面，所述第一入光斜面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层所形成的，所述第一光信号由所述第一入光斜面射入所述第一子n极层； 所述数据恢复单元还包括第二入光斜面，所述第二入光斜面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第二子n极层所形成的，所述第二光信号由所述第二入光斜面射入所述第二子n极层。
7.一种集成探测器的探测方法，其特征在于，所述方法包括接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱； 接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。
8.一种光模块，包括激光器、滤波器和第一光波导，所述激光器通过所述第一光波导与所述滤波器连接，其特征在于，所述光模块还包括集成探测器和第二光波导，所述集成探测器通过所述第二光波导与所述激光器连接；其中， 所述激光器，用于产生第一光信号，通过所述第一光波导将所述第一光信号发送给所述集成探测器； 所述滤波器，用于接收光线路终端发送的第二光信号，将所述第二光信号发送给所述集成探测器； 所述集成探测器，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；以及接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。
9.根据权利要求8所述的光模块，其特征在于，所述集成探测器具体包括检测单元和数据恢复单元，其中， 所述检测单元，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱； 所述数据恢复单元，用于接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。
10.根据权利要求8所述的光模块，其特征在于，所述集成探测器还包括电隔离层，用于将所述检索单元的电信号与所述数据恢复单元的电信号进行隔离。
11.根据权利要求8所述的光模块，其特征在于，所述检测单元接收的第一光信号的入射方向与所述数据恢复单元接收的第二光信号的入射方向相反，且所述第一光信号的入射方向及所述第二光信号的入射方向均平行于所述电隔离层，或所述检测单元接收的第一光信号的入射方向与所述数据恢复单元接收的第二光信号的入射方向相同，且所述第一光信号的入射方向及所述第二光信号的入射方向均平行于所述电隔离层。
12.根据权利要求9所述的光模块，其特征在于，所述检测单元包括第一台面、第一金属电极层、第一子n极层以及第一反射面，其中， 所述第一台面是在所述衬底上依次沉积n极层、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀P极层和吸收层所形成的，且所述n极层为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料； 所述第一金属电极层是在所述第一台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法，腐蚀所述金属层所形成的； 所述第一子n极层是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层所形成的； 所述第一反射面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层所形成的； 所述数据恢复单元包括第二台面、第二金属电极层、第二子n极层以及第二反射面，其中， 所述第二台面是在所述衬底上依次沉积所述n极层、吸收层、P极层后，利用光刻工艺，刻蚀所述P极层和吸收层所形成的，且所述n极层为N型掺杂的磷化铟材料，所述吸收层为砷化铟镓材料，所述P极层为P型掺杂的磷化铟材料； 所述第二金属电极层是在所述第二台面上沉积金属层后，利用化学腐蚀法，腐蚀所述金属层所形成的； 所述第二子n极层是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述n极层所形成的； 所述第二反射面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第二子n极层所形成的。
13.根据权利要求12所述的光模块，其特征在于，所述检测单元还包括第一入光斜 面，所述第一入光斜面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第一子n极层所形成的，所述第一光信号由所述第一入光斜面射入所述第一子n极层； 所述数据恢复单元还包括第二入光斜面，所述第二入光斜面是利用湿法刻蚀法，刻蚀所述第二子n极层所形成的，所述第二光信号由所述第二入光斜面射入所述第二子n极层。
14.一种光网路系统，所述光网络系统包括光线路终端、光网络单元、以及光分配网，所述光线路终端通过光分配网与所述光网络单元连接，其特征在于，所述光网络单元包括如权利要求1-6所述的任意一种集成探测器。
全文摘要
本发明公开了一种集成探测器及其探测方法、光模块、光网络系统，涉及通信领域，能够实现在检测单元检测转换后的电信号的强弱的同时，数据恢复单元恢复出承载在光上的数据信号，进一步地，降低了封装工艺的复杂度。一种集成探测器，包括检测单元和数据恢复单元，其中，所述检测单元，用于接收从光网络单元发送的第一光信号，通过光电转换后，检测所述转换后的电信号的强弱；所述数据恢复单元，用于接收从光线路终端发送的第二光信号，通过光电转换后，恢复出承载在光上的数据信号。
文档编号H01L31/18GK102725847SQ201180002967
公开日2012年10月10日 申请日期2011年12月29日 优先权日2011年12月29日
发明者凌魏, 周小平, 李胜平, 钟德刚, 陈聪 申请人:华为技术有限公司