专利名称：一种硅片上料台的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及硅片传送技术领域，更具体地说，涉及一种硅片上料台。
背景技术：
硅片上料台是太阳能电池制作领域中用于转移硅片设备。如，在制作太阳能电池的过程中，在制绒和刻蚀设备前都需要有硅片上料台，以便通过该硅片上料台将硅片转移到该制绒或刻蚀槽中。
硅片上料台中设置有伺服电机，该伺服电机上连接有传动带，传送带与承载台相连，在该承载台上放置有承载硅片的承片盒，通过伺服电机的转动可以带动该传动带运转，进而调节该承片台上升或下降的高度，以便通过转移硅片的机械手臂将该承片盒中的硅片转移到其他エ艺制作设备的传送带上。利用机械手臂转移该承片盒中的硅片时，是通过该机械手臂上的真空吸盘来吸取该承片盒中的硅片的。由于承片盒中放置的硅片很可能会粘连到一起，为了能够方便该真空吸盘吸取承片盒中的硅片，在硅片上料台的两侧正对该承载台的位置均设置有风刀，该风刀可以向外吹气，进而通过气体将承片盒中的硅片相分离，便于真空吸盘吸取硅片。但现有的上料台的风刀向承片盒中的硅片吹气时，经常由于吹气不均匀而造成不能将硅片分离，使得该真空吸盘吸取硅片时，经常发生同时吸取两片或多片硅片的现象，进而影响后续的エ艺制作。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供一种硅片上料台，利用该硅片上料台转移硅片时，可以減少真空吸盘同时吸取多片硅片的现象。为实现上述目的，本实用新型提供了一种硅片上料台，包括放置硅片的承片盒、承载所述承片盒的承载台、与所述承载台相连的升降装置以及设置于该承载台两侧且正对该承片盒的风刀，其中，所述风刀设置有矩形出气ロ。优选的，所述矩形出气ロ由两条第一矩形边和两条第二矩形边组成，该第二矩形边长于该第一矩形边，且该第二矩形边垂直于所述承片盒的底面所在的平面。优选的，所述第二矩形边的长度与该所述承片盒中指定数量的硅片的总厚度相同。优选的，所述风刀与设置在所述承载台上的气体输入管相连。优选的，所述风刀上还设置有气体流量调节阀。由上述技术方案可见，本实用新型所提供的一种硅片上料台包括放置硅片的承片盒，承载该承片盒的承载台，与该承载台相连的升降装置以及设置于该承载台两侧且正对该承片盒的风刀，该风刀设置有矩形出气ロ。由于该风刀的出气ロ为矩形，当利用该矩形出气ロ向外吹气时，风刀的吹气面积较大，且向外出气的出气量均匀，很容易将承片盒中的硅片吹开，不容易发生硅片粘连现象，从而減少使用吸盘进行硅片转移出现的吸取双片或多片硅片的现象。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为现有上料台中风刀的出气ロ的结构示意图；图2为本实用新型一种硅片上料台的结构示意图；图3为本实用新型的硅片上料台中风刀侧视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。利用现有的硅片上料台，进行硅片转移时，经常会发生真空吸盘吸取两片或多片硅片的现象。发明人经研究发现，导致利用真空吸盘吸取两片或多片硅片的原因是由于上料台上的风刀出气不均匀，无法通过吹气将放置在承片盒中的硅片分离，从而导致真空吸盘吸取硅片时，经常发生真空吸盘吸取双片的情况发生。发明人进ー步研究发现，现有的硅片上料台上两侧的风刀的出气ロ均为圆孔形出气ロ，參见图I所示，该圆盘风刀中心的圆孔为风刀的出气孔，这种风刀向外吹气时，吹气范围有限且吹气的力量不均匀。不容易将硅片分离开。同时，由于该风刀的出气ロ为圆孔，则风刀向外吹气时，气体仅能吹到当前待吸取的硅片以及与该当前带吸取的硅片紧邻的下ー硅片，而该承片盒中余下的硅片则不会被吹到，因此，在硅片转移过程中，硅片被气体吹到的平均时间较短，而较短时间的吹气不易将相互粘连的硅片分开。为了能够实现更好的吹气效果，本实用新型提供了一种硅片上料台，该上料台包括放置硅片的承片盒、承载该承片盒的承载台、与承载台相连的升降装置以及设置于该承载台两侧且正对该承片盒的风刀，其中，该风刀设置有矩形出气ロ。为了清楚的描述本实用新型的上料台，參见图2，示出了一种硅片上料台的结构示意图，该上料台中包括承片盒I，该承片盒中可以放直多片娃片，一般情况下，甸200片娃片放置在ー个承片盒中。该承片盒I置于承载台(在承片盒的下方，图中未画出)上，该承载台连接有升降装置，通过调节该升降装置还可以控制该承载台的升降，从而调节承片盒的高度，保证转移硅片的机械手可以利用真空吸盘吸取到该承片盒中的硅片。在承载台的两侧均设置有风刀2，风刀2可以通过一个支架3与承载台相连，风刀2的出气ロ为矩形出气ロ21。该矩形出气ロ 21的高度和宽度可以根据实际需要设定。矩形出气ロ与现有的圆孔形出气ロ相比，向外出气的カ度更加均匀，硅片上被气体吹到的面积增大，从而有利于将硅片分离，減少硅片粘连，进而減少了真空吸盘同时吸取两片或多片硅片的现象。其中，该硅片上料台的风刀2与设置在所述承载台上的气体输入管4相连。该气体输入管用于输入干燥的压缩空气CDA，以便于为风刀提供气体供应。该风刀上还设置有气体流量调节阀22，通过该气体调节阀可以控制风刀向外吹气的气流量。为了在风刀向硅片吹气时，承片盒中可以有多片硅片被吹到，该风刀的矩形出气ロ可以设置为竖条形的出气ロ。也就是说，该矩形出气ロ可以由第一矩形边和第二矩形边组成，该第二矩形边要长于该第一矩形边，且该第二矩形边垂直于该承片盒的底面所在的平面。其中，该第一矩形边表示该矩形的宽度，而该第二矩形边表示该出气ロ的高度。该第ニ矩形边的长度可以与该所述承片盒中指定数量的硅片的总厚度相同。如，该第二矩形边的长度可以与6片硅片的总厚度相同，从而当该风刀向外吹气时，至少有上下6片硅片被气体吹到。 如图3，为本实用新型的风刀的出气ロ的平面结构示意图，可见该风刀2的矩形出气ロ 21的第一矩形边211要短于该第二矩形边212，一般可以将该第一矩形边的长度可以与现有的风刀出气ロ的圆孔的直径相同，当然，也可以将该第一矩形边的长度设置成大于现有的风刀出气ロ的直径。该第二矩形边的长度要远大于现有的风刀中圆形出气ロ的直径，这样利用本实用新型的风刀向外吹气时，该不仅当前待吸取的硅片可以被气体吹到，该承载盒中的其他硅片也可以被气体吹气，吹气的范围增大，该当前待吸取的硅片与其紧邻的硅片被吹开的同时，其余硅片也会由于气体吹动，而减少硅片之间的粘连现象。这样，当有真空吸盘吸取硅片时，同时吸取两片或多片硅片的现象明显減少。当将在承片盒放置了硅片后，将该承片盒放入到硅片上料台的承载台上，随着升降装置以及皮带运转，将该承片盒被固定到指定位置，该指定位置一般为下ーエ序进行硅片吸取转移的位置。以硅片上料台置于印刷设备的前端为例，该承片盒被传送带传到该印刷台前端的指定高度后，该印刷台的机械手就会控制真空吸盘向下移动，直到能够吸取到该承片盒中的硅片的高度时停止，在该过程中，该承载台两侧的风刀一直会对承片盒中的娃片进彳丁吹气，设该承片盒中最顶端的娃片为娃片I，依次向下为娃片2、娃片3、、、、娃片N,则通过本实用新型的风刀向承片盒中吹气时，该硅片I和硅片2被吹离分开，同时该硅片2和硅片3也会被吹开，这样当硅片I被吸盘吸走之后，真空吸盘再吸取硅片2吋，由于硅片2和硅片3被吹气的时间较长，硅片2和硅片3相互粘连的可能性降低，从而使得吸盘在吸取硅片吋，同时吸取两片或多片的现象減少。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种硅片上料台，包括放置硅片的承片盒、承载所述承片盒的承载台、与所述承载台相连的升降装置以及设置于该承载台两侧且正对该承片盒的风刀，其特征在于，所述风刀设置有矩形出气ロ。
2.根据权利要求I所述的上料台，其特征在于，所述矩形出气ロ由两条第一矩形边和两条第二矩形边组成，该第二矩形边长于该第一矩形边，且该第二矩形边垂直于所述承片盒的底面所在的平面。
3.根据权利要求2所述的上料台，其特征在干，所述第二矩形边的长度与该所述承片盒中指定数量的硅片的总厚度相同。
4.根据权利要求I所述上料台，其特征在于，所述风刀与设置在所述承载台上的气体输入管相连。
5.根据权利要求4所述的上料台，其特征在于，所述风刀上还设置有气体流量调节阀。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片上料台，包括放置硅片的承片盒、承载该承片盒的承载台、与该承载台相连的升降装置以及设置于该承载台两侧且正对该承片盒的风刀，其中，该风刀设置有矩形出气口。该硅片上料台的风刀为矩形出气口，向外吹气时出气均匀，且吹气范围较大，很容易将相邻的硅片吹开，从而在真空吸盘吸取硅片的过程中，减少真空吸盘同时吸取两片或多片硅片的现象。
文档编号H01L21/677GK202473879SQ20112053726
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月20日 优先权日2011年12月20日
发明者陈 光 申请人:浚鑫科技股份有限公司