专利名称：一种用于湿制程设备的盖板组件的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及太阳电池制造领域，尤其涉及一种应用于湿制程设备的槽体上的盖板组件，具体地说是应用于制绒机、刻蚀机上的具有气体交换功能的盖板组件。
背景技术：
在太阳电池制造过程的湿制程的制绒、刻蚀工序中，多个槽体在反应过程中会分别产生酸性气体或碱性气体。如果在槽体上不设置盖板，则产生的酸性气体或碱性气体会向外泄露，对工作环境产生污染，同时各个槽体产生的气体也会进入到其它的槽体内，从而对槽体内的反应产生一定的影响。如果在槽体上设置盖板，就会将槽体内产生的气体封闭在槽体内，不能实现内外气体的交换，从而不能有效的保证槽体内反应的进行。而且当盖板将槽体盖上或在不打开槽体的盖板时不能观察到槽体内部的情况。
实用新型内容鉴于现有技术中存在的上述问题，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种即可实现槽体内外的气体交换又可阻止酸碱气体外泄的盖板组件。为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案一种用于湿制程设备的盖板组件，包括设置在槽体上用于封闭所述槽体的盖板，所述盖板一侧具有向远离所述槽体一侧隆起形成的空间，所述空间内设置抽风盒，抽风盒内形成抽风空间，所述抽风盒的底部开设与所述槽体内连通的多个抽风孔，所述抽风盒上方所对的所述盖板上设置使所述抽风空间和外部的抽风管道连通的抽风管接头，所述盖板上设置具有与所述槽体内连通的多个进风孔的回风板。作为优选，所述抽风盒设置在所述空间的一侧，所述空间的另一侧为与外部连通的回风空间，所述回风板设置在所述回风空间内。作为优选，所述空间为具有一个上顶面、第一侧面和第二侧面且两端敞口的空间， 所述抽风盒包括倒置的屋脊型的底板、侧板以及两块挡板，所述侧板连接在所述底板的一侧边，所述侧板的上端与所述空间的上顶面连接将所述空间分隔成所述抽风空间和回风空间，所述底板的另一侧边与所述第一侧面的底边连接，两块所述挡板分别设置在所述抽风空间的两端与所述底板的一端、第一侧面的一端、所述侧板的一端和所述上顶面位于抽风空间的一端连接。作为优选，所述盖板的一端设置固定板，所述固定板上设置两个转动板，所述两个转动板分别与固定在湿制程设备的后壁板上的转动支座转动连接。作为优选，所述盖板的另一端设置用于扳动盖板使其绕所述转动支座旋转而打开的扶手。作为优选，所述扶手上开设便于手握扣的凹槽。作为优选，所述盖板、抽风盒、固定板、挡板和回风板均采用PVC(聚氯乙烯)透明板制成。[0011]作为优选，所述扶手、转动板、转动支座以及抽风管接头均采用PVC(聚氯乙烯)象牙板制成。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于1、本实用新型的用于湿制程设备的盖板组件通过抽风盒将槽体内的酸碱性气体抽出，防止酸碱性气体外泄污染环境，以及防止酸碱性气体对槽体内的反应产生影响。2、本实用新型的用于湿制程设备的盖板组件通过回风板向槽体内补入空气，补偿槽体内被抽走的气体，保证湿制程制造工艺稳定的需要。3、本实用新型的用于湿制程设备的盖板组件的主要部件如盖板、抽风盒、回风板和挡板均采用PVC透明板制成，在不打开盖板组件时便能观察到槽体内部的情况，从而方便了操作。
图1为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的立体结构示意图。图2为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的另一个方向的立体结构示意图。图3为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的分解结构示意图。图4为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的盖板的立体结构示意图。图5为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的抽风盒的立体结构示意图。图6为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的工作原理示意图。附图标记说明1-盖板3-抽风盒5-抽风管接头7-回风板9-侧板11-固定板13-转动支座15-扶手17-抽风空间19-上顶面21-第二侧面
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。图1为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的立体结构示意图。图 2为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的另一个方向的立体结构示意图。
2-空间4-抽风孔6-进风孔8-底板10--挡板12--转动板14--转动销16--凹槽18--回风空间20--第一侧面图3为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的分解结构示意图。如图1至3所示，本实施例的用于湿制程设备的盖板组件，包括设置在槽体上用于封闭所述槽体的盖板1，盖板1 一侧具有向远离所述槽体一侧隆起形成的空间2。空间2的一侧内设置抽风盒3，抽风盒3内形成抽风空间17，空间2的另一侧为与外部连通的回风空间18，抽风盒3的底部开设与所述槽体内连通的多个抽风孔4，抽风盒3上方所对的盖板1 上设置使所述抽风空间和外部的抽风管道连通的抽风管接头5，回风空间18内设置具有与所述槽体内连通的多个进风孔6的回风板7。当然，回风板7也可以不设置在盖板1隆起形成的空间2内，整个空间2都是抽风空间17，而回风板7设置在隆起部分盖板的一侧。也就是回风板7即可以设置在盖板1隆起的空间2内，也可以设置在空间2外。图4为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的盖板的立体结构示意图。如图4所示，盖板1的空间2的两端均为敞口，且空间2的一端向盖板1内缩进，也就是空间2的一端没有与盖板1的相应端平齐，而空间2的另一端与盖板1的相应端平齐。图5为本实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的抽风盒的立体结构示意图。如图5所示，抽风盒3包括倒置的屋脊型的底板8、侧板9以及两块挡板10，侧板 9连接在底板8的一侧边。空间2为具有一个上顶面19、第一侧面20和第二侧面21且两端敞口的空间，侧板9的上端与空间2的上顶面19连接将空间2分隔成抽风空间17和回风空间18，底板8的另一侧边与第一侧面20的底边连接，两块挡板10分别设置在抽风空间17的两端并与底板8的一端、第一侧面20的一端、侧板9的一端和上顶面19位于抽风空间17的一端连接，从而使抽风空间17形成一个封闭的抽风空间17。抽风管接头5设置在位于抽风空间17的上顶面19上。作为本实施例的一种优选方案，盖板1的一端设置固定板11，固定板11上设置两个转动板12，两个转动板12分别与固定在湿制程设备的后壁板(图中未示出)上的转动支座13通过转动销14转动连接。当从盖板1的另一端向上扳动盖板1时，盖板1将绕转动支座13转动，从而将盖板1开启。作为本实施例的另一种优选方案，盖板1的另一端设置用于扳动盖板1使其绕转动支座13旋转而打开的扶手15，扶手15上开设便于手握扣的凹槽16。作为本实施例的再一种优选方案，盖板1、抽风盒3、固定板11、挡板10和回风板 7均采用PVC透明板制成，以便在盖板1关闭状态，也能观察到所述槽体内的情况。而扶手 15、转动板12、转动支座13以及抽风管接头5均采用PVC象牙板制成。图6为实用新型的实施例的用于湿制程设备的盖板组件的工作原理示意图。下面结合图6对本实用新型的工作的工作过程进行简要介绍抽风盒3两端的挡板10将空间2 的抽风空间17的两端封闭，侧板9将空间2的抽风空间17与回风空间18隔开，从而使抽风盒3与盖板1连接形成封闭的抽风空间17，而抽风盒3的底板8上设置的抽风孔4与所述槽体内部连通，通过设置在盖板1上的与抽风空间17连通的抽风管接头5以及外部的抽风管道(图中未示出)将槽体内的气体(包括酸碱性气体以及产生的有害气体)以及酸雾抽走，使槽体内呈负压状态，外部气体由空间2设置固定板的一端开口处进入回风空间18， 并通过回风板7上的进风孔6进入槽体内，补偿槽体内被抽走的气体。以达到阻止有害气体和腐蚀性气体外泄的目的。本实用新型的用于湿制程设备的盖板组件通过自重与湿制程设备上的密封胶条的共同作用，起到对设备基本的保护和阻隔作用。 以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，包括设置在槽体上用于封闭所述槽体的盖板，所述盖板一侧具有向远离所述槽体一侧隆起形成的空间，所述空间内设置抽风盒，抽风盒内形成抽风空间，所述抽风盒的底部开设与所述槽体内连通的多个抽风孔，所述抽风盒上方所对的所述盖板上设置使所述抽风空间和外部的抽风管道连通的抽风管接头， 所述盖板上设置具有与所述槽体内连通的多个进风孔的回风板。
2.根据权利要求1所述的用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，所述抽风盒设置在所述空间的一侧，所述空间的另一侧为与外部连通的回风空间，所述回风板设置在所述回风空间内。
3.根据权利要求2所述的用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，所述空间为具有一个上顶面、第一侧面和第二侧面且两端敞口的空间，所述抽风盒包括倒置的屋脊型的底板、侧板以及两块挡板，所述侧板连接在所述底板的一侧边，所述侧板的上端与所述空间的上顶面连接将所述空间分隔成所述抽风空间和回风空间，所述底板的另一侧边与所述第一侧面的底边连接，两块所述挡板分别设置在所述抽风空间的两端与所述底板的一端、第一侧面的一端、所述侧板的一端和所述上顶面位于抽风空间的一端连接。
4.根据权利要求3所述的用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，所述盖板的一端设置固定板，所述固定板上设置两个转动板，所述两个转动板分别与固定在湿制程设备的后壁板上的转动支座转动连接。
5.根据权利要求4所述的用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，所述盖板的另一端设置用于扳动盖板使其绕所述转动支座旋转而打开的扶手。
6.根据权利要求5所述的用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，所述扶手上开设便于手握扣的凹槽。
7.根据权利要求4所述的用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，所述盖板、抽风盒、固定板、挡板和回风板均采用聚氯乙烯透明板制成。
8.根据权利要求5所述的用于湿制程设备的盖板组件，其特征在于，所述扶手、转动板、转动支座以及抽风管接头均采用聚氯乙烯象牙板制成。
专利摘要本实用新型公开了一种用于湿制程设备的盖板组件，包括设置在槽体上用于封闭所述槽体的盖板，所述盖板一侧具有向远离所述槽体一侧隆起形成的空间，所述空间内设置抽风盒，抽风盒内形成抽风空间，所述抽风盒的底部开设与所述槽体内连通的多个抽风孔，所述抽风盒上方所对的所述盖板上设置使所述抽风空间和外部的抽风管道连通的抽风管接头，所述盖板上设置具有与所述槽体内连通的多个进风孔的回风板。本实用新型能将槽体内的酸碱性气体抽出，防止酸碱性气体外泄污染环境，以及防止酸碱性气体对槽体内的反应产生影响，同时又能向槽体内补入气体。
文档编号H01L31/18GK202332916SQ201120376718
公开日2012年7月11日 申请日期2011年9月27日 优先权日2011年9月27日
发明者杨弘毅, 沈洪旗, 潘加永, 陈建中 申请人:库特勒自动化系统(苏州)有限公司, 无锡尚德太阳能电力有限公司