专利名称：一种pecvd用载板的挂钩的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池的生产设备，具体涉及一种板式PECVD所使用载板的挂钩设计。
背景技术：
板式PECVD (等离子体增强化学气相沉积法)工艺运行时，硅片通过载板上的挂钩定位后传送进入PECVD设备腔体完成镀膜工艺。所使用载板随着使用时间的增加，载板上沉积的氮化硅越来越多，会对硅片的镀膜均勻性产生明显的影响，容易造成镀膜色差。所以，载板在使用一段时间后需要使用一定浓度的HF酸溶液清洗去除沉积在载板上的氮化硅。在清洗之前，为避免金属离子与HF酸发生反应后对载板的污染，需要拆卸载板上的所有金属挂钩，待清洗完成后再重新安装新的挂钩。现有的挂钩设计如图1、图2所示。挂钩安装在载板上的方式通过钳子将钩体1上端部2的金属板材咬合固定实现。安装后如图3所示，在咬合过程采用垫片3来减轻对载板的损伤。拆卸挂钩时，用钳子将咬合的钩体1上端部2拧开。采用垫片的方式在挂钩的安装和拆卸过程中，只能减缓对载板横向(与挂钩截面平行的方向)的磨损，对载板纵向(与挂钩截面垂直的方向)的磨损无法有效避免。随着载板清洗次数的增加，挂钩更换次数随之增加，载板的磨损逐渐严重，挂钩对硅片的定位精度明显变差，导致载板的PECVD工艺运行时，硅片的碎片和掉片率明显的提升，载板的实际使用寿命快速的降低。
发明内容为解决上述问题，本实用新型提供一种可有效减少挂钩更换过程中对载板损耗的 PECVD用载板的挂钩。为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为一种PECVD用载板的挂钩，包括下部开口的方形框架，框架两个支臂的底端分别向外延伸形成弯钩，两个支臂的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片，两个顶片相对称设置，且顶片的上端面为平面。作为上述方案的进一设置，所述顶片可在水平面上转动。所述顶片可在水平面上向外转动90°。所述顶片的形状为矩形、三角形、梯形中的任意一种。所述支臂的截面呈矩形。所述框架的两个支臂相对称设置。所述框架为不锈钢框架，弯钩为不锈钢弯钩、顶片为不锈钢顶片。本实用新型一种PECVD用载板的挂钩，在安装过程中，只需将挂钩两个支臂上的顶片向内旋转90°即可有效固定在载板上，无需钩体的咬合；拆卸时，只需将挂钩两个支臂上的顶片向外旋转90°即可快速方便将挂钩拆卸下来。因为安装过程中无需钩体咬合， 所以拆卸过程也非常简单。从而挂钩在安装和拆卸的过程中，对载板的磨损会明显的降低，有效的延长载板的使用寿命。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步说明。
图1为现有挂钩的结构示意图；图2为图1的俯视图；图3为现有挂钩安装后的示意图；图4为本实用新型的结构示意图；图5为图4的俯视图；图6为本实用新型安装后的结构示意图；图7为图6的俯视图。
具体实施方式
如图4、图5所示，本实用新型一种PECVD用载板的挂钩，包括下部开口的方形框架4，框架4两个支臂5的底端分别向外延伸形成弯钩6，两个支臂5的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片7，两个顶片7相对称设置，且顶片7的上端面71为平面。顶片7可在水平面上向外转动90°。顶片7的形状为矩形、三角形、梯形中的任意一种。支臂5的截面呈矩形。框架4的两个支臂5相对称设置。框架4为不锈钢框架，弯钩6为不锈钢弯钩、顶片7为不锈钢顶片。本实用新型一种PECVD用载板的挂钩，在实际安装过程中仅需要转动顶片7即可将挂钩很好的固定到载板上；因为安装时挂钩支臂5无需咬合，所以挂钩拆卸过程简单快速。相比现有挂钩安装过程和拆卸过程咬合对载板的磨损，本实用新型设计的挂钩在安装和拆卸过程对载板的磨损明显降低。结合图6、图7所示，本实用新型一种PECVD用载板的挂钩安装时，框架4内侧顶部设置有垫片8，顶片7的上端面71也设置有垫片8。本实用新型一种PECVD用载板的挂钩安装完成后，对硅片的定位无任何影响，可有效的满足硅片上下料过程中的定位精度要求。上述实施例仅用于解释说明本实用新型的发明构思，而非对本实用新型权利保护的限定，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应落入本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于包括下部开口的方形框架，框架两个支臂的底端分别向外延伸形成弯钩，两个支臂的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片，两个顶片相对称设置，且顶片的上端面为平面。
2.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述顶片可在水平面上转动。
3.如权利要求2所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述顶片可在水平面上向外转动90°。
4.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述顶片的形状为矩形、三角形、梯形中的任意一种。
5.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述支臂的截面呈矩形。
6.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述框架的两个支臂相对称设置。
7.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述框架为不锈钢框架，弯钩为不锈钢弯钩、顶片为不锈钢顶片。
专利摘要本实用新型涉及太阳能电池的生产设备，具体涉及一种PECVD用载板的挂钩，包括下部开口的方形框架，框架两个支臂的底端分别向外延伸形成弯钩，两个支臂的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片，两个顶片相对称设置，且顶片的上端面为平面。相比现有挂钩安装过程和拆卸过程咬合对载板的磨损，本实用新型设计的挂钩在安装和拆卸过程对载板的磨损明显降低。
文档编号H01L21/205GK202217651SQ201120335760
公开日2012年5月9日 申请日期2011年9月8日 优先权日2011年9月8日
发明者金若鹏 申请人:浙江向日葵光能科技股份有限公司