专利名称：一种硅片装载自动提升装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及硅片加工设备，具体涉及一种硅片装载自动提升装置。
背景技术：
目前的硅片装片都要通过人工装入篮具内，这样既容易对硅晶片造成人为污染， 又增加工人的劳动强度，无法提高生产效率。为了使硅片的装片能自动化，为此需要有将篮具能自动提升并一一将硅片插入的装置。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种生产效率高、不需人工操作，能自动提升并一一将硅晶片插入篮具内的硅片装片自动提升装置。为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种硅片装载自动提升装置，它包括底座和托盘，其特征在于，在所述底座上固定有伺服电机，所述伺服电机的输出连接有丝杠，所述丝杠与托盘固定架内的螺母连接，所述托盘与托盘固定架固定，在所述托盘上所设置有篮具的插片处设有插片信号感应传感器，所述插片信号感应传感器的感应信号与所述伺服电机输入信号通过控制电路连接。本实用新型的优点和有益效果在于该硅片装载自动提升装置，使用时，将篮具置于篮具托盘内，每自动插入一片硅片，插片信号感应传感器都将感应到一次插片动作，然后通过控制电路传递给伺服电机，伺服电机走动确定的位置带动丝杠转动确定的旋转角度， 从而带动篮具托盘随托盘固定架的上升而上升，最终按设定的高度提升硅片插入的篮具， 将下一将插入使用的篮具格对准下一步自动插入的硅片，完成自动提升并一一将硅片插入篮具内的目的。
图1是本实用新型实施例1结构示意图。图中1、底座；2、伺服电机；3、托盘固定架；4、丝杠；5、托盘；6、篮具；7、篮具格；
8、螺母；9、插片信号感应传感器。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。实施例如图1所示，本实施例描述的一种硅片装载自动提升装置，它包括底座1和托盘5， 在底座1上固定有伺服电机2，伺服电机2的输出连接有丝杠4，丝杠4与托盘固定架3内的螺母8连接，托盘5与托盘固定架3固定。在托盘5上所设有篮具6的插片处设有插片信号感应传感器9，插片信号感应传感器9的感应信号通过控制电路与伺服电机2的信号输入端连接。 使用时，将篮具6置于托盘5内，每自动插入一片硅片，插片信号感应传感器9都将感应到一次插片动作，然后传递给伺服电机2，伺服电机2走动确定的位置带动丝杠4转动确定的旋转角度，从而带动托盘5随托盘固定架3的上升而上升，最终按设定的高度提升硅片插入的篮具6，将下一将插入使用的篮具格7对准下一步自动插入的硅片，完成自动提升并一一将硅片插入篮具6内的目的。 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1. 一种硅片装载自动提升装置，它包括底座和托盘，其特征在于，在所述底座上固定有伺服电机，所述伺服电机的输出连接有丝杠，所述丝杠与托盘固定架内的螺母连接，所述托盘与托盘固定架固定，在所述托盘上所设置有篮具的插片处设有插片信号感应传感器，所述插片信号感应传感器的感应信号与所述伺服电机输入信号通过控制电路连接。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片装载自动提升装置，它包括底座和托盘，在底座上固定有伺服电机，伺服电机的输出连接有丝杠，丝杠与托盘固定架内的螺母连接，托盘与托盘固定架固定，在托盘上所设置有篮具的插片处设有插片信号感应传感器，插片信号感应传感器的感应信号与伺服电机输入信号通过控制电路连接。该装置，使用时，将篮具置于篮具托盘内，每自动插入一片硅片，插片信号感应传感器都将感应到一次插片动作，然后通过控制电路传递给伺服电机，伺服电机走动确定的位置带动丝杠转动确定的旋转角度，从而带动篮具托盘随托盘固定架的上升而上升，最终按设定的高度提升硅片插入的篮具，完成自动提升并一一将硅片插入篮具内的目的。
文档编号H01L21/00GK202189758SQ20112026143
公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日
发明者李向清, 沈彪, 胡德良 申请人:江阴市爱多光伏科技有限公司