专利名称：一种射频mems开关的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种射频MEMS开关。
背景技术：
目前所制作的带有触点的MEMS开关，通常采用单个或单列触点，当开关工作一定时间，由于频繁的击打，金属表面会发生腐蚀，触点会引起变形，从而导致开关触点不能与信号线很好地接触，最终导致失效，减小了开关的寿命。
实用新型内容发明目的为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，以提高射频MEMS开关的寿命。技术方案为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为一种射频MEMS开关，包括驱动电极、悬臂梁、共面波导信号线、固定锚区和衬底， 所述驱动电极、共面波导信号线固定在衬底上，悬臂梁的固定端通过固定锚区固定在共面波导信号线上，驱动电极位于悬臂梁的下方，该射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统，所述鲨齿式触点系统位于悬臂梁自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与悬臂梁自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统包括第一触点和第二触点，且第一触电高度低于第二触点高度，第一触点距离固定锚区的距离长于第二触点高度距离固定锚区的距
离 O有益效果本实用新型提供的射频MEMS开关，有效地改善了触点因多次接触击打引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。射频MEMS开关工作一段时间后，由于触点变形或表面蚀化会引起接触不良，导致开关失效，本发明的鲨齿式触点系统使得这一现象得到有效缓解，当左边一列触点失效后，右边一列触点可以作为补充，较好地实现与信号线的接触，完成信号的传输，对开关性能的提高起了很大的作用。
图1为本实用新型的正视结构示意图；图2为本实用新型的俯视结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作更进一步的说明。图1、图2所示为一种射频MEMS开关，其特征在于该射频MEMS开关包括驱动电极1、悬臂梁3、共面波导信号线4、固定锚区6和衬底7，所述驱动电极1、共面波导信号线4 固定在衬底7上，悬臂梁3的固定端通过固定锚区6固定在共面波导信号线4上，驱动电极 1位于悬臂梁3的下方，该射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统2，所述鲨齿式触点系统2 位于悬臂梁3自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与悬臂梁3自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统2包括第一触点21和第二触点22，且第一触电21高度低于第二触点22高度，第一触点21距离固定锚区6的距离长于第二触点22高度距离固定锚区 6的距离。 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1. 一种射频MEMS开关，其特征在于该射频MEMS开关包括驱动电极(1)、悬臂梁(3)、 共面波导信号线(4)、固定锚区(6)和衬底(7)，所述驱动电极(1)、共面波导信号线(4)固定在衬底(7)上，悬臂梁(3)的固定端通过固定锚区(6)固定在共面波导信号线(4)上，驱动电极(1)位于悬臂梁(3)的下方，该射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统(2)，所述鲨齿式触点系统(2)位于悬臂梁(3)自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与悬臂梁(3)自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统(2)包括第一触点(21)和第二触点(22)， 且第一触电(21)高度低于第二触点(22)高度，第一触点(21)距离固定锚区(6)的距离长于第二触点(22)高度距离固定锚区(6)的距离。
专利摘要本实用新型公开了一种射频MEMS开关，包括驱动电极、悬臂梁、共面波导信号线、固定锚区和衬底，所述驱动电极、共面波导信号线固定在衬底上，悬臂梁的固定端通过固定锚区固定在共面波导信号线上，驱动电极位于悬臂梁的下方，该射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统，所述鲨齿式触点系统位于悬臂梁自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与悬臂梁自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统包括第一触点和第二触点，且第一触电高度低于第二触点高度，第一触点距离固定锚区距离长于第二触点高度距离固定锚区距离。本实用新型提供的射频MEMS开关，有效地改善了触点因多次接触击打引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。
文档编号H01H59/00GK202084484SQ20112019500
公开日2011年12月21日 申请日期2011年6月11日 优先权日2011年6月11日
发明者黄菲 申请人:南通华翰家纺布艺设计有限公司