专利名称：石英加热缸的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种适用于2英寸-8英寸硅片的规模性清洗的加热设备，属于电子器件清洗和湿刻工艺中加热设备技术领域。
背景技术：
现有用于2英寸-8英寸硅片进行湿刻或清洗时通常需要加热，目前采用的加热方法是在一个石英容器的底部通过电炉加热，石英容器内的加热温度不均勻，操作时也不安全，保温效果不好，加热清洗效果不理想。
发明内容本实用新型针对现有电子器件清洗加热技术存在的不足，提供一种使用安全、加热效果好的石英加热缸。本实用新型的石英加热缸采用下述技术方案该石英加热缸包括塑料外壳、加热带和石英内胆，石英内胆安装在塑料外壳内，加热带附设在石英内胆的整个外壁面上，在塑料外壳与加热带之间设有一层保温层。本实用新型将加热带设置在塑料外壳和石英内胆之间，不用另外附设绝缘材料， 结构简单，加热速度快，加热温度均勻，使用安全，保证了器件清洗时的加热效果。
附图是本实用新型石英加热缸的结构示意图。图中1、塑料外壳，2、保温层，3、加热带，4、石英内胆。
具体实施方式
如附图所示，本实用新型的石英加热缸包括塑料外壳1、加热带3和石英内胆4，石英内胆4安装在塑料外壳1内，加热带3通过高温胶粘附在石英内胆4的外壁面上，加热带 3与外部电源连接。塑料外壳1可以采用PP板材拼接而成。为了保温，在塑料外壳1与加热带3之间设有一层保温层2，保温层2可以采用泡沫塑料等绝缘材料，也可以将加热带3 包裹在保温层2内。
权利要求1. 一种石英加热缸，包括塑料外壳、加热带和石英内胆，其特征是石英内胆安装在塑料外壳内，加热带附设在石英内胆的整个外壁面上，在塑料外壳与加热带之间设有一层保温层ο
专利摘要本实用新型公开了一种石英加热缸，属于电子器件清洗加热技术领域，该石英加热缸包括塑料外壳、加热带和石英内胆，石英内胆安装在塑料外壳内，加热带附设在石英内胆的整个外壁面上，在塑料外壳与加热带之间设有一层保温层。本实用新型将加热带设置在塑料外壳和石英内胆之间，不用另外附设绝缘材料，结构简单，加热速度快，加热温度均匀，使用安全，保证了器件清洗时的加热效果。
文档编号H01L21/00GK202019462SQ20112009972
公开日2011年10月26日 申请日期2011年4月8日 优先权日2011年4月8日
发明者刘桂扬, 赵仕庆, 马玉水 申请人:山东高唐杰盛半导体科技有限公司