专利名称：板式pecvd设备上下料系统的碳板输送装卸台的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及太阳能硅片PECVD加工设备领域，具体为板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台。
背景技术：
板式PECVD设备的进料口与出料口分别位于设备的两端，以往分别需要在进料口侧与出料口侧设置相应的硅片上料机构和硅片下料机构，其设备占用空间大、设备成本高， 且硅片的上下料效率低，为此目前的自动上下料系统为了能达到缩小设备占用空间、降低设备成本、并提高硅片上下料效率将整个硅片上料机构与下料机构集成设置于PECVD设备的进料口侧，这就需要提供一个输送承载平台，其既能实现出片碳板的水平输送，又能提供对出片碳板的可靠夹紧定位、以及对碳板上硅片的承载，保证上下料系统的搬运机构能够可靠、快速搬运硅片，提高硅片上、下料的效率。
发明内容
针对上述问题，本发明提供了板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其能起到有效的碳板承载输送作用，并为硅片的转送搬运提供可靠的碳板夹紧定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自动上下料的效率。其技术方案是这样的，其特征在于其整体安装于板式PECVD设备的进料口侧以及碳板升降台之间，其包括支架、水平输送机构、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，所述支架的安装方向与PECVD硅片进料方向垂直，所述水平输送机构安装于所述支架，所述压紧定位机构和定位机构分别安装于所述水平输送机构的纵向两端，所述顶升机构通过固定板安装于所述支架。其进一步特征在于所述水平输送机构包括电机、传动轴、主动输送轮和从动输送轮，所述电机通过电机支架固定于输送机机架下部，所述传动轴的纵向两端通过轴承座一固定于所述输送机机架的横向支架，所述电机与所述传动轴通过同步带轮传动连接，所述传动轴的纵向两端均通过所述轴承座一安装有一个所述主动输送轮，所述两侧横向支架上均分别通过轴承座二安装有两个所述主动输送轮与两个从动输送轮，所述主动输送轮与从动输送轮均勻、间隔分布安装于所述横向支架，单侧所述横向支架上、相邻两个所述主动输送轮之间通过传送带传动连接；
所述压紧定位机构设置有两个，分别通过安装板一安装于所述输送机机架进料侧的纵向支架两端；所述安装板一下部固定有横向气动滑台一，所述横向气动滑台一通过连接板一连接竖向气动滑台一，所述竖向气动滑台一的上端固定有压紧座，所述压紧座通过导杆一连接压紧块，所述导杆一外部套装有弹簧，所述竖向气动滑台一通过纵向连接板安装有调节板一，所述调节板一的横向前端安装有定位轮一；
所述顶升机构包括顶升板，所述顶升板上部安装有载片柱，所述顶升板下部通过连接板二固定于竖向气动滑台二，所述竖向气动滑台二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述竖向气动滑台二侧面安装有直线轴承导轨，所述直线轴承导轨上安装有导杆二，所述导杆二上端顶紧所述连接板二下部；
所述定位机构包括设置有两个，分别通过安装板二固定于所述输送机机架出料侧的纵向支架两端；所述安装板二下部固定有横向气动滑台二，所述横向气动滑台二通过连接板三与竖向气动滑台三连接，所述竖向气动滑台三上端通过连接块与调节板二，所述调节板二的前端固定有定位轮二。使用本发明的碳板输送装卸台，其有益效果在于其提供了一个可靠的承载输送平台，保证碳板以及放置于碳板上的硅片的输送以及硅片的可靠搬运，其中水平输送机构可以保证碳板的水平运输，压紧定位机构与定位机构能够将碳板压紧定位，而顶升机构将放置于碳板上的硅片向上可靠顶起方便上下料系统的硅片搬运机构进行硅片的搬运。
图1为本发明碳板输送装卸台安装位置示意图； 图2为本发明碳板输送装卸台结构示意图3为本发明碳板输送装卸台中的水平输送机构的结构示意图； 图4为本发明碳板输送装卸台的压紧定位装置结构示意图； 图5为本发明碳板输送装卸台的顶升机构的结构示意图； 图6为本发明碳板输送装卸台的定位机构的结构示意图。
具体实施例方式见图1、图2、图3、图4、图5和图6，本发明碳板输送装卸台整体安装于板式PECVD 设备的进料口 40侧以及碳板升降台41之间，其包括支架1、水平输送机构2、压紧定位机构 3、顶升机构4和定位机构5，支架1的安装方向与PECVD硅片进料方向49垂直，水平输送机构2安装于支架1，压紧定位机构3和定位机构5分别安装于水平输送机构2的纵向两端， 顶升机构4通过固定板沈安装于支架1。水平输送机构2包括电机6、传动轴9、主动输送轮11和从动输送轮12，电机6通过电机支架7固定于输送机机架下部，传动轴9的纵向两端通过轴承座一 46固定于输送机机架的横向支架45，电机6与传动轴9通过同步带轮8、 10传动连接，传动轴9的纵向两端均通过轴承座一 46安装有一个所述主动输送轮11，两侧横向支架45上均分别通过轴承座二 13安装有两个主动输送轮11与两个从动输送轮12，主动输送轮11与从动输送轮12均勻、间隔分布安装于横向支架45，单侧横向支架45上、相邻两个主动输送轮11之间通过传送带14传动连接；压紧定位机构3设置有两个，分别通过安装板一 16安装于输送机机架进料侧的纵向支架47两端；安装板一 16下部固定有横向气动滑台一 15，横向气动滑台一 15通过连接板一 17连接竖向气动滑台一 18，竖向气动滑台一 18的上端固定有压紧座19，压紧座19通过导杆一 23连接压紧块25，导杆一 23外部套装有弹簧对，竖向气动滑台一 18通过纵向连接板20安装有调节板一 21，调节板一 21的横向前端安装有定位轮一 22 ；顶升机构4包括顶升板31，顶升板31上部安装有载片柱32，顶升板 31下部通过连接板二 30固定于竖向气动滑台二四，竖向气动滑台二四固定于固定板26， 固定板26固定于支架1，竖向气动滑台二四侧面安装有直线轴承导轨观，直线轴承导轨观上安装有导杆二 27，导杆二 27上端顶紧连接板二 30下部；定位机构5包括设置有两个，分别通过安装板二 34固定于输送机机架出料侧的纵向支架47两端；安装板二 34下部固定有横向气动滑台二 33，横向气动滑台二 33通过连接板三35与竖向气动滑台三36连接，竖向气动滑台三36上端通过连接块观与调节板二 38，调节板二 38的前端固定有定位轮二 39。 图1中，48为本发明碳板输送装卸台。 下面具体描述一下本发明的工作过程装满已处理硅片的出片碳板由PECVD设备的出料口 42进入出料口碳板升降台43，再由底部输送线装置44送至进料口侧的碳板升降台41，由碳板升降台41的水平输送机输送至碳板输送装卸台的顶升机构4的正上方，同时压紧定位机构3和定位机构5动作，将出片碳板夹紧定位，然后顶升机构4的竖向气动滑台二四向上动作，载片柱32支承住硅片，PECVD设备的横向搬运机构动作进行硅片的装卸， 硅片装卸完后，顶升机构4向下动作将硅片落入出片碳板的定位槽中，压紧定位机构3与定位机构5动作松开出片碳板，水平输送机构2动作将出片碳板水平输送至PECVD进料端口。
权利要求
1.板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其特征在于其整体安装于板式 PECVD设备的进料口侧以及碳板升降台之间，其包括支架、水平输送机构、压紧定位机构、 顶升机构和定位机构，所述支架的安装方向与PECVD硅片进料方向垂直，所述水平输送机构安装于所述支架，所述压紧定位机构和定位机构分别安装于所述水平输送机构的纵向两端，所述顶升机构通过固定板安装于所述支架。
2.根据权利要求1所述的板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其特征在于 所述水平输送机构包括电机、传动轴、主动输送轮和从动输送轮，所述电机通过电机支架固定于输送机机架下部，所述传动轴的纵向两端通过轴承座一固定于所述输送机机架的横向支架，所述电机与所述传动轴通过同步带轮传动连接，所述传动轴的纵向两端均分别通过所述轴承座一安装有一个所述主动输送轮，所述两侧横向支架上通过轴承座二安装有两个所述主动输送轮与两个从动输送轮，所述主动输送轮与从动输送轮均勻、间隔分布安装于所述横向支架，单侧所述横向支架上、相邻两个所述主动输送轮之间通过传送带传动连接。
3.根据权利要求2所述的板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其特征在于 所述压紧定位机构设置有两个，分别通过安装板一安装于所述输送机机架进料侧的纵向支架两端；所述安装板一下部固定有横向气动滑台一，所述横向气动滑台一通过连接板一连接竖向气动滑台一，所述竖向气动滑台一的上端固定有压紧座，所述压紧座通过导杆一连接压紧块，所述导杆一外部套装有弹簧，所述竖向气动滑台一通过纵向连接板安装有调节板一，所述调节板一的横向前端安装有定位轮一。
4.根据权利要求3所述的板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其特征在于 所述顶升机构包括顶升板，所述顶升板上部安装有载片柱，所述顶升板下部通过连接板二固定于竖向气动滑台二，所述竖向气动滑台二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述竖向气动滑台二侧面安装有直线轴承导轨，所述直线轴承导轨上安装有导杆二， 所述导杆二上端顶紧所述连接板二下部。
5.根据权利要求4所述的板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其特征在于 所述定位机构包括设置有两个，分别通过安装板二固定于所述输送机机架出料侧的纵向支架两端；所述安装板二下部固定有横向气动滑台二，所述横向气动滑台二通过连接板三与竖向气动滑台三连接，所述竖向气动滑台三上端通过连接块与调节板二，所述调节板二的前端固定有定位轮二。
全文摘要
本发明提供了板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其能起到有效的碳板承载输送作用，并为硅片的转送搬运提供可靠的碳板夹紧定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自动上下料的效率。其特征在于其整体安装于板式PECVD设备的进料口侧以及碳板升降台之间，其包括支架、水平输送机构、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，支架的安装方向与PECVD硅片进料方向垂直，水平输送机构安装于支架，压紧定位机构和定位机构分别安装于水平输送机构的纵向两端，顶升机构通过固定板安装于所述支架。
文档编号H01L31/18GK102569509SQ20111045875
公开日2012年7月11日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者刘晓平, 陈平 申请人:无锡市奥曼特科技有限公司