专利名称：高密度系统级封装方法
技术领域：
本发明涉及半导体技术，尤其涉及一种高密度系统级封装方法。
背景技术：
随着集成电路技术的不断发展，电子产品越来越向小型化、智能化、高性能以及高可靠性方向发展。而集成电路封装不仅直接影响着集成电路、电子模块乃至整机的性能，而且还制约着整个电子系统的小型化、低成本和可靠性。在集成电路晶片尺寸逐步缩小，集成度不断提高的情况下，电子工业对集成电路封装技术提出了越来越高的要求。在公告号为CN1747156C的中国专利中就公开了一种封装基板。所述封装基板包括基板，所述基板包括一表面；位于所述基板表面上的接球垫；形成于所述基板表面上的防焊层，所述防焊层包括至少一开口，所述开口露出所述接球垫；所述封装基板还包括一图案化金属补强层，所述图案化金属补强层沿着所述防焊层开口的侧壁形成于所述接球垫上。按照上述方法所封装制造的最终产品仅具有单一的芯片功能，然而，随着半导体产品轻薄短小的趋势以及产品系统功能需求的不断提高，如何进一步提高系统级封装的集成性成为本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本发明解决的技术问题是如何实现具有多层结构的高密度系统级封装。为解决上述技术问题，本发明提供高密度系统级封装方法，包括步骤提供基板； 在所述基板上形成至少一组布线封装层，形成所述布线封装层的步骤包括依次在基板上形成的贴装层、封料层、布线层；在末组布线封装层上形成引线键合封装层，形成所述引线键合封装层的步骤包括依次形成贴装层、金属引线键合、封料层；其中，基板、各组封装层之间透过布线层和金属引线来实现相邻封装层或间隔封装层间的电互联；在基板下方植球。可选地，在所述基板上形成至少一组布线封装层的具体步骤包括在基板上贴附第一贴装层；将基板上贴有第一贴装层的一面形成第一封料层，使第一贴装层的连接部件裸露；在第一封料层上形成第一布线层。可选地，所述连接部件是第一贴装层中芯片和/或无源器件的焊盘。可选地，在第一封料层上形成第一布线层的步骤包括在第一封料层中形成第一微通孔，之后向第一微通孔中填充导电材料，形成第一纵向布线；在第一封料层上形成连接所述第一纵向布线的第一横向布线，其中，所述第一纵向布线用于实现第一封装层与基板和其他封装层之间的电连接，所述第一横向布线用于实现第一封装层各器件之间的电连接。可选地，在末组布线封装层上形成引线键合封装层的具体步骤包括在末组布线封装层上形成贴装层；将所述贴装层与末组布线封装层中的布线层用金属引线实现电互联；在末组布线封装层上形成覆盖所述贴装层的封料层，所述贴装层及金属弓I线被所述封
3料层的塑封料包覆密封。 可选地，所述基板为BT基板或PCB基板。可选地，所述贴装层中包括芯片，所述芯片为单颗或多颗。可选地，所述贴装层还包括无源器件，所述无源器件为电容、电阻或电感中的一种或多种。可选地，封料层的材料为环氧树脂。可选地，封料层通过印刷、压缩或转注的方法而形成。与现有技术相比，本发明请求保护的高密度系统级封装方法，将芯片和无源器件进行整合后再一并封装，可以形成包含整体系统功能而非单一的芯片功能的最终封装产品；同时，多层封装层间透过布线层更实现了三维立体角度的高密度系统互联，相比现有的系统级封装，多层布线结构充分利用了芯片本身的厚度，在满足半导体封装轻薄短小趋势要求以及更复杂的系统功能整合要求的同时，更好地降低了系统内电阻、电感以及芯片间的干扰因素，结构强度以及产品可靠性得到很好地加强。
图1和图2为本发明一个实施例中高密度系统级封装方法流程图；图3至图10为图1和图2所示流程中封装结构示意图。
具体实施例方式在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。其次，本发明利用示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，所述示意图只是实例，其在此不应限制本发明保护的范围。下面结合附图对本发明的具体实施方式
做详细的说明。参考图1，示出了本发明高密度系统级封装方法一实施方式的流程示意图，所述系统级封装方法包括以下步骤SlOl，提供基板；S102，在基板上形成至少一组布线封装层；S103，在末组布线封装层上形成引线键合封装层；S104，在所述基板下方植球。下面结合附图对各个步骤做进一步说明。首先执行步骤S101，如图3所示，提供基板101，基板101是后续堆叠各封装层的基础，同时，也是承载后续各层封装层的基础，所述基板101包括两个功能面，其中，所述基板101的第一表面用于进行封装层的堆叠，所述基板101的第二表面用于植球(植入连接球)，本实施例中，所述基板101的上表面用于进行封装层的堆叠，所述基板101的下表面用于植球，所述基板101的上、下表面均设置有用于实现电连接的焊盘。其中，所述基板101 —般为 BT(Bismaleimide Triazine)基板或 PCB(PrintedCircuit Board)基板等，以便于在基板101的第一表面和第二表面之间进行走线。执行步骤S102，参考图2，示出了图1所示步骤S102 —实施例的流程示意图，在本实施例中以在基板上形成两组布线封装层为例，但是本发明并不限制于此，具体地，所述步骤S102包括以下分步骤步骤S1021，在基板上贴附第一贴装层；步骤S1022，将基板上贴有第一贴装层的一面形成第一封料层；步骤S1023，在第一封料层上形成第一布线层；步骤S1024，在第一封料层上堆叠第二贴装层；步骤S1025，在第一封料层上形成覆盖第二贴装层的第二封料层；步骤S1026，在第二封料层上形成第二布线层。执行步骤S1021，如图4所示，将芯片和无源器件的功能面的相对一面贴于基板 101上，形成第一贴装层102。所述第一贴装层102的功能面，是指第一贴装层102的中的芯片的焊盘和无源器件的焊盘所在表面。第一贴装层102中芯片和无源器件的贴装位置是依据设计的整体布线方案进行设定。在本发明的一个优选的实施例中，贴合于基板101之上的第一贴装层102及后续提及的贴装层都可以包含一个或多个相同或不同芯片，还可以包括一个或多个相同或不同的无源器件。这些芯片和无源器件各自成为一个系统级封装产品的一部分，各自完成实现系统级功能中的一个或多个单独的功能。在本发明的一个优选的实施例中，第一贴装层102中的芯片与无源器件的组合是根据系统功能来设计的。因此，在一个或一组芯片的周围，可能有相同或不同的另外的一个或一组芯片，或者相同或不同的电容、电阻或电感等无源器件；类似的，在一个无源器件的周围，可能有相同或不同的其他的无源器件，或者一个或多个相同或不同芯片。执行步骤S1022，如图5所示，将基板101上贴有第一贴装层102的一面形成第一封料层103，使第一贴装层102的连接部件裸露，本实施例中，所述连接部件为第一贴装层 102的芯片的焊盘和无源器件的焊盘。在后续工艺过程中，所述第一封料层103既可保护第一贴装层102，又可作为后续工艺的承载体。在本发明的一个实施例中，所述第一封料层103的材料是环氧树脂。环氧树脂的密封性能好，塑型容易，是形成第一封料层103的较佳材料。具体地，形成第一封料层103 的方法可以采用诸如印刷、转注或压缩的方法。这些方法的具体步骤已为本领域技术人员所熟知，在此不再赘述。执行步骤S1023，如图6所示，在第一封料层103上形成第一布线层104，具体地， 所述第一布线层104包括第一纵向布线和第一横向布线，所述第一纵向布线用于实现第一封装层和基板101之间、以及第一封装层与其他封装层间的电连接，所述第一横向布线用于实现第一封装层各器件之间的电连接。所述形成第一布线层104的步骤包括在第一封料层中形成第一微通，之后向第一微通孔中填充导电材料，形成第一纵向布线；在第一封料层上形成连接所述第一纵向布线的第一横向布线。具体地，通过钻孔的方式在第一封料层103上形成第一微通孔，所述第一微通孔贯穿所述第一封料层103，并露出基板101中的焊盘，形成与基板101进行互联的通道；向所述第一微通孔中填充导电材料，从而形成第一纵向布线，使第一纵向布线与基板101中的焊盘导通互联；在第一封料层103上形成连接第一纵向布线的第一横向布线，所述第一横向布线在第一封料层103上形成第一贴装层102中各器件间的互联，具体地，所述第一横向布线与芯片和无源器件的焊盘表面相连。所述导电材料可以是金属，例如铜等。实际应用中，可以根据设计需求有选择地在封料层中形成纵向布线，以实现各贴装层之间或贴装层和基板之间的电连接，由于封料层具有良好的绝缘性，可以避免各贴装层中各器件之间的干扰。至此，完成了在基板上形成第一布线封装层的制作过程。执行步骤S1024，在第一封料层103上堆叠第二贴装层105，所述堆叠，是指将第二贴装层105置于第一封料层103上的预定位置处。需要说明的是，所述堆叠步骤中，按照功能面朝上的方式将第二贴装层105堆叠于第一封料层103上。所述第二贴装层105与第一贴装层102类似，可以包含一个或多个相同或不同芯片，还可以包括一个或多个相同或不同的无源器件。然后执行步骤S1025，在第一封料层103上形成覆盖第二贴装层105的第二封料层 106，并使第二贴装层105的芯片的焊盘和无源器件的焊盘裸露。形成第二封料层106的材料可以与形成第一封料层103的材料相同，即采用环氧树脂来形成第二封料层106。执行步骤S1026，如图7所示，在第二封料层106上形成第二布线层107，具体地， 所述第二布线层107包括第二纵向布线和第二横向布线，所述第二纵向布线用于实现第二封装层与其他封装层、基板101之间的电连接，所述第二横向布线用于实现第二封装层各器件之间的电连接。所述形成第二布线层107的步骤包括在第二封料层中形成第二微通孔，之后向第二微通孔中填充导电材料，形成第二纵向布线；在第二封料层上形成连接所述第二纵向布线的第二横向布线。所述形成第二布线层107的方法和形成第一布线层104的方法类似，在此不再赘述。至此完成了依次在基板101上形成第一布线封装层和第二布线封装层的制作过程，基板101、第一布线封装层和第二布线封装层间透过布线层实现了系统互联。上述实施例中以两组布线封装层为例，但是本发明并不限制于此，还可以在基板 101上形成一组或两组以上的封装层，其他封装层的制作过程与上述封装层的制作过程类似，在此不再赘述。执行步骤S103，在末组布线封装层上形成引线键合封装层。在本实施例中以在第二布线封装层上形成引线键合封装层为例，具体地，所述形成引线键合封装层的步骤包括在第二封料层106上堆叠第三贴装层108，所述第三贴装层108与第二贴装层105 与第一贴装层102类似，可以包含一个或多个相同或不同芯片，还可以包括一个或多个相同或不同的无源器件，芯片和无源器件仍是按照功能面朝上的方式贴装；将第三贴装层108中芯片的焊盘或芯片和无源器件的焊盘与第二布线层107用金属引线109实现电互联，形成如图8所示的结构；在第二封料层106上形成覆盖第三贴装层108的第三封料层110，使第三贴装层
6108及金属引线109被第三封料层110的塑封料包覆密封，形成如图9所示的结构，形成第三封料层110的材料可以与形成第一封料层103和第二封料层110的材料相同，即采用环氧树脂来形成第三封料层110。至此完成了在末组布线封装层上形成引线键合封装层的制作过程。然后执行步骤S104，如图10所示，基板101下方进行植球，形成连接球111。具体地，在与基板101中连接走线对应位置处进行植球，植球的金属可以采用金属锡、锡合金等多种金属形成所述连接球111，所述植球工艺与现有技术相同，在此不再赘述。至此，基板101、各封装层间通过布线层和金属引线实现了相邻或相隔封装层间的互联，再经由基板101内部的线路整理实现了系统的整合，最终通过植球将功能输出。虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
权利要求
1.高密度系统级封装方法，其特征在于，包括步骤提供基板；在所述基板上形成至少一组布线封装层，形成所述布线封装层的步骤包括依次在基板上形成的贴装层、封料层、布线层；在末组布线封装层上形成引线键合封装层， 形成所述引线键合封装层的步骤包括依次形成贴装层、金属引线键合、封料层；其中，基板、 各组封装层之间透过布线层和金属引线来实现相邻封装层或间隔封装层间的电互联；在基板下方植球。
2.如权利要求1所述的高密度系统级封装方法，其特征在于，在所述基板上形成至少一组布线封装层的具体步骤包括在基板上贴附第一贴装层；将基板上贴有第一贴装层的一面形成第一封料层，使第一贴装层的连接部件裸露；在第一封料层上形成第一布线层。
3.如权利要求2所述的高密度系统级封装方法，其特征在于，所述连接部件是第一贴装层中芯片和/或无源器件的焊盘。
4.如权利要求2所述的高密度系统级封装方法，其特征在于，在第一封料层上形成第一布线层的步骤包括在第一封料层中形成第一微通孔，之后向第一微通孔中填充导电材料，形成第一纵向布线；在第一封料层上形成连接所述第一纵向布线的第一横向布线，其中，所述第一纵向布线用于实现第一封装层与基板和其他封装层之间的电连接，所述第一横向布线用于实现第一封装层各器件之间的电连接。
5.如权利要求1所述的高密度系统级封装方法，其特征在于，在末组布线封装层上形成引线键合封装层的具体步骤包括在末组布线封装层上形成贴装层；将所述贴装层与末组布线封装层中的布线层用金属引线实现电互联；在末组布线封装层上形成覆盖所述贴装层的封料层，所述贴装层及金属弓I线被所述封料层的塑封料包覆密封。
6.如权利要求1 5任意一权利要求所述的高密度系统级封装方法，其特征在于所述基板为BT基板或PCB基板。
7.如权利要求1 5任意一权利要求所述的高密度系统级封装方法，其特征在于所述贴装层中包括芯片，所述芯片为单颗或多颗。
8.如权利要求7所述的高密度系统级封装方法，其特征在于所述贴装层还包括无源器件，所述无源器件为电容、电阻或电感中的一种或多种。
9.如权利要求1 5任意一权利要求所述的高密度系统级封装方法，其特征在于封料层的材料为环氧树脂。
10.如权利要求1 5任意一权利要求所述的高密度系统级封装方法，其特征在于封料层通过印刷、压缩或转注的方法而形成。
全文摘要
本发明涉及高密度系统级封装方法，包括步骤提供基板，在基板上形成至少一组布线封装层，形成所述布线封装层的步骤包括依次在基板上形成的贴装层、封料层、布线层，在末组布线封装层上形成引线键合封装层，形成所述引线键合封装层的步骤包括依次形成贴装层、金属引线键合、封料层，在基板下方植球。与现有技术相比，本发明请求保护的高密度系统级封装方法，可以形成包含整体系统功能而非单一的芯片功能的最终封装产品，降低了系统内电阻、电感以及芯片间的干扰因素。此外，可以形成更为复杂的多层互联结构，实现集成度更高的圆片系统级封装。
文档编号H01L21/50GK102157394SQ20111006999
公开日2011年8月17日 申请日期2011年3月22日 优先权日2011年3月22日
发明者石磊, 陶玉娟 申请人:南通富士通微电子股份有限公司