专利名称：薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置及方法
技术领域：
本发明主要涉及为去除在薄膜太阳能电池板的宽度方向以一定的间隔设置的细槽(浅纵向槽)(scribe line)内附着的微粒(太阳能电池板的制造工序中发生的玻璃基板表面上的微粒和有机物以及金属杂质等)(particle)，对薄膜太阳能电池板喷射高压液体的，薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置。
背景技术：
上述薄膜太阳能电池板的制造过程中，经过在玻璃板上形成透明电极膜(TC0膜) 的玻璃板接纳步骤、在透明电极膜上利用激光形成细槽的步骤、在透明电极膜上用CVD形成由硅等构成的半导体光电变换层的步骤、用激光在半导体光电变换层上形成细槽的步骤、在半导体光电变换层上形成导体膜的步骤、用激光在导体膜以及半导体光电变换层上形成细槽的步骤等多个制造工序后，在背面侧贴玻璃板。在该贴玻璃板的工序之前，必须进行去除微粒的清洗工作。因为如图6C所示，细槽102内如果附着微粒99，则串联连接的光电变换元件层(光电变换单元)101之间会发生绝缘不良的情况，不能够实现目标发电量。 因此，向来为了去除细槽内的微粒，使用圆刷(参照例如非专利文献1)。这种圆刷使用时，将旋转着的圆刷一边蘸清洗液一边抵住细槽内，使清洗对象相对于圆刷移动，擦除细槽内附着的微粒。在涉及使用这样的圆刷的清洗装置的在先技术中，提出了如下所述的清洗装置， 即“作为清洗对象的薄膜太阳能电池板以其分割线即细槽与传送带的输送方向平行的状态被放置于传送带上，随着传送带的行驶，太阳能电池板被弓I入水洗室内。然后，在水洗室内， 向着传送带上表面设置导电刷，从喷嘴机构的喷嘴孔喷射清洗用水。从而，太阳能电池板在传送带行走的过程中利用清洗用水进行清洗，同时导电刷的前端摩擦太阳能电池板的光电变换单元集成区域以及周边区域，形成电气导通状态，保持等电位。”(参照例如专利文献 1)。非专利文献1 :2007年1月发行的“支持电子学的清洗技术(发行所株式会社東 l·丨J寸一子七 > 夕一调查研究部门)”(27 洲页)。专利文献1 日本特开2001 - 044467号公报(0028 0031段及图1 图3)。
发明内容
但是，利用上述圆刷去除太阳能电池板的细槽内的微粒的方法中，存在如下所述问题。第一，如图6A所示，细槽102的宽度W为50 80 μ m，而圆刷的刷子直径R为100 μ m以上，因此不容易去除细槽102内角落部附着的微粒99。而且，圆刷的毛直径粗，也造成细槽102内的微粒99去除的困难。第二，靠在细槽内的透明电极膜面上的圆刷一边旋转一边擦除微粒，因此一旦有异物混入圆刷内，也可能损伤薄膜。而且，由于圆刷会磨损，圆刷在面板上的高度位置需要进行调整、替换等维修保养，为了使得圆刷工作还是很费事。另一方面，有如下所述清洗装置提出，也就是从喷嘴孔喷射加压到20 200kg/cm2 的清洗液，喷射晶片或掩模表面去除微粒的高压液体喷射清洗装置。但是，通常，提出这样的装置形成对太阳能电池板的整个面喷射高压液体进行清洗的结构。因此，难以将高压液体只集中喷射在细槽内可靠地清除微粒。而且，如果为了提高在上述高压液体喷射清洗装置中清除微粒的能力过度提高喷嘴孔喷射出的高压液体的压力，则太阳能电池板表面的薄膜可能发生剥离。本发明是鉴于上述存在问题而作出的，其目的在于，提供能够可靠地清除在薄膜太阳能电池板上以一定的间隔设置的许多细槽内附着的微粒，而且不会造成表面的成膜面受伤或薄膜剥离的，薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置。为了实现上述目的，本发明的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置具备 对在与薄膜太阳能电池板的宽度方向垂直的方向上不断地连接而且在所述宽度方向上以一定的间隔排列设置的多条细槽的各条细槽，成一直线状地喷射高压液体进行清洗的多个高压液体喷嘴、对应于所述各细槽将所述多个喷嘴沿着长度方向排列的喷嘴支架、支持所述喷嘴支架的支持部、以及相对于所述喷嘴支架，在垂直于所述喷嘴支架的长度方向的方向上，而且与所述太阳能电池板的所述细槽不断地连接的方向平行地，相对输送所述太阳能电池板的输送装置。如果采用具有上述结构的高压液体喷射清洗装置，则从多个喷嘴成一直线状地喷射高压液体，因此能够得到高清洗强度。而且，从各喷嘴将高压液体向着太阳能电池板的细槽平行而且成一直线状地喷射，冲击太阳能电池板的各细槽内，因此能够擦除各细槽内的微粒。在这种状态下，相对于喷嘴支架，在太阳能电池板在与细槽平行的方向上相对输送， 因此高压液体成一直线状向各细槽内喷射，能够清除细槽内的微粒。还有，如图6B所示，从一个喷嘴3成一直线状喷射的高压液体的外径306 (实施例的情况)，设定为接触太阳能电池板100的表面的范围为例如约140 μ m，比细槽102的宽度稍大。而且，最好是在上述高压液体喷射清洗装置中，所述支持部具备使喷嘴支架能够在其长度方向上移动自如地对其加以支持，同时使所述喷嘴支架在其长度方向上微小移动，对各喷嘴进行定位的精细定位装置。还有，在这里，所谓“定位”是指使从某一喷嘴喷射的喷射的高压液体触及的位置与该喷嘴对应的一条细槽的位置对准。如果这样做，则从上述喷嘴支架的喷嘴喷射出的高压液体触及太阳能电池板的位置由于太阳能电池板的输送等原因偏离细槽的情况下，可以利用精细定位装置调整高压液体触及的位置，使其正确地对准细槽的位置。而且，通过使喷嘴支架的一个喷嘴喷射出的高压液体触及的位置与太阳能电池板的一条细槽的位置对准，从喷嘴支架喷射出的高压液体就会正确地对准太阳能电池板的全部细槽。而且，也可以在上述高压液体喷射清洗装置中，所述喷嘴可改变喷射的高压液体的喷射压力。如果这样做，则可以根据太阳能电池板的各细槽内的表面上露出的透明电极等薄膜的硬度，调整高压液体的喷射压力，因此可以将高压液体的喷射压力设定为即使是高压液体触及，薄膜也不会剥离的压力。而且，在上述高压液体喷射清洗装置中，所述支持部使所述喷嘴支架能够围绕其长度方向的轴转动地对其加以支持，能够对所述喷嘴喷射的高压液体的方向进行调节。如果这样做，则能够调整为不仅从太阳能电池板的细槽内的露出的面的垂直方向的正上方， 而且能够以倾斜某种程度(相对于露出面倾斜45°或30°以下)的角度将高压液体喷射于其上，因此能够高效率地将细槽内的微粒冲出来。而且，也可以在上述高压液体喷射清洗装置中，所述喷嘴支架具备沿着其长度方向不断地连接，而且与所述多个喷嘴连通的高压液体供给通路，在该高压液体供给通路上连接提供高压液体的可挠性高压液体供给管的一端。如果这样做，则即使是使喷嘴支架相对于上述支持部在长度方向上移动，也会在喷嘴支架移动时可挠性的高压液体供给管发生屈曲变形，抵消喷嘴支架端部的位移。而且，通过高压液体供给管提供给高压液体供给通路内的高压液体，从与高压液体供给通路内连通的各喷嘴大致均勻地在高压下喷射清洗液。而且，也可以上述高压液体喷射清洗装置还具备第2喷嘴支架，该第2喷嘴支架具备能够向所述太阳能电池板表面扇状喷射比所述高压液体压力低的液体的一个以上的第2 喷嘴。如果这样做，则利用高圧喷射清洗装置能够清洗太阳能电池板的细槽，同时清洗太阳能电池板的表面。本发明的高压液体喷射清洗装置由于具有如上所述结构，具有如下所述的优异效果。也就是
第一、能够可靠地清除太阳能电池板的各细槽内附着的导电性和半导电性的微粒，而能够防止光电变换元件直径短路等导致太阳能电池板的质量下降的原因的发生。第二、由于只对太阳能电池板的各细槽的位置及其周边准确地喷射高压液体进行清洗，因此不必担心太阳能电池板的外表面等细槽内以外的薄膜发生剥离或损伤。第三、由于只对太阳能电池板的各细槽内集中喷射高压液体以清除微粒，因此能够可靠地清除细槽内角落部附着的微粒，能够高效率地进行清洗。第四、不仅对太阳能电池板的细槽内的薄膜，而且对外表面的薄膜，也不可能发生高压液体的压力过大造成剥离等对质量的不良影响。
图1是表示本发明实施例1的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置的正视图2A是表示本发明的清洗装置1使用的高压液体喷嘴40的正视图； 图2B的图2A的b-b线剖面图； 图2C表示喷嘴支架的实施例，是图2D的c-c剖面图； 图2D是图2C的d-d线剖面图3A是表示高压液体供给管9连接于支架2的一端的状态的正面的说明图； 图3B表示高压液体供给管9的另一实施例，是表示连接高压软管构成的高压液体供给管9a的状态的正面的说明图4是将薄膜太阳能电池板的一部分放大表示的剖面图；图5概略表示本发明实施例1的高压液体喷射清洗装置的从前上方观察的立体图； 图6A是概略表示已有的一般薄膜太阳能电池板的一部分的放大剖面图，表示圆刷与细槽的宽度的关系；
图6B是将薄膜太阳能电池板的一部分进一步放大详细表示的，用断面表示一部分的立体图，表示触及太阳能电池板的高压液体的外径与细槽的宽度之间的关系；
图6C是将已有的一般的薄膜太阳能电池板的一部分经过放大详细表示的，一部分用断面表示的立体图7是表示本发明实施例3的高压液体喷射清洗装置的从前上方观察的立体图； 图8是表示本发明实施例4的高压液体喷射清洗装置的从前上方观察的立体图； 图9是表示本发明实施例5的高压液体喷射清洗装置的从前上方观察的立体图； 图10是表示本发明实施例6的高压液体喷射清洗装置的从前上方观察的立体图。
具体实施例方式下面对本发明的高压液体喷射清洗装置的实施形态进行说明。实施例1
如图1所示，本实施例的高压液体喷射清洗装置1是固定式的清洗装置，具备多个高压液体喷嘴3以一定的间隔305 (参照图5)排列于下表面的喷嘴支架2。喷嘴3的间隔305 与相邻的细槽102之间的距离对应。下面将相邻的细槽102间的距离称为细槽宽度。喷嘴支架2的主体201从上方看来为形成为长方体筒，其下表面上等间隔排列着多个高压液体喷嘴3。下面将多个喷嘴3并排成列的方向称为喷嘴支架主体201的“长度方向”。喷嘴支架主体201的长度方向的长度比作为清洗对象的太阳能电池板100的宽度稍长。而且多个喷嘴3安装于喷嘴支架主体201的下表面，以能够充分覆盖太阳能电池板100的宽度而至少对全部太阳能电池板100的细槽102喷射高压液体。本例的高压液体喷射清洗装置1清洗的太阳能电池板100，如图4所示，在平板玻璃104上，宽度IOmm左右的光电变换元件层101夹着宽度50 80 μ m左右的细槽102串联连接。太阳能电池板100的宽度有例如2200mm左右的，如图5所示，多条(例如100 200条左右)细槽102在太阳能电池板100的宽度方向上排列。各细槽102在与太阳能电池板100的宽度方向的垂直方向(下面称为细槽102的“长度方向”)连续延伸。另一方面，在高压液体喷射清洗装置1的喷嘴支架主体201的长度方向上以一定的间隔设置的喷嘴3，在与太阳能电池板100的各细槽102对应的位置上，使细槽宽度与喷嘴间隔305 —致地加以配置。图2A是表示使用于本发明的清洗装置1的高压液体喷嘴40 的正视图，图2B是图2A的b-b线剖面图。如图2A所示，在设置于不锈钢制造的喷嘴主体 41的中心部的芯片孔42，埋设在金刚石或蓝宝石等宝石的中心位置穿设喷射孔44的喷嘴芯片43，从喷嘴主体41的1个高压液体喷射孔40k成一直线状地喷射高压液体。喷嘴40 的形状除了本例所示的芯片方式外，也可以是在板上直接加工喷嘴孔的方式。还有、45为直孔，46为向前方圆锥状扩大直径的圆锥孔。从各喷嘴3喷射的高压液体WJ，如图6B所示，被调整为在触及太阳能电池板100的位置，高压液体WJ的外径306比细槽102的槽宽度大。 如上所述，喷嘴3设置于喷嘴支架主体201的下面，喷嘴3的喷射孔向着正下方，因此能够将高压液体从喷嘴3向正下方喷射。但是，喷嘴3的喷射孔的方向、即从喷嘴3喷射的高压液体的喷射方向不限于上面所述。例如，也可以形成这样的结构，即喷嘴3的喷射孔的方向指向正下方或具有角度θ，从喷嘴3喷射的高压液体对太阳能电池板100如上所述或以对应于角度θ的角度(90° - θ )向其喷射。而且，例如也可以形成喷嘴3的喷射孔的方向可变的结构。这样可以将喷嘴3喷射的高压液体的喷射角度调整得与太阳能电池板100的细槽102的状況相适应。如图5所示，本例的高压液体喷射清洗装置1 一边以一定的速度在与喷嘴支架2 的长度方向(多个喷嘴3并排的方向)正交的方向上输送太阳能电池板100，换句话说，在与细槽102平行的方向上以一定的速度输送太阳能电池板，一边进行清洗。如图1所示，太阳能电池板100的清洗室10的两侧有主支持台11与副支持台12夹着清洗室10设置。喷嘴支架2跨在两侧的支持台11、12间配置，在各支持台11、12上设置的直线运动导轨(Linear
Motion Guide)13、14上支持着喷嘴支架2，使其能够在长度方向上移动。喷嘴支架2向主体201的两侧伸出断面为方形的支持杆202、203连续设置。由这些支持台11、12，直线运动导轨13、14，及支持杆202、203等，构成喷嘴支架2的主体201的支持部。在一方(主支持台11 一侧)的支持杆203的外端部，成一整体固定滚珠丝杆的螺帽部15 —侧，螺帽部15 上拧着连接滚珠丝杠轴16的前端部。滚珠丝杠轴16利用主支持台11上设置的一对轴承装置17可旋转地加以支持。步进马达或伺服马达18由L形支撑19支持于主支持台11上，步进马达或伺服马达18的驱动轴181的前端上，可成一整体旋转地连结滚珠丝杠轴16的基端侧。然后，利用步进马达或伺服马达18使滚珠丝杠轴16在特定的方向上进行规定的旋转，使喷嘴支架2在长度方向上移动微小距离以进行定位，使某一喷嘴3喷射的高压液体触及的位置与对应于该喷嘴 3的一条细槽102的位置对上。在本实施例中，如图5所示，喷嘴支架2的长度方向一端(在这里是纸面左端)的喷嘴3喷射出的高压液体触及的太阳能电池板100的细槽102的位置上，在向其上方的延长线上，细槽位置传感器20被安装于未图示的清洗室10的框架上。该位置传感器20事前对太阳能电池板100的左端的细槽102的位置进行检测，利用位置传感器20上连接的步进马达或伺服马达18进行定位，使喷嘴支架2的左端的喷嘴3喷射出的高压液体能够触及左端的细槽102。其结果是，喷嘴支架2的其余的多个喷嘴3喷射出的高压液体触及的位置也能够与太阳能电池板100的各细槽102的位置一致。从而，可以采用例如输送带代替下述平移用滑动架21那样的高精度输送装置，作为在与喷嘴支架2的长度方向的垂直方向上输送太阳能电池板100的装置，输送太阳能电池板100。还有，在上面所述中，喷嘴支架主体201的长度方向的两端被支持着，但是根据喷嘴支架主体201的长度方向的长度，也可以是其某一端部一方得到支持。在这种情况下，形成喷嘴支架主体201的长度方向的一端可在喷嘴支架2的长度方向上移动地支持于支持台的结构。如果这样做，则更容易构成喷嘴支架2向长度方向移动的机构。而且，如图5所示，太阳能电池板100载置于平移用滑动架21，平行于各细槽102 的长度方向移动。因此，在本实施例中，在清洗室10的一旁，轨道22敷设于与跨越支持台 11、12间配置的喷嘴支架2的长度方向的垂直方向，输送平台23沿着轨道22行走。输送平台23用一对连结构件24、M连结于平移用滑动架21，伴随输送平台23的行走，将平移用滑动架21平行于轨道22输送。还有，太阳能电池板100用吸盘25固定于平移用滑动架21， 利用平移用滑动架21输送。
图2C及图2D是表示将多个喷嘴3排列于下表面的喷嘴支架主体201的实施例。 如这些附图所示，本实施例的喷嘴支架主体201在断面为四边形的长条形支架主体201的上部，沿着长度方向设置高压液体供给通路32。而且，多个喷嘴3以一定的间距安装的喷嘴部4设置于支架主体201的下部，喷嘴部4上，形成各喷嘴3的面向下方的下端开放的开口 403。而且，在喷嘴支架主体201的下部的长度方向的一端部，设置与高压液体供给通路32 连通的连接孔404，在该连接孔404上，连接高压液体供给通路32的一端。连接孔404的位置不限于上面所述，但是为了容易进行该连接孔404上连接的高压液体供给通路32的配管工作，连接孔404最好是设置于喷嘴支架主体201的下部的一端部。还有，本例的情况下， 将金属制造或橡胶制造的，外周面卷绕金属片(金属线)加以强化的高压软管形成的可挠性高压液体供给管9 (参照图3A)连结于高压液体供给通路32的一端部。金属制的供给管9的另一端连结于高压液体供给泵(未图示)，从该高压液体供给泵通过金属制的供给管9连结于喷嘴支架主体201的高压液体供给通路32的一端，从该高压液体供给通路32向各喷嘴3提供高压液体，从各喷嘴3成一直线状喷射高压液体。高压液体供给泵是对水加压将其送出的装置，通过改变该高压液体供给泵的输出转速，能够改变从喷嘴3喷射出的高压液体的喷射压力。还有，金属制的高压液体供给管9，如图1所示， 横向设置螺旋状卷绕多匝的部分，连结于高压液体供给通路32的一端部的上端，但是如果高压液体供给通路32具备可挠性，则也可以不形成螺旋状，例如也可以形成直线状，供给管9总体上形成弯曲形状。又，图:3B例示了高压软管构成的高压液体供给管9a的其他实施例。实施例2
在图1所示的高压液体喷射清洗装置1中，形成能够使喷嘴支架2的主体201相对于从两侧伸出设置的支持杆202、203，围绕其旋转轴转动规定的角度的结构(未图示)。本实施例2的高压液体喷射清洗装置1在从正上方垂直地喷射高压液体难以清除太阳能电池板100的细槽102内的微粒99的情况下特别有效。例如，通过使喷嘴支架主体 201转动，调整高压液体的喷射方向及角度，能够对向着喷嘴支架2输送过来的太阳能电池板100成锐角地将高压液体喷射于所述电池板。本实施例2的高压液体喷射清洗装置1，在调整从喷嘴3喷射出的高压液体的压力的同时，调整高压液体射在图6B所示的太阳能电池板100上的角度，这样能够可靠地清除细槽102内的微粒99，高效率地将微粒99冲出。实施例3
图7是表示本发明的另一实施例的高压液体喷射清洗装置的，从前上方观察清洗装置的立体图。如图7所示，本实施例3的高压液体喷射清洗装置1 一 3不同于上述实施例1 的高压液体喷射清洗装置1之处如下所述。在将太阳能电池板100载置于清洗台110上固定于一定的位置上的状态下，使喷嘴支架2能够沿着太阳能电池板100的细槽102的长度方向移动。为此，在清洗台110的两侧敷设轨道22，沿着各轨道22行走的输送平台23上，每一支持台11、12搭载喷嘴支架2。细槽位置传感器20用未图示的支持构件支持于喷嘴支架 2，能够与喷嘴支架2成一整体移动。其他结构以及使用情况与上述实施例1相同，因此对相同的构件标以相同的符号并且省略其说明。实施例4图8是表示本发明的又一实施例的高压液体喷射清洗装置的从前上方观察的立体图。 如图8所示，本实施例4的高压液体喷射清洗装置1 一 4与上述实施例1的高压液体喷射清洗装置1的不同点如下所述。为了谋求降低成本，省去伺服马达18和直线运动导轨13、 14等微调定位机构，同时也省去细槽位置传感器20。另一方面，使从喷嘴支架2的喷嘴3 喷射的高压液体的喷流形状向下方稍微扩散开来，或使高压液体喷流的直径增大，即使是触及太阳能电池板100的细槽102的位置多少有一些偏差，也能够清除细槽102内的微粒 99。还有，作为使太阳能电池板100相对于喷嘴支架2相对移动的机构，上述实施例1和上述实施例3的任何一个都是可以的，但是上述实施例1的机构比较简单。其他结构和使用情况与上述实施例1相同，因此对相同的构件标以相同的符号并省略其说明。实施例5
图9是表示本发明的再一实施例的高压液体喷射清洗装置的从前上方观察的立体图。 如图9所示，本实施例5的高压液体喷射清洗装置1一 5与上述实施例4的高压液体喷射清洗装置1 一 4 一样，为了谋求降低成本将结构简化，在喷嘴支架2的一端安装电磁振荡器 26，取代像上述实施例4那样使喷射出的高压液体WJ的喷流形状向下方稍微扩散开来的手段，使喷嘴支架2在长度方向上微微振动。这样，即使是触及太阳能电池板100的细槽102 的位置多少有一些偏差，也能够清除细槽102内的微粒99 (图6B)。还有，作为使太阳能电池板100相对于喷嘴支架2相对移动的机构，上述实施例1及上述实施例3中的任意一个的情况都可以使用，但是上述实施例1的机构比较简单，因此选择使太阳能电池板100移动。 其他结构和使用情况与上述实施例1相同，因此对相同的构件标以相同的符号并省略其说明。实施例6
图10是表示本发明的又一实施例的高压液体喷射清洗装置的从前上方观察的立体图。如图10所示，本实施例6的高压液体喷射清洗装置1 一 6，是在上述实施例1的高压液体喷射清洗装置1中，组合包含喷嘴支架加的清洗机构。喷嘴支架加是对太阳能电池板100的整个表面喷射扇状扩散的加压力小的清洗液的构件。喷嘴支架加相对于太阳能电池板100的宽度方向倾斜配置。喷嘴支架加具备多个喷嘴3a。从这些喷嘴3a向太阳能电池板100喷射扇状扩散的清洗液。喷嘴3a的喷射压力比喷嘴支架2的高压液体喷嘴3的喷射压力低得多。从而， 在利用该喷嘴3a喷射出的清洗液对太阳能电池板100的表面进行清洗时不会使其表面受伤。也可以不设置使清洗液扇状扩散的喷嘴3a，而代之以一边成一直线状地喷射加压力小的清洗液，一边用例如马达和活塞曲柄机构等使喷嘴支架加围绕长度方向的轴在规定的转动角度(例如30° )范围内往复转动。利用本例的高压液体喷射清洗装置1 一 6，能够在用喷嘴支架2的喷嘴3喷射出的高压清洗液对太阳能电池板100的细槽102内进行强力清洗的同时，用喷嘴支架加的喷嘴3a喷射出的加压力小的清洗液对太阳能电池板100的表面进行均勻的清洗。从喷嘴3a喷射出的清洗液的加压力被调整为不对太阳能电池板100 的成膜部上形成的薄膜造成损伤的压力。这样，能够对整片太阳能电池板100进行均勻的清洗。如上所述，上面参照附图对理想的实施例进行了说明，对于本行业的普通技术人员来说，阅读本说明书就能够容易地想像出在不言自明的范围内的各种变更和修改。从而，这样的变更和修改都应该解释为权利要求书确定的发明范围内的变更和修改。工业应用性
如上所述，如果采用本发明的高压液体喷射清洗装置(及方法)，则通过对薄膜太阳能电池板喷射高压液体，能够有效地清除该薄膜太阳能电池板上设置的细槽(浅的纵向槽)内附着的微粒，因此作为清洗薄膜太阳能电池板用的装置是有用的。符号说明
1、1 一3、1 一4、1 一5、1 一6高压液体喷射清洗装置； 2喷嘴支架；
201喷嘴支架主体；
202、203 支持杆；
3喷嘴；4喷嘴部；403开口 ；404连接孔；9、9a高压液体供给管；10清洗室；110清洗台；11主支持台；12副支持台；13,14直线运动导轨；15螺帽；16滚珠丝杠轴；17轴承装置；18伺服马达；19L形支撑；20细槽位置传感器；21平移用滑动架；22轨道；23输送平台；24连结构件；25吸盘；26电磁振荡器；32高压液体供给通路100太阳能电池板；102细槽；103光电变换元件层；104平板玻璃。
权利要求
1.一种薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置，其特征在于，具备对在与薄膜太阳能电池板的宽度方向垂直的方向上不断地连接而且在所述宽度方向上以一定的间隔排列设置多条细槽的各条细槽，成一直线状地喷射高压液体进行清洗的多个高压液体喷嘴；对应于所述各细槽将所述多个喷嘴沿着长度方向排列的喷嘴支架；支持所述喷嘴支架的支持部；以及相对于所述喷嘴支架，在垂直于所述喷嘴支架的长度方向的方向上，而且与所述太阳能电池板的所述细槽不断地连接的方向平行地，相对输送所述太阳能电池板的输送装置。
2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置，其特征在于， 所述支持部具备使喷嘴支架能够在其长度方向上移动自如地对其加以支持，同时使所述喷嘴支架在其长度方向上微小移动，对各喷嘴进行定位的精细定位装置。
3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置，其特征在于， 所述喷嘴能够改变喷射的高压液体的喷射压力。
4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置，其特征在于， 所述支持部使所述喷嘴支架能够围绕其长度方向的轴转动地对其加以支持，能够对所述喷嘴喷射的高压液体的方向进行调节。
5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置，其特征在于， 所述喷嘴支架具备沿着其长度方向不断地连接，而且与所述多个喷嘴连通的高压液体供给通路，在该高压液体供给通路上连接提供高压液体的可挠性高压液体供给管的一端。
6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗装置，其特征在于，还具备第2喷嘴支架，该第2喷嘴支架具备能够向所述太阳能电池板表面扇状喷射比所述高压液体压力低的液体的一个以上的第2喷嘴。
7.一种薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗方法，其特征在于，相对于与所述各细槽对应地沿着长度方向以所述一定的间隔排列多个喷嘴的喷嘴支架，在垂直于该喷嘴支架的长度方向的方向上，而且与所述细槽不断地连接的方向平行地，相对输送具有在与宽度方向的垂直的方向上不断地连接，而且在所述宽度方向上以一定的间隔排列设置的多条细槽的太阳能电池板，而且一边从各高压喷嘴向对应的细槽成一直线地喷射高压液体。
8.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗方法，其特征在于， 使所述喷嘴支架向其长度方向作微小移动对其进行定位后，从各高压液体喷嘴喷射高压液体。
9.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池板的高压液体喷射清洗方法，其特征在于， 使所述喷嘴支架围绕其长度方向的轴转动，调节所述喷嘴喷射的高压液体的方向后，从各高压液体喷嘴喷射高压液体。
全文摘要
本发明提供能够可靠地去除在薄膜太阳能电池板上以一定的间隔设置的多条细槽内附着的微粒，而且不会损伤表面上的成膜面，不会使薄膜剥离的高压液体喷射清洗装置。对应于薄膜太阳能电池板的各细槽的位置，将喷嘴沿着喷嘴支架的长度方向以一定的间隔排列，用喷嘴支架两侧的支持部在喷嘴支架的长度方向上移动自如地支持喷嘴支架，一边与细槽平行地相对输送太阳能电池板，一边将从喷嘴支架的各喷嘴成一直线状地喷射的高压液体，对太阳能电池板的多条细槽平行喷射进行清洗。
文档编号H01L31/042GK102355960SQ20108001213
公开日2012年2月15日 申请日期2010年3月31日 优先权日2009年4月7日
发明者久下守正, 友永真昭, 池秀朗, 田中秀幸, 辻田京史, 野村充 申请人:川崎重工业株式会社