专利名称：用于转移硅片的工具的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池的制作工具，尤其涉及一种用于转移硅片的工具。
背景技术：
太阳能电池是一种将光能直接转化为电能的器件，其基本原理是利用PN结的光 生伏特效应将光能转化成电能，由于其清洁、无污染，取之不尽，用之不竭，逐渐成为一种重 要的发电方式，近年来备受瞩目。其中，晶体硅太阳能电池占有绝大部分的份额。目前，在晶体硅太阳能电池的生产过程中，用于制作PN结的扩散制结工序是关键 工序之一。该工序要求严格的工艺卫生，需要一种专用的工具来转移硅片，以避免人手直接 接触硅片，从而保证硅片的洁净度，减少硅片表面少子复合，增强了太阳能电池转换效率的 稳定性。另一方面，现有的晶体硅太阳能电池扩散工艺均采用水平卧式扩散炉，扩散炉内 配有水平卧式石英舟承载硅片，生产时需要人工向石英舟槽内插入硅片。为了保证扩散环 境的洁净度，在进行扩散插片作业时，人员需佩戴无尘手套进行操作，同时需要使用轻巧、 方便、少污染的硅片转移工具；而硅片出炉后温度较高，又要求该工具能耐较高的温度而不 变形。因此，现有的用于转移硅片的工具均采用石英材料制成。现有的用于转移硅片的工具主要包括吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述 中空真空管设于吸盘和石英握管之间，中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管 连通；石英握管的顶部还设有抽真空接管；石英握管的外壁设有抽真空开关。所述抽真空 开关通常是一个开孔。工作时，先将抽真空接管与抽真空设备(如真空泵)连接，启动抽真 空，用手握持石英握管，食指按住抽真空开关的开孔，将吸盘轻轻放在硅片边缘，吸起硅片， 将硅片插于石英舟槽内，然后最后松开食指，完成硅片转移动作。然而，在实际应用中发现，由于抽真空开关的开孔较大(一般为13平方毫米)，当工 人用食指按住抽真空开关的开孔时，手上的无尘手套会被局部吸进石英握管内，在石英握 管内形成1个大气泡，从而造成操作中断，影响连续生产。
发明内容本实用新型目的是提供一种适于实用的用于转移硅片的工具。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种用于转移硅片的工具，包括 吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握 管连通；所述石英握管的管壁上设有抽真空开关，所述抽真空开关包括至少2个开孔，各开 孔的面积小于等于1平方毫米，开孔的总面积为0. 2、平方毫米。上文中，将抽真空开关设置成至少2个开孔，形成勻溜口型抽真空开关，使吸力均 勻分散，防止无尘手套被吸入石英握管内。所述石英握管一般为普通的石英管，其管径一般大于所述中空真空管的管径，以便于握持。进一步的技术方案，所述开孔为9个，构成3X3点阵结构，设于石英握管的管壁 上，各个开孔的面积均为0. 5平方毫米。上述技术方案中，所述开孔为圆孔。当然也可以是其他规则图形(如三角形)或其 它不规则图形。上述技术方案中，所述石英握管的外表面设有防滑结构。该防滑结构可以是磨砂 结构或凹凸结构等，便于手握持同时也可以起到防滑的作用。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是1、本实用新型将抽真空开关设置成多个开孔，形成勻溜口型抽真空开关，使吸力 均勻分散，并限定了开孔的面积，从而可以防止无尘手套被吸入石英握管内，保证了该工具 可以连续使用，不会影响连续生产；2、本实用新型在石英握管的外表面设有防滑结构，便于工人用手握持，同时也可 以起到防滑的作用；3、本实用新型结构简单，便于制备，且具有良好的可操作性、实用性，适于推广应用。
图1是本实用新型实施例一的结构示意图；图2是图1的A部放大图。其中1、吸盘；2、石英握管；3、中空真空管；4、开孔。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述实施例一参见图广2所示，一种用于转移硅片的工具，包括吸盘1、中空的石英握管2和中空 真空管3，所述中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；所述石英握管的管 壁上设有抽真空开关，所述抽真空开关包括9个开孔4，构成3X3点阵结构，设于石英握管的管壁上，各 个开孔的面积均为0. 5平方毫米。所述开孔为圆孔。所述石英握管的外表面设有防滑结构， 防滑结构未画出。
权利要求1.一种用于转移硅片的工具，包括吸盘(1)、中空的石英握管(2)和中空真空管(3)， 所述中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；所述石英握管的管壁上设有 抽真空开关，其特征在于所述抽真空开关包括至少2个开孔G)，各开孔的面积小于等于1 平方毫米，开孔的总面积为0. 2、平方毫米。
2.根据权利要求1所述的用于转移硅片的工具，其特征在于所述开孔为9个，构成 3X3点阵结构，设于石英握管的管壁上，各个开孔的面积均为0.5平方毫米。
3.根据权利要求1所述的用于转移硅片的工具，其特征在于所述开孔为圆孔。
4.根据权利要求1所述的用于转移硅片的工具，其特征在于所述石英握管的外表面 设有防滑结构。
专利摘要本实用新型公开了一种用于转移硅片的工具，包括吸盘、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管的一端与吸盘连通，另一端与石英握管连通；所述石英握管的管壁上设有抽真空开关，所述抽真空开关包括至少2个开孔，各开孔的面积小于等于1平方毫米，开孔的总面积为0.2~9平方毫米。本实用新型可以防止无尘手套被吸入石英握管内，保证了该工具可以连续使用，不会影响连续生产。
文档编号H01L31/18GK201877411SQ20102064036
公开日2011年6月22日 申请日期2010年12月2日 优先权日2010年12月2日
发明者党继东, 孟祥熙, 王虎, 章灵军, 衡阳, 费倍辈, 辛国军 申请人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 阿特斯(中国)投资有限公司