专利名称：喷嘴浸泡装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体工艺装置，尤其涉及一种喷嘴浸泡装置。
背景技术：
半导体制造工艺中，在光刻掩膜形成的步骤中，需要对晶圆或掩膜上涂抹一层物 质，如光刻胶等，然后对晶圆进行下一步处理，涂抹所述物质通常是采用喷嘴对晶圆进行喷 涂，现有技术中的喷嘴为长条形结构或圆柱形结构，包括外部固定装置和多个的喷头，所述 外部固定装置下固定设置所述喷头上。在光刻掩膜形成的步骤中，将所述喷嘴对准晶圆，勻 速运动的同时进行均勻喷涂。然而，在长时间使用后，所述喷嘴的喷头中会有很多残留物， 残留物会阻塞喷头，使喷涂到晶圆上物质不均勻，会对后续工艺造成影响，甚至损坏晶圆。为了保证光刻掩膜步骤的顺利进行，需要定期清洁喷嘴。普通的清洗可以是直接 对喷嘴进行擦拭，不需拆卸喷嘴，但长时间使用后，擦洗不到的污垢长期堆积在喷嘴内部， 这时普通的擦拭就不能彻底清洗喷嘴了，就需要必要的浸泡，现有技术中是将喷嘴从固定 装置上全部拆卸下来，再将喷嘴放到清洗池中用化学物质进行浸泡，达到彻底清除喷嘴上 的污垢。然而，现有技术中拆卸喷嘴、浸泡喷嘴的清洗步骤会产生以下几个问题1、安装喷 嘴的工序非常复杂，每次清洗都要拆卸和重新安装，故清洗过程浪费时间，降低效率；2、所 述喷嘴的喷头非常脆弱，在拆卸安装的过程中非常容易收到损坏；3、所述喷嘴安装到固定 装置时需要对准安装基线，由于安装工序复杂，会造成固定装置没有对准基线，一旦没有对 准，就会使所述喷嘴的喷出的物质不均勻，影响后续工艺，甚至造成损失。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是，提供一种在清洗喷嘴过程中不需要拆卸就可以 浸泡喷嘴的装置。为解决上述问题，本实用新型提供一种喷嘴浸泡装置，包括保护槽、设置在所述保 护槽底面的突起，所述突起的突出方向为与所述保护槽的开口方向相反，所述保护槽底面 设有一外凸的突起，所述突起与保护槽为一体成型，所述突起内设有浸泡槽，所述浸泡槽与 所述保护槽相通，所述浸泡槽与所述喷嘴相适配。进一步的，所述喷嘴浸泡装置的横截面呈倒“凸”字形结构。较佳的，所述保护槽的垂直截面为梯形，所述浸泡槽的垂直截面为梯形。可选的，所述保护槽的水平横截面为矩形，所述浸泡槽的水平横截面为矩形。可选的，所述保护槽的水平横截面为圆形，所述喷嘴槽的水平横截面为圆形。进一步的，所述喷嘴浸泡装置的材料为塑料。可选的，所述喷嘴浸泡装置的材料为聚氯乙烯、聚苯醚(PPE)、聚四氟乙烯、聚片氯 乙烯。进一步的，所述喷嘴浸泡装置上还设置有固定装置，所述固定装置用于将所述喷嘴固定在所述喷嘴浸泡装置上。较佳的，所述固定装置为螺母机构。综上所述，本实用新型提供了一种喷嘴浸泡装置，所述清洗装置可以直接对准所 述喷头，将喷头浸泡在清洗液中，从而所述喷嘴浸泡步骤不需要将所述喷嘴从固定装置上 拆卸下来，即可直接清洗所述喷嘴，从而避免在安装拆卸所述喷嘴时对喷嘴造成的损坏，以 及因安装误差造成喷嘴喷射不均勻对晶圆造成的影响。此外，所述喷嘴浸泡装置的结构简单，且采用塑料材料，塑料材料的硬度比喷嘴 低，不易因为触碰损伤喷嘴，同时塑料为常见材料，故成本低，故易于制作。
图1为本实用新型中喷嘴一种实施例的结构示意图。图2为本实用新型一实施例中喷嘴浸泡装置的结构示意图。图3为本实用新型中喷嘴浸泡装置一实施例的沿AB的纵向横截面的结构示意图。图4为本实用新型中喷嘴浸泡装置一实施例的水平横截面的结构示意图。图5为本实用新型中喷嘴另一种实施例的结构示意图。图6为本实用新型中喷嘴浸泡装置另一实施例的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内 容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知 的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了 便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。图2为本实用新型一实施例中喷嘴浸泡装置的结构示意图。结合图2，本实用新型 提供一种喷嘴浸泡装置，包括保护槽11、设置在所述保护槽11底面的突起，所述突起的突 出方向为与所述保护槽11的开口方向相反，所述突起与保护槽11为一体成型，所述突起内 设有浸泡槽13，所述浸泡槽13与所述保护槽11相通，所述浸泡槽13与所述喷嘴相适配。图1为本实用新型中喷嘴一种实施例的结构示意图，结合图1和图2，所述喷嘴为 长条形结构，所述喷嘴包括喷头20a和外部保护装置20b，所述浸泡槽13与所述喷嘴相适 配，所述浸泡槽13的深度略大与所述喷嘴的喷头20a的高度，所述浸泡槽13的宽度和长度 均略大于所述喷头20a的宽度和高度，所述保护槽11与外部保护装置20b相适配，这样当 将所述喷头20a放入所述浸泡槽13时，所述喷头20a不会因触碰到所述浸泡槽13而损坏， 从而在清洗过程中，保护喷嘴20不被损坏。图3为本实用新型中喷嘴浸泡装置一实施例的沿AB的纵向横截面的结构示意 图。。结合图4和图1，进一步的，所述喷嘴浸泡装置的横截面，即沿图3中AB方向的截面呈 倒“凸”字形结构。所述浸泡槽13底面的尺寸小于所述保护槽11底面的尺寸，故在所述浸 泡槽13与所述保护槽11的交界处形成有台阶，所述台阶使所述喷嘴上方的固定装置20b 卡在所述台阶处，控制所述喷头20a浸没在浸泡槽13的深度，使喷头20a不会触碰到所述 浸泡槽13的地步，进一步保护所述喷嘴不损坏。较佳的，所述保护槽的垂直截面为梯形，所述浸泡槽的垂直截面为梯形，保护槽和浸泡槽的横截面均可设计为梯形，进一步为小角度 的梯形，可以方便对喷嘴进行浸泡时装置的安装和定位准确。可选的的，图4为本实用新型中喷嘴浸泡装置一实施例的水平横截面的结构示意 图，结合图4，所述保护槽11的水平横截面为矩形，所述浸泡槽13的水平横截面为矩形，上 述喷嘴浸泡装置的实施例为针对长条形喷嘴设计的，所述喷嘴浸泡装置的形状根据喷嘴的 形状所作的改变均为本是实施例中的思想范围。可选的，图5为本实用新型中喷嘴另一种实施例的结构示意图，如图5所示，所述 喷嘴20的喷头20a为圆柱形，所述喷嘴20的所述外部固定装置20b亦为圆柱形。图6为 本实用新型中喷嘴浸泡装置另一实施例的结构示意图，针对上述图5所述的喷嘴形状，设 计如图6所示喷嘴浸泡装置形状，即所述保护槽11的水平横截面为圆形，所述喷嘴槽13的 水平横截面为圆形。此外，所述喷嘴浸泡装置其他类似形状的改变也在本是实施例的思想 范围内。进一步的，所述喷嘴浸泡装置的材料为塑料。在清洗过程中，需要用化学物质，例 如IPA(异丙烯基乙炔)等物质进行清洗，具有腐蚀性，故成本低廉、耐腐蚀较好的塑料为所 述喷嘴浸泡装置的较佳材料，可选的，所述喷嘴浸泡装置的材料为聚氯乙烯、聚苯醚(PPE)、 聚四氟乙烯、聚片氯乙烯等。进一步的，所述喷嘴浸泡装置上还设置有固定装置15，所述固定装置15用于将所 述喷嘴固定在所述喷嘴浸泡装置上。在浸泡时可以利用所述固定装置15将所述喷嘴固定 连接在所述喷嘴浸泡装置上，则在浸泡过程中不需要人监护或操作了。较佳的，所述固定装 置15为螺母机构，所述螺母机构包括螺孔和螺丝，两个所述螺孔对称固定于所述喷嘴浸泡 装置对边的上沿，此外在所述喷嘴固定装置相应的位置上开设孔腔，此外还可以为胶带粘 贴固定。本实用新型的使用步骤如下，将清洗液，如IPA倒入所述喷嘴浸泡装置中，然后将 所述喷嘴浸泡装置对准所述喷嘴，将所述喷嘴的喷头20a浸没入所述浸泡槽后，固定所述 喷嘴浸泡装置，待浸泡一段时间取下所述喷嘴浸泡装置，对所述喷嘴20进行适当的冲洗， 即完成冲洗过程。综上所述，本实用新型提供了一种喷嘴浸泡装置，所述喷嘴浸泡装置可以直接对 准所述喷头，将喷头浸泡在清洗液中，从而所述喷嘴浸泡步骤不需要将所述喷嘴从固定装 置上拆卸下来，即可直接浸泡所述喷嘴，去除所述喷嘴上的污垢，从而避免在安装拆卸所述 喷嘴时对喷嘴造成的损坏，以及因安装误差造成喷嘴喷射不均勻对晶圆造成的影响。此外，所述喷嘴浸泡装置的结构简单，且采用塑料材料，塑料材料的硬度比喷嘴 低，不易因为触碰损伤喷嘴，同时塑料为常见材料，故成本低，故易于制作。虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何 所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更 动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求1.一种喷嘴浸泡装置，其特征在于，包括保护槽、设置在所述保护槽底面的突起，所述 突起的突出方向为与所述保护槽的开口方向相反，所述突起与保护槽为一体成型，所述突 起内设有浸泡槽，所述浸泡槽与所述保护槽相通，所述浸泡槽与所述喷嘴相适配。
2.如权利要求1所述的喷嘴浸泡装置，其特征在于，所述喷嘴浸泡装置的垂直截面呈 倒“凸”字形结构。
3.如权利要求2所述的喷嘴浸泡装置，其特征在于，所述保护槽的垂直截面为梯形，所 述浸泡槽的垂直截面为梯形。
4.如权利要求2所述的喷嘴浸泡装置，其特征在于，所述保护槽的水平横截面为矩形， 所述浸泡槽的水平横截面为矩形。
5.如权利要求2中所述的喷嘴浸泡装置，其特征在于，所述保护槽的水平横截面为圆 形，所述喷嘴槽的水平横截面为圆形。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的喷嘴浸泡装置，其特征在于，所述喷嘴浸泡装置 的材料为塑料。
7.如权利要求6所述的喷嘴浸泡装置，其特征在于，所述喷嘴浸泡装置的材料为聚氯 乙烯、聚苯醚(PPE)、聚四氟乙烯、聚片氯乙烯。
8.如权利要求1至5中任意一项所述的喷嘴浸泡装置，其特征在于，所述喷嘴浸泡装置 上还设置有固定装置，所述固定装置用于将所述喷嘴固定在所述浸泡装置上。
9.如权利要求8所述的喷嘴浸泡装置，其特征在于，所述固定装置为螺母机构。
专利摘要本实用新型提供一种喷嘴浸泡装置，包括保护槽，所述保护槽底面设有一外凸的突起，所述突起与保护槽为一体成型，所述突起内设有浸泡槽，所述浸泡槽与所述保护槽相通，所述浸泡槽与所述喷嘴相适配。综上所述，所述清洗装置可以直接对准所述喷头，将喷头浸泡在清洗液中，从而所述喷嘴浸泡步骤不需要将所述喷嘴从固定装置上拆卸下来，即可直接清洗所述喷嘴，从而避免在安装拆卸所述喷嘴时对喷嘴造成的损坏，以及因安装误差造成喷嘴喷射不均匀对晶圆造成的影响。此外，所述喷嘴浸泡装置的结构简单，且采用塑料材料，塑料材料的硬度比喷嘴低，不易因为触碰损伤喷嘴，同时塑料为常见材料，故成本低，故易于制作。
文档编号H01L21/31GK201898116SQ20102050627
公开日2011年7月13日 申请日期2010年8月26日 优先权日2010年8月26日
发明者付国亮, 袁刚 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司