专利名称：缓冲传输装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及真空环境下的半导体制程工艺领域，更具体地涉及一种真空连续生产 线上实现工件环境转换及生产时间匹配的缓冲传输装置。
背景技术：
在半导体的制程工艺中，需要处理的基板或村底(下称工件)需要从大气环境中 传送到反应腔室中进行工艺处理，比如蚀刻工艺、物理气象沉积工艺等。反应腔室这个环境 空间与大气环境空间之间是两个存在压差的环境空间。例如一个处理环境空间是大气空 间，另一个是处理环境空间是真空空间。再例如一个处理环境空间是有一定真空度的真空 空间，另一个处理环境空间是有另一真空度的真空空间。正如本领域技术人员所熟知的，把基板或村底传送到反应腔室需要一系列由大气 设备和真空设备等组成的传送系统。由于现有技术中的大气设备和真空设备大都是一一对 应的关系，通俗的解释是大气设备和真空设备直接相接安装，这也是为了便于提高生产效 率，也便于质量控制、检测等等多种工艺的需求。但是这样同样暴露出或者说忽略了几个问 题若处理后的工件存在挥发性气体，在工件从大气环境的设备中和真空环境的设备中来 回循环的过程中，也容易因挥发性气体造成交叉污染，挥发性气体造成交叉污染造成工件 良品率的下降。另外现有的装置中若大气设备和真空设备之间存在较大的压差时，为了顺利将工 件在大气环境和真空环境下传递，就需要牺牲一定的真空度，用以保护如真空阀等类的部 件。此种方式耽搁工件加工处理时间，生产效率降低，工件的品质无法保证。因此，亟需一种能够实现工件环境转换及生产时间匹配，确保工件在不破坏现有 工艺要求的真空度下连续输入工件实现工件的流水线工作的缓冲传输装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够实现工件环境转换及生产时间匹配，确保工件在 不破坏现有工艺要求的真空度下连续输入工件实现工件的流水线工作的缓冲传输装置。为了实现上述目的，本发明提供一种缓冲传输装置，所述缓冲传输装置用于连接 于前处理环境空间与后处理环境空间之间，所述缓冲传输装置包括密封腔、工件传动单元 及真空度控制单元，所述密封腔呈水平放置，所述密封腔的右侧面开设有工件进口，所述工 件进口处设置有工件进口阀门，所述密封腔的左侧面开设有工件出口，所述工件出口处设 置有工件出口阀门；所述工件传动单元包括滚轮驱动装置及枢接于所述密封腔内的若干传 动滚轮，所述传动滚轮呈水平的排列于工件进口阀门与工件出口阀门之间，所述滚轮驱动 装置驱动所述传动滚轮转动；所述真空度控制单元包括气管、进气阀门、出气阀门及真空度 测量仪器，所述气管与所述密封腔连通且所述气管具有进气分管及出气分管，所述进气阀 门装设于所述进气分管上，所述出气阀门装设于所述出气分管上。较佳地，本发明缓冲传输 装置还包括控制装置，所述控制装置包括控制处理器、进口传感器及出口传感器，所述进口传感器安装于所述密封腔体内并朝向所述工件进口，且与所述进口阀门电连接；所述出口 传感器安装于所述密封腔内并朝向所述工件出口，且与所述出口阀门电连接；所述控制处 理器分别与所述进口传感器和出口传感器电连接。如此能够准确的感应工件进入所述密封 腔的位置，适时的关闭所述进口阀门或所述出口阀门。与现有技术相比，由于本发明缓冲传输装置连接于两个处理环境之间，能够避免 前处理环境处理的工件和后处理环境下空间形成交叉污染，显著的提高因交叉污染而造成 的工件良品率下降的问题。此外，本发明缓冲传输装置在不破坏现有的工作条件的情况下， 能够确保工件的生产质量，提高生产效率，成为连续生产的生产线是必不可少的设备。通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明 的实施例。
图1是本发明缓冲传输装置的结构示意图。图2是对本发明缓冲传输装置中输入工件的状态示意图；图3是本发明缓冲传输装置传输工件的状态示意图；图4是本发明缓冲传输装置输出工件的状态示意具体实施例方式现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。如 上所述，如图1-4所示，本发明提供的缓冲传输装置100，用于连接于前处理环境空间与后 处理环境空间之间，所述缓冲传输装置100包括密封腔10、工件传动单元20及真空度控制 单元30，，所述密封腔10呈水平放置，所述密封腔10的右侧面10a开设有工件进口 11，所 述工件进口 11处设置有工件进口阀门11a，所述密封腔10的左侧面10b开设有工件出口 12，所述工件出口 12处设置有工件出口阀门lib ；所述工件传动单元20包括滚轮驱动装置 (图上未示)及枢接于所述密封腔10内的若干传动滚轮21，所述传动滚轮21呈水平的排 列于工件进口阀门11a与工件出口阀门lib之间，所述滚轮驱动装置驱动所述传动滚轮21 转动；所述真空度控制单元30包括气管31、进气阀门32、出气阀门33及真空度测量仪器 34，所述气管31与所述密封腔10连通且所述气管31具有进气分管31a及出气分管31b，所 述进气阀门32装设于所述进气分管31a上，所述出气阀门33装设于所述出气分管31b上。 具体地，本发明缓冲传输装置100还包括控制装置(图上未示)，所述控制装置包括控制处 理器(图上未示)、进口传感器40a及出口传感器40b，所述进口传感器40a安装于所述密 封腔10内并朝向所述工件进口 11，且与所述进口阀门11a电连接；所述出口传感器40b安 装于所述密封腔10内并朝向所述工件出口 12，且与所述出口阀门lib电连接；所述控制处 理器分别与所述进口传感器40a和出口传感器40b电连接。如此能够准确的感应工件进入 所述密封腔10的位置，适时的关闭所述进口阀门1 la或所述出口阀门1 lb。再次结合图1-4详细描述本发明缓冲传输装置100的工作原理，第一步，如图1所 示，调整密封腔10的真空度与前处理环境空间的真空度大致一致，即是两种真空度的差别 在一定范围内，此种范围并不影响工件的输送，也并不影响所述进口阀门11a的工作。通过 所述进气阀门32向密封腔10充气或通过所述出气阀门33将所述密封腔10抽真空，也可以在其它一至多个地方设置真空度控制单元30，如此则可以快速的将所述密封腔10内的真 空度控制在理想范围内。而且，此种所述密封腔10内的真空度控制的目的，一方面是为了 使所述密封腔10内的真空度与前处理环境空间的真空度大致一致，另一方面可以通过抽 真空将密封腔10的杂质气体抽走，确保后续的工件的加工质量，减少交叉污染的机会。所 述密封腔10内的真空度调整完毕后关闭相应的阀门，具体地，关闭所述进气阀门32或者所 述出气阀门33。在此调整过程中通过所述真空度测量仪器34可以对所述密封腔10的真 空度进行测量。因此，在第一步中完成了对工件进入本发明缓冲传输装置100的准备工作。 第二步，如图2所示，在所述密封腔10没有工件情况下，工件要从前处理环境空间进入所 述密封腔10，需打开所述进口阀门11a，所述滚轮驱动装置驱动所述传动滚轮21转动送入 工件到所述密封腔10。所述进口传感器40a检测到工件进入，直到所述进口传感器40a检 测工件完全进入后，关闭所述进口阀门11a，所述滚轮驱动装置22停止所述传动滚轮21的 转动。第三步，如图3所示，再次调整所述密封腔10的真空度。此处的的调整过程类似第 一步中的调整过程，为了清楚的展现本发明缓冲传输装置100，调整所述密封腔10的真空 度一方面是为了使所述密封腔10内的真空度与后处理环境空间的真空度相适应，另一方 面可以通过抽真空将所述密封腔10内从工件上散发的一定的挥发气体和其他杂志气体抽 走，确保工件的加工质量，减少交叉污染的机会。调整完毕后关闭相应的阀门，具体地，关闭 所述进气阀门32或者所述出气阀门33。在此调整过程中，通过所述真空度测量仪器34可 以对所述密封腔10的真空度进行测量。此外，本发明缓冲传输装置100在不破坏现有的工 作条件的情况下，能够确保工件的生产质量，提高生产效率，成为连续生产的生产线是必不 可少的设备。第四步，如图4所示，在后处理环境空间准备完成情况下，打开所述出口阀门 11b，所述传动滚轮21转动送出工件到后处理环境空间。所述出口传感器40b检测工件完 全被送出后，关闭所述出口阀门11b，所述滚轮驱动装置22停止所述传动滚轮21转动。如 此循环完成工件的流水线传送工作。 以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施 例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。
权利要求
一种缓冲传输装置，用于连接于前处理环境空间与后处理环境空间之间，其特征在于，包括密封腔，所述密封腔呈水平放置，所述密封腔的右侧面开设有工件进口，所述工件进口处设置有工件进口阀门，所述密封腔的左侧面开设有工件出口，所述工件出口处设置有工件出口阀门；工件传动单元，所述工件传动单元包括滚轮驱动装置及枢接于所述密封腔内的若干传动滚轮，所述传动滚轮呈水平的排列于工件进口阀门与工件出口阀门之间，所述滚轮驱动装置驱动所述传动滚轮转动；及真空度控制单元，所述真空度控制单元包括气管、进气阀门、出气阀门及真空度测量仪器，所述气管与所述密封腔连通且所述气管具有进气分管及出气分管，所述进气阀门装设于所述进气分管上，所述出气阀门装设于所述出气分管上。
2.如权利要求1所述的缓冲传输装置，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置包 括控制处理器、进口传感器及出口传感器，所述进口传感器安装于所述密封腔体内并朝向 所述工件进口，且与所述进口阀门电连接；所述出口传感器安装于所述密封腔体内并朝向 所述工件出口，且与所述出口阀门电连接；所述控制处理器分别与所述进口传感器和出口 传感器电连接。
全文摘要
本发明提供一种缓冲传输装置，包括密封腔、工件传动单元及真空度控制单元，密封腔呈水平放置，密封腔的右侧面开设有工件进口，工件进口处设置有工件进口阀门，密封腔的左侧面开设有工件出口，工件出口处设置有工件出口阀门；工件传动单元包括滚轮驱动装置及枢接于密封腔体内的若干传动滚轮，传动滚轮呈水平的排列于工件进口阀门与工件出口阀门之间，滚轮驱动装置驱动传动滚轮转动；真空度控制单元包括气管、进气阀门、出气阀门及真空度测量仪器，气管与密封腔连通且气管具有进气分管及出气分管，进气阀门装设于进气分管上，出气阀门装设于出气分管上。本发明能够很好的防止真空连续生产线上因交叉污染而造成的工件良品率下降的问题。
文档编号H01L21/677GK101826478SQ20101013937
公开日2010年9月8日 申请日期2010年3月30日 优先权日2010年3月30日
发明者余超平, 刘惠森, 张华 , 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司