专利名称：同步传输装置及具有该装置的直线传输系统的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种直线型生产设备的同步传输装置，更具体地涉及一种应用于 直线型有机发光显示设备和直线型薄膜太阳能生产设备的同步传输装置及具有该装置的 直线传输系统。
背景技术：
在半导体加工行业，集成电路等小尺寸的半导体器件的制造通常采用集群型 (cluster) 生产系统，如附图一所示，利用多个具有周向伸缩机械手的输送室502呈多边形 形状，并在输送室502的周围设有多个处理室，其成膜工序单元具有向各处理室输送基板 的输送室504 ；将基板送入输送室的基板送入口 ；清洗基板的清洗室505 ；在基板上成膜的 多个成膜室503以及后期的封装室506、干燥室507、成品输送室508等，这些处理室通过多 个闸门阀配置在输送室的周围等结构。由于这种设备腔体结构不宜过大、各腔室间抽放真空时间久、频繁开启腔体使膜 材逸出，导致其具有不适应大面积基板成膜、镀膜材料利用率低、生产周期长等问题，因此 直线型(inline)半导体制造设备就被提出了。直线型的半导体生产设备，将多个具有可 独立控制真空度的成膜室呈直线地设置在同一真空容器内，且不需要这些成膜室间的闸门 阀，在各处理室，在不同的条件下，可执行达到各自目的的规定的处理。成膜时，基板通过连 续输送基板的输送装置在多个成膜室的上方连续输送同时形成膜，以此来缩短基板输送和 调整真空度的时间，进而缩短生产时间。一般采用的直线传输装置为采用多个沿基片纵向平行布置的带有多个滚轮的传 动轴，利用所述传动轴上的滚轮与基片的摩擦力带动基片在整个制程中行进，同时也对基 片具有支撑作用；随着基片尺寸的不断变大，如非晶硅薄膜太阳能电池板用的玻璃基片已 有IlOOmmX 1400mm的尺寸，再如，IXD液晶显示的基片尺寸IOOOmmX 1200mm也已广见，这 样为了传动轴的尺寸就要设计的更长，因此其直径与长度比值将会更小，同时这种传动轴 的方式设计通常为两端支撑，基于上述原因，容易因为基片重量及基片制程中的受力，如基 片清洗时的流体冲击力、基片镀膜时粒子撞击力等导致长而窄的传动轴过载变形，影响制 程效果，为了避免这一问题的出现，专利申请号为CN200410039014.0的“一种用于平面显 示器的基片加工系统中的基片传输设备”提出了一种有效的解决办法；另外一种常见的基片直线传输方式类似于上述的传输方式，在基板的纵向方向上 平行排布多条采用硅胶等材质制成的辊轮，通过辊轮的支撑及基片与辊轮间的摩擦力将基 片传入、传出直线制程装置。上述两种方式均可应用于大气环境和真空环境，当应用到真空环境时还需要在动 力源与传输装置之间添加如磁流体等真空密封装置。在基片传输过程中，尤其是显示器件 的基片镀膜制程中，因为显示器件的膜层一般为通过掩膜板形成的图案化膜层，且膜层厚 度仅为几μ m(可参见专利申请号为CN200810026550. 5的“一种直线型有机发光显示器制 造系统”的本申请人的另外一个专利)，所以必须保证在制程过程中的基片不跑偏。[0007]上述现有技术的基板传递都利用基板与传输装置间的摩擦力进行，除上述一些问题外，还存在使被传输的基板出现划痕、破损问题，尤其是显示装置的基板薄而且表面光洁 度要求高，同时在基板传输过程中导向不明显，容易出现跑偏等现象，如果在镀膜制程中出 现基板跑偏现象那么图案化的膜层就不能完整的形成，影响成品率。同时，如果传输装置应 用真空系统内，如果出现基片破损或装置本身故障，将很难维修和维护，同时摩擦力的存在 避免不了会出现磨屑，影响真空环境的清洁度。因此，有必要提供一种整体结构紧凑、传输平稳、准直度高、维修方便且具有较高 清洁度的同步传输装置及具有该装置的直线传输系统。
实用新型内容本实用新型的目的之一是提供一种整体结构紧凑、维修方便、清洁度高且传输平 稳、准直度高的同步传输装置。本实用新型的另一目的是提供一种传输平稳、准直且稳定性高的直线传输系统。为实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供一种包括用于承载器件的承载 体、定位导向轨道、基座、滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机构，所述驱动机构 与所述传动机构连接，所述传动机构与所述基座枢接，所述传动机构分布于所述承载体的 一侧且与所述承载体啮合，所述定位导向轨道平行地铺设于所述基座两侧并位于所述承载 体下方，所述滑动机构呈滚轮结构，所述滑动机构设置在所述承载体上并与所述定位导向 轨道滑动地卡合连接。其中，所述定位导向轨道具有第一轨道面与第二轨道面，所述第一轨道面与所述 第二轨道面连接并相互垂直，两所述轨道的第一轨道面位于同一平面上，两所述轨道的第 二轨道面相互平行，所述滑动机构位于两所述第二轨道面之间。所述第一轨道面用于导向 所述承载体的前进传输，所述第二轨道面用于定位所述承载体，从而使承载体在传输过程 中平稳、准直地前进。较佳地，呈滚轮结构的所述滑动机构包括相互间隔交错设置并对称分布在所述承 载体两侧的第一滚轮与第二滚轮，所述滑动机构还包括第一滚轮轴与第二滚轮轴，所述第 一滚轮轴固定在所述承载体上并与所述第一滚轮枢接，所述第二滚轮轴固定在所述承载体 上并与所述第二滚轮枢接，所述第一滚轮轴的轴向平行于所述第一轨道面，所述第二滚轮 轴的轴向平行于所述第二轨道面，所述第一滚轮与所述第一轨道面接触，所述第二滚轮与 所述第二轨道面接触。所述第一滚轮使承载体承载在所述定位导向轨道上并沿所述第一轨 道面直线前进，通过第二滚轮与第二轨道面的接触，使承载体定位在两第二轨道面之间而 不会跑偏。较佳地，所述第一滚轮及第二滚轮均为弹性塑胶的滚轮。所述弹性塑胶防滑、耐磨 性强，使传输更平稳。较佳地，所述传动机构包括若干相互对应的传动齿轮、传动轴、同步带及带轮，相 互对应的所述传动轴的一端与所述基座枢接，所述传动轴的另一端固定相互对应的传动齿 轮及带轮，若干所述传动轴中的一个还与所述驱动机构固定连接，所述传动轴相互平行且 位于同一直线上，相邻的传动轴上的带轮由所述同步带连接，所述承载体设有与所述传动 齿轮相啮合的齿条。所述传动机构将驱动机构的圆周运动转化为所述承载体的直线运动，通过齿轮与齿条的啮合，齿轮与同步带的配合将驱动机构的动力传递到承载体上，从而使 承载体向前行进，实现传输承载器件。其中，所述同步带为锲形带。通过锲形带实现传动齿 轮之间的同步，使传输更为平稳连贯。同样较佳地，所述驱动机构为带有波箱的直流伺服电机，所述电机设置相同的转 向和转速，直流伺服电机响应速度快、精度高，能将输入的控制电压信号平稳快速转换为机 械输出量，为直线传输系统提供平稳动力，所述电机具有相同的转向和转速，相互之间的电 机步调一致，使传输平稳连贯。相应地，本实用新型提供了一种直线传输系统，包括同步传输装置、可编程逻辑控 制器及若干传感接收器，所述同步传输装置包括用于承载器件的承载体、定位导向轨道、基 座、滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机构，所述驱动机构安装于所述基座上，所 述驱动机构与所述传动机构连接，所述传动机构与所述基座枢接，所述传动机构分布于所 述承载体的一侧且与所述承载体啮合，所述定位导向轨道平行地铺设于所述基座两侧并位 于所述承载体下方，所述滑动机构呈滚轮结构，所述滑动机构设置在所述承载体上并与所 述定位导向轨道滑动地卡合连接，所述承载体沿前进方向的前端及后端分别固定设有与所 述传感接收器配合的第一传感发射器与第二传感发射器，所述第一传感发射器及第二传感 发生器发射位置信号，所述传感接收器等间距的安装于所述基座上，所述传动机构相应设 置在相邻的两传感接收器之间，相邻两所述传动机构的距离小于所述承载体沿前进方向的 长度，所述可编程逻辑控制器分别与所述传感接收器及所述驱动机构电连接，所述传感接 收器接收与其最邻近的第一传感发射器或第二传感发射器发射的位置信号并反馈给可编 程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器控制所述驱动机构的工作状态。较佳地，所述传感接收器为光纤传感器，利用光纤灵敏、精确、适应性强、小巧和智 能化的特点，更有效快速的获取并反馈承载体的位置信息。在本实用新型的一个实施例中，所述直线传输系统具有至少两个承载体，相邻两 所述承载体的距离大于两相邻的所述驱动机构的距离，防止相邻承载体相互碰撞，影响传 输进程。较佳地，所述直线传输系统还包括自锁控制装置，所述自锁控制装置分别与所述 驱动机构电连接，所述自锁控制装置控制连续分布的三个所述驱动机构中的两个驱动机构 与剩余的另一驱动机构具有不同的工作状态，通过对连续分布的三个所述驱动机构的监测 控制，防止相邻承载体相互碰撞，实现长距离的自动化控制直线传输。其中，所述自锁控制 装置由继电器组成，继电器不仅使用寿命长，可靠性高且灵敏度高，控制功率小，电磁兼容 性好，能快速转换控制驱动机构的工作状态。与现有技术相比，由于本实用新型的同步传输装置的驱动机构与传动机构连接， 传动机构枢接在基座上，该传动机构分布于承载体的一侧且与所述承载体啮合，定位导向 轨道平行地铺设于基座两侧并位于所述承载体下方，滑动机构设置在所述承载体上并与所 述定位导向轨道滑动地卡合连接，其结构简单紧凑，维修与维护方便，通过承载体承载需要 传输的器件，驱动机构为同步传输装置提供动力，通过传动机构与承载体的啮合传递动力 使承载体向前行进，承载体上设置的滑动机构使所述承载体沿所述定位导向轨道滑动传 输，而定位导向轨道同时约束定位承载体的行进路径，从而使器件实现平稳的直线传输，且 整个过程准直度高，同时应用于真空系统时不会因装置本身而带来污染源，具有较高清洁度。相应地，本实用新型的直线传输系统也能保持器件直线传输平稳、准直度高地传输。
图1为现有的集束型生产系统的结构示意图。图2为本实用新型的同步传输装置的平面示意图。图3为图2所示同步传输装置的部分放大示意图。图4为沿图3中A-A线的剖视图。图5为本实用新型的同步传输装置的传动机构的结构示意图。图6为本实用新型直线传输系统的原理示意图。 图7为本实用新型直线传输系统的原理方框图。
具体实施方式
为了详细说明本实用新型的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图 作进一步说明，其中不同图中相同的标号代表相同的部件。参考图2-4，本实用新型公开了 一种同步传输装置10，包括用于承载器件的承载体110、定位导向轨道120、基座130、滑动 机构140及若干相互对应的驱动机构和传动机构160，所述驱动机构与所述传动机构160连 接，所述传动机构160与所述基座130枢接，所述传动机构160分布于所述承载体110的一 侧且与所述承载体110啮合，所述定位导向轨道120平行地铺设于所述基座130两侧并位 于所述承载体110下方，所述滑动机构140呈滚轮结构，所述滑动机构140设置在所述承载 体110上并与所述定位导向轨道120滑动地卡合连接。其结构简单紧凑，维修与维护方便， 具有较高清洁度。通过承载体110承载整个传输过程中需要传输的器件(图未示)，驱动机 构为同步传输装置10提供动力，通过传动机构160与承载体110的啮合传递动力使承载体 110向前行进，承载体110上设置的滑动机构140使所述承载体110沿所述定位导向轨道 120滑动传输，定位导向轨道120置于所述承载体110上，方便所述承载体110沿所述定位 导向轨道120行进。所述定位导向轨道120同时对承载体110的行进路径进行定位约束， 从而使器件实现平稳的直线传输，控制其具有高准直度。所述同步传输装置10应用于真空 系统时不会因装置本身而带来污染源，适用于各种直线型生产设备的基片传输，尤其适用 于有机发光显示设备和直线型薄膜太阳能生产设备的基片传输。参考图4，所述定位导向轨道120具有第一轨道面121与第二轨道面122，所述第 一轨道面121与所述第二轨道面122连接并相互垂直，两所述定位导向轨道120的第一轨 道面121位于同一平面上，两所述第二轨道面122相互平行，所述滑动机构140位于两所述 第二轨道面122之间。所述第一轨道面121用于导向所述承载体110的前进传输，所述第 二轨道面122用于定位所述承载体110，从而使承载体110在传输过程中平稳、准直地前进。配合参考图3及图4，呈滚轮结构的所述滑动机构140包括相互间隔交错设置并对 称分布在所述承载体Iio两侧的第一滚轮141与第二滚轮142，所述滑动机构122还包括第 一滚轮轴143与第二滚轮轴144，所述第一滚轮轴143通过锁紧螺钉145固定在所述承载体 110上并与所述第一滚轮141枢接，所述第二滚轮轴144固定在所述承载体110上并与所述 第二滚轮142枢接，所述第一滚轮轴143的轴向平行于所述第一轨道面121，所述第二滚轮 轴144的轴向平行于所述第二轨道面122，所述第一滚轮141与所述第一轨道面121接触，所述第二滚轮142与所述第二轨道面122接触。所述第一滚轮141使承载体110承载在所 述定位导向轨道120上并沿所述第一轨道面121直线前进，通过第二滚轮141与第二轨道 面122的接触，使承载体110定位在两第二轨道面122之间而不会跑偏。较佳地，所述第一 滚轮141及第二滚轮142均为弹性塑胶的滚轮。所述弹性塑胶的第一滚轮141及第二滚轮 142具有防滑、耐磨性强的性能，使传输更平稳，所述滚轮具有轴承，通过轴承与滚轮轴的配 合，使滚轮绕所述滚轮轴自由旋转。可以理解地，所述滑动机构140与定位导向轨道120可 以采用滑槽滑块配合的形式卡合滑动连接，实现对承载体110的导向定位。
较佳地，所述驱动机构为带有波箱的直流伺服电机150，所述同步传输装置10的 多个所述电机150具有相同的转向和转速，直流伺服电机响应速度快、精度高，能将输入的 控制电压信号平稳快速转换为机械输出量，为直线传输系统提供平稳动力，可以理解地，所 述驱动机构亦可采用步进电机或两者的结合，所述电机需设置相同的转向和转速，相互之 间的电机保持步调一致，使传输平稳连续。参考图5，在本实用新型的实施例中，所述传动机构160包括四个相互对应的传动 齿轮161、传动轴162、同步带163及带轮164，相互对应的所述传动轴162的一端与所述基 座130枢接，所述传动轴162的另一端固定相互对应的传动齿轮161及带轮164，若干所述 传动轴162中的一个还与所述直流伺服电机150固定连接，所述传动轴162相互平行且位 于同一直线上，相邻的传动轴162上的带轮164由所述同步带163连接，所述承载体110设 有与所述传动齿轮161相啮合的齿条116。较佳地，所述同步带163为锲形带。通过锲形带 实现传动齿轮161之间的同步，使传输更为平稳连续。所述传动机构160将直流伺服电机 150的圆周运动转化为所述承载体110的直线运动，所述直流伺服电机150带动其一传动轴 162旋转，通过相应的带轮164跟同步带163的配合使其他传动轴162同步转动，通过传动 齿轮161与齿条116的啮合使承载体110向前行进，实现传输承载器件。可以理解地，齿轮 传动为优选的链接方式，本实用新型的传动机构还可采用涡轮蜗杆传动、带轮皮带传动，所 述传动机构用于链接所述直流伺服电机150与所述承载体110，将所述驱动机构150的动 力传递到所述承载体110且能够将所述驱动机构150的圆周运动转化为所述承载体110的 直线运动。所述传动机构160亦可以分步在承载体110的两侧，通过在两侧同时与承载体 110啮合推动所述承载体110前进。以下对本实用新型的同步传输装置的工作原理作进一步阐述直流伺服电机150 工作时，通过传动轴162驱动固定在所述传动轴162上的传动齿轮161，所述传动齿轮161 通过与所述承载体110上的齿条116的啮合推动所述承载体110前进，其他传动齿轮161在 带轮164和同步带163的配合作用下同步运转，分别与齿条116啮合，推动承载体110向前 行进。所述滑动机构140的第一滚轮141紧贴所述第一轨道面121使所述承载体110沿所 述第一轨道面121行进，同时第二滚轮142紧贴所述第二轨道面122使所述承载体110限 位在两所述第二轨道面122之间滑行。所述同步传输装置10结构简单紧凑，维修与维护方 便，能有效实现器件的平稳地直线传输，且整个过程准直度高，应用于真空系统时不会因装 置本身而带来污染源，具有较高清洁度。本实用新型的直线传输系统，包括所述同步传输装置10、可编程逻辑控制器30及 若干传感接收器20，所述承载体110沿前进方向的前端及后端分别固定设有与所述传感接 收器20配合的第一传感发射器111与第二传感发射器112(如图6所示)，所述第一传感发射器111及第二传感发生器112发射位置信号。如图2所示，所述传感接收器20等间距 的安装于所述基座130上且排列成一条直线，所述传动机构160相应设置在相邻的两传感 接收器20之间，相邻两所述传动机构160的距离小于所述承载体110沿前进方向的长度， 从而使传动机构160得以与所述承载体110连贯啮合。所述可编程逻辑控制器30分别与 所述传感接收器20及所述直流伺服电机150电连接，所述传感接收器20接收与其最邻近 的第一传感发射器111或第二传感发射器112发射的位置信号并反馈给可编程逻辑控制器 30，所述可编程逻辑控制器30控制所述直流伺服电机150的工作状态。所述可编程逻辑控 制器30、多个直流伺服电机150、传感接收器20、传感发射器111、112构成闭合自反馈控制 回路，通过可编程逻辑控制器30接收信号、分析、发送相应信号，控制器件的平稳传输，实 现自动化控制。所述直线传输系统机构简单、传输平稳、准直度高、安装和维修都比较方便， 可应用于大气环境中的器件传输，也可应用于真空系统中进行器件传输，且应用真空环境 中能够尽量减少来自系统本身带给真空环境的污染源，具有较高清洁度。较佳地，所述传感接收器20为光纤传感器，利用光纤灵敏、精确、适应性强、小巧 和智能化的特点，更有效快速的获取并反馈承载体的位置信息，所述传感接收器20亦可以 采用限位开关或采用两者的结合。在本实用新型的一个实施例中，所述直线传输系统具有至少两个承载体110，相邻 两所述承载体110的距离大于两相邻的所述传动机构160的距离，以防止相邻承载体110 相互碰撞，影响传输进程。较佳地，所述直线传输系统还包括自锁控制装置40，所述自锁控 制装置40分别与所述直流伺服电机150电连接，所述自锁控制装置40控制连续分布的任 意三个所述直流伺服电机中的两个电机与剩余的另一电机具有不同的工作状态，通过对连 续分布的三个所述直流伺服电机的监测控制，防止相邻承载体相互碰撞，实现长距离的自 动化控制直线传输。其中，所述自锁控制装置由继电器组成，继电器不仅使用寿命长，可靠 性高且灵敏度高，控制功率小，电磁兼容性好，能快速转换控制直流伺服电机的工作状态。配合参考图6及图7，本实用新型的直线传输系统的原理及控制方法如下所述所 述基座130的一侧由前端沿承载体110前进方向等间距地依次设置有第一传感接收器201、 第二传感接收器202、第三传感接收器203...及第η个传感接收器，相应地，每两相邻传感 接收器之间按顺序依次设置有第一电机1501、第二电机1502、第三电机1503...及第(η_1) 个电机，其中，η为大于等于2的任意自然数。承载体110刚进入定位导向轨道120上时，第 一传感接收器201接收到来自第一传感发射器111的位置信号并反馈给可编程逻辑控制器 30，可编程逻辑控制器30相应发送指令给位于所述第一传感接收器201的前端的第一电机 1501，使第一电机1501处于工作状态，通过传动轴162带动传动齿轮161转动，所述承载体 110由于侧边设有齿条116，通过齿条116与齿轮161的啮合使所述承载体110沿所述定位 导向轨道120前进，并在所述定位导向轨道120的定位与导向作用下直线平稳地行进。当 所述承载体110行进至两传动机构之间的区域时即到达与第一传感接收器201相邻的第二 传感接收器202可接收传感信号的区域内时，第二传感接收器202接收到第一传感器发射 器111发送的位置信号并将该位置信号反馈给可编程逻辑控制器30，可编程逻辑控制器30 相应发送指令给位于传感接收器202的前端的第二电机1502，开启第二电机1502使其处于 工作状态，从而使所述承载体110连续地向前行进。 同理，当传感接收器203接收到位置信 号时，反馈位置信号给可编程逻辑控制器30使其前方的第三电机1503工作。随着所述承载体Iio的不断向前行进，不同位置上的传感接收器20陆续接收到来自设置在所述承载体 110上的传感发射器111、112发射的位置信号，然后反馈位置信号给可编程逻辑控制器30， 可编程逻辑控制器30根据接收到的位置信号控制位于反馈所述位置信号的相应传感接收 器的前方的电机工作。而同时随着承载体110的向前行进，传感接收器20相应接收到第二 传感发射器112发送的位置信号，并将接收到的位置信号反馈给可编程逻辑控制器30，可 编程逻辑控制器30根据接收到的位置信号控制位于反馈所述位置信号的相应传感接收器 20的后方的电机暂停工作。例如，第二传感接收器202接收到第二传感发射器112发射的 位置信号，再次反馈给可编程逻辑控制器30，可编程逻辑控制器30相应发送指令给位于第 二传感接收器202的后方的第一电机1501，使第一电机1501停止工作，当第三传感接收器 203接收到第二传感发射器112发射的位置信号，再次反馈给可编程逻辑控制器30，可编程 逻辑控制器30相应发送指令给位于传感接收器203的后方的第二电机1502，使第二电机 1502停止工作。通过传感接收发射器的相互配合，实现系统的自动化控制，节省时间同时减 少成本。 当所述直线传输系统上具有至少两个承载体110时即同时传输多个器件时，相邻 两所述承载体110的距离应大于相邻两所述传动机构160的距离，以防止相邻承载体110 相互碰撞，影响传输进程。具体控制方法为当所述可编程逻辑控制器30检测到来自同 一传感接收器20的状态信号次数为奇数时，发送信号至位于该传感接收器20前方的电机 150使所述电机150处于工作状态；当所述可编程逻辑控制器30检测到同一传感接收器20 的状态信号次数为偶数时，发送信号至位于该传感接收器20后方的电机150，使所述电机 150处于停止状态。为了防止相邻承载体110相互碰撞，所述直线传输控制方法还包括提 供一个自锁控制装置40的步骤，所述自锁控制装置40由继电器组成并与所述直流伺服电 机150电连接，所述自锁控制装置40通过继电器控制连续分布的三个电机中的两个电机与 剩余的另一电机具有不同的工作状态，即通过继电器限制任意相邻的三个电机不能同时运 转，同时，所述三个电机中首尾两个电机也不能同时运转，保证两相邻承载体110间至少有 两电机间隔的距离。通过对连续分布的三个所述电机的监测控制，防止相邻承载体110相 互碰撞，从而实现长距离的自动化控制直线传输。设置在同步传输装置10最前端的第一个 传感接收器201及最尾端的第η个传感接收器，由于其相应的后方及相应的前方无相对设 置有电机，当可编程逻辑控制器30收到第一个传感接收器201的位置信号时只需对位于传 感接收器201的后方的电机1501发送信号控制其工作状态，当可编程逻辑控制器30收到 最尾端的第η个传感接收器的位置信号时只需对位于该传感接收器前方的最后一个电机 即第(η-1)个电机发送信号控制其工作状态。所述电机150、相应的传动机构160、传感接 收器20等的数量根据实际需要设置。以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实例而已，当然不能以此来限定本实用新型 之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于本实用新型所涵盖的范围。
权利要求一种同步传输装置，其特征在于，包括用于承载器件的承载体、定位导向轨道、基座、滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机构，所述驱动机构与所述传动机构连接，所述传动机构与所述基座枢接，所述传动机构分布于所述承载体的一侧且与所述承载体啮合，所述定位导向轨道平行地铺设于所述基座两侧并位于所述承载体下方，所述滑动机构呈滚轮结构，所述滑动机构设置在所述承载体上并与所述定位导向轨道滑动地卡合连接。
2.如权利要求1所述的同步传输装置，其特征在于，所述定位导向轨道具有第一轨道 面与第二轨道面，所述第一轨道面与所述第二轨道面连接并相互垂直，两所述轨道的第一 轨道面位于同一平面上，两所述轨道的第二轨道面相互平行，所述滑动机构位于两所述第 二轨道面之间。
3.如权利要求2所述的同步传输装置，其特征在于，呈滚轮结构的所述滑动机构包括 相互间隔交错设置并对称分布在所述承载体两侧的第一滚轮与第二滚轮，所述滑动机构还 包括第一滚轮轴与第二滚轮轴，所述第一滚轮轴固定在所述承载体上并与所述第一滚轮枢 接，所述第二滚轮轴固定在所述承载体上并与所述第二滚轮枢接，所述第一滚轮轴的轴向 平行于所述第一轨道面，所述第二滚轮轴的轴向平行于所述第二轨道面，所述第一滚轮与 所述第一轨道面接触，所述第二滚轮与所述第二轨道面接触。
4.如权利要求3所述的同步传输装置，其特征在于，所述第一滚轮及第二滚轮均为弹 性塑胶的滚轮。
5.如权利要求1所述的同步传输装置，其特征在于，所述传动机构包括若干相互对应 的传动齿轮、传动轴、同步带及带轮，相互对应的所述传动轴的一端与所述基座枢接，所述 传动轴的另一端固定相互对应的传动齿轮及带轮，若干所述传动轴中的一个还与所述驱动 机构固定连接，所述传动轴相互平行且位于同一直线上，相邻的传动轴上的带轮由所述同 步带连接，所述承载体设有与所述传动齿轮相啮合的齿条。
6.如权利要求5所述的同步传输装置，其特征在于，所述同步带为锲形带。
7.如权利要求1所述的同步传输装置，其特征在于，所述驱动机构为带有波箱的直流 伺服电机，所述电机设置相同的转向和转速。
8.一种直线传输系统，其特征在于，包括同步传输装置、可编程逻辑控制器及若干传感 接收器，所述同步传输装置包括用于承载器件的承载体、定位导向轨道、基座、滑动机构及 若干相互对应的驱动机构和传动机构，所述驱动机构安装于所述基座上，所述驱动机构与 所述传动机构连接，所述传动机构与所述基座枢接，所述传动机构分布于所述承载体的一 侧且与所述承载体啮合，所述定位导向轨道平行地铺设于所述基座两侧并位于所述承载体 下方，所述滑动机构呈滚轮结构，所述滑动机构设置在所述承载体上并与所述定位导向轨 道滑动地卡合连接，所述承载体沿前进方向的前端及后端分别固定设有与所述传感接收器 配合的第一传感发射器与第二传感发射器，所述第一传感发射器及第二传感发生器发射位 置信号，所述传感接收器等间距的安装于所述基座上，所述传动机构相应设置在相邻的两 传感接收器之间，相邻两所述传动机构的距离小于所述承载体沿前进方向的长度，所述可 编程逻辑控制器分别与所述传感接收器及所述驱动机构电连接，所述传感接收器接收与其 最邻近的第一传感发射器或第二传感发射器发射器的位置信号并反馈给可编程逻辑控制 器，所述可编程逻辑控制器控制所述驱动机构的工作状态。
9.如权利要求8所述的直线传输系统，其特征在于，所述传感接收器为光纤传感器。
10.如权利要求8所述的直线传输系统，其特征在于，所述直线传输系统具有至少两个 承载体，相邻两所述承载体的距离大于两相邻的所述传动机构的距离。
11.如权利要求8所述的直线传输系统，其特征在于，所述直线传输系统还包括自锁控 制装置，所述自锁控制装置分别与所述驱动机构电连接，所述自锁控制装置控制连续分布 的三个所述驱动机构中的两个驱动机构与剩余的另一驱动机构具有不同的工作状态。
12.如权利要求11所述的直线传输系统，其特征在于，所述自锁控制装置由继电器组成。
专利摘要本实用新型公开了一种直线传输系统的同步传输装置，包括用于承载器件的承载体、定位导向轨道、基座、滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机构，驱动机构与所述传动机构连接，所述传动机构与基座枢接，所述传动机构分布于承载体的一侧且与承载体啮合，所述定位导向轨道平行地铺设于基座两侧并位于承载体下方，所述滑动机构呈滚轮结构，所述滑动机构设置在承载体上并与所述定位导向轨道滑动地卡合连接。所述同步传输装置整体结构紧凑、维修与维护方便、具有较高清洁度，且整个传输过程平稳、准直度高。本实用新型还公开了一种能够保证器件的平稳、高准直度地传输且具有较高稳定性的直线传输系统。
文档编号H01L21/00GK201611649SQ200920274208
公开日2010年10月20日 申请日期2009年12月1日 优先权日2009年12月1日
发明者刘惠森, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 雷振宇 申请人:东莞宏威数码机械有限公司