专利名称：一种探针台的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及半导体集成电路测试领域，特别涉及一种探针台。
背景技术：
在半导体制造工艺中，所制造的各组晶片在被切割成为单个的芯片之前，利用探 针台对晶片进行元件参数测量是一项重要的监测步骤，通过测量晶片上的测试键中的电 阻、电容、晶体管等元件的电性参数来反映元件特性和生产线上的问题。请参阅图1，图1为 现有技术的探针台的结构示意图。如图1所示，该探针台1内具有水平方向轨道2、竖直方 向轨道3、上下方向抬升机构4、载晶盘5和探针卡6。测量时，晶片承载于半导体测量探针 台1内的载晶盘5上，探针台1内的电机(图中未示)控制载晶盘5在水平轨道2和竖直 轨道3上运动，定位到探针卡6的下方位置，再由电机控制上下方向抬升机构4将载晶盘5 向上抬升，使待测晶片与探针卡6接触，其后，测量信号通过探针卡上的探针加载到晶片的 测试键上，开始对晶片测试键各参数的检测。为保证探针台1内的水平、竖直导轨及上下方 向抬升机构等内部机械装置的良好运转，在这些机械装置内添加润滑油是必要的，但在探 针台1的工作过程当中，润滑油会受热蒸发，蒸发的润滑油气体在探针台1的顶部遇冷重新 凝为润滑油滴，滴至晶片上，影响探针卡6对晶片进行性能测试的准确性，最终造成晶片良 率的下降。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种探针台，以解决探针台内的润滑油受热 蒸发后又重新凝结为润滑油滴滴落在晶片上，造成晶片良率下降的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种探针台，包括探针卡；载晶盘，用于 承载晶片；上下方向抬升机构，用于承载所述载晶盘，并使所述载晶盘在上下方向移动；轨 道，用于承载所述上下方向抬升机构和所述载晶盘，并使所述上下方向抬升机构和所述载 晶盘在水平方向或竖直方向移动，还包括排风扇，所述排风扇安装于所述轨道的活动区域 之外。可选的，所述排风扇为单个排风扇或由多个排风扇组成的排风扇组。可选的，所述排风扇安装在所述轨道活动区域之外的四周。可选的，所述排风扇安装在所述轨道活动区域之外的一侧或任意几侧。可选的，所述轨道包括水平方向轨道和竖直方向轨道。可选的，所述排风扇安装于所述水平方向轨道的外侧。本实用新型提供的探针台在工作过程中，通过运转的排风扇将润滑油蒸汽吹散， 使其无法在空中因遇冷重新凝结为润滑油滴，避免了重新凝结的润滑油滴掉落在载晶盘所 承载的晶片上，提高了探针卡对晶片进行性能测试的准确性，可使晶片的良率提高至 2 % 0
图1为现有技术的探针台的结构示意图；图2为本实用新型的探针台的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
做详细的说明。本实用新型所述的探针台可广泛应用于半导体集成电路的测试领域，并且可以利 用多种替换方式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本实用新型并不局限于 该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用新型的 保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细描述，在详述本实用新型实施例时，为了 便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。请参阅图2，图2为本实用新型的探针台的结构示意图。如图2所示，该探针台1 内包括探针卡6;载晶盘5，用于承载晶片；上下方向抬升机构4，用于承载所述载晶盘5，并使所述载晶盘5在上下方向移动；轨道，用于承载所述上下方向抬升机构4和所述载晶盘5，并使所述上下方向抬升 机构4和所述载晶盘5在水平方向或竖直方向移动；还包括排风扇7，安装于所述轨道的活动区域之外。所述轨道包括水平方向轨道2和竖直方向轨道3。所述排风扇7可以为单个排风扇，也可以为由多个排风扇组成的排风扇组。所述排风扇7可以安装在所述轨道活动区域之外的四周，也可以只安装在所述轨 道活动区域之外的一侧或任意几侧。所述排风扇7优选安装于所述水平方向轨道2的外侧。当所述水平方向轨道2为 多个轨道时，所述排风扇7安装在处于最外侧的水平方向导轨2的外侧。所述探针台1工作时，晶片承载于所述探针台1内的载晶盘5上，所述探针台1内 的电机(图中未示)控制所述载晶盘5在所述水平轨道2和所述竖直轨道3上运动，定位 到所述探针卡6的下方位置，再由电机控制所述上下方向抬升机构4将所述载晶盘5向上 抬升，使待测晶片与所述探针卡接触，其后，测量信号通过所述探针卡6上的探针加载到晶 片的测试键上，开始对晶片测试键各参数的检测。在所述探针台1的工作过程中，保持所述排风扇7运转。若所述探针台1内的润 滑油因受热被蒸发为气体，通过所述排风扇7将润滑油蒸汽吹散，使其无法在空中因遇冷 重新凝结为润滑油滴，避免了重新凝结的润滑油滴掉落在所述载晶盘5所承载的晶片上， 提高了所述探针卡6对晶片进行性能测试的准确性，可使晶片的良率提高至2%。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种探针台，包括探针卡；载晶盘，用于承载晶片；上下方向抬升机构，用于承载所述载晶盘，并使所述载晶盘在上下方向移动；轨道，用于承载所述上下方向抬升机构和所述载晶盘，并使所述上下方向抬升机构和所述载晶盘在水平方向或竖直方向移动，其特征在于，还包括排风扇，所述排风扇安装于所述轨道的活动区域之外。
2.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述排风扇为单个排风扇或由多个排风 扇组成的排风扇组。
3.如权利要求1或2所述的探针台，其特征在于，所述排风扇安装在所述轨道活动区域 之外的四周。
4.如权利要求1或2所述的探针台，其特征在于，所述排风扇安装在所述轨道活动区域 之外的一侧或任意几侧。
5.如权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述轨道包括水平方向轨道和竖直方向 轨道。
6.如权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述排风扇安装于所述水平方向轨道的 外侧。
专利摘要本实用新型提供一种探针台，包括探针卡；载晶盘，用于承载晶片；上下方向抬升机构，用于承载所述载晶盘，并使所述载晶盘在上下方向移动；轨道，用于承载所述上下方向抬升机构和所述载晶盘，并使所述上下方向抬升机构和所述载晶盘在水平方向或竖直方向移动，还包括排风扇，所述排风扇安装于所述轨道的活动区域之外。本实用新型提供的探针台在工作过程中，通过运转的排风扇将润滑油蒸汽吹散，使其无法在空中因遇冷重新凝结为润滑油滴，避免了重新凝结的润滑油滴掉落在载晶盘所承载的晶片上，提高了探针卡对晶片进行性能测试的准确性，可使晶片的良率提高1％至2％。
文档编号H01L21/66GK201616426SQ20092021372
公开日2010年10月27日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者刘伟, 林坚, 顾健华 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司