专利名称：多层式恒温冷却传输机台的利记博彩app
技术领域：
本实用新型有关一种多层式恒温冷却传输机台，尤指一种可以依需求进行温度调
节的多层式恒温冷却传输机台。
背景技术：
在许多工业领域中经常会使用各式各样的基板，这些基板通常需要经过许多不同的制程处理，例如蚀刻、涂层、镀膜或热处理等各种处理过程。为方便针对基板进行相关的处理，因此需要传输机台运输基板，以节省作业时间。此外，不同的制程处理经常需要保温、降温、冷却之过程，传输机台亦可在传输过程中提供冷却的效果。 例如太阳能板在制程的处理过程中需要进行降温，太阳能板(或其它基板)于传输机台的输送过程中可达到降温之目的，然而一般的冷却传输机台仅是单纯的使基板于机台上移动，并且使其自然散热。另外，在某些情况下，基材或其上的涂覆层、镀膜等对于冷却的条件具有特殊的要求，若在单位时间内快速冷却，则有可能造成变质、龟裂、破损或附着不全等问题。 虽有现有的冷却传输机台可于部分位置提供冷空气以帮助降温，或是提供加热器以使温度上升。然而，此类的解决方式仅能使部分位置的温度受到调节，并无法使所有于机台内部传输的基材得到相同的温度调节。 因此，如何使于冷却传输机台内的输送基材可依特定的条件要求进行降温，并且可使机台亦具备温度保持一致的功能，成为亟待解决的课题。
实用新型内容有鉴于现有技术的缺点，本申请人乃潜心研究并配合实务应用，以提出一种设计合理且有效改善现有技术缺失的申请。
本实用新型的目的在提供一种多层式恒温冷却传输机台，其包括复数传输层、复数温度传感器、复数空气调节总成、复数门板及复数连接管。[0008] 该传输层相互间隔层迭。[0009] 该温度传感器设于该传输层。 该空气调节总成并列设于该传输层之上，该空气调节总成分别具有一鼓风装置；一第一集气箱，其一侧与该鼓风装置的一端连接；一第二集气箱，其一侧与该鼓风装置的另一端连接且另一侧设有复数第二连接孔；一第一气阀，其设于该第一集气箱上方；一第二气阀，其设置于该第一集气箱的另一侧，该第二气阀的一侧设有复数第一连接孔；一加热器，其设于该第一集气箱中；一控制器，其与该加热器、该第一气阀、该第二气阀及该温度传感器电连接，该控制器借由该温度传感器所量测的温度控制该加热器、该第一气阀及该第二气阀的作动。 其中，该第二气阀包括一箱体，该第一连接孔设于该箱体的一侧；一第一开口，其设于该箱体的另一侧；一第二开口，其设于该箱体的上侧；以及一调节门，其枢设于该箱体的上端，以关闭该第一开口或第二开口 ；其中，该第二气阀的一侧与该第一集气箱接合并借由该第一开口与该第一集气箱连通。 该门板设于该传输层的两侧，且该门板分别设有复数连接孔以对应该传输层。[0013] 该门板可分别进一步附加有一气流调节板，该气流调节板设置于该门板内侧，且具有复数第一贯孔以连通该连接孔，并另有复数活动式调节板，其平贴于该气流调节板，该活动式调节板上分别具有复数第二贯孔以分别对应该第一贯孔，借由平移该活动式调节板，使该第二贯孔调节该第一贯孔的流通面积。 该连接管分别用于连接位于该传输层一侧的该第一连接孔与该连接孔，及另一侧的该第二连接孔与该连接孔。 当基板于该多层式恒温冷却传输机台输送时，空气调节总成可以借由该连接管透
过门板将空气传送至该多层式恒温冷却传输机台内，以冷却基板或使基板保温。其中，该空
气调节总成所提供的空气，依该温度传感器所提供的温度数值而进行温度调节。 当该多层式恒温冷却传输机台内部的温度需要升高时，该空气调节总成的该加热
器开始加热空气，同时该第一气阀关闭以避免外部冷空气进入，而该第二气阀借由该调节
门而将该第二开口关闭并使该第一开口保持开启。借由以上的作动关，而使空气调节总成
所提供的热空气可以于该多层式冷却机台中循环，进而维持所需的温度并亦可借此使温度
保持一致。 另外，当该多层式恒温冷却传输机台内部的温度需要降低时，该空气调节总成的加热器关闭，同时该第一气阀开启以引入外部冷空气，而该第二气阀借由该调节门而将该第一开口关闭并使该第二开口保持开启，以将该多层式恒温冷却传输机台内部的热空气排出。 综上所述，本实用新型的用于多层式恒温冷却传输机台的温度调节装置，可依特定需求维持调节机台内部温度。
图1为本实用新型的多层式恒温冷却传输机台的示意图。 图2为图1的侧视图。 图3为第一气阀的关闭作动示意图。 图4为第一气阀的开启作动示意图。 图5为第二气阀的动作示意图。 图6为第二气阀的另一动作示意图。 图7为门板的示意图。 图8为气流调节板与活动式调节板的设置示意图。 图9为气流调节板与活动式调节板的动作示意图。主要组件符号说明
1 多层式恒温冷却传输机台 11 传输层 100温度传感器 200 空气调节总成[0033]210鼓风装置220第一集气箱240第二集气箱242第二连接孔250第一气阀260第二气阀262第一连接孔264箱体266第一开口268第二开口270加热器280控制器300门板320连接孔340气流调节板342第一贯孔360活动式调节板362第二贯孔400连接管
具体实施方式为充分了解本实用新型的目的、特征及功效，兹借由下述具体的实施例，并配合所 附的图式，对本实用新型做一详细说明，说明如后 首先请参考图1，图1为本实用新型的多层式恒温冷却传输机台的示意图，如图所 示，本实用新型的多层式恒温冷却传输机台1包括复数传输层11、复数温度传感器100、复 数空气调节总成200、复数门板300及复数连接管400。 再请同时参考图1及图2，图2为图1的侧视图，如图所示，该传输层11相互间隔 层迭，该温度传感器100设于该传输层11，该温度传感器100用于侦测该传输层11的温度。 其中该空气调节总成200并列设于该传输层11之上，该空气调节总成200分别具 有一鼓风装置210，其用于驱动空气流动；一第一集气箱220，用于收集空气，该第一集气 箱的一侧与该鼓风装置210的一端连接；一第二集气箱240，其用于收集空气，该第二集气 箱240的一侧与该鼓风装置210的另一端连接且另一侧设有复数第二连接孔242 ;—第一 气阀250，其设于该第一集气箱220上方，用以调节进入该第一集气箱220的空气量及调节 空气流动方向；一第二气阀260，其设置于该第一集气箱220的另一侧，用以调节进入该第 一集气箱220的空气量及调节空气流动方向，此外该第二气阀260的一侧设有复数第一连 接孔262 ;—加热器270，其设于该第一集气箱220中，用以加热空气；一控制器280，其与该 加热器270、该第一气阀250、该第二气阀260及该温度传感器100电连接，该控制器280借 由该温度传感器100所量测的温度控制该加热器270、该第一气阀250及该第二气阀260的 作动。此外，该控制器280可为一硬件超温保护器，温度控制由外部温度控制器控制，由图1所示的温度传感器100来感测温度。 再请参考图l，如图l所示，其中该门板300，其设于该传输层11的两侧，且该门板 300分别设有复数连接孔320以对应该传输层11。亦如图l所示该连接管400，其分别用于 连接位于该传输层11 一侧的该第一连接孔262与该连接孔320，及另一侧的该第二连接孔 242与该连接孔320 (如图2所示)。借由该连接管400的设置，可以使经该空气调节总成 200所调节的空气进入该传输层11中，并使各层的空气经由另一侧的连接管400重新回到 该空气调节总成200之中。 请参考图3及图4，图3为第一气阀的关闭作动示意图，图4为第一气阀的开启作 动示意图，请同时参考图2，如图所示，当该第一气阀250为开启时，外部空气借由该第一气 阀250而进入该第一集气箱220中。当该第一气阀250为关闭时，外部空气则无法进入该 第一集气箱220中。 再请参考图5及图6，图5为第二气阀的动作示意图，图6为第二气阀的另一动作 示意图，请同时参考图2。 该第二气阀260包括一箱体264，该第一连接孔262设于该箱体264的一侧；一 第一开口 266，其设于该箱体264的另一侧；一第二开口 268，其设于该箱体264的上侧；以 及一调节门269，其枢设于该箱体264内的上端，以关闭该第一开口 266或第二开口 268。 该第二气阀260的另一侧与该第一集气箱220接合并借由该第一开口 266与该第一集气箱 220连通。 其中该调节门269关闭第二开口 268，同时该第一开口 266则保持开启，借此动作 可使经由该第一连接孔262导入的空气重新回到该第一集气箱220中。再如图6所示，其 中该调节门269关闭该第一开口 266，同时该第二开口 268则保持开启，借此动作可使经由 该第一连接孔262导入的空气排出于该空气调节总成200之外。 再请参考图7、图8及图9，图7为门板的示意图，图8为气流调节板与活动式调节 板的设置示意图，图9为气流调节板与活动式调节板的动作示意图。 该门板300可分别进一步附加有一气流调节板340，该气流调节板340设置于该门 板300内侧，且具有复数第一贯孔342以连通该连接孔320。 该气流调节板340可附加有复数活动式调节板360，其平贴于该气流调节板340， 该活动式调节板360上分别具有复数第二贯孔362以分别对应该第一贯孔342。该活动式 调节板360可进行平移动作，借由平移该活动式调节板360，使该第二贯孔362调节该第一 贯孔342的流通面积。借由该气流调节板340与该活动式调节板360的设置，可视需要调节 流通于该传输层11内的气流量及气流区域。此外，该活动式调节板360的平移调整与否， 可依使用需要而选择全部平移/不平移或仅挑选部分活动式调节板360平移。 综上所述，当基板于该多层式恒温冷却传输机台1输送时，空气调节总成200可以 借由该连接管400透过门板300将空气传送至该多层式恒温冷却传输机台1内，以视制程 所需冷却基板或对基板进行保温。其中，该空气调节总成200所提供的空气，依该温度传感 器100所提供的温度数值而进行温度调节。 当该多层式恒温冷却传输机台1内部的温度需要升高时，该空气调节总成200的 该加热器270开始加热空气，同时该第一气阀250关闭以避免外部冷空气进入，而该第二气 阀260借由该调节门269而将该第二开口 268关闭并使该第一开口 266保持开启。借由以上的作动关，而使空气调节总成200所提供的热空气可以于该多层式恒温冷却传输机台1 中循环，进而维持所需的温度。 另外，当该多层式恒温冷却传输机台1内部的温度需要降低时，该空气调节总成 200的加热器270关闭，同时该第一气阀250开启以引入外部冷空气，而该第二气阀260借 由该调节门269而将该第一开口 266关闭并使该第二开口 268保持开启，以将该多层式恒 温冷却传输机台1内部的热空气排出。 借此，本实用新型的多层式恒温冷却传输机台可以依使用条件需要而调整温度并
且使温度保持一致，进而可满足不同制程所需要的冷却、降温或保温条件。 本实用新型在上文中已以较佳实施例提供，然而本领域的技术人员应理解的是，
该实施例仅用于描述本实用新型，而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是，凡与
该实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本实用新型的范畴内。因此，本实用新型的保
护范围当以下文的权利要求为准。
权利要求一种多层式恒温冷却传输机台，其特征在于，包括复数传输层，相互间隔层迭；复数温度传感器，设于该传输层；复数空气调节总成，并列设于该传输层之上，该空气调节总成分别具有一鼓风装置；一第一集气箱，一侧与该鼓风装置的一端连接；一第二集气箱，一侧与该鼓风装置的另一端连接且另一侧设有复数第二连接孔；一第一气阀，设于该第一集气箱上方；一第二气阀，设置于该第一集气箱的另一侧，该第二气阀的一侧设有复数第一连接孔；一加热器，设于该第一集气箱中；一控制器，与该加热器、该第一气阀、该第二气阀及该温度传感器电连接，该控制器借由该温度传感器所量测的温度控制该加热器、该第一气阀及该第二气阀的作动；复数门板，设于该传输层的两侧，且该门板分别设有复数连接孔以对应该传输层；以及复数连接管，分别用于连接位于该传输层一侧的该第一连接孔与该连接孔，及另一侧的该第二连接孔与该连接孔。
2. 如权利要求1所述的多层式恒温冷却传输机台，其特征在于，该门板分别进一步附 加有一气流调节板，该气流调节板设置于该门板内侧，且具有复数第一贯孔以连通该连接 孔，并另有复数活动式调节板，平贴于该气流调节板，该活动式调节板上分别具有复数第二 贯孔以分别对应该第一贯孔，借由平移该活动式调节板，使该第二贯孔调节该第一贯孔的 流通面积。
3. 如权利要求1所述的多层式恒温冷却传输机台，其特征在于，该第二气阀包括 一箱体，该第一连接孔设于该箱体的一侧； 一第一开口，设于该箱体的另一侧； 一第二开口，设于该箱体的上侧；以及一调节门，枢设于该箱体内的上端，以关闭该第一开口或该第二开口 ； 其中，该第二气阀的另一侧与该第一集气箱接合并借由该第一开口与该第一集气箱连通。
4. 如权利要求2所述的多层式恒温冷却传输机台，其特征在于，该第二气阀包括 一箱体，该第一连接孔设于该箱体的一侧； 一第一开口，设于该箱体的另一侧； 一第二开口，设于该箱体的上侧；以及一调节门，枢设于该箱体内的上端，以关闭该第一开口或该第二开口 ； 其中，该第二气阀的另一侧与该第一集气箱接合并借由该第一开口与该第一集气箱连通。
专利摘要本实用新型提供一种多层式恒温冷却传输机台，其包括复数传输层、复数温度传感器、复数空气调节总成、复数门板及复数连接管。借由该空气调节总成的设置而可调节该传输层的温度，使其可保持恒温或依不同使用条件调节所需温度。
文档编号H01L21/677GK201478283SQ20092016572
公开日2010年5月19日 申请日期2009年7月17日 优先权日2009年7月17日
发明者丁鸿泰 申请人:睿明科技股份有限公司