专利名称：半导体设备的晶片传送装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体生产设备，具体涉及一种半导体设备的晶片传送装置。
背景技术：
现有的半导体生产设备，如WJ1000型号的机台，用于晶片传送的部分如
图1所示， 包括依次横向排列的传送皮带1、传送滚轴2、回收装置传送带3，传送滚轴2上纵向设置有 传送梭4。传送滚轴2由滚轴驱动马达驱动，滚轴驱动马达由间歇式驱动电源带动。 传送皮带1承载着晶片10自左向右运动，当晶片10被送到传送滚轴2上后，滚轴 驱动马达驱动传送滚轴2转动，将晶片10继续向右传送直至传送梭4上，此时滚轴驱动马 达停止，使传送滚轴2停止转动，由传送梭4将晶片10向下方传送。 回收装置传送带3是为了解决在传送过程中出现的异常情况，即当晶片10未被送 至传送梭4上，而是从传送滚轴2继续向右传送，此时就由回收装置传送带3将晶片10回 收起来。但是如果晶片10停在传送滚轴2上没有继续向右传，回收装置传送带3就无法回 收晶片10，而传送皮带1上的晶片10又在不断向右传过来，晶片10就在传送滚轴2上叠在一起。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种半导体设备的晶片传送装置，它可以 防止半导体生产设备在传送过程中发生晶片异常叠加的现象。 为解决上述技术问题，本实用新型半导体设备的晶片传送装置的技术解决方案 为 包括依次横向排列的传送皮带、传送滚轴、回收装置传送带，传送滚轴上纵向设置
有传送梭；传送滚轴由滚轴驱动马达驱动，滚轴驱动马达由间歇式驱动电源带动；所述传
送皮带与传送滚轴之间设置第一传感器，传送滚轴下方设置第二传感器，所述两个传感器
分别连接传感器继电器；当传感器感测到有晶片时，其传感器继电器闭合；所述滚轴驱动
马达还设有恒定电源，滚轴驱动马达通过电源继电器分别与间歇式驱动电源、恒定电源连
接，由电源继电器切换滚轴驱动马达的驱动电源；电源继电器与所述两个传感器继电器串
联；当两个传感器继电器闭合时，电源继电器切换，滚轴驱动马达由恒定电源驱动。 所述两个传感器继电器、电源继电器所在的串联线路设置于自锁回路中，自锁回
路串联有发光报警器和蜂鸣报警器，发光报警器与蜂鸣报警器彼此并联。 所述自锁回路中串联有复位开关。 所述恒定电源所在支路上串联有可调电阻。 所述恒定电源为外接的3VDC。 所述两个传感器之间的横向距离大于晶片的直径。 本实用新型可以达到的技术效果是[0014] 本实用新型通过感测传送皮带与传送滚轴之间以及传送滚轴上方这两个位置是 否同时存在晶片来判断晶片传送过程是否出现异常，并在感测到晶片传送异常时，强制传 送滚轴持续转动，从而将晶片传送到回收装置，能够避免在传送滚轴上发生晶片叠片。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明[0016]图1是现有技术半导体设备的晶片传送装置的示意图；[0017]图2是本实用新型半导体设备的晶片传送装置的示意图。[0018]图中附图标记说明1为传送皮带，2为传送滚轴，3为回收装置传送带，4为传送梭，io为晶片，A为第一传感器，B为第二传感器，F为放大器，Jc为传感器继电器，J。为电源继电器，RL为发光报警器，BZ为蜂鸣报警器，RST为复位开关，R为可调电阻，E为滚轴驱动马达，Vw为恒定电源，Vj为间歇式驱动电源。
具体实施方式本实用新型半导体设备的晶片传送装置，包括依次横向排列的传送皮带1、传送滚 轴2、回收装置传送带3，传送滚轴2上纵向设置有传送梭4 ;传送皮带1与传送滚轴2之间 设置第一传感器A，用于感测是否有晶片即将要从传送皮带1上被传送到传送滚轴2上；传 送滚轴2下方设置第二传感器B，用于感测晶片是否被从传送滚轴2上传走。两个传感器 A、B设置于晶片传送路径的中轴线上，且两个传感器A、B之间的横向距离大于晶片的直径。 两个传感器A、 B之间的横向距离大于晶片的直径，不会造成两个传感器A、 B被同 一晶片遮挡住而产生误动作的现象。 如图2所示，两个传感器A、 B分别与放大器F相连接，放大器F设有三个端口 ， 一 个0VDC为接地端， 一个为工作电压输入端接24VDC， 一个为输出端；放大器F输出端连接传 感器继电器Jc的控制端点，传感器继电器Jc的控制端点为常开接法。 当传感器A和/或B感测到有晶片时，与该传感器连接的放大器F的输出端输出 24VDC，使其传感器继电器Jc闭合。 滚轴驱动马达E设有两路驱动电源，一路为原有的间歇式驱动电源Vp另一路为恒 定电源Vw ;滚轴驱动马达E的驱动电源由电源继电器JD进行切换。 间歇式驱动电源^通过电源继电器J。的常闭端点连接滚轴驱动马达E;恒定电源 Vw通过电源继电器JD的常开端点连接滚轴驱动马达E，恒定电源Vw为外接的3VDC，恒定电 源Vw支路上串联有可调电阻R。 两个传感器继电器Jc的控制端点与电源继电器JD的控制端点串联，该段串联线路 一端接24VDC， 一端接0VDC。[0035] 两个传感器继电器Jc、电源继电器JD所在的串联线路设置于自锁回路中，自锁回 路串联有发光报警器RL和蜂鸣报警器BZ，发光报警器RL与蜂鸣报警器BZ彼此并联。自锁 回路中串联有复位开关RST。 当两个传感器继电器Jc处于闭合状态，24VDC接入到电源继电器JD的控制端点， 则电源继电器JD动作，触点由常闭端切换到常开端，将滚轴驱动马达E的驱动电源由间歇 式驱动电源^切换到恒定电源Vw，这时就由外接的3VDC恒定电源Vw来驱动滚轴驱动马达 E，并通过可调电阻R调节滚轴驱动马达E的转速。 由此就实现了这样的功能当第一传感器A感测到在传送皮带1与传送滚轴2之 间有晶片(即第一传感器A感测到即将有晶片要从传送皮带1上离开被传送到传送滚轴2 上)，同时第二传感器B感测到在传送滚轴2的上方有晶片(即第二传感器B感测到在传 送滚轴2上还有晶片没有被传走)，两个传感器A、 B分别向各自的传感器继电器Jc输出信 号，使两个传感器继电器Jc闭合，信号继而传递给电源继电器JD，电源继电器JD将原先控制 滚轴驱动马达E的间歇式驱动电源^切换到恒定电源Vw上，使滚轴驱动马达E驱动传送滚 轴2以一个恒定的速度持续转动，从而将晶片不断向右传送，直至回收装置传送带3，从而 被回收装置回收，不至于在传送滚轴2上发生叠片。 由于在此过程中，晶片与晶片之间存在有间距，所以会出现两个传感器A、B中的 某一个在短暂时间内没有晶片的情况，此时该传感器的继电器断开，电源继电器JD将滚轴 驱动马达E的驱动电源又切换回原先的间歇式驱动电源Vp这样会导致在传送滚轴2处的 传送动作变得混乱。本实用新型将两个传感器继电器Jc和电源继电器JD设置于自锁回路 中，并串联有发光报警器RL与蜂鸣报警器BZ，可以在实现自锁的同时发出声光报警，以提 醒工作人员。
权利要求一种半导体设备的晶片传送装置，包括依次横向排列的传送皮带、传送滚轴、回收装置传送带，传送滚轴上纵向设置有传送梭；传送滚轴由滚轴驱动马达驱动，滚轴驱动马达由间歇式驱动电源带动；其特征在于所述传送皮带与传送滚轴之间设置第一传感器，传送滚轴下方设置第二传感器，所述两个传感器分别连接传感器继电器；当传感器感测到有晶片时，其传感器继电器闭合；所述滚轴驱动马达还设有恒定电源，滚轴驱动马达通过电源继电器分别与间歇式驱动电源、恒定电源连接，由电源继电器切换滚轴驱动马达的驱动电源；电源继电器与所述两个传感器继电器串联；当两个传感器继电器闭合时，电源继电器切换，滚轴驱动马达由恒定电源驱动。
2. 根据权利要求1所述的半导体设备的晶片传送装置，其特征在于所述两个传感器 继电器、电源继电器所在的串联线路设置于自锁回路中，自锁回路串联有发光报警器和蜂 鸣报警器，发光报警器与蜂鸣报警器彼此并联。
3. 根据权利要求2所述的半导体设备的晶片传送装置，其特征在于所述自锁回路中 串联有复位开关。
4. 根据权利要求1所述的半导体设备的晶片传送装置，其特征在于所述恒定电源所 在支路上串联有可调电阻。
5. 根据权利要求1所述的半导体设备的晶片传送装置，其特征在于所述恒定电源为外接的3VDC。
6. 根据权利要求1所述的半导体设备的晶片传送装置，其特征在于所述两个传感器 之间的横向距离大于晶片的直径。
专利摘要本实用新型公开了一种半导体设备的晶片传送装置，包括依次横向排列的传送皮带、传送滚轴、回收装置传送带，传送滚轴上纵向设置有传送梭；所述传送皮带与传送滚轴之间设置第一传感器，传送滚轴下方设置第二传感器，所述两个传感器分别连接传感器继电器；当传感器感测到有晶片时，其传感器继电器闭合，使滚轴驱动马达由恒定电源驱动。本实用新型通过感测传送皮带与传送滚轴之间以及传送滚轴上方这两个位置是否同时存在晶片来判断晶片传送过程是否出现异常，并在感测到晶片传送异常时，强制传送滚轴持续转动，从而将晶片传送到回收装置，能够避免在传送滚轴上发生晶片叠片。
文档编号H01L21/677GK201549487SQ200920074679
公开日2010年8月11日 申请日期2009年11月12日 优先权日2009年11月12日
发明者林振芳, 沈剑平, 陆斌 申请人:上海华虹Nec电子有限公司