专利名称：太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统的利记博彩app
技术领域：
本实用新型公开了一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，属 于太阳电池刻蚀设备技术领域。
背景技术：
太阳电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程 中，需要将扩散工序中形成的硅边缘P-N结去除，否则，将导致电极 正负极之间并联电阻过小，影响电池的输出特性。大规模生产中，一 般用四氟化碳在高频电场中电离出氟离子与Si反应生成SiF4的方式来 去除边缘PN结。因而反应过程中需将硅片叠层压紧，否则，硅表面的 扩散层也将会部分去除，影响太阳电池的短路电流。
现有的太阳电池等离子刻蚀模具，主要由底盘、底板、盖板、加 压装置组成。刻蚀时，先将底板置于底盘上，再将数片硅片叠层置于 底板上，接着于最顶端的硅片上放置盖板，再用加压装置通过盖板对 整叠硅片进行压紧，最后充入四氟化碳气体进行刻蚀，以去除边缘PN 结。
但在实际应用中，现有的太阳电池等离子刻蚀模具，由于缺少定 位系统，使得底板及硅片在底盘上的定位工序缓慢，且由于定位不够
3精确，整叠硅片经加压装置作用后，易出现压力不均的现象，致使硅 片刻蚀环出现大小不一的情况，从而导致产品性能不一致、成品率低。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种太阳电池等离子刻蚀 模具的定位系统，该定位系统结构简单，定位速度快、精确。
为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为
一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，包括一个L型定位块， 三个定位柱，两个定位销；其中，第一、第二两定位柱由上而下竖直 排列固定安装在L型定位块的竖直部上，第三定位柱固定安装在L型 定位块的横向部上；位于第一、第二两定位柱之间的竖直部上开设有 与定位销相配合的通孔，且定位销底端延伸至通孔外；位于第三定位 柱左侧的横向部上开设有与另一定位销相配合的另一通孔，且定位销 底端延伸至通孔外。
作为上述方案的进一步设置，所述竖直部与横向部的连接处呈圆 弧面。
所述位于第一定位柱、第二定位柱之间的竖直部向外凸出，形成 一凸台，通孔设置于凸台中间。
所述L型定位块，三个定位柱，两个定位销均选用不锈钢制成。
采用上述方案后，本实用新型将L型定位块与三个定位柱及两个 定位销有效的结合起来，形成了一个适合用作太阳电池等离子刻蚀模 具的定位系统，该定位系统定位速度快、精确，从整体上提高了硅片 的刻蚀速度及成品率。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型的结构示意图2为图1撤掉两个定位销后的平面视图。
具体实施方式
如图1、图2所示，本实用新型太阳电池等离子刻蚀模具的定位 系统，包括一个L型定位块1，三个定位柱2a、 2b、 2c，两个定位销 5a、 5b。其中，定位柱2a、定位柱2b由上而下竖直排列固定安装在L 型定位块1的竖直部3上，定位柱2c固定安装在L型定位块1的横向 部4上。位于定位柱2a、定位柱2b之间的竖直部3上开设有与定位 销5a相配合的通孔6a，且定位销5a底端延伸至通孔6a外。位于定 位柱2c左侧的横向部4上开设有与定位销5b相配合的通孔6b，且定 位销5b底端延伸至通孔6b外。
为了进一步提高使用性能，竖直部3与横向部4的连接处呈圆弧面7。
为了能更好的配合太阳电池等离子刻蚀模具的其他系统，同时提 高美感，位于定位柱2a、定位柱2b之间的竖直部3向外凸出，形成 一凸台8，通孔6a设置于凸台8中间。
L型定位块l，三个定位柱2a、 2b、 2c，两个定位销5a、 5b均选 用不锈钢制成，可进一步提高本实用新型的定位精确度，以及延长其 使用寿命。
本实用新型安装在太阳电池等离子刻蚀模具的底盘上。安装方法非常简单，先在需要安装该定位系统的底盘位置上，开设两个分别可
与通孔6a、通孔6b同时对应的孔，再将L型定位块1放置到底盘的 相应位置上，使通孔6a、通孔6b与底盘上的孔相对应，最后将定位 销5a、 5b插入对应的通孔6a、通孔6b即可。由于定位销5a底端延 伸至通孔6a外、定位销5b底端延伸至通孔6b外，因此，通过定位销 5a、 5b，便可快速方便的将L型定位块1固定安装在底盘上。
上述实施例仅用于解释说明本实用新型的发明构思，而非对本实 用新型权利保护的限定，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的 改动，均应落入本实用新型的保护范围。
权利要求1、一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，其特征在于包括一个L型定位块(1)，三个定位柱(2a、2b、2c)，两个定位销(5a、5b)；其中，定位柱(2a)、定位柱(2b)由上而下竖直排列固定安装在L型定位块(1)的竖直部(3)上，定位柱(2c)固定安装在L型定位块(1)的横向部(4)上；位于定位柱(2a)、定位柱(2b)之间的竖直部(3)上开设有与定位销(5a)相配合的通孔(6a)，且定位销(5a)底端延伸至通孔(6a)外；位于定位柱(2c)左侧的横向部(4)上开设有与定位销(5b)相配合的通孔(6b)，且定位销(5b)底端延伸至通孔(6b)外。
2、 如权利要求l所述太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，其特 征在于所述竖直部(3)与横向部(4)的连接处呈圆弧面(7)。
3、 如权利要求l所述太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，其特 征在于所述位于定位柱(2a)、定位柱(2b)之间的竖直部(3)向 外凸出，形成一凸台(8)，通孔(6a)设置于凸台(8)中间。
4、 如权利要求l所述太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，其特 征在于所述L型定位块(1)，三个定位柱(2a、 2b、 2c)，两个定位 销(5a、 5b)均选用不锈钢制成。
专利摘要本实用新型公开了一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，属于太阳电池刻蚀设备技术领域，包括一个L型定位块，三个定位柱，两个定位销；其中，第一、第二两定位柱由上而下竖直排列固定安装在L型定位块的竖直部上，第三定位柱固定安装在L型定位块的横向部上；位于第一、第二两定位柱之间的竖直部上开设有与定位销相配合的通孔，且定位销底端延伸至通孔外；位于第三定位柱左侧的横向部上开设有与另一定位销相配合的另一通孔，且定位销底端延伸至通孔外。本实用新型定位速度快、精确，从整体上提高了硅片的刻蚀速度及成品率。
文档编号H01L31/18GK201289859SQ20082016851
公开日2009年8月12日 申请日期2008年11月20日 优先权日2008年11月20日
发明者俞相明, 周晓兵 申请人:浙江向日葵光能科技有限公司