专利名称：硅片干燥用的气液混合恒温系统的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片干燥用的系统，特别是一种可安全地加热产 生硅片干燥用的气体的气液混合恒温系统。
背景技术：
在硅片干燥制程中的干燥技术之一，是以惰性气体如氮气(N2)，混 合雾状的有机溶剂媒如异丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)，加热该混合体 至蒸发，当所产生的蒸气与硅片接触时，可取代硅片清洗时所残留的纯水 或水气，再接着使用热氮气蒸发IPA并且干燥硅片。
己被广泛使用的金门机(Kiramon)即使用上述的原理，将有机溶剂异 丙醇(IPA)加热/蒸发至超过200。 C，以异丙醇蒸气取代硅片表面上的纯水 或水气后，再加热氮气(N2)，以热氮气蒸发液态异丙醇并干燥硅片。然而， 由于IPA为引火性液体，此方法在使用上具有易发生火灾的问题，形成安 全上的疑虑。
.由东京威力所申请的中国台湾发明专利公开号200714843，提供一种 蒸气干燥方法及其装置，该装置将液态异丙醇与氮气在一混合室先混合， 再送往一个蒸气发生装置加热后产生硅片干燥用的蒸气。该蒸气发生装置 加热源使用光能源，结构主要包括容器本体、卤素灯、隔热材、以及构成 螺旋状的螺旋管，该装置的结构相当复杂，虽然可利用光源温和地加热IPA 与N2混合体，但设备的成本上也相对的提高。
为解决现有技术干燥气体生成设备上的安全问题，同时提供一种结 构简单、成本较低的设备，本实用新型提出一种硅片干燥用的气液混合恒 温系统，是针对上述现有技术的技术结构进行改良，并解决安全上的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提出一种硅片干燥用的气液混合恒温系统，该系
4统是用以加热生成硅片干燥用的气体；以及一种硅片干燥系统，是利用上 述硅片干燥用的气液混合恒温系统所产生的气体进行硅片干燥。
本实用新型的一目的在于提供一种硅片干燥用的气液混合恒温系
统，其能够以隔水加热的方式加热氮气(N2)与异丙醇(IPA)的混合体，使 之达到理想的温度，不随供应端氮气温度不同而影响混合体的制程温度。
本实用新型的另一目的在于提供一种硅片干燥用的气液混合恒温系 统，其能够在较安全的情况下加热产生硅片干燥用的混合气体。
本实用新型的另一目的在于提供一种硅片干燥用的系统，其能够在较 安全及稳定的环境中进行硅片干燥。
本实用新型的硅片干燥用的气液混合恒温系统包含有一内槽、 一第 一液体注入装置、 一进气装置、 一排气装置、 一外槽、 一第二液体注入装 置、 一温度调整装置、以及一出水装置。第一液体注入装置是用以将一第
一液体注入该内槽，该第一液体是液态异丙醇(IPA);进气装置是用以将
一气体注入该内槽，该气体是氮气(N2)，该气体与该第一液体混合产生一 混合气体(IPA+N2)，且该进气装置进一步包含一进气部以及一底部出气装 置，该底部出气装置与该进气部相连，用以将该气体自该内槽底部注入该 内槽内，该底部出气装置设有至少一出气孔，且该底部出气装置大致分部 于该内槽整个底部；排气装置是用以将该混合气体排出该硅片干燥用的气 液混合恒温系统；外槽是与该内槽具有一间距，第二液体注入装置则是用 以将一第二液体注入该外槽，其中该第二液体具有高于室温的温度，可为 经处理后的工业用水；温度调节装置是用以调整注入该外槽的第二液体至 一适当温度范围，其中该适当温度范围是约45° -80° C;该外槽并进一步 包含至少一隔板，用以界定该第二液体的流动路径；出水装置是用以将该 第二液体排出该外槽。本实用新型的硅片干燥用的气液混合恒温系统并可 进一步包含一液面检测装置设于上述的内槽中，用以测量该第一液体的液 面高度，其中该液面检测装置可为浮动式；以及一温度测量装置，用以测 量该第二液体的温度。
本实用新型的硅片干燥用的系统，包含有一液体供给装置、 一气体 供给装置、 一气液混合恒温装置、以及一硅片干燥装置。液体供给装置是 用以供应一第一液体，其中该第一液体是液态异丙醇(IPA);气体供给装置是用以供应一气体，其中该气体是氮气(N2);气液混合恒温装置是与上 述的液体供给装置以及气体供给装置相连，以导入该第一液体与该气体并 混合两者，形成一混合气体，主要包括 一内槽、 一第一液体注入装置、 一进气装置、 一排气装置、 一外槽、 一第二液体注入装置、 一温度调整装 置、以及一出水装置；硅片干燥装置是与该气液混合恒温装置相连，用以 导入该混合气体以干燥硅片，并进一步包含一硅片干燥室，该硅片干燥室
包含至少一喷嘴埠；本实用新型的硅片干燥用的系统进一步包含一气体输
送装置，用以将混合气体自上述的气液混合恒温装置输送至该硅片千燥 室，该气体输送装置并与上述的喷嘴埠相连，使该喷嘴埠可供应该混合气 体至该硅片干燥室以干燥硅片。
本实用新型相较于现有技术的硅片干燥装置，具有下列优点 第一、本实用新型的硅片干燥用的气液混合恒温系统具有双槽式的设
计，可将界于45° -80° C的第二液体注入于外槽，以针对内槽中的液态 异丙醇(IPA)与氮气(N2)的混合气体进行隔水加热，使该混合气体达到理 想的温度，相较现有技术直接加热异丙醇(IPA)或氮气(N2)的做法，本实 用新型使加热地过程更加安全。
第二、本实用新型的硅片干燥用的系统，结合上述的气液混合恒温系 统，因此无需加装防爆装置，可减低设备成本，并可在较安全及稳定的环 境中进行硅片干燥。
图1是一透视图，显示本实用新型一实施例的硅片干燥用的气液混合 恒温系统的透视图。
图2是一透视图，显示本实用新型一实施例的硅片干燥用的气液混合 恒温系统外槽中，引导第二液体流动路径的隔板。
图3是一示意图，显示本实用新型一实施例的硅片干燥用的系统的主 要组件与架构。
主要组件符号说明
1 硅片100硅片干燥用的气液混合恒温系统
110 内槽
112液面检测装置
120第一液体注入装置
130进气装置
132 进气部
134底部出气装置
136 出气孔
140排气装置
150 外槽
152 隔板
154温度测量装置
160第二液体注入装置
170温度调节装置
180 出水装置
200硅片干燥装置
210硅片干燥室
212 喷嘴埠
300硅片干燥用的系统
310液体供给装置
320气业供给装置
330气体输送装置
具体实施方式
请参见图1与图2。根据本实用新型的一实施例的硅片干燥用的气液 混合恒温系统100，其主要包含 一内槽110、 一第一液体注入装置120、 一进气装置130、 一排气装置140、 一外槽150、 一第二液体注入装置160、 一温度调整装置170、以及一出水装置180。
第一液体注入装置120是用以将一第一液体L1注入该内槽110，该 第一液体Ll是液态异丙醇(IPA);进气装置130是用以将一气体Gl注入该内槽110，该气体G1是氮气(N2)，待第一液体L1液态异丙醇(IPA)与气 体Gl氮气(N2)皆注入内槽110后，混合产生一 IPA+ N2的混合气体G2， 可于硅片制程中用以干燥硅片。该进气装置130更进一步包含一进气部 132以及一底部出气装置134，该底部出气装置134与该进气部132相连， 用以将该气体Gl自该内槽110底部注入该内槽内，该底部出气装置134 设有至少一出气孔136，且该底部出气装置134大致分部于该内槽110整 个底部；排气装置140是用以将该混合气体G2排出该硅片干燥用的气液 混合恒温系统100。
外槽150是与该内槽110具有一间距，第二液体注入装置160则是 将一第二液体L2注入该外槽150，其中该第二液体L2具有高于室温的温 度，可为经处理后的工业用水；注入外槽150的第二液体L2流经温度调 节装置170时，该温度调整装置170调整该第二液体L2至一适当温度范 围，其中该适当温度范围是约45。 -80° C;该外槽150并更进一步包含至 少一隔板152，用以界定该第二液体L2的流动路径；出水装置180则是将 该第二液体L2排出该外槽150。
本实用新型的硅片干燥用的气液混合恒温系统100并可进一步包含 一液面检测装置112设于上述的内槽110中，用以测量该第一液体L1的 液面高度，其中该液面检测装置112可为浮动式；以及一温度测量装置 154，用以测量该第二液体L2的温度。
请参见图1、图2、及图3。本实用新型的硅片干燥用的系统300， 包含有一液体供给装置310、 一气体供给装置320、 一气液混合恒温装置 100、 一气体输送装置330、以及一硅片干燥装置200。液体供给装置310 是用以供应一第一液体L1，其中该第一液体L1是液态异丙醇(IPA);气体 供给装置320是用以供应一气体G1，其中该气体G1是氮气(N2);气液混 合恒温装置100是与上述的液体供给装置310以及气体供给装置320相连， 用以导入该第一液体Ll与该气体Gl混合产生一混合气体G2，并提供一高 于室温的温度加热该混合气体G2，主要包括 一内槽IIO、 一第一液体注 入装置120、 一进气装置130、 一排气装置140、 一外槽150、 一第二液体 注入装置160、 一温度调整装置170、以及一出水装置180。其中，第一液 体注入装置120与液体供给装置310相连，用以将第一液体Ll导入该内
8槽110;进气装置130与气体供给装置320相连，用以将气体G1导入该内 槽110;经导入后，第一液体L1与气体G1在内槽110中混合，生成混合 气体G2，该混合气体G2进一步经过加热后，形成干燥效果良好的硅片干 燥用的气体，最后将该气体导入硅片干燥装置200以干燥硅片1。
为安全地加热该混合气体G2，本实用新型的气液混合恒温装置100 以隔水加热的方式加热该混合气体G2，其主要步骤包括由第二液体注入 装置160将一第二液体L2注入气液混合恒温装置100的外槽150，该第二 液体L2具有高于室温的温度，可为经处理后的工业用水；在注入外槽150 之前，该第二液体L2先经过温度调整装置170调整该第二液体L2至一适 当温度范围，其中该适当温度范围约为45。 -80° C;本实用新型的气液混 合恒温装置100更进一步包含一温度测量装置154，用以测量注入外槽中 150的第二液体L2温度是否在此适当范围内；当该具有一定热度的第二液 体L2注入外槽后，可对内槽IIO中的混合气体G2提供加热的效果，使该 混合气体G2升高至一适当温度；该外槽150并更进一步包含至少一隔板 152，用以界定该第二液体L2的流动路径，使该第二液体L2能均匀的流 经外槽150各部，而使被包覆的内槽110各部可均匀地受热；外槽150中 的第二液体L2最后由出水装置180排出该外槽150，并可回收做厂务水继 续使用。
混合气体G2于气液混合恒温装置100完成加热后，经由排气装置140 排出上述的气液混合恒温装置100，经由气体输送装置330输送至该硅片 干燥装置200所包含的硅片干燥室210;其中，气体输送装置330与排气 装置140以及硅片干燥室210所包含的喷嘴埠212相连，该喷嘴埠212是 用以将从气体输送装置330输送过来的混合气体G2，供应给硅片干燥装置 200中的硅片干燥室210，以干燥硅片1。上述的硅片干燥用的系统，结合 本实用新型的硅片干燥用的气液混合恒温系统，透过隔水加热的方式，在 较安全及稳定的环境中生成硅片干燥气体，以供硅片干燥制程使用，整体 系统无需加装防爆装置且结构简单，亦降低该系统的成本。
以上，本实用新型已通过各个实施例及其相关图式而清楚载明。然而， 熟习该项技术者当了解的是，本实用新型的各个实施例在此仅为例示性而 非为限制性，亦即，在不脱离本实用新型实质精神及范围的内，上述所述及的各组件的变化例及修正例均为本实用新型所涵盖。缘此，本实用新型 是由后附的申请专利范围所加以界定。
权利要求1、一种硅片干燥用的气液混合恒温系统，其特征在于包含一内槽；一第一液体注入装置，用以将一第一液体注入该内槽；一进气装置，用以将一气体注入该内槽，其中该气体与该第一液体混合产生一混合气体；一排气装置，用以将该混合气体排出该硅片干燥用的气液混合恒温系统；该硅片干燥用的气液混合恒温系统的特征在于包含一外槽，与该内槽具有一间距；一第二液体注入装置，用以将一第二液体注入该外槽；一温度调节装置，用以调整该第二液体至一适当温度范围；以及一出水装置，用以将该第二液体排出该外槽。
2、 如权利要求1的硅片干燥用的气液混合恒温系统，其特征在于， 该进气装置进一步包含一进气部；以及一底部出气装置，与该进气部相连，用以将该气体自该内槽底部注入 该内槽内。
3、 如权利要求1的硅片干燥用的气液混合恒温系统，其特征在于， 进一步包含一液面检测装置设于该内槽中。
4、 如权利要求1的硅片干燥用的气液混合恒温系统，其特征在于， 该温度调节装置是调整该第二液体至该适当温度范围，该适当温度范围是 约45。 -80° C。
5、 如权利要求1的硅片干燥用的气液混合恒温系统，其特征在于， 该外槽进一步包括至少一隔板，用以界定该第二液体的流动路径。
6、 一种硅片干燥用的系统，其特征在于包含 一液体供给装置，用以供应一第一液体； 一气体供给装置，用以供应一气体；一气液混合恒温装置，与该液体供给装置以及该气体供给装置相连， 以导入该第一液体与该气体并混合两者，形成一混合气体；一硅片干燥装置，与该气液混合恒温装置相连，是导入该混合气体以 干燥硅片；该硅片干燥用的系统的特征在于该气液混合恒温装置包含一内槽；一第一液体注入装置，用以将该液体供给装置所提供的第一液体注入 该内槽；一进气装置，用以将该气体供给装置所提供的气体注入该内槽，其中 该气体与该第一液体混合产生一混合气体；一排气装置，用以将该混合气体排出该气液混合恒温装置； 一外槽，与该内槽具有一间距；一第二液体注入装置，用以将一第二液体注入该外槽； 一温度调节装置，用以调整该第二液体至一适当温度范围；以及 一出水装置，用以将该第二液体排出该外槽。
7、 如权利要求6的硅片干燥用的系统，其特征在于，该第一液体是 液态异丙醇。
8、 如权利要求6的硅片干燥用的系统，其特征在于，该气体供给装 置所供给的气体是氮气。
9、 如权利要求6的硅片干燥用的系统，其特征在于，进一步包含一 气体输送装置，用以输送该混合气体自该气液混合恒温装置至该硅片干燥 装置。
10、 如权利要求6的硅片干燥用的系统，其特征在于，该气液混合恒 温装置所提供的温度高于室温。
专利摘要本实用新型一种硅片干燥用的气液混合恒温系统，主要包含一内槽、一第一液体注入装置，用以将液态异丙醇注入该内槽、一进气装置，用以将氮气注入该内槽、一排气装置，用以将异丙醇及氮气的混合气体排出该气液混合恒温系统、一外槽，与上述内槽具有一间距、一第二液体注入装置，用以将一第二液体注入该外槽、一温度调整装置，用以调整注入外槽的第二液体至一适当温度范围、以及一出水装置，用以将该第二液体排出该外槽。
文档编号H01L21/00GK201256144SQ20082011398
公开日2009年6月10日 申请日期2008年6月30日 优先权日2008年6月30日
发明者冯传彰, 刘茂林, 许本谐, 谢宏亮 申请人:辛耘企业股份有限公司