专利名称：真空设备的感测装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型是一种真空设备，特别是涉及一种安装在真空设备的真 空腔体上、且用于感测其内真空容室的物性的真空设备的感测装置。
背景技术：
在半导体相关制程中，许多制程都需要使用到真空设备，而且随着 制程的不同，所设定的真空条件也会有所不同，因此，真空设备必须在 真空腔体上装设感测元件，以随时监控其内的容室环境。
目前在设计上一般是将感测元件安装在真空腔体内，令感测元件直 接感测容室环境内的物性。然而，由于大部分制程都必须将电浆或气体 通入真空腔体中，让容室充满电浆或气体以作用处理，但是因此也会使 得感测元件身处在电浆或气体中，容易被污染或侵蚀，往往导致感测结 果失真，甚至会造成感测元件损毁，使用寿命较短，而且也不易于调整 换装，所以前述感测装置的设计不够理想。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于，提供一种将感测元件安装在真空腔体 外，以具有较准确的感测结果，也利于调整换装的真空设备的感测装置。
本实用新型的 一种感测装置安装在一真空设备中，该真空设备包含 一界定出一真空容室的真空腔体，该真空腔体具有一贯穿内、外壁面的
安装孔，而该感测装置包含 一安装单元、 一隔离件、 一衔接单元及一 感测元件。该安装单元气密地安装在所述真空腔体的安装孔中，并包括 一沿其长向延伸贯穿且连通真空容室的通道。该隔离件安装在该安装单 元的通道远离真空容室的外端上，用于阻隔通道使其不与外界连通。该衔接单元固定地安装在该安装单元与隔离件的外侧面上，且用于将隔离 件定位在安装单元上。该感测元件固定地安装在该衔接单元上，且能透 过隔离件感测到与真空容室连通的通道内的物性。
本实用新型的有益效果在于将感测元件安装在真空腔体外，以透 过隔离件的阻隔感测真空容室的内部物性，以具有较准确的感测结果， 而且也利于调整换装。
图1是本实用新型的真空设备的感测装置的一优选实施例的一立体
图2是该优选实施例的一立体分解图； 图3是该优选实施例的一剖视示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。 如图1、图2与图3所示，作为本实用新型感测装置的优选实施例安 装在一真空设备l中，该真空设备l包含一真空腔体ll，该真空腔体ll 具有一内壁面lll、 一外壁面112、 一由内壁面111界定形成的真空容室 113,及一贯穿内、外壁面111、 112的安装孔114。而该感测装置包含 一安装单元2、 一隔离件3、两气封件4、 一衔接单元5及一感测元件6。 该安装单元2气密地安装在所述真空腔体11上，并包括一由外向内 插接在该安装孔114中的螺栓21、 一螺接在该螺栓21伸入真空容室113 的一段上的螺帽22、 一沿其长向贯穿该螺栓21且连通真空容室113的通 道23、及一安装在螺帽22与真空腔体11的内壁面111之间的安装垫片 24。该螺栓21具有一穿伸在该安装孔114中的螺身211及一同体自该螺 身211伸出安装孔114的一段径向往外凸扩的螺头212。该螺头212的内 侧面抵靠在真空腔体11的外壁面112上，并具有一凹设在外侧面上且连
缘上的凹槽214。该隔离件3为一透明玻璃片，安装在该螺头212的容槽213中，也 就是位于通道23远离真空容室113的外端上，能用于阻隔通道23使其 不与外界连通。
这些气封件4都是橡、塑胶材质制成的O型环，并分别安装在螺头 212的凹槽214中，用于防止气体进出所述真空腔体11的真空容室113。 当然，在设计上也可以采用其他气封构造，例如真空油脂，所以不以本 实施例为限，在此不再详细"i兌明。
该衔接单元5用于将隔离件3定位在安装单元2上，并包括一盖置 在该螺头212与隔离件3的外侧面上的盖座51、 一安装在盖座51与隔离 件3之间的衔接垫片52及四个分别将盖座51锁固在螺头212上的锁固 件53。该盖座51具有一内外贯穿且连通隔离件3的穿孔511。这些锁固 件53都是螺丝，在设计上锁固件53的数量也可以改变，例如两个、三 个或六个等，并不受限于本实施例。
该感测元件6固定地安装在该盖座51的穿孔511中且邻近于该隔离 件3，能透过隔离件3感测到与真空容室113连通的通道23内的物性。 当然，该感测元件6可以视需要选用一般市面出售的光感测器、温度感 测器、压力感测器等，用以感测真空容室113内的温度、压力等环境物 性，由于其构造及感测控制并非本实用新型的重点，所以在此不再详细 说明。
由上述说明可知，本实用新型感测装置安装在真空设备1的真空腔 体11上，其透过设有通道23的安装单元2,将真空容室113的环境导引 至外侧，并利用隔离件3的阻隔以及衔接单元5的安装，将感测元件6 安装在真空腔体11外的设计，能使得感测元件6透过隔离件3感测到真 空容室113内的物性，又不会直接接触到真空容室113,所以可以避免污 染损毁，使用寿命较长，并可达到感测灵敏度佳，感测结果较准确，而 且也利于调整换装等功效，确实能够达到本实用新型的目的。
权利要求1.一种真空设备的感测装置，所述真空设备包含一个界定出一个真空容室的真空腔体，所述真空腔体具有一个贯穿内、外壁面的安装孔，其特征在于，所述感测装置包含一个安装在安装孔中且包括一个连通真空容室的通道的安装单元、一片安装在通道远离真空容室的外端上且用于阻隔在通道与外界之间的隔离件、一个安装在安装单元与隔离件的外侧面上且用于将隔离件定位在安装单元上的衔接单元、及一个安装在衔接单元上且能透过隔离件感测通道内部的感测元件。
2. 根据权利要求1所述的真空设备的感测装置，其特征在于所述 安装单元还包括一个由外往内插接在所述安装孔中的螺栓、 一个螺接在 所述螺栓伸入真空容室的一段上的螺帽、及一片安装在螺帽与真空腔体 的内壁面之间的安装垫片，所述螺栓具有一穿伸在所述安装孔中的螺身 及一个同体自所述螺身伸出安装孔的 一段径向往外凸扩的螺头，所述通道贯穿所述螺身及螺头，而所述螺头抵靠在真空腔体的外壁面上，并具 有一个凹设在外侧面上且连通该通道的容槽，所述隔离件安装在所述容槽中。
3. 根据权利要求1所述的真空设备的感测装置，其特征在于所述 感测装置还包含多个用于防止气体进出真空容室的气封件，这些气封件 分别安装在安装单元与真空腔体之间以及安装单元与隔离件之间。
4. 根据权利要求3所述的真空设备的感测装置，其特征在于所述 安装单元还包括一个由外往内插接在所述安装孔中的螺栓、 一个螺接在 所述螺栓伸入真空容室的一段上的螺帽、及一片安装在螺帽与真空腔体 的内壁面之间的安装垫片，所述螺栓具有一穿伸在所述安装孔中的螺身 及一个同体自所述螺身伸出安装孔的 一段径向往外凸扩的螺头，所述通 道贯穿该螺身及螺头，而所述螺头的内侧面抵靠在真空腔体的外壁面上， 并具有一个凹i殳在外侧面上且连通该通道的容槽、及两个分别凹i殳在内 侧面与界限出容槽的内侧缘上的凹槽，所述隔离件安装在该容槽中，而这些气封件分别安装在螺头的凹槽中。
5. 根据权利要求1、 2或4所述的真空设备的感测装置，其特征在于 所述衔接单元包括一个盖置在所述安装单元与隔离件的外侧面上的盖 座、 一片安装在盖座与隔离件之间的衔接垫片、及多个分别将盖座锁固 在安装单元上的锁固件，所述盖座具有一个内外贯穿且连通隔离件的穿 孔，所述感测元件固定地安装在所述穿孔中且邻近于所述隔离件。
6. 根据权利要求1所述的真空设备的感测装置，其特征在于所述 隔离件为一片透明玻璃片。
专利摘要一种真空设备的感测装置，该真空设备包含一界定出一真空容室的真空腔体，而该感测装置包含一气密地插接在该真空腔体上的安装单元、一装设在安装单元外侧的隔离件、一将隔离件定位在安装单元上的衔接单元及一固定地安装在衔接单元上的感测元件。该安装单元包括一沿其长向贯穿且连通真空容室的通道。该隔离件安装在通道的外端上用于阻隔通道使其不与外界连通。该感测元件能透过隔离件感测到通道内的物性。通过安装单元与衔接单元的装设及隔离件的阻隔，将感测元件安装在真空腔体外，可具有较准确的感测结果，而且也利于调整换装。
文档编号H01L21/00GK201153118SQ20082000008
公开日2008年11月19日 申请日期2008年1月4日 优先权日2008年1月4日
发明者许三益, 郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司