专利名称：悬挂型运输车和运输系统的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种用在半导体器件、LCD (液晶显示器)器件等的 制造工厂中并且在安装于工厂的天花板上或接近天花板的轨道上行进 并传送物体的悬挂型运输车例如OHT (高架提升传输)车，以及利用 这种车的运输系统。
背景技术：
在半导体器件、LCD器件等的制造工厂中，为了增加产量，强烈 期望提高生产效率，其中之一就是希望縮短运输持续时间。为了縮短 运输持续时间，如何縮短将搬运物(即，运输的物体)从车转移到作 为用于搬运物的临时储存位置的储料器或堆料器所需要的持续时间； 如何縮短从储料器将搬运物转移到车所需要的持续时间，等等，成为 重点。这里，本发明中的"搬运物"或"运输的物体"指的是产品、中间产 品、零件、物品、机件、部分完成的商品、商品等(例如半导体或LCD器件)，或者指的是用来容纳这些产品等的盒子或容器(例如容纳半 导体或LCD器件的容器)，其通过运输车已被运输或将被运输。例如，通过运输系统运输由半导体制造工厂制造的半导体集成电 路元件，同时通过各种处理装置将专属于半导体制造工艺的各种处理、 例如通过CVD (化学气相沉积)的薄膜形成、离子注入、光刻、蚀刻、 检验等等应用到电路元件，以便制造了最终的产品。在这些工艺中， 多个半导体衬底储存在容器中，其被称为"FOUP (前端开口片盒)"。容器中的半导体衬底通过运输车在处理装置之间运输，并通过各处理 装置对其进行各特别处理。然而，各处理所需要的处理持续时间在处 理装置之间是不同的。由此，对半导体衬底进行直到下一个工艺的等 待持续时间，它的持续时间或长度是未知的，且一般是由半导体衬底引起的。在该等待持续时间期间，通过运输装置，将含有半导体衬底 的FOUP从车上一次运送到并转移(即，放置)到储料器中或简易支 架缓冲器上。当出现可以进行下一个工艺的这种条件时，含有半导体 衬底的FOUP从储料器或简易支架缓冲器再次转移(即，拾取)到车上，并且通过运输系统运输到用于下一工艺的处理装置。在用于FOUP的储存位置是设置在各处理装置附近的简易支架缓冲器的情况下，运 输操作(即，放置和/或拾取操作)花费的时间较短。另一方面，在用于FOUP的储存位置是设置在远离处理装置的储料器的情况下，放置 和/或拾取操作会花费较长的时间。因此，更经常地采用简易支架缓冲 器而非储料器，对于縮短运输持续时间是有效的。通过縮短放置和/或拾取FOUP所需要的持续时间，希望提高生产效率。日本专利申请公布特开NO.2005-150129公开了设置在处理装置 附近的简易支架缓冲器。在这种情况下，通过设置在运输车上的起重 带和在水平方向上能滑动的滑动支架板能够很容易地进行转移到简易 支架缓冲器的操作和从简易支架缓冲器转移的操作。滑动支架板允许 FOUP朝着运输车移动。日本专利申请公布特开NO.2005-206371和NO.2005-530361中每个都公开了设置在处理装置附近的这种简易支架缓冲器。在该情况下， 没有使用滑动支架板。代替地，提升机构借助滑动结构本身能滑动。 提升机构在行进轨正下面的位置和行进轨的侧向位置之间滑动，以便 运输车可以直接地接近位于行进轨正下面的位置的侧部的端口。发明内容在日本专利申请公布特开NO.2005-150129中公开的上述技术具 有如下问题，由于对于每个滑动支架板都需要包括传动装置、驱动电 动机等等的驱动机构，所以支架装置的成本变得非常高。而且，仅仅 一个滑动支架板的故障就会导致支架装置的总体故障，其必定会使支 架装置的可靠性退化。在日本专利申请公布特开NO.2005-206371或NO.2005-530361中 公开的上述技术具有如下问题，尽管运输车能直接接近高度彼此相同 的多个支架个每一个，但运输车不能直接接近高度彼此不同的支架。因此，本发明的目的在于提供一种悬挂型运输车以及利用这种车 的运输系统，该运输车可以直接转移被运物体至支架和从支架直接转 移被运物体，其中支架位于运输车的侧部并且至少部分在高度上彼此 不同，能减少成本和提高可靠性。本发明的上述目的可以通过一种悬挂型运输车实现，该运输车包 括用于夹持被运物体的夹持机构；用于提升所述夹持机构的提升机 构；以及行进机构，其上以悬挂的方式安装有所述提升机构，用于在 安装于天花板上的或天花板附近的轨道上行进，所述夹持机构包括(i) 能够水平伸长和收縮的伸长收縮装置和(ii)设置在所述伸长收縮装置 的顶部分的、用于选择夹持被运物体的夹持装置。根据本发明的悬挂型运输车，在工作时，为了相对于一个支架装 置的一个支架板来转移被运物体例如FOUP等，运输车通过行进机构行 进并停止在对应于该一个支架装置的位置。然后，夹持机构通过提升 机构下降。接着，伸长收縮装置，例如滑动板，被水平送出，而在顶 部分的夹持装置夹持或者能够夹持住被运物体。因此，能够相对于从 运输车的正下方的侧向离开的一位置来转移(即，放置或拾取)被运 物体。在本发明的悬挂型运输车的一个方面，所述夹持机构进一步包括 主体，其通过所述提升机构提升，并且所述伸长收縮装置能够相对于 所述主体水平伸长和收縮。根据该方面，借助于伸长收縮装置，夹持装置可以以一定的方式从主体朝着支架装置伸长，并且可以以一定的方式从夹持装置收縮以 离开主体。在本发明的悬挂型运输车的另一方面，悬挂型运输车迸一步包括 姿态保持装置，其使所述夹持机构的一部分和支架装置的支架板的一 部分彼此能可分离地固定，用于相对于所述支架装置保持或稳定所述 夹持机构的姿态。根据该方面，对于转移运输的物体，随着使夹持机构和支架装置 彼此固定，可以借助姿态保持装置保持或稳定夹持机构的姿态、姿势 或平衡。本发明的上述目的可以通过一种运输系统来实现，该运输系统包 括(I)本发明的上述悬挂型运输车和(II)具有多个支架板的支架装 置，所述多个支架板垂直布置在彼此不同的高度，用于临时储存被运 物体。根据本发明的运输系统，由于它提供有本发明的上述悬挂型运输 车，所以能够相对于侧向偏离于运输车正下方的位置转移被运物体。 而且，由于不必将滑动机构装配到每个支架板，所以必定可以减少组 成伸长收縮装置(或滑动机构等)的部分或部件的总数量。而且，不 必将驱动机构装配到每个支架板。由此，可以避免增加成本。另外， 能够避免如下情形因为滑动机构没有存在于每个支架板中，所以多 个滑动机构中仅一个的故障就会导致运输系统的总故障或总的不利影 响。以该方式，根据本发明，由于不必将伸长收縮装置(或滑动机构 等)装配到每个支架板上，但由于其足以将伸长收縮装置装配到运输 车一侧，所以能够减少成本和增加可靠性。在本发明的运输系统的一个方面，该运输系统进一步包括姿态保 持装置，其使所述夹持机构的一部分和所述支架板的一部分彼此能可 分离地固定，用于相对于所述支架装置保持或稳定所述夹持机构的姿 态。根据该方面，即使在以下情况下伸长收縮装置伸出支架板更大 距离，其中所述支架板相对远离运输车正下方的位置，以相对于该支 架板转移运输车；或者，较重的被运物体被夹持同时伸长收縮装置伸 长时，仍能够保持夹持机构的姿态并由此稳定地转移被运物体。在上面提到的包括姿态保持装置的方面中，所述姿态保持装置可 包括所述夹持机构上的杆部和所述支架板上的闩锁部，以便所述杆部 可以与所述闩锁部啮合。通过以该方式构造，当伸长收縮装置伸长时，杆部与闩锁部啮合。 杆部可进入支架板的上侧或下侧。由此，相对于支架装置能够容易固 定夹持机构，由此保持夹持机构的姿态。而且，通过将闩锁部装配到 支架板的每一个上，在相对于支架板的任一个转移被运物体时能够固 定夹持机构。在上面提到的包括姿态保持装置的方面中，当在所述夹持机构和 所述支架板的一个板之间转移被运物体的情况下，所述杆部可与所述 支架板的另一板的所述闩锁部啮合，所述另一板位于所述一个板的正 上方。通过以该方式构造，杆部与位于相对于转移被运物体的一个支架 板正上方的另一支架板的闩锁部啮合。由此，被相对于其转移被运物 体的该一个支架板的前向空间是大开的。也就是说，能够避免伸长收 縮装置的移动被姿态保持装置干扰。因此，能够容易执行转移操作同 时确保保持该姿态。在上面提到的包括姿态保持装置的方面中，所述杆部能够相对于 所述夹持机构朝着所述闩锁部伸长或旋转，以便在所述杆部在预定方 向上伸长或旋转之后，所述杆部的头部能与闩锁部啮合。通过以该方式构造，通过水平伸长或半圆形地旋转杆部，能够容 易且确保杆部与闩锁部啮合。如上详细所述的，根据本发明的悬挂型运输车和运输系统，不必 将滑动机构装配到每支架板上。能够接近所希望的支架板并在此执行 转移操作。于是，能够减少整个系统的总成本，同时提高了整体系统 的可靠性。当结合下面简要描述的附图理解时，从关于本发明优选实施例的 以下详细描述，本发明的特性、效用和更多的特征将是更加显而易见 的。
图1是半导体制造设备的平面示意图，其中使用具有运输车和支 架装置的运输系统作为本发明的实施例；图2是在一个实施例中的在下述条件下的运输车和支架装置的侧 视图，其中，运输车相对于支架装置的希望位置转移被被运物体；图3是在另一个实施例中的在下述条件下的运输车和支架装置的 侧视图，其中，运输车相对于支架装置的希望位置转移被被运物体；图4A是本实施例中用于支架装置的姿态(即，姿势)保持装置的 一个实例的透视图；图4B是图4A中姿态保持装置的侧视图；图5A是本实施例中用于支架装置的姿态保持装置的另一实例的 透视图；图5B是图5A中姿态保持装置的侧视图；图6A是本实施例中用于支架装置的姿态保持装置的另一实例的透视图；图6B是图6A中的姿态保持装置的侧视图；图7A是本实施例中用于支架装置的姿态保持装置的另一实例的 透视图；图7B是图7A中的姿态保持装置的侧视图；图8A是本实施例中用于支架装置的姿态保持装置的另一实例的 透视图；图8B是图8A中的姿态保持装置的侧视图； 图9是一个对比示例中的运输车和支架装置的侧视图；和 图IO是另一个对比示例中的运输车和支架缓冲器的侧视图。
具体实施方式
参考附图，现在将说明本发明的实施例。首先，参考图1说明作为本发明实施例的运输系统的总体结构。 图1示出了一种半导体制造设备，其中使用具有运输车的运输系统作 为该实施例。在图1中，运输系统用于在一种工艺之间或多种工艺之间通过 运输车运输被运输的物体，以便如同在半导体制造工厂中一样，将各 种工艺顺序地应用到被运输的物体，并完成最终产品。构造半导体制 造设备，以便布置多个处理部18。每个处理部18都提供有 一个或多 个支架装置13;和工艺彼此不同的多个处理装置15。在处理部18的 各个中，支架装置13和处理装置15通过工艺间轨道11和分支轨道12 连接至工艺间轨道IO。如图l所示，运输系统具有如下结构，多个运输车16在包括有工 艺间轨道10、工艺间轨道11和分支轨道12的行进路径上行进。行进 路径设置在半导体制造工厂上方(即，在天花板一侧)。FOUP (前端开口片盒)17被通过运输车16提升以被挂起，并且被运输。这里，FOUP 17是用于容纳多个半导体衬底的容器。FOUP 17具有基本矩形的平行 六面体形状。在FOUP17的上表面的中心，配置凸缘27使得被夹持和 运输。半导体衬底容纳在FOUP 17中并被运输，以便通过各种处理装 置应用各种工艺，例如通过CVD的薄膜形成、离子注入、光刻、蚀刻、 检验等等。设置储料器(或堆料器)14使得其连接至工艺间轨道10, 并在每个工艺的等待持续时间期间储存FOUP 17，作为储存多个FOUP 17的储存装置。接下来，将参考图2和图1 一起说明一个实施例中的运输车16和 支架装置13。图2示出了一个实施例中的、在运输车16相对于支架装 置13的所希望位置转移FOUP 17的情形下的、运输车16和支架装置 13。如图2所示，运输车16适合于通过具有例如线性电动机(未示出) 的行进机构60在行进路径的轨道20上行进，并移向目的地位置。运 输车16提供有起重带21和夹持机构22。一个运输车16具有四个起重带21，它们缠绕在容纳于运输车16 中的巻轴周围。夹持机构22在其尖部通过四个起重带21挂起。借助 驱动机构例如电动机等(未示出)，通过正反向旋转的巻轴，夹持机 构22经由起重带21向上下移动。起重带21每个都具有如下长度，其 使得夹持机构22能在上下方向上移动FOUP17，直至在支架装置13 的多个固定支架板25之中被定位在最低的固定支架板25的高度。夹持机构22提供有滑动机构23和夹具24。滑动机构23，其构成 本发明的"延伸和收縮装置"的一个实例，适合于相对于夹持机构22 的主体22m，通过滚珠螺杆驱动机构(未示出)在水平方向上延伸和 收縮。夹具24，适合于夹紧FOUP 17的凸缘27，其贴附到滑动机构 23的底部。夹具24具有夹紧FOUP17的凸缘27的开关能力，并构造为在滑动机构23延伸到FOUP 17正上方的位置时夹紧凸缘27。如图2所示，支架装置13提供有 一个或多个支柱组件26，和 在垂直方向上以间隔布置的多个固定支架板25。处理装置15的处理在 它们的内容方面彼此不同，以使得它们的处理持续时间也彼此不同。 因此，会生成不确定的等待持续时间直至进行下一工艺。尽管储料器 14在等待持续时间期间可储存FOUP 14，但储料器14具有如下缺陷 因为储料器14远离处理装置15并且对于储料器14需要花费一定时间 装载和卸载F0UP17，所以储料器14不能迅速进行处理。因此，将支 架装置13设置在处理装置15的附近，作为在等待持续时间期间用于 FOUP 17的简易储存位置。这里，参考图2说明通过运输车16来关于支架装置13载入(即， 装载)和载出(即，卸载)FOUP17的原理。如下是FOUP 17的执行操作。也就是，在工艺间轨道ll上行进 并停止在相对支架装置13的位置的运输车16，借助电动机等通过旋转 该巻轴缠出起重带21。这时，运输车16使没有夹紧FOUP 17的夹持 机构22向下移动到预定高度的位置。在夹持机构22向下移动到固定 支架板25中之一的目标位置之后，滑动机构23伸长或展开，以便滑 动机构23进入到支架装置13内的FOUP 17之一正上方的位置，其中 FOUP 17的凸缘27f由夹具24夹持。夹住FOUP17之后，滑动机构23 縮短或收縮。接着，起重带21通过旋转该巻轴而被巻起，以便FOUP 17 与夹持机构22—起上升。之后，运输车16在工艺间轨道ll上朝着FOUP 17的下一运输目的地行进。在运输车16将FOUP 17放到支架装置13上的情况下，可以以上 述执行操作相反的顺序执行FOUP 17的放置(即，装入)操作。也就 是说，运输车16，其通过夹具24夹住FOUP17并在工艺间轨道ll上 行进，停止在与上面将要放置FOUP 16的支架装置13相对的位置。接下来，运输车16借助电动机等通过旋转巻轴巻起起重带21。这时，运输车16使夹持FOUP 17的夹持机构22,向下移动到上面将要放置 FOUP 17的固定支架板25的高度的位置。之后，滑动机构23伸长或 展开，以便FOUP17移动到固定支架板25正上方的位置，其中通过释 放夹具24使FOUP 17放置到支架装置13上。接下来，将参考图3与图1 一起说明另一实施例中的运输车16和 支架装置13。图3示出了另一个实施例中的、在运输车16相对于支架 装置13的所希望位置转移FOUP 17的这种情形下的、运输车16和支 架装置13。上述说明是FOUP 17相对于支架装置13的转移原理(即，载入 和载出)。在转移时，可以是FOUP17被转移到远离运输车16正下方 位置的支架装置13的情形，或是较重的FOUP被运输到支架装置13 的情形。也就是说，另一实施例中的运输系统提供有如下所述的"姿态 保持装置"，以实现稳定的转移操作，即便在滑动机构23伸长到更远位 置的这种情形下、或在当滑动机构23展开时夹持较重FOUP的这种情 形下。在图3中，本实施例中的运输系统提供有姿态(即，姿势或平衡) 保持装置，其不同于图2中所示的运输系统。姿态保持装置提供有-设置到夹持机构22的杆30;和设置到固定支架板25上的闩锁部31。 杆30设置到夹持机构22的上部，以便当滑动机构23伸长时，杆30 与固定支架板25的闩锁部31啮合，所述闩锁部31设置在转移目标的 固定支架板25的正上方。由此，通过将运输车16固定到支架装置13 来实现姿态保持。在下文，参考图3说明借助姿态保持装置的、夹持FOUP17的夹 持机构22的姿态保持操作。在图3中，运输车16停止在与支架装置13相对的位置，使夹持 FOUP 17的夹持机构22向下移动到上面将要放置FOUP 17的固定支架 板25的位置A的位置。之后，滑动机构23伸长，并且使杆30朝着支 架装置13送出。此时，杆30与在位置B的固定支架板25的闩锁部 31啮合，闩锁部31位于转移目标的位置A处的固定支架板25的正上 方。借此稳定住夹持机构22 (即，保持夹持机构22的姿态、姿势或平 衡)，即便在滑动机构23伸长到更远位置的这种情况下、或者在滑动 机构23展开时夹持较重FOUP 17的这种情况下，都能够稳定地转移 FOUP 17。接下来，将参考图4A至图8B说明具有本实施例的杆和闩锁部的 "姿态保持装置"的各个实例。图4A、 5A、 6A、 7A和8A中每个是姿态 保持装置的透视图，而图4B、 5B、 6B、 7B和8B分别是对应的侧视图。在图4A和4B中，姿态保持装置提供有一组突出杆40和一组杆 支撑体44。突出杆40的每个都具有杆构件。杆支撑体44的每个都具 有杆构件，在每个杆支撑体中，在输入夹持机构22的一侧处，凹部48 垂直形成在固定支架板25的边缘部分。当滑动机构23伸长时，突出 杆30中的每个都从由图4A和4B中的一串双虚线指示的位置水平伸出 到由实线指示的位置。由于突出杆40与杆支撑体44啮合，所以夹持 机构22稳定或固定到支架装置13上。在图5A和5B中，姿态保持装置提供有一组旋转杆41和一组闩 锁住或锁定住旋转杆41的杆支撑体45。杆支撑体45的每个都具有杆 构件，在每个杆支撑体中，在输入夹持机构22的一侧处，凹部49垂 直形成在固定支架板25的边缘部分，如同图4A和图4B中所示的杆支 撑体44的情况一样。另一方面，旋转杆41的每个都具有杆构件(如 同图4A和4B中所示的突出杆40的情况一样)，其一端旋转地固定到 夹持机构22并且以半圆形状半旋转。这与将要水平伸出的突出杆40 形成对比。也就是说，旋转杆41的每个都以作为支点的、可旋转固定到夹持机构22的端部划出半圆形，从由图5A和5B中的一串双虚线指 示的位置移动到由实线指示的位置。由于旋转杆41与杆支撑体45啮 合，所以夹持机构22稳定或固定到支架装置13上。在图6A和6B中，姿态保持装置提供有一组插入杆42和一组管 杆支撑体46。插入杆42的每个都具有圆柱形的杆构件。管杆支撑体 46的每个都具有形成中空空间的管构件。当滑动机构23伸长或张开时， 每个插入杆42都从由图6A和6B中的一串双虚线指示的位置移动到由 实线指示的位置。当插入杆42的尖部分别插入到管杆支撑体46中时， 夹持机构22稳定或固定到支架装置13上。在图7A和7B中，姿态保持装置提供有一组抽吸杆(absorbing and sucking rod) 43和一组杆支撑体47。抽吸杆43的每个在其尖部具有电 磁发电机、吸管等，并且杆支撑体47的每个在其边缘或凹面都具有磁 体、平滑表面等，反之亦然。因此，抽吸杆的每个都被闩锁到或锁定 到承受杆或吸持杆43每个的尖部。在图8A和8B中，在固定支架板25足够厚的情况下， 一对插入 部分52可包括一对孔52，它们形成在固定支架板25的表面，在夹持 机构22进入的地方，S卩，在面向的一对突出杆51的表面处。接下来，将参考图9和图IO说明对比示例，以显示出本实施例的 有利特征。图9和图IO分别示出了对比示例。在图9中，对比示例的支架装置13c具有滑动支架板50，其能在 固定支架板25上滑动。在该情况下，通过将起重带21的移动和滑动 支架板50的移动连接起来，容易执行转移到支架装置13c的操作和从 支架装置13c转移的操作。然而，在图9的该对比示例中，由于对于每个滑动支架板50都需要包括传动装置、驱动电动机等等的驱动机构，所以支架装置13c的成 本变得非常高。而且，仅仅一个滑动支架板50的故障就会导致支架装置13c的总体故障，其必定会使支架装置13c的可靠性退化。与此相反， 本实施例的支架装置13具有高可靠性、较低成本的优点，这是因为仅 需要一个滑动机构23执行转移操作并且因为支架装置13的结构相对 简单。在图10中，对比示例的支架缓冲器13d非常简单。在该情况下， 运输车通过行进机构60在轨道20上行进。运输车的提升机构63通过 滑动机构62滑动并且通过定位机构61停止和定位。提升机构63在轨 道20正下方的位置和轨道20的侧向位置之间滑动，以便夹持机构22 可以直接接近支架缓冲器13d的端口。然而，在图10的该对比示例中，夹持机构22不能直接接近高度 彼此不同的支架。与此相反，本实施例的支架装置13具有夹持机构22 可以直接接近位于各种高度的支架装置13的端口之一的优点。本发明可具体化为其它具体形式，而不脱离其精神或基本特征。 因此认为本实施例在各个方面都是示例性的且不是限制性的，本发明 的范围由所附的权利要求指示而不是前述的说明，并且因此落入权利 要求的意思和等同范围内的各种变化都指的是包含在其中。
权利要求
1.一种悬挂型运输车(16)，包括夹持机构(22)，用于夹持被运物体(17)；提升机构(21)，用于提升所述夹持机构；以及行进机构(60)，在其上以悬挂的状态安装有所述提升机构，该行进机构(60)用于在安装于天花板上的或天花板附近的轨道(20)上行进，所述夹持机构包括(i)伸长收缩装置(23)，其能够水平地伸长和收缩，以及(ii)夹持装置(24)，其被设置在所述伸长收缩装置的顶部分，用于选择性地夹持所述被运物体。
2. 根据权利要求l的悬挂型运输车(16)，其中 所述夹持机构(22)进一步包括主体(22m)，其被通过所述提升机构提升，以及所述伸长收縮装置(23)能够相对于所述主体水平地伸长和收縮。
3. 根据权利要求1或2的悬挂型运输车(16)，进一步包括 姿态保持装置(40至47， 51和52)，其以可分离的方式使所述夹持机构(22)的一部分和支架装置(13)的支架板(25)的一部分彼 此固定，用于相对于所述支架装置来保持或稳定所述夹持机构的姿态。
4. 一种运输系统，包括(I)悬挂型运输车(16)，包括 夹持机构(22)，用于夹持被运物体(17); 提升机构(21)，用于提升所述夹持机构；以及 行进机构(60)，在其上以悬挂的状态安装有所述提升机构，该行进机构(60)用于在安装于天花板上的或天花板附近的轨道(20)上行进，所述夹持机构包括(i) 伸长收縮装置(23)，其能够水平地伸长和收縮，以及(ii) 夹持装置(24),其被设置在所述伸长收縮装置的顶部分， 用于选择性地夹持所述被运物体，以及(II)支架装置(13)，其具有多个支架板(25)，该多个支架板 以垂直的方式布置在彼此不同的高度，用于临时储存被运物体。
5. 根据权利要求4的运输系统，进一步包括姿态保持装置(40至47， 51和52)，其以可分离的方式使所述夹 持机构(22)的一部分和所述支架板(25)的一部分彼此固定，用于 相对于所述支架装置(13)来保持或稳定所述夹持机构的姿态。
6. 根据权利要求5的运输系统，其中，所述姿态保持装置(40至47， 51和52)包括在所述夹持机构(22) 上的杆部(40至43和51)和在所述支架板(25)上的闩锁部(44至47 和52)，以使得所述杆部与所述闩锁部啮合。
7. 根据权利要求6的运输系统，其中，当在所述夹持机构(22)和所述支架板(25)的一个板之间转移 被运物体(17)的情况下，所述杆部(40至43和51)与所述支架板的 另一板的所述闩锁部(44至47和52)啮合，其中所述另一板是位于所 述一个板的正上方。
8. 根据权利要求6或7的运输系统，其中所述杆部(40至43和51)能够朝着所述闩锁部(44至47和52) 以相对于所述夹持机构(22)伸长或旋转，以使得在所述杆部在预定 方向上伸长或旋转之后，所述杆部的头部与该闩锁部啮合。
全文摘要
一种悬挂型运输车(16)，其设置有夹持机构(22)，用于夹持被运物体(17)；提升机构(21)，用于提升所述夹持机构；以及行进机构(60)，在其上以悬挂的状态安装有所述提升机构，该行进机构(60)用于在安装于天花板上的或天花板附近的轨道(20)上行进。所述夹持机构设置有(i)伸长收缩装置(23)，其能够水平地伸长和收缩，以及(ii)夹持装置(24)，其被设置在所述伸长收缩装置的顶部分，用于选择性地夹持所述被运物体。
文档编号H01L21/677GK101276773SQ200810085259
公开日2008年10月1日 申请日期2008年3月10日 优先权日2007年3月9日
发明者村田正直 申请人:日本阿西斯特技术株式会社