专利名称：硅片装卸装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池鄉莫生产中的一种工装夹具，尤 及晶体硅太
阳能敏ife^面MP工序中用于硅片存取的^S。
技术背景-
在晶体硅太阳能电池^过程中，都需在晶体硅太阳能电 M面制备一层M^I寸膜， 现在流行的工艺是用PECVD方法在硅片表面镀覆一层氮化磁莫，国内4OT的PECVD设 备多数是德国roUi-mu公司生产的平板式PECVD设备。在该设备中用于装载硅片进行镀 膜的工装为石Wh其结构如附图1~2戶标，它为一个板状的框格结构，在板状框架上 等间魁也设有36个方孔2，孑L与孑Lt间由筋条3隔开，四周边1形^I架，方孔2用于 方爐硅片，在旨方 L 2的左右两侧各设有限位钩4，它们能限定硅片上下、左右的自 由度；在前后两侧各设有两根限位丝5，用于限定硅片前后方向的自由度。方孔2的大 小与硅片相对应，在針方孔内方iA—片硅片，放满后il31t匡架上的车爐6滑入鄉莫设 备进行!鹏，这种石墨舟在硅片的方iOm出时，操作员都必须细心地用吸笔戯他手 工工具准确操作，稍不留意硅片就会与框架磨擦，导致硅片四周缺口，严重时会使硅片 破裂，这是硅片,MI序中的产生废品太多的一个工序，它是影响晶体硅太阳能电池生 产成本的主要因素之一。
实用亲腿内容
为克服现有石墨舟在存取硅片时所存在的战不足，本实用新型掛共了一种与石墨
舟配割OT的硅片装卸装置。它与现有石墨舟配套使用，不仅简化了硅片在石墨舟上的 存取，避免硅片与框粒间的摩擦，大幅度斷氐了硅片在^Mil程中所产生的缺口或
碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，陶氐了妒赫，提高了生产效率。
本实用新i^f^硅片装卸装置由底板21、石 定位块22、顶形十23组成，石墨 舟定位±央22固定械板21上，在石m定位土央22与底板21之间设有与滑轨6禾目X寸应 的滑辦曹24，戶腿顶^B十23分布4tt21的上端面，在与石飘上方孔2相对应的位 置范围内均匀分布^F根顶托针23，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针23的高度 略高于石 的上端面。
将石墨 ^硅片装卸，上，石墨舟由石墨舟定{立块限位，固定 ^1的顶 描十与石驗的方 L相对应，方孔中的硅片则由顶报十自动顶出；同样，硅片在存放时 可直接放在顶报十上，当将石墨 直升起后，硅片自动放在方孔内，这样不仅简化了 硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度斷氐了硅片在15^31程中 所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产] ，提高 了生产效率。
图l、图2为石 的结构示意图1为石TOft视图；图2为石 的局部音舰其中l-四周边；2-方孔；3-筋条丰限位钩；5-限位丝；6-滑轨； 21德；22-石餅定位块；23-顶微；24~滑辦曹。
具体实施旅
以下结合附图举例说明本实用新型的具体实施方式
。
实施例1:石墨舟的结构如附图1~2所示，它为一个板状的職结构，在板状框架 上等间跟也设有36个方孔2，孑L与孑L^间由筋条3隔开，四周边l形鹏架，方孔2用 于方爐硅片，在齡方孔2的左右两侧各设有限位钩4，它们能限定硅片上下、左右的 自由度；在前后两侧各设有两根P艮鹏5，用于限定硅片前后方向的自由度，方孔2的 大小与硅片相对应，在齡方孔内駄一片硅片。
戶;M硅片装卸装置如图34所示，它由底板21、两个石m定位块22、 一佰^l别根 顶形十23纟賊，两个石墨舟定位块22分别固定舰板2lJ^E侧面和前面上，在石墨舟 定位±央22与底板21之间设有与滑轨6相对应的滑轨槽24， 一佰萄别根顶形十23分成三十六个单元，齡单元由三根顶 B十23，它们呈等腰三角形分布，所有顶 Bf 23都 固定 板21的上端面，^单元内的三根顶托针23与石墨舟上方孔2相X寸应，顶托 针23的高度为当石驗安放在硅片装卸器上后顶JB十23的高度略高于石 的上端 面。
本实用新型的i顿方法将石飘方爐在硅片装卸驢上，使石驗的左侧面和前
面分别紧贴两个定位块22，此时，石墨舟上的左右两滑轨6分别位于滑轨槽24内，硅 片装卸装置上顶 B十能将石墨舟方孔中的硅片则自动顶出；同样，硅片在存放时可直接 放在顶JB十上，当将石墨 1^"起后，硅片自动放在方孔内，这样不仅简化了硅片在 石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度斷氐了硅片在取方j(31程中所产生 的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产 效率。
在上例中，在旨方孔内设置了三t!M等腰三角形分布的顶托针，在其内均匀设置 3根以上也可。
权利要求1、一种硅片装卸装置，其特征是它由底板(21)、石墨舟定位块(22)、顶托针(23)组成，石墨舟定位块(22)固定在底板(21)上，在石墨舟定位块(22)与底板(21)之间设有与滑轨(6)相对应的滑轨槽(24)，所述顶托针(23)分布在底板(21)的上端面，在与石墨舟上方孔(2)相对应的位置范围内均匀分布若干根顶托针(23)，顶托针(23)的高度为当石墨舟安放在硅片装卸装置上后，顶托针(23)的高度略高于石墨舟的上端面。
2、 根据权利要求l所述硅片装卸装置，其特征是在与石墨舟上方孔(2) 相对应的位置范围内均匀分布3根以上顶托针(23)。
专利摘要一种硅片装卸装置，它由底板、石墨舟定位块、顶托针组成，石墨舟定位块固定在底板上，在石墨舟定位块与底板之间设有与滑轨相对应的滑轨槽，所述顶托针分布在底板的上端面，在与石墨舟上方孔相对应的位置范围内均匀分布若干根顶托针，当石墨舟安放在硅片装卸器上后顶托针的高度略高于石墨舟的上端面。它与现有石墨舟配套使用，不仅简化了硅片在石墨舟上的存取，避免硅片与框架之间的摩擦，大幅度降低了硅片在取放过程中所产生的缺口或碎裂，提高了硅片在PECVD工序中的成品率，降低了生产成本，提高了生产效率。
文档编号H01L21/677GK201072754SQ20072017525
公开日2008年6月11日 申请日期2007年8月29日 优先权日2007年8月29日
发明者刘志刚, 荀建华 申请人:荀建华;刘志刚