专利名称：晶片分选搬运机构装置的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种对晶片分选的搬运机构装置，尤其是srad薄型和超小型晶片的 分选搬运装置。
二背景技术：
随着通讯设备、手机、电脑、家电及网络等应用电子产品市场的飞速发展，石英晶 体元器件的市场需求日益增长，SMD薄型和超小型晶片的厚度甚至在0.1毫米以下，长与 宽最小尺寸是卜2毫米，无法采用传统的测量方法进行分选。
本申请人已经申请过对晶片自动测量的系统，例如中国专利CN00240759.0石英晶 片自动定位测频分选装置、CN03278891.6片式压电陶瓷及相关器件自动定位测试装 置。现有的晶片分选设备采用动态的晶片转移方式经过螺旋送料器将零散的晶片排列 后送到直线送料器，通过振荡器等测量装置进行测量。得到的信号经过计数器后送到计 算机内处理。计算机根据计数的结果处理后，通过显示器显示结果并控制下料部分，将 晶片送入设定的料盒内。这种动态转移容易造成晶片的叠片、冲片现象，无法对晶片， 尤其是smd薄型和超小型晶片进行准确的测量，从而造成整个系统的测试质量不能保证， 工作效率低下。因此针对smd薄型和超小型晶片的搬运需要专用的分选搬运装置。
三、 发明内容
本实用新型目的是提出一种smd薄型和超小型晶片的分选测试过程中专用的搬运 装置，从属于smd薄型和超小型晶片的自动测试分选装置，实现晶片的准确、快速、可 靠的自动运送，满足后道工序的要求，提高整个设备的测试精度。
本实用新型的技术方案是晶片分选搬运机构装置，由机械手、步进电机、同步轮、 机械手臂、高精度滑块、第一连接块(连接块A)、第二连接块(连接块B)、直线轴承、 连接支架、外侧板、负压吸头构成，步进电机驱动同步轮，机械手臂装在同步轮轴上， 机械手臂轴承固定在连接块A上，连接块A与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架 相连，连接块A在高精度滑块的坚直轨道上滑动，高精度滑块的后端固定在连接块B上， 连接块B在直线轴承上滑动，直线轴承固定在外侧板上。步进电机驱动同步轮，机械手 臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动，带动高精度滑块上下运动、连接块B在直 线轴承上左右运动，同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。
所述机械手是吸合晶片的负压吸头，然后通过分度盘转移晶片至相应工位进行各种 参数的测量。所述机械手绕轴做180度的圆弧运动，执行将0度位置的晶片搬运至180度 位置。机械手圆弧运动的起始角度由两个光电传感器控制。机械手到达O度位置时，光 电传感器控制其停止运动，吸取晶片；机械手到达180度位置时，光电传感器控制其停 止运动，放下晶片。
本实用新型机构是用于测量前的晶片搬运结构功能装置，即将上道工序传送的晶片 通过机械手准确、可靠、安全地转移到下道工序的分度盘上，分度盘带晶片移位至测量
工位进行测量。本实用新型机构可以方便完成此工序。
本实用新型的有益效果是本装置机械传动精度高，定位准确，工作可靠，且结构
简单，调节方便，是整个分选工作流程的一个有机环节。采用机械手搬运，避免晶片传 送中的冲片、双片现象，保证了晶片的单片测试,从而增强整机工作的稳定性、可靠性。
四
图l是本实用新型后面结构示意图、
图2是本实用新型前面结构示意图
1、步进电机，2、同步轮A， 3、同步皮带，4、同步轮B， 5、张紧轮，6、吸头连 接支架，7、吸头，8、机械手臂，9、直线轴承，10、滑块，11、光电传感器，12、外 侧板，13、底座，14、连接块A即第一连接块，15、连接块B即第二连接块。
五具体实施方式
如图1所示，设有一个独立的机械手搬运装置，构成晶片从分选至自动搬运并精确 测量。由步进电机l通过第一同步轮(同步轮A) 2、同步皮带3驱动第二同步轮(同步 轮B) 4 ,并设有张紧轮5保证同步，机械手臂装在同步轮轴B上，机械手臂轴承固定在 连接块A上，连接块A与高精度滑块的前端和固定机械手即吸头7的连接支架7相连，高精 度滑块10在连接块A14的坚直轨道上滑动，高精度滑块的后端固定在连接块B上，连接块 B15在直线轴承9上滑动，直线轴承固定在外侧板上。机械手的180度的圆弧动作由步进 电机驱动完成。步进电机逆、顺时针180度转动，其轴上的同步轮A通过皮带带动同步轮 B旋转，同步轮B轴上的机械手臂就绕轴180度往复转动，并带动固定其上的高精度滑块 上下动作、滑块后端的连接块B在直线轴承上左右运动，而机械手则做圆弧运动吸、放 晶片。负压吸头通过气管连接到电磁阀，电磁阀对进出气方式进行控制。在O度位置时， 电磁阀控制吸头产生负压，负压真空度达到设定值后，机械手吸取晶片；在180度位置 时，电磁阀控制吸头产生正压，机械手放下晶片，关闭吸头的正压。
螺旋送料器将散乱的待测晶片进行有序排队，输送至直线送料器的末端，当固定 在直线送料器末端的负压传感器感应到有晶片时，通过接口电路发出信号控制直线送料 器停止振动，此时，单片机程序控制机械手吸片，机械手自等待位置向下弧线运动至直 线送料器末端，光电传感器控制其停止运动，吸取晶片，接着向上做180度圆弧运动至 分度盘放片工位，光电传感器控制其停止运动，放下晶片，然后机械手继续圆弧运动至 等待位置，等待吸取下一个晶片，如此往复。而分度盘上的晶片继续移位至测试位置， 进行频率等参数测量。
权利要求1、晶片分选搬运机构装置，其特征是由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、第一连接块(14)、第二连接块(15)、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成，步进电机驱动同步轮，机械手臂装在同步轮轴上，机械手臂轴承固定在第一连接块上，第一连接块与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架相连，第一连接块在高精度滑块的坚直轨道上滑动，高精度滑块的后端固定在第二连接块上，第二连接块在直线轴承上滑动，直线轴承固定在外侧板上；步进电机驱动同步轮，机械手臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动，带动高精度滑块上下运动、第二连接块在直线轴承上左右运动，同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。
2、 根据权利要求l所述的晶片分选搬运机构装置，其特征是步进电机的第一同步轮 (2)上方设有一大的第二同步轮(4)，它们通过同步皮带(3)相连；第二同步轮的轴上设有一绕轴转动的机械手臂。
3、 根据权利要求l所述的晶片分选搬运机构装置，其特征是所述机械手是吸合晶片的负压吸头。
专利摘要晶片分选搬运机构装置，由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、连接块A、连接块B、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成，步进电机驱动同步轮，机械手臂装在同步轮轴上，机械手臂轴承固定在连接块A上，连接块A与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架相连，连接块A在高精度滑块的坚直轨道上滑动，高精度滑块的后端固定在连接块B上，连接块B在直线轴承上滑动，直线轴承固定在外侧板上。步进电机驱动同步轮，机械手臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动，带动高精度滑块上下运动、连接块B在直线轴承上左右运动，同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。
文档编号H01L21/67GK201185186SQ200720130899
公开日2009年1月21日 申请日期2007年12月12日 优先权日2007年12月12日
发明者孙迎春, 徐华军, 谢金才, 钟丹秋 申请人:南京熊猫仪器仪表有限公司