专利名称：光纤激光束处理装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种使用光纤(fiber)激光束来执行激光束处理的激光束处理装置。
背景技术：
传统上，已知具有光纤结构的激光器，其通过使用激发光束光学地泵浦其包括发光元素的芯来振荡并输出具有预定波长的原始激光束，因此被称为“光纤激光器”。因为光纤激光器使用很长的芯来作为其工作介质(activemedium)，因此，光纤激光器可以振荡并输出具有小光束直径和小光束发散角的激光束(光纤激光束)。另外，当光线在长光路上传播时，在被注入到光纤中的激发光束通过多次通过芯而完全消耗其激发能量，因此，可以以非常高的振荡效率来产生光纤激光束。另外，对于光纤激光器，光纤激光束的光束模式非常稳定，这是因为光纤的芯不产生热透镜效应。
传统的光纤激光束处理装置设置对应于期望的激光输出的用于激发的电流值，并且激光器电源向诸如激光二极管(LD)的激发光源提供对应于已被设置的电流值的激发电流。因为可以任意选择光纤激光器的光纤长度，因此将光纤激光器的输出端终端置于处理地点，并且通过聚光光学系统将从光纤激光器振荡和输出的光纤激光束直接施加到要处理的工件上的处理点。
但是，传统的光纤激光束处理装置由于激发LD的老化、波长偏移等的影响而具有其不稳定的激光输出的方面。因此，激光束处理的重复性和可靠性差。因为光纤激光器也容易受到热、振动、环境光等的影响，因此已经出现了以下问题，即光纤激光器趋向于发生激光器振荡性能的恶化、其部件(用于振荡的光纤、光学谐振腔等)的损坏、老化等。
发明内容
考虑到上述传统技术问题而构想了本发明，并且本发明的目的是提供一种光纤激光束处理装置，其改善了光纤激光输出的稳定性，并且作为结果，改善了激光束处理的重复性和可靠性。
本发明的另一目的是提供一种光纤激光束处理装置，其被适配用来通过减小从处理地点处的干扰对光纤激光器或光纤激光振荡器施加的影响，来防止激光器振荡性能的恶化以及振荡光纤的损坏和老化。
为了实现上述目的，根据本发明的第一方面，提供了一种光纤激光束处理装置，包括用于振荡的光纤，包含含有发光元素的芯和包围所述芯的包层；泵浦单元，用来向用于振荡的光纤的芯提供激发光束；电源单元，其接通和驱动泵浦单元，以便使用于振荡的光纤振荡和输出具有预定波长的激光束；激光束辐射单元，其对由用于振荡的光纤产生的激光束进行聚光，并且将其施加到要处理的工件上的处理点上；设置单元，其设置激光束的激光输出的期望基准值或期望基准波形；激光输出测量单元，其测量由用于振荡的光纤振荡和输出的激光束的激光输出；以及控制单元，其控制电源单元，使得从激光输出测量单元获得的激光输出测量值等于所述基准值或基准波形。
为了实现上述目的，根据本发明的第二方面，提供了一种光纤激光束处理装置，包括光纤激光振荡器，其具有光纤结构，其使用包含发光元素的芯作为工作介质，通过使用预定激发光束光学地泵浦所述芯而振荡和输出具有预定波长的激光束；激光束辐射单元，其向要处理的工件上的处理点辐射由光纤激光振荡器振荡和输出的激光束；激光输出测量单元，其测量由光纤激光振荡器振荡和输出的激光束的激光输出；以及激光器电源单元，通过反馈从激光输出测量单元获得的激光输出测量值来控制由光纤激光振荡器使用的激发光束的输出。
在本发明的光纤激光束处理装置中，通常根据实时功率反馈控制、对应于期望基准值或期望基准波形来精确地稳定由振荡光纤或光纤激光振荡器产生的光纤激光束的激光输出(功率)。因此，即使在出现电源单元输出的变化、泵浦单元的老化、波长偏移等的任何一个时，也可以稳定地和精确地执行波形的任意控制，并且可以改善激光束处理的重复性和可靠性。
根据本发明的一个优选方面，由振荡光纤或光纤激光振荡器产生的光纤激光束被注入到传送光纤中，并且被传送给处理地点处的激光束辐射单元。根据这一配置，光纤激光束的光束模式和激光输出都是稳定的。因此，向传送光纤上的会聚可以是非常好的，并且所述注入和辐射数值孔径(NA)可以是稳定的。因此，允许高精度和高效率的光纤传送，并且可以改善远程激光束处理的质量。另外，可以远离处理地点而放置振荡光纤或光纤激光振荡器，因此可以保护光纤激光振荡器不受诸如热、振动、环境光等的干扰。
根据另一优选方面，提供了一对谐振腔反射镜，它们通过振荡光纤的芯而光学地彼此面对，并且泵浦单元具有激光二极管，其发射激发光束；光学透镜，其将来自激光二极管的激发光束会聚到振荡的光纤的端面上。
根据本发明的光纤激光束处理装置，根据上述配置和行为，可以改善光纤激光输出的稳定性，并且作为结果，可以改善激光束处理的重复性和可靠性，另外，通过减小从处理地点处的干扰对光纤激光器或光纤激光振荡器施加的影响，可以防止激光器振荡性能的恶化以及振荡光纤的损坏和老化。
图1示出了根据本发明实施例的激光束处理装置的配置；以及图2示出了在该实施例中的激光束处理装置的激光器电源单元中的配置的方框图。
具体实施例方式
下面将参照附图来给出对本发明优选实施例的描述。
图1示出了根据本发明实施例的光纤激光束处理装置的配置。该光纤激光束处理装置被配置为包括光纤激光振荡器10、激光器电源单元12、激光束注入单元14、光纤传送系统16、激光束辐射单元18、处理台18等。
光纤激光振荡器10包括用于振荡的光纤(以下称为“振荡光纤”)22；电光泵浦单元24，其将用于光泵浦的激发光束MB施加到振荡光纤22的端面上；以及一对光学谐振腔反射镜26和28，其通过振荡光纤22而光学地彼此面对。
电光泵浦单元24包括激光二极管(LD)30和用于对光束进行聚光的光学透镜32。LD30被来自激光器电源单元12的激发电流导通和驱动，并且振荡和输出用于激发的激光束MB。光学透镜32对来自LD30的用于激发的激光束MB进行聚光并且将其注入到振荡光纤22的端面上。被布置在LD30和光学透镜32之间的光学谐振腔反射镜26被适配为透射从LD30注入的用于激发的激光束MB、以及在谐振腔的光轴上全反射从振荡光纤22注入的激发光束。
虽然省略了图解，但是振荡光纤22包括被掺杂有例如稀土元素的离子作为发光元素的芯以及同轴地围绕所述芯的包层，并且使用所述芯作为其工作介质以及使用所述包层作为激发光束的传播光路。受到包层外圆周界面上的全反射限制，如上所述被注入到振荡光纤22的端面上的激发激光束MB在振荡光纤22中沿轴向传播，并且通过在传播期间多次通过所述芯而光学地激发所述芯中的稀土元素离子。以这种方式，从芯的两个端面沿轴向发射具有预定波长的振荡光束。该振荡光束在光学谐振腔反射镜26和28之间多次往返，由此被谐振放大，并且，从由部分反射镜组成的所述一对的光学谐振腔反射镜28获得具有所述预定波长的光纤激光束FB。
在光学谐振腔中，光学透镜32和34将从振荡光纤22的端面发射的振荡光束准直为平行光束，将该平行光束引导到光学谐振腔反射镜26和28，并且在振荡光纤22的端面上对由光学谐振腔反射镜26和28反射和返回的振荡光束进行聚光。已经通过振荡光纤22的用于激发的激光束MB透射过光学透镜34和光学谐振腔反射镜28，并且随后被指向该侧的激光吸收器38的返回反射镜36返回。从光学谐振腔反射镜28输出的光纤激光束FB直接透射过返回反射镜36，通过分束器40，并且进入激光束注入单元14。
分束器40反射被注入到预定方向、即被注入到用于监控功率的光接收元件(例如光电二极管(PD)42)的光纤激光束FB的一部分(例如百分之一)。可以在光电二极管(PD)42的前面布置用于对来自分束器40的反射光束或者监控器光束RFB进行聚光的聚光透镜44。
光电二极管(PD)42对来自分束器40的监控器光束RFB进行光电转换，输出指示光纤激光束FB的激光输出(峰值功率)的电信号(激光输出测量信号)SFB，并且将这个信号SFB发送到激光器电源单元12。
已经进入激光束注入单元14的光纤激光束FB被弯镜(bent mirror)46偏转到预定方向，被注入单元48中的聚光透镜50聚光，并且被注入到光纤传送系统16的用于传送的光纤(以下称为“传送光纤”)52的端面上。传送光纤52包括例如SI(阶跃指数)型光纤，并且向激光束辐射单元18的辐射单元54传送被注入在注入单元48中的光纤激光束FB。
辐射单元54包括准直透镜56，其将已经从传送光纤52的端面离开的光纤激光束FD准直为平行光束；以及聚光透镜58，其将作为平行光束的光纤激光束FB聚光在预定的聚焦位置上，并且对光纤激光束FB进行聚光并将其施加到要加工的工件60上的处理点W上。
例如，在激光束焊接的情况下，从激光器电源单元12向LD30提供具有脉冲波形的激发电流，由此，从LD30向光纤激光振荡器10中的振荡光纤22提供具有脉冲波形的激发激光束MB，由此，具有脉冲波形的光纤激光束FM被振荡并从光纤激光振荡器10输出。具有脉冲波形的光纤激光束FM通过激光束注入单元14、光纤传送系统16和激光束辐射单元18，并且被聚光和施加到要处理的工件60上的处理点W上。在处理点W处，要加工的材料被具有脉冲波形的光纤激光束FB的能量熔化，并且在施加脉冲之后凝固和形成熔核(nugget)。
在所述实施例的光纤激光束处理装置中，光纤激光振荡器10使用振荡光纤22作为工作介质，所述振荡光纤22包括具有大约10μm直径和大约几米长度的伸长的芯，因此，光纤激光振荡器10可以振荡并且输出具有小光束直径和小光束发散角的光纤激光束FB。另外，当被注入振荡光纤22的端面中的激发激光束MB在振荡光纤22中的几米长的长光路上传播时，该光束MB通过多次通过所述芯而完全消耗其激发能量，因此，振荡器10可以以很高的振荡效率来产生光纤激光束FB。光纤激光振荡器10的光束模式很稳定，因为振荡光纤22的芯不产生热透镜效应。如下所述，通常根据实时功率反馈控制、精确地对应于期望基准值或期望基准波形来稳定光纤激光束FB的激光输出。
如上所述，因为光束模式和激光功率都是稳定的，因此在激光束注入单元14和激光束辐射单元18中，光纤激光束FB向传送光纤52上的会聚非常好，并且注入和辐射数值孔径(NA)是稳定的。因此，允许高精度和高效率的光纤传送，并且可以改善激光束处理的质量。
通过使传送光纤52介于光纤激光振荡器10和处理地点处的激光束辐射单元18之间，可以防止光纤激光振荡器10受到在处理地点存在或产生的干扰，例如振动、热、环境光等。虽然来自处理点W的反射光束可以通过激光束辐射单元18、光纤传送系统16和激光束注入单元14返回光纤激光振荡器10，但是，可以通过使振荡光纤22的数值孔径(NA)大于传送光纤46的数值孔径(NA)来将返回光束限制在振荡光纤22中，因此，(在没有将NA设置得过大的情况下)可以防止由于返回光束导致的振荡光纤22的破损。
在光纤激光束处理装置中，光纤激光振荡器10(具体是LD30和振荡光纤22)、激光器电源单元12、PD42和控制板62配置功率控制机构，以便实时地对光纤激光束FB的激光输出进行反馈控制。
图2示出了在激光器电源单元12内部的配置。如所示出的那样，激光器电源单元12被提供有DC电源64，其向LD30提供激发电流ILD；和控制单元66，用来控制激发电流ILD。DC电源64包括例如变压器、整流电路、变换电路等，并且被配置为被输入商用AC，并且输出DC LD驱动电流或者DC激发电流ILD。
控制单元66包括开关元件68，其越过DC电源64而串联连接到LD30；开关控制单元70，其以例如脉冲宽度调制(PWM)的方式来控制开关元件68的切换；向开关控制单元70提供各种设置值和反馈控制信号的电路，等等。
激光输出设置单元72保留或者输出已经作为功率反馈控制的基准值或者基准波形Ref而从控制板62输入的、用户期望的激光输出设置值或设置波形。激光输出测量电路74基于从用于监控功率的PD42发送的电信号(激光输出测量信号)SFB获得实时指示光纤激光束FB的激光输出的激光输出测量值MFB。比较电路76将由激光输出测量电路74获得的激光输出测量值MFB与来自激光输出设置单元72的基准值或基准波形Ref相比较，产生表示它们之间的差的比较误差δ，并且通过切换电路78来向开关控制单元70提供该比较误差δ。
开关控制单元70以PWM的方式来控制开关元件(例如晶体管)的切换，使得由比较电路76产生的比较误差δ接近0，即，激光输出测量值MFB等于所述基准值或基准波形Ref。
在激光器电源单元12中，向其提供了检测激发电流MFB的电流传感器80和反馈激发电流MFB的测量电流值的电流测量电路82来作为电流反馈控制电路，以便在启动所述装置时稳定LD30的输出。切换电路78在开始启动光纤激光振荡器10之后立即选择电流反馈控制，并且在光纤激光束FB的激光输出被稳定之后切换到功率反馈控制。
基准电流设置单元84设置用于电流反馈控制的基准电流值。待机电流电路86用于设置当振荡器10待机时要流向LD30的偏置电流。选择电路88在振荡器10待机时向开关控制单元70提供偏置电流设置值，并且在正在启动振荡器10时向开关控制单元70提供基准电流值。
控制箱62构成人机接口，包括诸如键盘等的输入单元和诸如LCD显示器等的显示单元，并且还包括计算电路等，以进行条件设置。例如，当用户设置和输入期望的激光能量值时，控制箱62将所述激光能量设置值转换为激光输出设置值。
在所述实施例中，即使在出现DC电源64的输出的变化、LD30的老化、波长的偏移等的任何一个时，也因为上述实时功率反馈控制起作用，所以从光纤激光振荡器10振荡和输出的光纤激光束FB的激光输出被保持在已经被设置的值上，并且根据所述设置来精确地执行任意波形控制。当并行操作多个光纤激光束处理装置时，不存在所述装置之间的激光功率的差别，并且可以将所有处理装置设置为具有相同的激光功率(或相同的激光能量)。因此，可以显著改善激光束处理的重复性和可靠性。
虽然如上所述已经给出了对优选实施例的描述，但是上述实施例并不限制本发明。在不背离本发明的技术精神和技术范围的情况下，本领域技术人员可以在其特定操作模式上对本发明进行各种修改和改变。
例如，在上述实施例中，光纤激光振荡器10和激光束辐射单元18通过光纤传送系统16(传送光纤52)而被光学地连接，并且如上所述保护光纤激光振荡器10以防止处理地点处的干扰。但是，可以使用这样的方式或配置，根据所述方式或配置，将从光纤激光振荡器10振荡和输出的光纤激光束FB直接地或者通过弯镜等发送到激光束辐射单元18，而不使用光纤传送系统16。
在光纤激光振荡器10中，对于电光泵浦单元24、光学谐振腔26和28、光学透镜32和35等，修改或部分省略是有可能的，并且可以使用施加相同功能和操作的其他部件。例如，虽然上述实施例使用一侧激发方案，其中根据所述方案，激发激光束EM被施加到振荡光纤22的一侧上，但是，可以使用双侧激发方案，根据该双侧激发方案，激发激光束被施加到在振荡光纤22两侧的端面上。另外，可以通过在光纤激光振荡器10中提供Q开关来产生Q开关脉冲的光纤激光束，在功率反馈控制环中，通过在激光器电源单元12中提供PD42，来自分束器40的监控光束RFB可以通过用于传送的光纤而被传送到激光器电源单元12中的PD42。
本发明的光纤激光束处理装置不限于用于激光焊接，而是可以被应用于诸如激光打标、钻孔和切割的激光束处理。
权利要求
1.一种光纤激光束处理装置，包括用于振荡的光纤，包含芯，包含发光元素，和包层，围绕所述芯；泵浦单元，用来向用于振荡的光纤的芯提供激发光束；电源单元，其接通和驱动所述泵浦单元，以便使用于振荡的光纤振荡和输出具有预定波长的激光束；激光束辐射单元，其对由用于振荡的光纤产生的激光束进行聚光并且将其施加到要加工的工件上的处理点；设置单元，其设置激光束的激光输出的期望基准值或期望基准波形；激光输出测量单元，其测量由用于振荡的光纤振荡和输出的激光束的激光输出；以及控制单元，其控制所述电源单元，使得从激光输出测量单元获得的激光输出测量值等于所述基准值或基准波形。
2.如权利要求1所述的激光束处理装置，还包括用于传送的光纤，用来向激光束辐射单元传送由用于振荡的光纤产生的激光束。
3.如权利要求2所述的激光束处理装置，还包括一对谐振腔反射镜，其通过用于振荡的光纤的芯而光学地彼此面对。
4.如权利要求1至3中的任一项所述的激光束处理装置，其中，泵浦单元包括激光二极管，其发射激发光束；和光学透镜，其将来自所述激光二极管的激发光束聚光到用于振荡的光纤的端面上。
5.一种光纤激光束处理装置，包括光纤激光振荡器，其具有光纤结构，使用包含发光元素作为工作介质的芯，通过使用预定激发光束光学地泵浦所述芯而振荡和输出具有预定波长的激光束；激光束辐射单元，其向要加工的工件上的处理点辐射由光纤激光振荡器振荡和输出的激光束；激光输出测量单元，其测量由光纤激光振荡器振荡和输出的激光束的激光输出；以及激光器电源单元，通过反馈从激光输出测量单元获得的激光输出测量值来控制由光纤激光振荡器使用的激发光束的输出。
6.如权利要求5所述的激光束处理装置，还包括传送光纤，用于向激光束辐射单元传送由光纤激光振荡器产生的激光束。
全文摘要
通过光纤激光振荡器、激光器电源单元、激光束注入单元、光纤传送系统、激光束辐射单元、处理台等来配置光纤激光束处理装置。由光纤激光振荡器振荡和输出的光纤激光束的一部分通过分束器而被用于监控的光电二极管接收。光电二极管的输出信号被发送到激光器电源单元。该电源单元接收作为反馈信号的光电二极管的输出信号，并且控制要提供给泵浦单元的激光二极管的驱动电流或激发电流，使得光纤激光束的激光输出等于设置值。
文档编号H01S3/00GK101025539SQ20071000380
公开日2007年8月29日 申请日期2007年1月17日 优先权日2006年1月17日
发明者松田恭, 岛田秀宽, 柳沼宏一, 田中慎吾 申请人:宫地技术株式会社