专利名称：减压干燥处理装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种使涂敷于基板(如用于液晶显示器的玻璃基板)表面的涂敷液(例如保护液)进行减压干燥而形成涂膜的装置。
背景技术：
在专利文献1中已公开了使溶剂从基板表面的涂敷液中挥发，即一定程度上使涂敷液干燥而形成涂膜的装置。
该专利文献1立足于下述点在减压状态下使溶剂从涂敷于半导体晶片表面的保护液挥发而形成的保护膜的厚度，因半导体晶片上方空间的大小而受影响，将配置在半导体晶片上方的整流板设为可以升降运动，根据真空腔室内的压力使上述整流板升降运动，从而控制保护膜的厚度。
专利文献1日本特开2003-168643号公报然而，如专利文献1中所记载那样，盛于基板表面的涂敷液和配置于其上方的整流板(顶板)之间的间隔，对被形成的膜的厚度及均匀性都造成影响。基于膜的均匀性而言，在不接触涂敷液的范围内，优选尽可能地减小涂敷液和整流板(顶板)间的距离。
另一方面，关于液晶显示器用玻璃基板，伴随着其尺寸的增加，将基板相对减压处理装置的腔室搬进、搬出的机械手的厚度尺寸也增加，如以往那样保持不变的话，机械手一旦进入腔室内，恐怕会发生机械手或玻璃基板与顶板的干扰。
而且，若基板的尺寸变大则顶板的尺寸也变大。其结果是，考虑到顶板的重量也变重，一部分垂下与涂敷液接触，所以很难将顶板和涂敷液(基板表面)间的间隔缩小至必要以上。
由此，由于不能将顶板和基板表面间的排气口的断面积缩小至必要以上，所以不能抑制排气能力，会因在大量排气下排气而使基板上的涂敷膜产生表面异物。
发明内容
为解决上述课题，本发明是将基板搬入腔室内后，使基板表面的涂敷液进行减压干燥的减压干燥处理装置，在腔室内设有基板载置部件、和相对该基板载置部件进行升降动作的顶板，此外，在上述腔室的侧面设有用于使搬入·搬出基板的机械手进入的开口、和开关该开口的门，与该门的打开动作连动而使上述顶板上升，与关闭动作连动而使上述顶板下降。
根据本发明的减压干燥处理装置，可以与门的打开动作连动而使上述顶板上升，与关闭动作连动而使上述顶板下降，所以可以防止如机械手对玻璃基板或顶板的干扰。
而且，在这样的作用基础上，即使基板的尺寸增加，也可以比以往时更加缩小顶板和基板表面间的距离，例如可以使顶板和基板表面间的剖面积更小。所以，例如减压开始时，在可以使剖面积变小而以能够不产生表面异物的低排气量排气(可抑制排气速度)，而在其溶剂挥发活跃时则能够以大容量的排气量排气(可提高排气速度)，处理时间也可以缩短。
在上述的本发明的减压干燥处理装置中，可以将其构成为顶板的上升动作在进行门的打开动作前开始，而顶板的下降动作在进行门的关闭动作前开始。使顶板的上升动作在进行门的打开动作前开始，由此可以有效地防止机械手对玻璃基板或顶板的干涉，而且，在顶板下降后关闭门，由此下降时产生的空气可以排除到外部，且在处理时也不会残留多余的空气。
而且，在上述的本发明的减压干燥处理装置中，虽然也可以采用将顶板安装于汽缸单元的结构，但也可以采用隔着加强板安装于汽缸单元的结构。作为加强板，例如考虑下述的结构其由4张在俯视下和上述顶板的边呈45°角度的组合板、和连接这些组合板的连结部件构成。由此，既可以使顶板自身更加轻量化，即使作为大面积的顶板，因为也可以减小变形，所以更能抑制基板上的排气量，可以防止表面异物。
根据本发明的减压干燥处理装置，由于对使用于机械手进入的开口进行开关的门的动作，和在腔室内配置的顶板的动作相关连，可以防止腔室内的机械手的干扰。
此外，根据本发明的减压干燥处理装置，即使基板尺寸增加，通过缩小顶板和基板间的距离，可以使在顶板和基板表面间的剖面积变小，排气过程开始时和此后对调节排气量，而不延长排气时间，从而可以防止表面异物。
由此，不仅可以提高作为装置的可信性，也可以抑制制造过程中合格率的低下。
图1为本发明涉及的减压干燥处理装置的剖视图。
图2为沿图1的A-A方向的向视图。
图3(a)～(c)是说明使用了本发明涉及的减压干燥处理装置的处理方法的一例的图。
符号说明1...腔室；2、3...开口；4、5...门；6...底部；7...支杆；8...顶部；9...抽真空用的开口；10...汽缸单元；11...杆；12...导轨；13...加强板；13a...组合板；13b...连接部件；14...顶板；15...机械手；W...基板。
具体实施例方式
下面根据附图对本发明的实施方式进行说明。
图1为本发明涉及的减压干燥处理装置的剖视图，图2为沿图1的A-A方向的向视图。
在减压干燥处理装置中，在呈扁平的盒子状的腔室1的一侧的侧壁上形成有用于将基板搬入的开口2，在另一侧的侧壁上形成有用于将基板搬出的开口3，且各开口2、3通过门4、5开关。这些门4、5被构成为可以通过图中未示的驱动装置而开关。
在腔室1内的底部6上设有支撑基板W的支杆7(载置部件)，且腔室1的顶部8形成有多个(图示例子为12个)抽真空用的开口9，将作为升降装置的汽缸单元10以轴呈上下方向地安装于其中半数的开口9处。
汽缸单元10的杆11通过导轨12伸入该腔室1内，且杆11的外侧袋状地围有波纹管部件12，构成对腔室1内密封性地保持。
在杆11的下端，顶板14隔着加强板13而被安装。该顶板14的大小被做成能够充分覆盖基板W的大小。其厚度比加强板13还薄而实现轻量化。顶板14被构成为可以通过下述汽缸单元10的驱动而升降。
此外，加强板13包括4张在俯视下和上述顶板14的边呈45°角度的组合板13a、和连接这些组合板13a的连结部件13b。这样，将各组合板13a连结起来形成呈矩形框状的加强板13，且加强板13与顶板14以在俯视下错开45°相位地安装，所以可以防止顶板14因扭转而变形。
对由上述结构形成的减压干燥处理装置的处理方法的一个例子，基于图3进行说明。
首先，如图3(a)所示，将门4、5打开。在进行该门4、5的打开动作的同时，驱动汽缸单元10而使顶板14上升。然后，用机械手15将玻璃基板W搬进腔室1内，并将基板W放置在支杆7上。
使机械手15从腔室1内退出完成后，如图3(b)所示，关闭门4、5，在开始该关闭动作的同时，驱动汽缸单元10而使顶板14下降。这时，基板W表面和顶板14间的距离，考虑到基板W的大小或排气量、以及所用到的涂敷液的种类等可任意地调整。这样，顶板在排气处理开始前可下降到任意的位置。
在减压开始时，采用低排气量在腔室1内进行规定时间的减压，然后采用大容量的排气量达到规定的真空度而进行减压干燥，进行净化后使腔室1内恢复到大气压。随后，如图3(c)所示，打开门4、5，在进行该打开动作的同时，驱动汽缸单元10而使顶板14上升，将处理后的基板W由机械手15搬出。由此，完成了减压处理。
在上述实施方式的减压干燥处理装置中，虽然是在进行门4、5的打开动作的同时，驱动汽缸单元10而使顶板14上升，在进行门4、5的关闭动作的同时，驱动汽缸单元10而使顶板14下降，但是也可以设为在进行门4、5的打开动作开始前使顶板14上升，在进行门4、5的关闭动作的开始前使顶板14下降的主动控制。由此，可以更有效地防止机械手和基板W以及顶板14间的干扰，且可以将顶板下降时产生的空气排除到外部，在处理时不会残留多余的空气。
此外，在上述减压干燥处理装置中，考虑到顶板14的弯曲或所用涂敷液的种类等，优选将基板W和顶板14间的距离设为25mm以下并10mm以上。表1为改变基板W和顶板14间的距离，来调查表面异物的发生情况的实验结果。
表1
根据表1所示的试验结果，如果基板W和顶板14间的距离为10mm～15mm的话，则没有发生表面异物。此外，虽然也考虑将基板W和顶板14间的距离设为例如10mm以下，但是若考虑顶板14的弯曲量的话，还是10mm更合适。其理由是因为在10mm以下的情况下，随弯曲量增加，顶板14与基板W可能会接触。
而且，在上述的减压干燥处理装置中，优选将腔室1设为将上下分开的两个单元在横向焊接。
这样地构成腔室，腔室1的焊接点不对应在基板W表面上，焊接位置在腔室的侧面，从而很难生成表面异物或干燥不匀。即，其原因为在与基板W表面对应的腔室的上面为熔接位置的情况下，基板W表面上发生出气现象，由此使热空气发生微妙的恶化，从而会经常发生干燥不均的情况。
在上述实施方式中，对具有加强板13的减压干燥处理装置进行了说明，但也可以取下加强板13。即使是这种情况下，也可以得到和上述具有加强板13的减压干燥处理装置大体一样的作用。
此外，本发明不局限于上述的实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内，也可采取其他各式各样的结构。
权利要求
1.一种减压干燥处理装置，其在将基板搬入腔室内后，使上述基板表面的涂敷液进行减压干燥，其特征在于在上述腔室内设有基板载置部件、和相对该基板载置部件进行升降动作的顶板，此外，在上述腔室的侧面设有用于使搬入·搬出基板的机械手进入的开口、和开关该开口的门，与该门的打开动作连动而使上述顶板上升，与关闭动作连动而使上述顶板下降。
2.根据权利要求1所述的减压干燥处理装置，其特征在于上述顶板隔着加强板被安装于汽缸单元。
3.根据权利要求2所述的减压干燥处理装置，其特征在于上述加强板包括4张在俯视下和上述顶板的边呈45°角度的组合板、和连接这些组合板的连结部件。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的减压干燥处理装置，其特征在于上述顶板的上升动作在进行门的打开动作前开始，而上述顶板的下降动作在进行门的关闭动作前开始。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种即使对大型化的基板也能够高效率地进行处理的减压干燥处理装置。上述课题通过以下方法解决在汽缸单元(10)的杆(11)的下端，顶板(14)隔着加强板(13)被安装。该顶板(14)的大小被做成能够充分覆盖基板(W)的大小。其厚度比加强板(13)还薄从而实现轻量化。此外，加强板(13)包括4张在俯视下和上述顶板(14)的边呈45°角度的组合板(13a)、和连接这些组合板(13a)的连结部件(13b)。这样，将各组合板(13a)连结形成呈矩形框状的加强板(13)，且加强板(13)与顶板(14)在俯视下错开45°相位地安装，所以可以防止顶板(14)因扭转而变形。
文档编号H01L21/02GK101013657SQ20071000292
公开日2007年8月8日 申请日期2007年1月26日 优先权日2006年1月31日
发明者高濑真治, 楫间淳生 申请人:东京应化工业株式会社