专利名称：离子注入机晶圆定位控制系统的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种控制系统，尤其涉及一种用于半导体制造中离子注入机中所用的晶园切口定位控制系统，属于半导体器件制造领域。
背景技术：
现有半导体集成电路制造技术中，离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也提出了很高的要求，要求离子注入机具有快速、准确的识别晶圆的切口，同时将晶圆以切口为参照，旋转到指定位置。晶圆的切口定位技术对提高整机的生产效率、全自动控制等性能及晶园工艺注入品质都密切相关。
晶园定位控制是离子注入机控制系统中精度要求比较高，并且难以掌握的控制技术之一，定位的精度直接影响晶园的注入角度，并关系到晶圆的注入工艺质量和离子注入机的生产率。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种定位控制精度高，能快速准确的识别晶圆切口的离子注入机晶圆定位控制系统。
本实用新型的技术方案是这样实现的，一种离子注入机晶圆定位控制系统，由晶圆、电机、光源、传感器、反馈电路、编码盘和平台组成，其中平台与电机通过传动轴连接，电机的下面连接一编码盘，编码盘获取电机运行的各个数据，晶圆置于平台上，并随平台一起转动，光源置于传感器的上方，向传感器发生光信号，反馈电路置于传感器的下方，接受来自传感器的光信号，并将光信号转变为电信号。
所述的晶圆是用于进行工艺处理的单个晶片；
所述的电机是将晶圆进行旋转定位的电气驱动部分；所述的光源是用于发射光源的部分；所述的传感器是获取由于晶圆运动引起的光变化传感单元；所述的反馈电路是将光信号转变为电信号的单元；所述的编码盘是获取电机运行的各个数据；所述的平台是使晶圆获得运动的平台；与现有技术相比，本实用新型的有益效果是该装置结构简单，操作方便，能够快速、准确的识别定位晶圆的切口，并且整个操作过程所用时间短。
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述。
如图1所示，离子注入机晶圆定位控制系统包括晶圆1、电机2、光源3、传感器4、反馈电路5、编码盘6和平台7，其中平台7与电机2通过传动轴连接，电机2驱动平台7转动，电机2的下面连接一编码盘6，编码盘6获取电机2运行的各个数据，晶圆1置于平台7上，并随平台7一起转动，光源3置于传感器4的上方，向传感器4发生光信号，反馈电路5置于传感器4的下方，接受来自传感器4的光信号，并将光信号转变为电信号。
工作时需要确定晶圆的切口，如图2所示，机械手将晶圆1传送至定位机构平台7上，电机2驱动平台进行旋转，因此带动平台上的晶圆转动，光源3发出恒定的光信号，由于晶圆1在定位机构平台7上的偏心，对光源3发出的恒定的光信号产生不同程度的阻挡，使传感器4获得变化的光信号，同时反馈电路5将实时监测信号的变化量送到控制系统，进行判断和处理，检测信号的波动是晶圆1在定位机构平台7上偏心造成的。控制系统通过编码盘6实时监测电机的运行位置，一旦反馈电路5获得满足需要的信号，同时控制系统也获得电机2运行的特定位置，这样确定了晶圆1的切口位置，并将之作为设定的参考信号，根据此参考信号，控制系统计算出补偿的转动角度，输出指定的位置，通过电机2带动平台上的晶园1转动，使晶园1旋转至所设定的角度，完成整个过程仅6秒时间。
权利要求1.离子注入机晶圆定位控制系统，由晶圆、电机、光源、传感器、反馈电路、编码盘和平台组成，其特征在于平台与电机通过传动轴连接，电机的下面连接一编码盘，晶圆置于平台上，并随平台一起转动，光源置于传感器的上方，向传感器发生光信号，反馈电路置于传感器的下方，接受来自传感器的光信号，并将光信号转变为电信号。
专利摘要本实用新型公开了一种离子注入机晶圆定位控制系统，由晶圆、电机、光源、传感器、反馈电路、编码盘和平台组成，其中平台与电机通过传动轴连接，电机的下面连接一编码盘，编码盘获取电机运行的各个数据，晶圆置于平台上，并随平台一起转动，光源置于传感器的上方，向传感器发生光信号，反馈电路置于传感器的下方，接受来自传感器的光信号，并将光信号转变为电信号。该装置结构简单，操作方便，能够快速、准确的识别定位晶圆的切口，并且整个操作过程所用时间很短。
文档编号H01L21/265GK2891271SQ200620008179
公开日2007年4月18日 申请日期2006年3月17日 优先权日2006年3月17日
发明者王迪平, 罗宏洋, 许波涛, 易文杰 申请人:北京中科信电子装备有限公司