专利名称：开盖装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种设备的附属装置，尤其涉及一种半导体加工设备的开盖装置。
背景技术：
半导体设备中某些部件在维护中必须打开，比如平台腔室的腔室盖，在需要对腔室内 部进行真空机械手更换及调试或者清理腔室内部时，腔室盖就需要打开。由于腔室盖的重 量较大，靠人力难以完成，因此必须借助机械工具才能完成开盖。
现有技术中，打开腔室盖的方法主要有两种
一种是如图l所示的气缸式开盖机构，连杆3—端与气缸1连接， 一端与盖板2连接，连杆3在气缸1作用下带动盖板2上升，实现开盖。由于该机构开或合盖时，盖板2垂直运动， 力矩大，有挠度影响，致使合盖时盖板2的各部分不能同时接触腔室4，多次合盖将导致盖 板2或腔室4受损；另外，当需要装配真空机械手时，盖需要开得非常高，致使气缸臂导轨 必须非常长，占用较大的空间，容易对设备的其它部件如管线的布置造成影响，外形美观 上影响较大。
另一种是如图2所示的气弹簧式开盖机构，气弹簧臂5—端与支撑柱6连接， 一端与盖 板2连接，盖板2通过转轴7与腔室铰接。当需要维护腔室时，借助人力，在气弹簧臂5的辅 助下，绕转轴7旋转开盖板2。该机构使用范围窄，只适用于盖板2重量较小时的应用，另 外，由于需要借助人力，速度不好控制，不能实现自动化，效率低，安全性不强。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定的开M奨晋
本发明的目的是通过以下技术方案实现的
本发明的开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，包括驱动装置、减速装置和执行机构；
所述的执行机构包括连杆和扇形齿轮，扇形齿轮与设备的机架铰接，连杆的一端与设 备的机架铰接，另一端与盖板固定连接；
所述的减速装置包括蜗杆、蜗轮，所述蜗轮与扇形齿轮啮合；
所述驱动装置与蜗杆连接，可通过减速装置驱动执行机构的扇形齿轮带动连杆一同转 动，开启或关闭设备的盖板。
所述的减速装置还包括齿轮组，所述蜗轮通过齿轮组与扇形齿轮啮合。 所述的齿轮组为多级齿轮传动。
所述的齿轮组为二级齿轮传动，包括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮， 所述第一齿轮与蜗轮固定连接，并与第二齿轮啮合，组成一级齿轮传动； 所述第三齿轮与第二齿轮固定连接，并与所述扇形齿轮啮合，组成另一级齿轮传动。 所述的驱动装置包括电机，所述电机的输出轴与蜗杆连接。 所述的电机为调速电机。
所述的驱动装置还包括变速器，所述电机的输出轴通过变速器与蜗杆连接。 所述的驱动装置包括曲柄，曲柄与蜗杆连接，通过旋转曲柄可驱动蜗杆转动。 所述的曲柄包括转盘与把手，所述转盘的中心部位与蜗杆连接，所述转盘的边缘部位 连接有把手。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的开盖装置，由于包括驱动装 置、减速装置和执行机构。减速装置包括蜗杆、蜗轮，可通过驱动装置调整和控制开盖速 度，通过蜗杆、蜗轮实现大速比减速，并避免反向传递运动。
结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定。尤其适用于开启或关闭半导 体加工设备的平台腔室盖板，也可以适用于开启或关闭其它设备的盖板。
图l为现有技术中气缸式开盖机构的结构示意图2为现有技术中气弹簧式开盖机构的结构示意图3为图2的俯视图4为本发明开盖装置具体实施例一的结构示意图一； 图5为本发明开盖装置具体实施例一的结构示意图二； 图6为本发明开盖装置具体实施例二的结构示意图。
具体实施例方式
本发明的开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，这里所述的设备主要指半导体加工 设备的平台腔室，也可以是其它的设备。
其较佳的具体实施例一，如图4、图5所示，包括驱动装置、减速装置和执行机构。
所述的执行机构通过铰轴17与设备的机架铰接，并与盖板2固定连接，铰轴17可以固 定在腔室上，也可以固定在半导体加工设备的机架上，执行机构绕铰轴17转动可将盖板2开 启或关闭。
所述驱动装置通过减速装置与执行机构啮合，可驱动执行机构绕铰轴17转动，将盖板 2打开。通过驱动装置可调整和控制开盖速度。
所述的减速装置包括蜗轮12、蜗杆ll，所述的执行机构包括扇形齿轮16，所述扇形齿 轮16通过铰轴17与设备的机架铰接，连杆3的一端通过铰轴17与设备的机架铰接，另一端与 盖板2固定连接。
所述蜗轮12与扇形齿轮16啮合。所述驱动装置与蜗杆ll连接。驱动装置通过蜗杆ll、 蜗轮12减速后，蜗轮12带动扇形齿轮16转动，扇形齿轮16带动连杆3转动将盖板2打开。通 过蜗杆、蜗轮可实现大速比减速，并避免反向传递运动。
上述的减速装置还可以包括齿轮组，所述蜗轮12通过齿轮组与扇形齿轮16啮合。齿轮 组可以为多级齿轮传动，相互之间依次连接或啮合。
一个优选的实施例为所述的齿轮组为二级齿轮传动，包括3个齿轮，分别为第一齿 轮13、第二齿轮14和第三齿轮15，
所述第一齿轮13与蜗轮12固定连接，并与第二齿轮14啮合，组成一级齿轮传动；
所述第三齿轮15与第二齿轮14固定连接，并与所述扇形齿轮16啮合，组成另一级齿轮 传动。
蜗轮12依次经过第一齿轮13、第二齿轮14、第三齿轮15驱动扇形齿轮16转动。 上述的蜗杆、蜗轮的减速比及齿轮的数量根据驱动装置的转速及负荷确定。当然，也
不限于蜗杆、蜗轮、齿轮的减速方式，也可以是其它的减速方式，例如摆线针减速、滑轮
组减速等。
本实施例中的驱动装置包括电机8，电机8的输出轴与蜗杆11连接，驱动蜗杆ll转动。 电机可以是调速电机，也可以是普通电机通过变频器或可编程控制器PLC调速。
根据需要，驱动装置还可以包括变速器IO，电机8的输出轴通过联轴器9与变速器10的 输入轴连接，变速器10的输出轴与蜗杆11连接，驱动蜗杆ll转动。
运用电机驱动可以实现自动控制。通过调节电机8的转速控制盖板2绕轴旋转速度，电 机调速是很成熟的技术，容易实现，操作简便，而且可以通过调整电机转速，满足开盖过 程不同阶段转速不同的要求。本发明的开盖装置体积小，外观简洁，适用范围广。若开盖 过程中，突然停电，电机停止工作，由于蜗杆与蜗轮啮合面设计满足机械原理要求，腔室 盖停止不动，不会突然落下，从而满足安全性的要求。
上述驱动装置不限于电机，也可以用其它的驱动马达，或人工驱动。
具体实施例二，如图6所示，所述的驱动装置包括曲柄，曲柄与蜗杆12连接，通过人工转动曲柄驱动蜗杆12转动。
所述的曲柄包括转盘18，所述转盘18的中心部位与蜗杆11连接，所述转盘18的边缘部 位连接有把手19，转动把手19可驱动蜗杆11转动。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任 何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都 应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1、一种开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，其特征在于，包括驱动装置、减速装置和执行机构；所述的执行机构包括连杆和扇形齿轮，扇形齿轮与设备的机架铰接，连杆的一端与设备的机架铰接，另一端与盖板固定连接；所述的减速装置包括蜗杆、蜗轮，所述蜗轮与扇形齿轮啮合；所述驱动装置与蜗杆连接，可通过减速装置驱动执行机构的扇形齿轮带动连杆一同转动，开启或关闭设备的盖板。
2、 根据权利要求l所述的开盖装置，其特征在于，所述的减速装置还包括齿轮组，所 述蜗轮通过齿轮组与扇形齿轮啮合。
3、 根据权利要求2所述的开盖装置，其特征在于，所述的齿轮组为多级齿轮传动。
4、 根据权利要求3所述的开盖装置，其特征在于，所述的齿轮组为二级齿轮传动，包 括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮，所述第一齿轮与蜗轮固定连接，并与第二齿轮啮合，组成一级齿轮传动； 所述第三齿轮与第二齿轮固定连接，并与所述扇形齿轮啮合，组成另一级齿轮传动。
5、 根据权利要求l所述的开盖装置，其特征在于，所述的驱动装置包括电机，所述电 机的输出轴与蜗杆连接。
6、 根据权利要求5所述的开盖装置，其特征在于，所述的电机为调速电机。
7、 根据权利要求5或6所述的开盖装置，其特征在于，所述的驱动装置还包括变速 器，所述电机的输出轴通过变速器与蜗杆连接。
8、 根据权利要求l所述的开盖装置，其特征在于，所述的驱动装置包括曲柄，曲柄与 蜗杆连接，通过旋转曲柄可驱动蜗杆转动。
9、 根据权利要求8所述的开盖装置，其特征在于，所述的曲柄包括转盘与把手，所述 转盘的中心部位与蜗杆连接，所述转盘的边缘部位连接有把手。
全文摘要
本发明公开了一种开盖装置，用于开启设备的盖板，包括驱动装置、减速装置和执行机构，驱动装置通过减速装置驱动执行机构转动，可将盖板打开。减速装置包括蜗杆、蜗轮及齿轮组，驱动装置可以是电机，也可以人工驱动。可通过驱动装置调整和控制开盖速度，通过蜗杆、蜗轮实现大速比减速，并避免反向传递运动。结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定。尤其适用于开启或关闭半导体加工设备的平台腔室盖板，也可以适用于开启或关闭其它的设备盖板。
文档编号H01L21/00GK101197250SQ200610164849
公开日2008年6月11日 申请日期2006年12月6日 优先权日2006年12月6日
发明者磊 韦 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司