专利名称：基板收纳容器、基板收纳体及基板输送装置的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及用于搬运、保护平板玻璃、玻璃基板以及作为其加工制品的液晶显示装置所使用的滤色片基板等的基板收纳容器、基板收纳体及基板输送装置。
背景技术：
以往，在保管和输送平板玻璃以及作为其加工制品的在玻璃基板表面形成有黑矩阵、着色层、透明导电膜层以及垫片等突起物的滤色片基板时，为了保护玻璃基板表面不受伤或破损，采用了发泡树脂制箱子的收纳容器，该收纳容器形成有多条沟槽，可以按规定间隔并列收纳玻璃基板，以便玻璃基板彼此不接触，并可以将基板从箱子上方的开口部直立着插入并保持。
专利文献1JP特开2002-264992号公报然而，最近要求制造大型玻璃基板，如果与以往同样将其按规定间隔收纳在箱状的收纳容器中的话，则需要更大的收纳容器、收纳空间，并且，由于以往仅对基板周边松缓地进行支撑，所以存在由输送中振动等引发的玻璃基板端从沟槽脱离而倒塌、和由自身重量引起的纵弯曲使其在箱中与邻接的玻璃基板接触而受伤等问题。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种可避免搬运时的受伤、破损等损伤地输送大型平板玻璃、玻璃基板以及滤色片基板等其加工制品的基板收纳容器、基板收纳体及基板输送装置。
第一发明是一种基板收纳容器，用于收纳由多张基板层叠而构成的重叠体，其特征在于，具有支撑台，其具有可在将基板置于水平的状态下放置上述重叠体的支撑面；按压单元，其使按压力均匀地作用在放置在上述支撑台上的重叠体的整个上表面区域，且将上述重叠体按压并固定在上述支撑台上。
第二发明是一种基板收纳体，其是将隔着隔离体层叠多张基板而成的重叠体，收纳在第一发明所述的基板收纳容器中而形成的。
第三发明是一种基板收纳体，其特性在于，具有第一支撑板、第二支撑板、以及隔着隔离体层叠多张基板而构成的重叠体，且上述重叠体由上述第一和第二支撑板来夹持并按压支撑。
第四发明是一种输送装置，其特征在于，具有底座，其按压支撑并储藏使多张基板层叠而构成的重叠体；集装箱，其储藏上述底座，且在内部的底面具有缓冲部件，并在上述缓冲部件上面保持上述底座，上述底座具有吸收振动的低频成分的特性，而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性。上述底座具有吸收振动的低频成分的特性，即指具有防止由一般成为较大振幅的低频成分引起的重叠体的变形的特性；而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性，即指通过底面的缓冲部件将振动能量转换为热量，而有效地阻断高频成分向上述底座传播的特性。
第五发明是一种输送装置，其特征在于，具有底座，其按压支撑并储藏使多张基板层叠而构成的重叠体；集装箱，其储藏上述底座，且在内部的顶面具有弹簧机构，并用上述弹簧机构将上述底座悬挂且保持，上述底座具有吸收振动的低频成分的特性，而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性。上述底座具有吸收振动的低频成分的特性，即指具有防止由一般成为较大振幅的低频成分引起的重叠体的变形的特性；而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性，即指通过底面的缓冲部件将振动能量转换为热量，而有效地阻断高频成分向上述底座传播的特性。
第六发明是一种输送装置，其特征在于，具有底座，其按压支撑且储藏使多张基板层叠而构成的重叠体；箱状体，其储藏上述底座，并由具有缓冲部件且保持上述底座的底部、和配置在上述底部的上侧的盖体构成，其中，上述底座具有吸收振动的低频成分的特性，而上述底部具有吸收振动的高频成分的特性。
第七发明是一种输送装置，其用架子包围发明6所述的输送装置的周围，其中，该架子具有底面部件、竖立设置在上述底面部件的拐角部的4根柱子、以及连接上述柱子的上部的4根梁。
第八发明是一种输送装置，其特征在于，具有基板收纳体，其将隔着隔离体层叠多张基板而构成的重叠体，收纳在基板收纳容器中；集装箱，其储藏上述基板收纳体，且在内部的底面具有缓冲部件，并在上述缓冲部件上面保持上述基板收纳体，其中，该基板收纳容器具有支撑台，其具有可在将基板置为水平的状态下放置上述重叠体的支撑面；按压单元，其使按压力均匀地作用在放置在上述支撑台上的重叠体的整个上表面区域，且将上述重叠体按压并固定在上述支撑台上，此外，上述基板收纳体具有吸收振动的低频成分的特性，而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性。
第九发明是一种输送装置，其特征在于，具有基板收纳体，其将基板收纳体进一步收纳在箱体中，其中，上述基板收纳体具有第一支撑板和第二支撑板、以及隔着隔离体层叠多张基板而构成的重叠体，且该重叠体由上述第一和第二支撑板来夹持，并按压支撑，该箱体由具有可放置上述基板收纳体的支撑面的托板、以及以覆盖放置在上述托板上的基板收纳体的方式设置的可拆装的盖体构成；集装箱，其储藏收纳在上述箱体内的基板收纳体，且在内部的底面具有缓冲部件，并在上述缓冲部件上面保持上述底座，其中，上述基板收纳体具有吸收振动的低频成分的特性，而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性。
在本发明中，对于基板的重叠体的重量和输送中的振动，采用具有足够刚性的底座和基板收纳体，并利用按压基板的整个面的按压体来固定基板的重叠体，由此，可以抑制各基板的弯曲和基板重叠体的变形，并防止基板彼此或基板与隔离体之间的摩擦，从而将其储藏于在底面具有缓冲功能的集装箱中来进行输送。
输送中的振动，包括低频(40Hz以下)成分和高频(40～100Hz)成分，通过采用具有足够刚性的底座、和将重叠体按压并固定在高刚性的支撑台等上的基板收纳体，可以吸收低频的振动，而使集装箱的底面具有缓冲功能，由此可以吸收高频的振动，并利用按压基板重叠体的按压力不充分的场合下的分割振动，来可以防止各基板彼此之间、和基板与隔离体之间的撞击和摩擦。
本发明的基板收纳容器以及基板收纳体，由于可以搭载多张大型的玻璃基板或其加工制品，并均匀地支撑基板的整个面来进行搬运，所以不会发生横向位移，可以防止基板彼此的摩擦、和基板与隔离体之间的摩擦，搬运效率好，可以避免基板表面的受伤和破损等损伤。并且，通过进一步设置缓冲部件，而具有良好的耐冲击性，可以避免基板表面的受伤和破损等损伤。
另外，通过将重叠体放置在托板上面，可以获得易于用叉车等进行搬运的效果。进一步，如果将托板设置为如下结构，即在托板上以包围放置在托板上面的重叠体的方式可拆装地安装盖体，且将该盖体的顶板用作上述负荷支撑板的结构，则可通过将盖体兼作负荷支撑板来简化结构的同时，还可通过用盖体覆盖重叠体来防止垃圾和尘埃等附着在基板上。
另外，如果设置成如下构成，即具有收纳由托板和安装在该托板上的盖体形成的内箱、且由第二托板以及由第二盖体构成的外箱，则垃圾和尘埃等不会附着在收纳于该外箱的内箱，在将该内箱搬到使用基板的工厂内时，不会将垃圾和尘埃等带入工厂内，从而可以获得保持工厂内清洁的效果。
本发明的输送装置，将大量的大型平板玻璃、玻璃基板或其加工制品作为重叠体来搭载，并将利用按压单元来按压支撑的底座或基板收纳体，储藏于在底面具有缓冲部件的集装箱或容器中，由此可以吸收低频、高频振动来进行搬运，因此，可以避免基板表面的受伤和破损等损伤。
图1是表示本发明的基板收纳体的一个例子的剖视图。
图2是图1的基板收纳体的内箱的立体图。
图3是重叠体放置在托板的说明图。
图4是重叠体放置在托板的说明图。
图5是基板的说明图。
图6是重叠体的说明图。
图7是重叠体的说明图。
图8是表示本发明的基板收纳体的一个例子的剖视图。
图9是表示本发明的基板收纳体的一个例子的剖视图。
图10是表示本发明的基板收纳体的一个例子的正视图。
图11是图10的支撑板的俯视图。
图12是表示本发明的基板收纳体的一个例子的正视图。
图13是图12的支撑板的俯视图。
图14是表示本发明的本基板收纳体的一个例子的正视图。
图15是图14的支撑板的俯视图。
图16是表示本发明的基板收纳体的一个例子的正视图。
图17是图16的基板收纳体的A-A剖视图。
图18是表示本发明的基板收纳体的一个例子的正视图。
图19是图12的输送体的B-B剖视图。
图20是表示本发明的输送装置的一个例子的立体图。
图21是图20的输送装置的集装箱的立体图。
图22是图21的集装箱的底面的俯视图。
图23是图20的输送装置的底座的立体图。
图24是表示本发明的输送装置的一个例子的剖视图。
图25是表示本发明的输送装置的一个例子的立体图。
图26是图25的输送装置的剖视图。
图27是表示本发明的输送装置的一个例子的立体图。
图28是表示本发明的输送装置所使用的底座的其他例子的立体图。
图29是表示本发明的输送装置所使用的底座的其他例子的立体图。
图30是表示本发明的输送装置所使用的底座的其他例子的立体图。
图31是表示本发明的输送装置的一个例子的立体图。
图32是表示本发明的输送装置的一个例子的立体图。
图中符号说明如下1基板收纳体；3基板；3a基板主体；3b树脂层；3c保护膜；4A隔离体；4B隔离体；5重叠体；7加强板材；9加强板材；11托板；12盖体；13扣锁；15气囊；17托板；19盖体；21管；23阀；31基板收纳体；33气囊；41基板收纳体；43弹性板材；51基板收纳体；53捆包体；55支撑板；56沟槽部；57支撑板；59绑带；61捆包体；63支撑板；64顶部；65支撑板；66螺母；67螺栓；69孔；71捆包体；73支撑板；75支撑板；77扣片；79金属部；81基板收纳体；82冲击吸收部件；83冲击吸收部件；85冲击吸收部件；87冲击吸收部件；89冲击吸收部件；91基板收纳体；92冲击吸收部件；93冲击吸收部件；94冲击吸收部件；95冲击吸收部件；97冲击吸收部件；99冲击吸收部件；101输送装置；103集装箱；105底座；107底面部件；109缓冲部件；111底面；113侧面板；115顶板；117门；119背面板；123底面部件；125背面部件；127按压体；131围栏部件；133蜂窝板；135蜂窝板；137螺钉；139正面部件；141输送装置；143支撑部件；145轨道；147导向部；149集装箱；151输送装置；153底面；155缓冲部件；157底座保持部件；158突部；159盖体；161输送装置；163底面部件；165柱子；167梁；171底座；173按压体；175空气弹簧；181底座；183上面部件；185支撑部件；187臂；191底座；193空气弹簧；201输送装置；211输送装置。
具体实施例方式
以下，参考
本发明的优选实施方式。
图1是表示将基板的重叠体收纳于本发明的基板收纳容器而形成的第一实施方式涉及的基板收纳体的简要剖视图，图2是图1的基板收纳体的局部的简要立体图，图3是表示将基板的重叠体放置在托板的状态的简要侧视图，图4是表示将基板的重叠体放置在托板的状态的简要侧视图。基板收纳体1将重叠多张基板形成的重叠体5收纳在基板收纳容器(以下，简称为收纳容器)10内。以下，详细说明各部分。
在本实施方式中，作为收纳对象的基板3是平板玻璃、玻璃基板及其加工制品，液晶显示器的滤色片和薄膜晶体管(TFT)等所使用的玻璃基板等。图5简要地表示其典型结构。
在图5中，基板3在玻璃基板等基板主体3a的单面上具有功能层3b(例如，在滤色片用的基板的场合下，是具有黑矩阵、着色象素、ITO电极等的层)，并在其上进一步形成有用于防止保管、输送中等发生的损伤的保护膜3c。该保护膜3c是用可易于形成和除去的材料制成的，多采用水溶性树脂(例如，聚乙烯醇)。膜厚度一般采用10～20μm左右。通常，功能层3b、保护膜3c形成在基板主体3a的除周边数mm外的全部区域上。在本说明书中，将形成有功能层3b及其上形成保护膜3c的区域称为有效区域。
基板3没有特别限定尺寸，也可以采用宽度1800mm×长度2000mm左右的较大尺寸。并且，基板的厚度也没有特别限定，但0.3～1.0mm左右的居多。另外，收纳张数在1～300张左右为宜。
收纳容器10是具有收纳重叠体5的内箱和收纳该内箱的外箱的双层结构。内箱具有托板11，其构成具有用于支撑重叠体5的支撑面11a的支撑台；以及盖体12，其以包围放置在托板11上的重叠体5的方式，可拆装地安装在上述托板11上。
为了可在基板3平行于支撑面11a的状态下支撑重叠体5，托板11的支撑面11a被制成为比基板3的面积还大的面积。盖体12是具有在安装于托板11的状态下与支撑面11a平行的顶板12a、和与支撑面11a垂直的4个面上的侧板12b的箱状物体。
为了将盖体12定位在相对于托板11的规定位置，在托板11的上表面的多个位置，形成有与盖体12的侧板12b的内表面相嵌合的突起11b。另外，相对托板11定位盖体12的部件，不限于所采用的突起11b，而可进行适当变更。
盖体12的顶板12a，如下所述，是用作负荷支撑板的，其用于支撑由气囊15向重叠体5的上表面作用按压力时产生的反作用力，盖体12采用具有可承受该反作用力的刚性的结构。另外，盖体12通过具有能够支撑该反作用力的强度的连接单元来连接于托板11。在本实施方式中，为了以所需要的强度将盖体12连接于托板11，采用了多个扣锁13。由于扣锁13可单按开闭，所以作业性良好且可以承受较大的拉力。另外，将盖体12连接于托板11的连接单元不限于扣锁，可以是采用了螺栓和螺母的、或采用了连接销的部件等任意单元。
在托板11的支撑面11a上面放置平面精度较高的加强板材7，在其上面放置重叠体5。并且，在重叠体5上面放置平面精度较高的加强板材9，在其上配置有气囊15。通过用该平坦的加强部件支撑或按压基板3，可以进一步防止基板3的损伤。
气囊15配置成为通过向其内部供给加压空气而膨胀，且上表面位置由盖体12的顶板(负荷支撑板)12a来限制，可以通过加强板材9均匀地按压重叠体5的整个上表面区域。从而，气囊15和支撑其的顶板12a等构成以下按压单元，即其使按压力均匀地作用在重叠体5的整个上表面区域，且将上述重叠体按压并固定在支撑台上。
为了可以在将盖体12安装在托板11的状态下，向气囊15内部供给加压空气，将空气供给用的管21以在盖体12的外侧伸出的方式连接于气囊15，并在其前端安装有阀23。
在重叠体5的上下配置的加强板材7、9是为了尽可能以平坦的状态来支撑或按压重叠体5的基板而设置的。作为加强部件7、9采用平面精度优良并轻量的板材，具体地说，优选采用蜂窝板、或以发泡体为芯并以FRP板为表层的层压板等。为了可以支撑或按压重叠体5的整个面，加强部件7、9采用与基板3相同或较其面积大的部件。作为加强部件7、9的平面精度，优选采用表面粗糙度为100μmRmax左右以下，且平面度为最小曲率半径为700m左右以上。
收纳由托板11以及盖体12构成的内箱的外箱，是由第二托板17和可拆装地安装在其上的盖体19形成的。盖体19也是与内箱的盖体12相同的形状，且通过扣锁13可拆装地安装在托板17上。省略了图示，但在外箱的托板17上，设置有用于将内箱的托板11定位并固定在规定位置的单元。
在重叠多张基板3来构成重叠体5时，优选在各基板3之间夹有隔离体4，以便可以保护各基板3的功能层3b、保护膜3c。夹有隔离体4的方式没有特别限定，只要在覆盖基板3的有效区域的位置存在隔离体4即可，作为优选方式可以列举下述方式，即如图6所示，将比基板3长的隔离体4A，以其两端部比基板3更向外侧伸出的方式配置；或如图7所示，将在两折后的状态下与基板3大致相同尺寸的隔离体4B，以两折后的状态夹在基板3之间。在图6所示的方式中，由于隔离体4A的端部向基板3的外侧伸出，所以在剥掉隔离体时，抓住该伸出的部分即可，且可以简化用于抓住该隔离体的机构并且能够准确地抓住。另外，在图7所示的方式中，由于隔离体4B为两折，所以在运输过程中即便基板3的保护膜3c(参照图5)吸湿而和与其邻接的隔离体的片4Ba粘着，也不会与上侧的片4Bb粘着，因此，在剥掉隔离体4B时，便于用吸着垫等将上侧的片4Bb吸附保持并拿起来，并通过向可以准确地剥掉隔离体4的单元(例如，夹持辊等)中加入此一片，可以准确地从基板剥掉隔离体4。
隔离体4所采用的材料，可以是能够保护基板3的任意材料，一般采用纸、树脂薄片等。作为隔离体4的优选材料，可以列举具有独立气泡的树脂发泡薄片、例如株式会社JSP生产的商品名称为“ミラマツト(miramat)”的发泡缓冲材料。由于具有独立气泡的树脂发泡薄片具有适当的柔软性，因此，可以可靠地保护基板表面的功能层3b，并由于无透气性，所以可以防止保护膜3c吸湿。作为隔离体4的厚度，考虑到如果其较薄的话，则降低保护效果，而如果其过厚的话，则产生成本高且体积大的缺点，因此其厚度优选选定为0.25～1mm左右。
接着，对在收纳容器10内收纳重叠体2的方法进行说明。如图3、图4所示，在托板11上放置加强板材7，接着在其上交替地重叠基板3和隔离体而形成重叠体5。另外，也可以变更为在其他地方预先形成重叠体5，再将其放置在托板11上。在托板11上放置重叠体5后，在其上放置加强部件9以及气囊15，并从其上部盖上盖体12，且将盖体12固定在托板11上。其后，将压缩机等加压空气供给装置(未图示)连接于与气囊15连接的空气供给用的管23，并向气囊15供给加压空气。由此，气囊15膨胀，并通过加强板材9按压重叠体5的上表面，而将重叠体5按压并固定在托板11上。
气囊15所产生的按压力，可以通过调整供给到该气囊15的空气压力，而调整到所需的值。另外，在重叠体5的高度不足，而无法用气囊15向重叠体5施加按压力的场合下，可以在加强板材9和气囊15之间插入适当的垫片。
向气囊15供给所需压力的加压空气后，关闭阀23，取下加压空气供给装置。其后，将其整体收纳在由第二托板17和盖体19形成的外箱内，且以该状态搬运到所需的地方或是保管。在进行该搬运、保管时，由于气囊15保持在装有加压空气的状态，所以气囊15对重叠体5的上表面持续作用均等的按压力，基板3不会发生位移而受到损伤。
另外，在将基板收纳于收纳容器10时，将托板11置于水平状态，将基板以水平状态来进行重叠，但在搬运所形成的基板收纳体1时，不限于保持托板11为水平的状态，也可以根据需要，使托板11倾斜或垂直竖立。即便在该场合下，由于基板3在整个面上被均匀的压力压紧，且被托板11按压，所以可以安全地进行搬运，基板3不会发生移动，也不会对基板3造成损伤。
当开箱时，取下外箱的盖体19，取出收纳在其中的内箱(托板11、盖体12等)，并搬到所需的地方。此时，因内箱被外箱所覆盖，所以未附着有垃圾、尘埃等，因此，即便将内箱搬到使用基板的工厂内等要求清洁的地方，也不会出现问题。接着，放掉气囊15的空气后，从托板11取出盖体12，并在取出气囊15、加强板材9后，从重叠体5的上表面侧交替地取出基板3、隔离体4即可。
这样，由于以水平状态放置基板3，且气囊15将按压力均匀地作用在重叠体5的整个上表面区域，所以即便在基板尺寸较大或收纳张数较多的场合下，也可以由均匀的压力在其整个区域压紧并固定各基板3，且在搬运过程中等不会发生基板移动而损伤的问题。此外，由于气囊15将按压力均匀地作用在基板的整个面上，所以，即便较小地设定每单位面积的按压力，也可以限制基板不移动，从而也可以防止基板的损伤。并且，通过调整供给到气囊的空气压力，可以方便地调整按压力。
另外，在本发明中，按压单元采用将按压力均匀地作用在重叠体的整个上表面区域的构成，但“整个上表面区域”并不限于严格意义上的整个上表面区域，即便是多少比整个区域小的区域，只要是能够通过将均匀的负荷施加在该区域而限制基板不移动的区域即可，具体意味着整个上表面区域的80％左右以上的区域。
并且，在上述第一实施方式中，仅利用配置在重叠体5的上表面上的气囊15所产生的按压力来固定基板3，但根据需要，也可以通过在重叠体5的侧面和盖体12的侧板12b之间配置适当的缓冲部件。图8表示该场合下的实施方式涉及的基板收纳体31，在该实施方式中，在重叠体5的侧面和盖体12的侧板12b之间作为缓冲部件插入气囊33，并且充入加压空气来限制重叠体5的侧面。根据该构成，可以进一步防止在搬运过程中发生的基板3的位移。
并且，在上述第一实施方式中，作为将按压力均匀地施加到重叠体5的上表面上的按压单元，采用了气囊15，但按压单元并不限于此，也可以是其他的结构。
图9表示采用了其他结构的按压单元的基板收纳体41。在该实施方式中，由橡胶、海绵、树脂发泡体等形成的弹性板材43是以压缩状态配置在放置于托板11的重叠体5和盖体12的顶板12a之间的。即，在未压缩的状态下，该弹性板材43的厚度大于顶板12a和加强板材9之间的间隔的厚度，在加强板材43上放置弹性板材43，从其上部抵靠盖体12的顶板12a，并用适当的按压单元将盖体12向托板11按压，在该状态下将盖体12连接于托板11，由此顶板12a对弹性板材43进行加压而使其发生弹性变形，由此，弹性变形了的弹性板材43可以将按压力均匀地作用到重叠体5的上表面整个区域。
另外，在任意的上述的实施方式中，均将盖体12的顶板12a用作支撑气囊15和弹性板材43的负荷支撑板，但支撑气囊15和弹性板材43的负荷支撑板，未必一定采用盖体12的顶板12a的方式，也可以是如下结构，即采用单纯的平板状的负荷支撑板，并采用连接用的棒、管、平板等将该负荷支撑板连接到托板11。
下面，对本发明第二实施方式涉及的基板收纳体进行说明。
图10是本发明第二实施方式涉及的基板收纳体51的正视图(未示出图中前方的盖体侧面)，并将作为基板收纳体的捆包体53进一步收纳在双层的箱体内。图11是图10中采用的支撑板55的俯视图。
关于基板收纳体51，对于与基板收纳体1的构成要素具有相同功能的部分，赋予相同符号，并省略详细说明。
本发明的基板收纳体51为，具有作为按压支撑重叠体5的基板收纳体的捆包体53、收纳捆包体53的内箱、以及收纳该内箱的外箱的双层构造。内箱具有托板11，其构成支撑台，该支撑台具有支撑捆包体53的支撑面11a；以及盖体12，其以包围放置于托板11上面的重叠体5的方式可拆装地安装在上述托板11上。
如图10所示，捆包体53构成为将基板3的重叠体5放置在支撑板57上面，进一步将支撑板55放置在重叠体5上面，其后，采用作为按压单元的绑带59，将支撑板55与支撑板57的外周围住，通过拉紧绑带50加压到规定的压紧力，从而将支撑板按压并固定在重叠体5上。绑带59特别优选采用串联地插入有弹簧的构成，作为绑带59可以采用橡胶带。通过采用橡胶带，不会在输送中因重叠体的厚度减小而发生松动。
如图11所示，支撑板55、57为四边形板状，且优选在安装绑带的部分预先设置沟槽部56。利用沟槽部56可以防止绑带59的位移，易于进行加压作业。
为了均匀地按压基板的整个面，支撑板55、57优选为弯曲刚度较高的材料，或考虑到安装而优选为更轻的材料。例如，可以列举蜂窝板、夹层板。并且，支撑板的尺寸优选大于基板。
在将基板3搭载在支撑板57上而形成重叠体5时，为了避免基板彼此的接触，而在邻接的基板3之间，作为隔离体4夹入纸、树脂薄膜或具有缓冲性的薄片。具有缓冲性的薄片，优选使用由发泡聚乙烯、发泡聚丙烯或发泡聚氨酯形成的海绵薄片。
基板3的收纳张数优选使用1～500张左右，尤其优选为100～200张左右。
关于绑带7，虽然未图示，但其具有紧固部，是可固定的结构。
捆包体53，在输送时可以以横叠方式(基板放平的状态)或竖叠方式(基板直立的状态)中的任意方式进行输送，但捆包体53的形成，即用支撑板55、57夹持基板的重叠体5，并作为按压单元采用绑带59，使支撑板55、57与基板的重叠体5形成一体的工序，适合在横叠方式下进行。在以竖叠方式输送的场合下，优选在横叠方式下形成捆包体53后，以竖立方式进行输送。
关于利用作为按压单元的绑带59来按压支撑板的适当压紧力的范围，在横叠方式和竖叠方式下不同，在横叠的场合下，由于自重的作用可以采用较小的压力，优选为30～100g/cm2；而在竖叠的场合下，优选为100～500g/cm2，尤其优选为300～500g/cm2。
在将捆包体53收纳在内箱时，用未图示的固定单元将捆包体53固定在托板11上。
在第二实施方式中，对将捆包体53收纳在双层箱体内的方式进行了说明，但也可以将捆包体53简单地收纳在箱体，或用张拉薄膜等薄膜覆盖后进行输送。
这样，根据第二实施方式，由于可以利用绑带59按压支撑重叠体来进行搬运，所以搬运效率好，可以避免基板表面的受伤和破损等损伤。
另外，根据第二实施方式，捆包体53采用绑带59作为按压支撑单元，但也可以采用其他按压支撑单元。图12、13以及图14、15表示采用了按压支撑单元的捆包体61、捆包体71。
对捆包体61进行说明。
图12以及图13是捆包体61的说明图，图12是捆包体61的正视图，图13是图12中采用的支撑板63的俯视图。关于捆包体61，对与捆包体53的构成要素相同功能的部分，赋予相同符号，并省略详细说明。
捆包体61，如图12所示，构成为在支撑板65上面放置重叠体5，并在重叠体5上面再放置支撑板63，其后，作为按压单元在支撑板63、65的端部穿过紧固螺栓67，并将螺栓67与在支撑板65的底部设置的螺母66嵌合，且旋转并紧固顶部64，从而加压到规定的压紧力，且将支撑板63按压固定在重叠体5上。
如图13所示，支撑板63、65为四边形板状，在支撑板63、65的四个角部具有穿过螺栓的孔69。
支撑板63、65，与支撑板55、57同样，为了均匀地按压基板的整个面，优选为弯曲刚度较高的材料，或考虑到操作而优选为更轻的材料。例如，可以列举蜂窝板或夹层板。且支撑板的尺寸优选大于基板。
螺栓67的配置不限于图13所示的位置，可以在能够均匀地支撑基板的整个面来进行搬运的位置上，设置多个地方。
捆包体61，与捆包体1相同，在输送时，可以以横叠方式或竖叠方式中的任意方式进行输送，但捆包体61的形成，即用支撑板63、65夹持基板的重叠体5，且作为按压单元采用螺栓67，而使支撑板63、65与基板的重叠体5形成为一体的工序，适合在横叠方式下进行。在以竖叠方式进行输送的场合下，优选在横叠方式下形成捆包体61后，以竖立方式进行输送。
利用作为按压单元的螺栓67来按压支撑板的适当压紧力范围，在横叠方式和竖叠方式下不同，在横叠的场合下，由于自重的作用可以采用较小的压力，优选为30～100g/cm2，而在竖叠的场合下，优选为100～500g/cm2，尤其优选为300～500g/cm2。
这样，根据本实施方式，由于可以利用螺栓67按压支撑重叠体来进行搬运，所以搬运效率好，可以避免基板表面的受伤和破损等损伤。
对捆包体71进行说明。
图14以及图15是捆包体71的说明图，图14是捆包体71的正视图，图15是图14中采用的支撑板73的俯视图。关于捆包体71，对与捆包体53的构成要素相同功能的部分，赋予相同符号，并省略详细说明。
捆包体71构成为在支撑板75上面放置重叠体5，在重叠体5上面再放置支撑板73，其后，在支撑板的端部设置多个コ字形的扣片77，通过扣片77将支撑板73向重叠体5按压，并加压到规定的压紧力来进行固定。
如图15所示，支撑板73、75为四边形板状，优选在扣片安装位置预先埋设金属来进行加强(金属部79)，且优选采用凹部。
支撑板73、75与支撑板55、57同样，为了均匀地按压基板的整个面，优选为弯曲刚度较高的材料，或考虑到操作而优选为更轻的材料。例如，可以列举蜂窝板或夹层板。且支撑板的尺寸优选大于基板。
扣片77的配置位置，不限于图14、15所示的位置，可以在能够均匀地支撑基板的整个面来进行搬运的位置上，设置多个地方。
捆包体71与捆包体53相同，在输送时，可以以横叠方式或竖叠方式中的任意方式进行输送，但捆包体71的形成，即用支撑板73、75夹持基板的重叠体5，并作为按压单元采用扣片77，而使支撑板73、75与基板的重叠体5形成为一体的工序，适合在横叠方式下进行。在以竖叠方式进行输送的场合下，优选在横叠方式下形成捆包体71后，以竖立方式进行输送。
利用作为按压单元的扣片77来按压支撑板的适当压紧力范围，在横叠方式和竖叠方式下不同，在横叠的场合下，由于自重的作用可以采用较小的压力，优选为30～100g/cm2，而在竖叠的场合下，优选为100～500g/cm2，尤其优选为300～500g/cm2。
这样，根据本实施方式，由于可以利用扣片77按压支撑重叠体并进行搬运，所以搬运效率好，可以避免基板表面的受伤和破损等损伤。
此外，第二实施方式中的捆包体53，也适合如图16～19所示与冲击吸收部件进行组合。在图16～19所示的状态下，可以收纳在上述双层结构的箱子中或其他形状的箱子中，另外，也可以用张拉薄膜等薄膜覆盖后进行输送。
图16、17表示本第二实施方式中的将捆包体53和冲击吸收部件进行组合的捆包体81的说明图。图16是正视图(未示出图中前方的冲击吸收部件)，图17是图16的A-A剖视图。图18是捆包体91的正视图(未示出图中前方的冲击吸收部件)，图19是图18所示的输送体91的B-B剖视图。关于与上述说明中的构成要素相同功能的部分，赋予相同符号，并省略详细说明。
捆包体81，如图16所示，在横叠方式下的捆包体53的底部、上部以及侧部配置冲击吸收部件。在捆包体53的底部配置冲击吸收部件82，而在捆包体53的上部设置冲击吸收部件83。冲击吸收部件82、83是比捆包体53的支撑板略大的四边形。
作为侧部的冲击吸收部件，在重叠体5的基板端部设置冲击吸收部件87、89，并且在冲击吸收部件87、89的外侧设置冲击吸收部件85。冲击吸收部件87和外侧的冲击吸收部件85也可以是一体成形的。
冲击吸收部件的形状没有特别限定，但如果与捆包体的形状相一致地形成有凹部的话，则可有效地防止输送时的横向位移。并且，底部、侧部以及上部的冲击吸收部件82、85、83组合成为箱状的方式进行成形也是有效的。
冲击吸收部件82的材质没有特别限定，但对本发明的输送体进行落下冲击试验，且施加了20G的外部冲击力的场合下，优选具有将重叠体中的冲击力处于20G左右以下的缓冲性，可以优选使用发泡聚丙烯。另外，冲击吸收部件83、85、87、89的材质与冲击吸收部件82同样，可以优选使用发泡聚丙烯。
这里，列举冲击吸收部件配置在捆包体53的整个面上的例子来进行了说明，但也可以仅采用底部的冲击吸收部件82，适当选择配置冲击吸收部件。
捆包体91，如图18所示，在横叠方式的捆包体53的底部、上部以及侧部配置冲击吸收部件。在捆包体53的底部配置冲击吸收部件92、93，且在捆包体53的上部设置冲击吸收部件94、95。
冲击吸收部件92、94是比捆包体53的底部略大的四边形。冲击吸收部件92和冲击吸收部件93、冲击吸收部件94和冲击吸收部件95也可以一体成形。
并且，设置侧部的冲击吸收部件97，在冲击吸收部件97和捆包体53的重叠体5的基板端部之间设置冲击吸收部件99。
冲击吸收部件的形状没有特别限定，但如果与捆包体的形状相一致地形成凹部的话，则可有效地防止输送时的横向位移。并且，如果整体形成为箱状，则可以提高输送时的作业性。
冲击吸收部件92、93、94、95、97、99的材质与上述同样，可以优选使用发泡聚丙烯。
这里，列举冲击吸收部件配置在捆包体53的整个面的例子来进行了说明，但也可以仅采用底部的冲击吸收部件92、93，可适当选择配置冲击吸收部件。
这样，通过采用将支撑板按压在重叠体上的捆包体，可以支撑基板的整个面来进行搬运，并通过在底部设置冲击吸收部件，可以吸收输送时的振动，而通过进一步在捆包体的基板端部设置冲击吸收部件，可以保护基板端部，通过用冲击吸收部件围住整体，可以缓和来自外部的冲击，搬运效率好，可以防止搬运时的基板的位移，来避免基板表面的受伤和破损等损伤。
下面，对本发明第三实施方式涉及的基板输送装置进行说明。
图20～23是本发明第三实施方式涉及的基板输送装置101的说明图，图20是基板输送装置101的立体图，图21是图20的基板输送装置101的集装箱103的立体图，图22是图21的集装箱的底面111的俯视图。图23是图20的基板输送装置101中的底座105的立体图。
基板输送装置101，如图20所示，构成为作为基板收纳体，在图21所示的集装箱103内，储藏有图23所示的底座105。
图20的基板输送装置101的集装箱103，是底面部件107、侧面板113、背面板119、顶板115以及门117围成的箱状，并在底面111上固定并设置有缓冲部件109。
底面部件107为刚性较高的材质，并优选使用由钢材或金属制的角管形成为框状和形成为面状的部件，且具有有利于用叉车等进行作业的形状的脚部，而侧面板113、背面板119、顶板115以及门117对材质并没有特别限定，但优选使用将树脂制瓦楞纸板固定在铝框上的板材，也优选使用如下夹层板，即在将侧面板113、背面板119、顶板115以及门117一体成形了的发泡聚丙烯等的发泡树脂成形品的两面粘着有铝板。
缓冲部件109，如图22所示，可以块状地设置在多个位置，也可以采用薄片状。缓冲部件109优选使用油减振器或粘弹性橡胶等的粘弹性体。
储藏在集装箱103中的底座105，是搭载了基板3且由金属材料等构成的具有足够刚性的底座。
如图23所示，底座105具有底面部件123和竖立设置在底面部件123上面的背面部件125，并通过焊接来固定底面部件123和背面部件125。底面部件123、背面部件125分别是在四边形的框上具有多根支柱的形状，且底面部件123具有有利于用叉车等进行作业的形状的脚部。在底面部件123上面与背面部件125相对置地具有加压体127，由背面部件125和加压体127来夹持并按压支撑重叠体5。此时，背面部件125相对于底面部件123垂直地设置。
在底座主体上搭载多张基板3，并与基板3的端部相接地设置围栏部件131。围栏部件131连接于背面部件125以及加压体127。另外，围栏部件131避开基板3的拐角部来设置。围栏部件131为四边形框状。
底面部件123以及围栏部件131的与基板3的端部相接的面未图示，但优选设置橡胶。由此，可以吸收输送时的冲击、以及消除基板3的不整齐。上述橡胶的厚度优选为3mm以上且10mm以下，而硬度优选为30HS以上且70HS以下。
在背面部件125以及加压体127的基板3支撑面上，分别配置蜂窝板133、135。特别重要的是由难以弯曲的面来夹持基板3，蜂窝板不易发生扭转和弯曲的板，且由整个面来支撑基板3，可以防止对局部集中加压的现象。蜂窝板的厚度没有特别的限定，但优选为50mm以下。
在基板输送用底座105中，加压体127由多个螺栓137和正面部件139构成。螺栓137固定在底面部件123或围栏部件131上。
在底座主体上配置蜂窝板133，并搭载多张基板3，且配置蜂窝板135、加压体127以及围栏部件131后，通过一并旋转多个螺栓137而使正面部件125向背面部件125的方向移动，从而加压保持基板3。通过一并旋转多个螺栓137，对基板3的整个面均匀地加压。螺栓的数量和配置没有特别的限定，但设定为可以均匀地对基板3的整个面进行加压。
对基板3加压支撑时的表面压力，优选为500g/cm2以下，尤其优选在200g/cm2～300g/cm2范围。
底面部件123、背面部件125、正面部件139，围栏部件131只要具有足够刚性的材料，则对材质没有特别限定，但从强度以及重量方面来看，特别优选将截面为L型的钢材或金属制的角管形成框状来采用。在本实施方式中采用了框状部件，但也可以在框之间设置薄板，另外，可以采用面状部件。
基板3大小没有特别限定，但优选使用各边长度为约0.5m～2.5m的基板。并且，基板的厚度没有特别限定，但多采用各边长度0.3～1.0mm左右的基板。另外，收纳张数优选为200～500左右。在将基板3搭载在底座主体上时，为了避免基板3彼此的接触，优选采用在邻接的基板3之间采用了由纸、树脂薄膜、海绵薄片等构成的隔离体4的重叠体。
基板输送装置101构成为在集装箱103的缓冲部件109上面储藏作为基板收纳体的底座105。在缓冲部件109上面固定铝板(未图示)，在固定了的铝板上面储藏底座105。将底座105的底面部件123用可自由拆卸的保持部件的扣片等来固定。另外，底座5仅在底面部分固定，而不固定侧部等。
这样，根据本实施方式，将如下底座105储藏在将缓冲部件109固定在底面111的集装箱103中，即通过采用多个螺栓137将蜂窝板135按压到基板3上来支撑基板的底座105；并将底面部件123的部分固定在缓冲部件109上面来进行搬运，从而底座吸收振动的低频成分，而集装箱103的缓冲部件109吸收振动的高频成分，因此可以对应于输送中的各种冲击，且能够避免基板表面的受伤和破损等损伤。
下面，对本发明的第四实施方式涉及的基板输送装置141进行说明。
图24是本发明的第四实施方式涉及的基板输送装置141的正视图(门117未图示)。基板输送装置141构成为将第一实施方式中说明的底座105储藏在集装箱149中。
关于基板输送装置141，对于与基板输送装置101的构成要素相同功能的部分，赋予相同符号，并省略详细说明。
集装箱149，在顶板115上设置多个可悬挂底座105的弹簧结构的支撑部件143，并在侧面板113的内侧大致水平地设置轨道145，且在底座105的侧面设置导向部147。
底面部件107为刚性较高的材质和结构，并具有有利于用叉车等进行作业的形状的脚部，而侧面板113、背面板119、顶板115以及门117对材质没有特别限定，但需要可将底座105悬挂在顶板115上的较高刚性的骨架。
基板输送装置141将底座105悬挂在设置于集装箱149的支撑部件143上，并将设置于底座147的导向部147对准轨道145来储藏。
这样，根据第四实施方式，将通过采用多个螺栓137把蜂窝板135按压到基板3上来支撑基板的高刚性的底座105，采用弹簧结构的支撑部件143，从顶板悬挂并储藏在集装箱149中来进行搬运，由此，底座吸收振动的低频成分，而集装箱149的弹簧结构的支撑部件143吸收振动的高频成分，所以可以对应于输送中的各种冲击，且能够避免基板表面的受伤和破损等损伤。
下面，对本发明的第五实施方式涉及的基板输送装置151进行说明。
图25是本发明的第五实施方式涉及的基板输送装置151的立体图。图26是图25的基板输送装置151的剖视图。
对基板输送装置而言，在底部，即通过缓冲部件155将底座保持部件157设置在底面153上的底部，作为保持机构设置有突部158，且在突部158的内侧放置底座105，并用箱状的盖体159盖上。
底面153以及底座保持部件157为刚性较高的材质，优选使用由钢材或金属角管形成为框状的部件、和形成为面状的部件。
缓冲部件155优选使用粘弹性的树脂薄片。另外，不限于粘弹性的树脂薄片，可以使用油减振器或粘弹性橡胶等的粘弹性体。
盖体159为无底的箱状，由于目的是防止污染，所以没有特别限定材质，优选使用树脂制瓦楞纸板箱子、在铝框上粘贴薄膜的箱子、发泡聚丙烯等的发泡树脂的一体成形品。
这样，根据第五实施方式，将通过采用多个螺栓137把蜂窝板135按压到基板3上来支撑基板的高刚性的底座105，放置在具有缓冲部件155的底部，并用盖体159覆盖来进行搬运，由此，底座105吸收振动的低频成分，而缓冲部件155吸收振动的高频成分，可以对应于输送中的各种冲击，能够避免基板表面的受伤和破损等损伤。
下面，对本发明的第六实施方式涉及的基板输送装置161进行说明。
图27是本发明的第六实施方式涉及的基板输送装置161的立体图，其构成为将基板输送装置151储藏在除底面部件163外均为骨架结构的架子中。
架子具有竖立设置在底面部件163的拐角部上的4根柱子165，并具有用4根梁167连接柱子165的上部的结构。底面部件163、柱子165以及梁167采用高刚性的材质，并牢固地固定各连接。
这样，根据第六实施方式，底座105吸收振动的低频成分，而输送装置151的缓冲部件155吸收振动的高频成分，并用牢固的架子包围基板输送装置151来进行搬运，由此，可以对应于输送中的各种冲击，能够避免基板表面的受伤和破损等损伤。
另外，关于上述基板输送装置101、141、151、161的底座，以底座5为例进行了说明，但不限于底座5的结构，例如，只要是如图28～30所示的按压支撑基板的高刚性的底座，均可适用。图28表示在加压体的结构中与底座5不同的底座171，图29、图30表示平放基板来层叠并按压支撑基板的底座181、191。对于底座171、181、191，与上述的构成要素相同的功能的部分，赋予相同符号，并省略详细说明。
如图28所示，底座171采用空气弹簧作为用于按压支撑基板3的机构，加压体173由设置有多个空气弹簧175的正面部件139形成。正面部件139为在四边形框上具有多根柱子的形状，正面部件139用易于与连接在背面部件125上的围栏部件131拆装的连接件相连接。
通过一并将空气装入多个空气弹簧175，可以均匀地对基板3的整个面进行加压。也可以采用气筒来代替空气弹簧175。空气弹簧的数量和配置没有特别的限定，但被设定成可以均匀地按压基板3的整个面。
在底座主体上配置蜂窝板133，并搭载基板3，且配置蜂窝板135、加压体173以及围栏部件131后，对多个空气弹簧175一并装入空气，且按压蜂窝板135，由此来按压支撑基板3。
如图29所示，底座181具有底面部件123和垂直于底面部件123而设置的支撑部件185，并通过焊接来固定底面部件123和支撑部件185。底面部件123、支撑部件185为在各四边形的框上具有多根柱子的形状，底面部件123具有有利于用叉车等进行作业的形状的脚部。在底面部件123上面搭载基板3，并设置具有顶面部件183的加压体，用底面部件123和加压体来夹持按压基板3。在底面部件123上面配置蜂窝板133，并搭载基板3，且配置蜂窝板135以及围栏部件131后，在蜂窝板135上面搭载顶面部件183，并利用顶面部件183的自重、或将顶面部件183向底面部件123侧按压的按压机构(未图示)，来均匀地按压支撑基板3的整个面。
如图30所示，对底座191而言，按压支撑基板3的加压体，由设置有多个空气弹簧193的顶面部件183构成。顶面部件183用连接件与连接在底面部件123上的围栏部件131相连接。在底面部件123上配置蜂窝板133，并搭载基板3，且配置蜂窝板135以及围栏部件131后，对多个空气弹簧一并装入空气，来按压蜂窝板135，由此按压支撑基板3。
下面，对本发明的第七实施方式涉及的基板输送装置201进行说明。
图31是本发明的第七实施方式涉及的基板输送装置201的简要立体图。基板输送装置201构成为将图1所示的基板收纳体1储藏在集装箱103中。
关于基板输送装置201，对与上述基板输送装置1以及基板收纳体1的构成要素相同功能的部分，赋予相同符号，并省略详细说明。
在本发明中，在基板收纳容器10内收纳基板3而作为基板收纳体1，并将基板收纳体1储藏在集装箱103中。
根据本实施方式，可以利用基板收纳体1来支撑基板3的整个面并进行搬运，且将其储藏在集装箱101中，由此可以缓解或隔断输送中的振动。通过用基板收纳体1来整个面支撑重叠体，吸收振动的低频成分来防止因振动的低频成分而产生的变形，而集装箱103的缓冲部件109吸收振动的高频成分，防止高频成分的传播，由此，可以对应于输送中的各种冲击，能够避免基板表面的受伤和破损等损伤。
下面，对本发明的第八实施方式涉及的基板输送装置211进行说明。
图32是本发明的第八实施方式涉及的基板输送装置211的简要立体图。基板输送装置211构成为将图10所示的基板收纳体1储藏在集装箱103中。
关于基板输送装置211，对与上述基板输送装置1以及基板收纳体51的构成要素相同功能的部分，赋予用相同符号，并省略详细说明。
在本发明中，将基板3的捆包体53收纳在箱子中而作为基板收纳体51，并将基板收纳体51储藏在集装箱103中。
根据本实施方式，可以利用基板收纳体51来支撑基板的整个面来进行搬运，且将其储藏在集装箱101中，由此可以缓解或隔断输送中的振动。通过用基板收纳体51来整个面支撑重叠体，吸收振动的低频成分来防止因振动的低频成分而产生的变形，而集装箱103的缓冲部件109吸收振动的高频成分，防止高频成分的传播，由此，可以对应于输送中的各种冲击，能够避免基板表面的受伤和破损等损伤。
以上，说明了本发明的优选实施方式，但本发明不限于实施方式所示的结构，可以在权利要求书所记载的范围内进行适当变化。
权利要求
1.一种基板收纳容器，用于收纳多张基板层叠而构成的重叠体，其特征在于，具有支撑台，其具有可在将基板置于水平的状态下放置上述重叠体的支撑面；按压单元，其使按压力均匀地作用在放置于上述支撑台上的重叠体的整个上表面区域，且将上述重叠体按压并固定在上述支撑台上。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，上述按压单元具有负荷支撑板，其以与放置在上述支撑台上的重叠体的上表面相面对的方式，与上述支撑台连接而设置；气囊，其配置在上述负荷支撑板和上述重叠体之间，并由上述负荷支撑板来支撑，且使按压力均匀地作用在上述重叠体的整个上表面区域。
3.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，上述按压单元具有负荷支撑板，其以与放置在上述支撑台上的重叠体的上表面相面对的方式，与上述支撑台连接而设置；气囊，其配置在上述负荷支撑板和上述重叠体之间，并由上述负荷支撑板来支撑，且使按压力均匀地作用在上述重叠体的整个上表面区域，上述支撑台是托板，在上述托板上设置有盖体，该盖体的顶板用作上述负荷支撑板，该盖体以包围放置在上述托板上的重叠体的方式可拆装地安装在上述托板上。
4.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，上述按压单元具有负荷支撑板，其以与放置在上述支撑台上的重叠体的上表面相面对的方式，与上述支撑台连接而设置；气囊，其配置在上述负荷支撑板和上述重叠体之间，并由上述负荷支撑板来支撑，且使按压力均匀地作用在上述重叠体的整个上表面区域，上述支撑台是托板，并在上述托板上设置有盖体，该盖体的顶板用作上述负荷支撑板，该盖体以包围放置在上述托板上的重叠体的方式可拆装地安装在上述托板上，上述基板收纳容器具有外箱，该外箱由收纳由上述托板和上述盖体形成的内箱的第二托板以及第二盖体构成。
5.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，上述按压单元具有弹性板材，其配置在放置在上述支撑台上的重叠体的上表面；负荷支撑板，其配置在上述弹性板材的上表面；连接单元，其连接上述负荷支撑板与上述支撑台，从而上述负荷支撑板对上述弹性板材施加压力并使其弹性变形，且通过上述弹性板材将按压力均匀地作用在重叠体的整个上表面区域。
6.一种基板收纳体，其特征在于，将隔着隔离体层叠多张基板而成的重叠体，收纳在权利要求1所述的基板收纳容器而形成。
7.一种基板收纳体，其特征在于，具有第一支撑板、第二支撑板、以及隔着隔离体层叠多张基板而成的重叠体，上述重叠体被上述第一和第二支撑板夹持、并按压支撑。
8.根据权利要求7所述的基板收纳体，其特征在于，上述按压支撑是用绑带紧固上述第一支撑板和上述第二支撑板的外周而实现的。
9.根据权利要求7所述的基板收纳体，其特征在于，上述按压支撑是用绑带紧固上述第一支撑板和上述第二支撑板的外周而实现的，上述绑带是串联地具有弹簧构造的绑带。
10.根据权利要求7所述的基板收纳体，其特征在于，上述按压支撑是用扣片紧固上述第一支撑板和上述第二支撑板而实现的。
11.根据权利要求7所述的基板收纳体，其特征在于，上述按压支撑是用螺栓紧固上述第一支撑板和上述第二支撑板而实现的。
12.根据权利要求7所述的基板收纳体，其特征在于，将上述基板收纳体进一步收纳在箱体中，上述箱体具有托板，其具有可放置上述基板收纳体的支撑面；可拆装的盖体，其以覆盖放置在上述托板上的基板收纳体的方式设置。
13.根据权利要求7所述的基板收纳体，其特征在于，将上述基板收纳体进一步收纳在箱体中，上述箱体具有内箱，其由具有可放置上述基板收纳体的支撑面的托板、和以覆盖放置在上述支撑台上的基板收纳体的方式设置的可拆装的盖体构成；外箱，其由收纳上述内箱的第二托板以及第二盖体构成。
14.一种输送装置，其特征在于，具有底座，其按压支撑并收纳使多张基板层叠而构成的重叠体；集装箱，其储藏上述底座，且在内部的底面具有缓冲部件，并在上述缓冲部件上面保持上述底座，上述底座具有吸收振动的低频成分的特性，而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性。
15.根据权利要求14所述的输送装置，其特征在于，上述缓冲部件为油减振器。
16.根据权利要求14所述的输送装置，其特征在于，上述缓冲部件为粘弹性体。
17.根据权利要求14所述的输送装置，其特征在于，上述底座具有底座主体，其由底面部件、和竖立固定在上述底面部件上的背面部件构成，且竖立支撑上述基板；加压体，其在上述底面部件上面与上述背面部件相对置而设置，且可向上述背面部件侧按压上述重叠体；围栏部件，其可安装在上述背面部件和上述加压体上。
18.根据权利要求14所述的输送装置，其特征在于，上述底座具有底面部件；加压体，其可向上述底面部件侧按压放置在上述底面部件上面的上述重叠体；围栏部件，其可安装在上述底面部件上。
19.根据权利要求14所述的输送装置，其特征在于，上述重叠体是隔着隔离体层叠多张基板而构成的重叠体。
20.一种输送装置，其特征在于，具有底座，其按压支撑并储藏多张基板层叠而构成的重叠体；集装箱，其储藏上述底座，且在内部的顶面具有弹簧机构，并用上述弹簧机构悬挂并保持上述底座，上述底座具有吸收振动的低频成分的特性，而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性。
21.根据权利要求20所述的输送装置，其特征在于，上述重叠体是隔着隔离体层叠多张基板而构成的重叠体。
22.一种输送装置，其特征在于，具有底座，其按压支撑并储藏使多张基板重叠而构成的重叠体；箱状体，其储藏上述底座，并由具有缓冲部件且保持上述底座的底部、以及配置在上述底部的上侧的盖体构成，上述底座具有吸收振动的低频成分的特性，而上述底部具有吸收振动的高频成分的特性。
23.根据权利要求22所述的输送装置，其特征在于，上述重叠体是隔着隔离体层叠多张基板而构成的重叠体。
24.一种输送装置，其特征在于，用架子包围权利要求22所述的输送装置的周围，该架子具有底面部件、竖立设置在上述底面部件的拐角部上的4根柱子、连接上述柱子的上部的4根梁。
25.一种输送装置，其特征在于，具有基板收纳体，其将隔着隔离体层叠多张基板而构成的重叠体，收纳在基板收纳容器中，该基板收纳容器具有支撑台，其具有可在将基板置于水平的状态下放置上述重叠体的支撑面；按压单元，其使按压力均匀地作用在放置在上述支撑台上的重叠体的整个上表面区域，且将上述重叠体按压并固定在上述支撑台上；集装箱，其储藏上述基板收纳体，且在内部的底面具有缓冲部件，并在上述缓冲部件上面保持上述基板收纳体，其中，上述基板收纳体具有吸收振动的低频成分的特性，而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性。
26.根据权利要求25所述的输送装置，其特征在于，上述按压单元具有负荷支撑板，其以与放置在上述支撑台上的重叠体的上表面相面对的方式，与上述支撑台连接而设置；气囊，其配置在上述负荷支撑板和上述重叠体之间，并由上述负荷支撑板来支撑，且使按压力均匀地作用在上述重叠体的整个上表面区域。
27.一种输送装置，其特征在于，具有基板收纳体，其将基板收纳体进一步收纳在箱体中，其中，上述基板收纳体具有第一支撑板和第二支撑板、以及隔着隔离体层叠多张基板而构成的重叠体，且该重叠体由上述第一和第二支撑板来夹持，并按压支撑，该箱体由具有可放置上述基板收纳体的支撑面的托板、和以覆盖放置在上述托板上的上述基板收纳体的方式设置的可拆装的盖体构成；集装箱，其储藏收纳在上述箱体中的基板收纳体，且在内部的底面具有缓冲部件，并在上述缓冲部件上面保持上述底座，其中，上述基板收纳体具有吸收振动的低频成分的特性，而上述集装箱具有吸收振动的高频成分的特性。
28.根据权利要求27所述的输送装置，其特征在于，上述按压支撑是用绑带紧固上述第一支撑板和上述第二支撑板的外周而实现的。
全文摘要
一种基板收纳容器，用于收纳层叠多张基板而构成的重叠体，其中，该收纳容器具有支撑台，其具有可在将基板置于水平状态下放置前述重叠体的支撑面；按压单元，其使按压力均匀地作用在放置在上述支撑台上的重叠体的整个上表面区域，且将上述重叠体按压并固定在上述支撑台上。上述按压单元具有负荷支撑板，其以与放置在上述支撑台上的重叠体的上表面相面对的方式，与上述支撑台连接而设置；气囊，其配置在上述负荷支撑板和上述重叠体之间，并由上述负荷支撑板来支撑，并使按压力均匀地作用在上述重叠体的整个上表面区域。
文档编号H01L21/673GK1956899SQ20058001622
公开日2007年5月2日 申请日期2005年5月20日 优先权日2004年5月21日
发明者松本武司, 土公武行, 中村友祐, 竹原彻, 汤本启介, 田中丰彦, 铃木谦作, 中原法彦 申请人:大日本印刷株式会社