专利名称：具有双向调针功能的调针机的利记博彩app
技术领域：
本实用新型涉及一种调针机，特别是涉及一种具有上下调针功能的调针机。
背景技术：
半导体测试领域中，在晶圆测试阶段一定会使用到一个极为重要的治具-探针卡(Probe Card)。该探针卡即为进行晶圆测试时，与晶圆作直接接触的一个重要接口。因为晶圆的尺寸面积并不大，而一片晶圆又容纳了数以百千计的晶粒在上面，相对每一颗晶粒所能分配到的面积会更小。而在每一颗晶粒上更具有多个电极垫，所以进行晶圆测试时，半导体测试设备要在极有限的面积必须对每一颗晶粒作完整的电性测试，便要借助该探针卡微小化，通过该探针卡上多个细微的探针，将测试信号送至每一颗晶粒的多个电极垫上，再分别加以量测。
如图1所示，为一般探针卡的侧视示意图，该探针卡1主要具有一电路板11，以及多个与该电路板11连接的探针12。该多个探针12是以含有钨、镍等金属成份制成的细微针体，并分别具有一与该电路板11固接的连接端121，以及一用于与晶圆作接触测试的接触端122。该电路板11上设有一穿孔110，该多个探针12是沿着该穿孔110的周缘与该电路板11连接，通过该穿孔110可直接目测到每一根探针12的接触端122。
每一接触端122的针尖位置必须与其欲进行接触晶粒上的多个电极垫相互对应，并规范每一根探针12从针尖到该电路板11的长度都相同。如此，才能在进行晶圆测试时，使每一根探针12都能准确且平均地与晶圆上每一颗晶粒的电极垫作电性接触，以对每一颗晶粒进行不同电性准位及产品功能的测试。
由于该探针卡1上的多个探针12是非常细微，在制作过程当中每一根探针12都必须经过调整，以确保针脚的位置与晶粒上的多个电极垫相同。再者，该多个探针12在长时间与晶圆作接触的情形下也极易产生形变与耗损，导致针脚的位置改变，而无法继续担任传送测试信号的角色。除前述造成该多个探针12形变的原因以外，还包括不当使用以及清洁探针12时的所造成的碰触形变。因此，为使该探针卡1上的多个探针12在进行测试时，每一根探针12都能确实担负起的传送与量测测试讯号的责任，且使每一根探针12的针尖都能位于指定的位置上，所以必须以一调针机，对该探针卡1上的多个探针12进行调整作业，而此一调针作业对于该探针卡1的维修保养与制作至为重要。
配合图2所示，为一般常见的调针机2，该调针机2具有一基座21、一设置于该基座21上的固定单元22、一间隔设置于该固定单元22上方的举臂单元23、一可驱动该举臂单元23相对该固定单元22作上下位移的连动单元24，及一显微镜25。该连动单元24具有一拉杆241，使用者拉动该拉杆241便可驱动该举臂单元23相对该固定单元22在一调针位置与一非调针位置间移动。
实际进行调针时，先将该针测卡1定置于该举臂单元23上，并将该多个探针12朝向该固定单元22的位置。接着将一表面上预先刻绘有仿真晶粒上每一个电极垫位置图的透明玻璃基板固定于该固定单元22上，由于该多个探针12的针尖位置必须对应该玻璃基板上所绘制的电极垫位置，所以进行调针的工作人员只要经由该显微镜观视，便可对照检视该探针卡1上的那些探针12的针脚位置已经偏移而需要调整。
当该举臂单元23位于该调针位置时，该玻璃基板是相对远离该固定单元22，而使该多个探针12与该玻璃基板间形成有一空隙。此时，工作人员便可以一镊子伸入该电路板11的穿孔110中，并利用该显微镜25放大观视每一根探针12，以该镊子进行调整该多个探针12针尖位置的工作。
当该举臂单元23位于该非调针位置时，该玻璃基板是相对接近但是不接触该多个探针12，而使该多个探针12与该玻璃基板间无空隙存在。此时，借由该显微镜25透过该玻璃基板便可检视该多个探针12的针脚位置是否位于正确的电极垫位置上。若无，再重复前述步骤，直至每一根探针12的针脚位置都能正确地落在每一个电极垫位置上，如此才算完成整个调针的工作。
然而，由于该针测卡1上的多个探针12是依照每一颗晶粒上的电极垫位置排列，而不同晶圆产品的电极垫排列位置并不相同。配合图3所示，为一晶粒3的上视示意图，该晶粒3的每一侧边上设置有三排电极垫31。每一个电极垫31是作为该晶粒3与每一根探针12的接触界面，由图3中可知，用以测试该晶粒3的探针卡1必须每一侧边设置有三排探针12，而以多排探针12排列的探针卡1在生产制造时，该多个探针12是以多层次排列制造，所以将该多个探针12朝下以进行调针的动作，并不适宜调整位于内层中的探针12，换句话说，工作人员进行调针时的困难度将增加许多。可以想象的是，虽然位于最外层的多个探针12较容易以该镊子进行调针，但是对于位在内层的多个探针12，则容易在伸入该镊子时碰触到其它的探针12，导致调针不易，进而使得整个半导体的测试流程因调针困难而事倍功半地浪费许多的时间，这对凡事要求效率的半导体代工业者来说不饬为一大伤害。
有鉴于此，为进一步改善上述缺点，使该调针机2能符合各式各样的针测卡1，且易于工作人员进行调针的动作，以达到快速调整该多个探针12的目的，即为本实用新型欲积极改善的重点。
实用新型内容本实用新型的目的，是在提供一种可上下固定针测卡，便于工作人员向上或是向下调整探针位置的具有双向调针功能的调针机。
为达到上述目的，本实用新型提供一种具有双向调针功能的调针机，适用于调整一针测卡上的多个探针，该调针机包含有一基座、一设置于该基座上的固定单元、一间隔设置于该固定单元上方的举臂单元、一可驱动该举臂单元相对该固定单元作上下位移的连动单元、一设于该举臂单元上的显微镜单元，及一可拆卸地锁固于该举臂单元上的定置单元，该定置单元具有一置于该二举臂间的框架、二用于固定该框架的固定片，及多个用于锁固该二固定片与该二举臂的锁固件。
本实用新型的功效在于该针测卡可定置于该固定单元上，并将该多个探针朝向该举臂单元的位置，也可借由该定置单元固定于框架的适当位置处，以使该探针卡上的多个探针朝向该固定单元，进而达到双向固定该针测卡，以便于向上与向下调整该多个探针的功效。
图1是一般针测卡的侧视示意图。
图2是一般调针机的立体示意图。
图3是一晶圆上一个晶粒的仰视示意图，说明该晶粒上具有多个电极垫。
图4是本实用新型具有双向调针功能的调针机第一较佳实施例的立体分解示意图。
图5是图4中该第一较佳实施例的立体示意图，说明该第一较佳实施例向上调针时的组合形态。
图6是本实用新型具有双向调针功能的调针机第二较佳实施例的立体分解示意图。
图7是图6中该第二较佳实施例的立体示意图，说明该第二较佳实施例向下调针时的组合形态。
具体实施方式
下面通过二较佳实施例及附图对本实用新型具有双向调针功能的调针机进行详细说明，而在本实用新型被详细描述前，要注意的是，在以下的说明中，类似的组件是以相同的编号来表示，附图中如图4、5所示，本实用新型具有双向调针功能的调针机5，适用于调整一针测卡6上的多个探针61。该调针机5的第一较佳实施例，包含有一基座51、一固定单元52、一举臂单元53、一连动单元54、一显微镜单元55、一承载单元56，及一定置单元57。
该基座51是呈矩形，该固定单元52设置于该基座51上，并具有一固定盘521，及多个设于该固定盘521上的真空吸孔522。该举臂单元53是间隔设置于该固定单元52的上方位置处，并具有两个间隔相对的举臂531，及一连接该二举臂531的连结板532。该连动单元54设于该调针机5的一侧边而与该举臂单元53抵接，并具有一拉杆541，拉动该拉杆541可驱动该举臂单元531相对该固定单元52上下位移，并在一调针位置与一非调针位置间移动。该显微镜单元55设于该举臂单元53的上方位置处，并具有一显微镜551，及一连设该显微镜551与该举臂单元53的固定板552，且该显微镜551主要是在调针时用以观视该多个探针61。
在此，应注意的是，该拉杆541的数量并不限于一个，也可以同时设置两个分别位于该调针机5左右两侧的拉杆541，此举可供进行调针的工作人员，选择顺手的工作方式，拉动该拉杆541以驱动该举臂单元531相对该固定单元52上下位移。
该承载单元56是可分离地定置于该固定单元52上，并具有一底板561、一围绕设置于该底板561上的围绕壁562，及一垂直该围绕壁562周缘并水平向外延伸的顶板563，该底板561与该围绕壁562相配合围绕界定出一容置空间560。该针测卡6是置于该顶板563上，并借由多个螺钉与该顶板563相互锁合，而该固定单元52上的多个真空吸孔522可抽出空气而将该承载单元56吸固于该固定盘521上，使得该多个探针61朝向该举臂单元53。
值得一提的是，该针测卡6的背面上通常会设置一些如电阻、电容等被动组件(显示于图6、7)，其作用是用以匹配进行测试时的电性信号，而该容置空间560的作用即为容纳该多个电子零件，以使该针测卡6置于该顶板563上时能保持平整。
该定置单元57是设置于该举臂单元53的二举臂531间，并具有一框架571、二用于固定该框架571的固定片572，及多个用于锁固该二固定片572与该二举臂531的锁固件573。
依据上述架构，以说明该调针机5进行向上调针时的实施情形，首先将该针测卡6置于该承载单元56的容置空间562中，并将该多个探针61朝向该举臂单元53的位置。然后将该承载单元56置于该固定盘521上，并以该多个真空吸孔522吸固。接着将一表面上预先刻绘有仿真晶圆上每一个电极垫位置图的透明玻璃基板7固定于该框架571上。由于该多个探针61的针尖位置必须对应该玻璃基板7上所绘制的电极垫位置，所以进行调针的工作人员只要经由该显微镜551观察，便可对照检视该探针卡6上的那些探针61的针尖位置已经偏移而需要调整。在此，应注意的是，该刻绘有仿真晶圆上每一个电极垫位置图的透明玻璃基板7，也可以做成投影片的方式来替代，并不限于本实施例的说明。
当该举臂单元53位于该调针位置时，该玻璃基板7是相对远离该固定单元52上的针测卡6，而使该多个探针61与该玻璃基板7间形成有一空隙。此时，工作人员便可以一镊子伸入该空隙中，并利用该显微镜25放大观视每一根探针12，以进行调整该多个探针61针脚位置的工作。
当该举臂单元53位于该非调针位置时，该玻璃基板7是相对接近但是不接触该多个探针61。此时，借由该显微镜551透过该玻璃基板7便可检视该多个探针61的针尖位置是否位于正确的电极垫位置上。若无，再升起该举臂单元53，并重复前述以该镊子调针的步骤，直至每一根探针12的针尖位置都能正确地落在刻印有电极垫位置的玻璃基板7上，如此才算完成整个调针的工作。
如图6、7所示，为本实用新型具有双向调针功能的调针机5第二较佳实施例，其构造大致与该第一较佳实施例相同，该调针机5同样包含有一基座51、一固定单元52、一举臂单元53、一连动单元54、一显微镜单元55，及一定置单元57。相同处于此不再赘述，惟不同的地方在于，该调针机5更包含有一吸附单元58。在该第二较佳实施例中，该吸附单元58是具有一概呈帽子状的中空壳体581，及多个贯通该壳体581的通孔582。
依据上述架构，以说明该调针机5进行向下调针时的实际情形，首先将该针测卡6固定于该定置单元57的框架571上，并将该多个探针61(图中未示出)朝向该固定单元52的位置。然后将该吸附单元58置于该固定盘521上。接着将一表面上预先刻绘有仿真晶圆上每一个电极垫位置图的透明玻璃基板7定置于该吸附单元58的中空壳体581表面上，由于该多个通孔582是贯通该壳体581，所以该固定盘521上的多个真空吸孔522会经由该多个通孔582，将该玻璃基板7吸附于该吸附单元上。
此时，由于该多个探针61的针尖位置必须对应该玻璃基板7上所绘制的电极垫位置，所以进行调针的工作人员只要经由该显微551镜观视，便可对照检查该探针卡6上的那些探针61的针尖位置已经偏移而需要调整。
当该举臂单元53位于该调针位置时，该玻璃基板7是相对远离该框架571上的针测卡6，而使该多个探针61与该玻璃基板7间形成有一空隙。此时，工作人员便可以一镊子伸入该多个探针61中，并利用该显微镜25放大观视每一根探针12，以进行该多个探针61针脚位置的调整工作。
当该举臂单元53位于该非调针位置时，该玻璃基板7是相对接近但是不接触该多个探针61。此时，借由该显微镜551便可检视该多个探针61的针尖位置是否位于正确的电极垫位置上。若无，再升起该举臂单元53而使该针测卡6远离该玻璃基板7，并重复前述以该镊子调针的步骤，直至每一根探针12的针尖位置都能正确地落在每一个电极垫位置上，如此才算完成整个调针的工作。
依据上述的说明，并配合回顾图4、6所示，可知本实用新型具有双向调针功能的调针机借由该定置单元57在向上与向下调针时可分别固定该针测卡6与该玻璃基板7，达到使该针测卡6与该玻璃基板7的位置互调的功能，便于工作人员依实际情况视该针测卡6的工作方便性，向上或是向下调整该多个探针6。再者，也由于该针测卡6的调针工作变的较为容易，所以能相对降低该探针卡6的调针时间，对整个测试流程来说可缩短许多停机等待该探针卡6的维修时间。
综上所述，本实用新型具有双向调针功能的调针机5借由该针测卡6可定置于该固定单元52上，并将该多个探针61朝向该举臂单元53的位置处，也可借由固定于框架571的适当位置处，以使该探针卡6上的多个探针61朝向该固定单元52，进而达到双向固定该针测卡6，以便于向上或是向下调整该多个探针61的功效，所以工作人员在本实用新型具有双向调针功能的调针机5调针过程中较为顺手与容易，可相对节省调针时间，所以确实能达到本实用新型的目的。
权利要求1.一种具有双向调针功能的调针机，适用于调整一针测卡上的多个探针，该调针机包含有一基座、一设置于该基座上的固定单元、一间隔设置于该固定单元上方的举臂单元、一可驱动该举臂单元相对该固定单元作上下位移的连动单元，及一显微镜单元，其特征在于；该调针机还包含有一可拆卸地锁固于该举臂单元上的定置单元，并具有一置于该二举臂间的框架、二用于固定该框架的固定片，及多个用于锁固该二固定片与该二举臂的锁固件，该针测卡可定置于该固定单元上，并将该多个探针朝向该举臂单元的位置，也可借由该定置单元固定于框架的适当位置处，以使该探针卡上的多个探针朝向该固定单元，进而达到双向固定该针测卡，便于向上与向下调整该多个探针的功效。
2.如权利要求1所述的具有双向调针功能的调针机，其特征在于该具有双向调针功能的调针机还包含一可分离地设置于该固定单元上的承载单元，该承载单元具有一底板、一围绕设置于该底板上的围绕壁，及一垂直该围绕壁周缘并水平向外延伸的顶板，且该底板与该围绕壁相配合围绕界定出一容置空间。
3.如权利要求2所述的具有双向调针功能的调针机，其特征在于该具有双向调针功能的调针机还包含一可分离地设置于该固定单元上的吸附单元，该吸附单元具有一中空的壳体，及多个贯通该壳体的吸孔。
专利摘要一种具有双向调针功能的调针机，适用于调整一针测卡上的多个探针，该调针机包含一基座、一固定单元、一举臂单元，及一定置单元，该定置单元具有一框架、二固定片，及多个锁固件，该针测卡可定置于该固定单元上，并将该多个探针朝向该举臂单元的位置，也可以借由该定置单元固定于框架的适当位置处，以使该探针卡上的多个探针朝向该固定单元，进而达到双向固定该针测卡便于上下调整该多个探针的功效。
文档编号H01L21/66GK2684374SQ20042000296
公开日2005年3月9日 申请日期2004年2月16日 优先权日2004年2月16日
发明者郑仁熹 申请人:经测科技股份有限公司