专利名称：半导体制造装置用的控制器模块的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及一种制造半导体元件的装置，且特指半导体元件制造装置用的控制器模块，其中多个控制器装置于一个控制箱中，该控制箱可在一移动式的控制箱支持器上移动，以利该控制器的保养。
图1是一个典型半导体制造装置的透视图。在图1中，该典型的半导体制造装置具有一主要反应室10和多个控制器21、22和23。该等控制器21、22和23可装置于多层，且各自依附于该等半导体制造装置，或可装置在该等半导体制造装置的周围，以方便该等半导体制造装置的保养。然而，若控制器分散于该等半导体装置的周围，操作者需要四处移动，以操作分散于该等半导体装置周围的控制器，这样效率不高。此外，该半导体制造装置的安装占据一定的空间，且在旁边更需要一空间以保养该等控制器。再者，若该等控制器以层状结构装置于该半导体制造装置，在维修该较低的控制器时，较低的控制器上方的较高控制器要先移开。因此，因为需要额外的工作以保养此控制器，及额外的空间以进行保养工作，半导体制造装置所需的空间变大。操作该半导体制造装置的大空间的需求，在半导体制造领域为一项缺点，因为半导体制造装置尺寸倾向于变大。
因此，需要一种减少该半导体制造装置占据空间的方法，及一种有利于该控制器保养的方法。
发明内容
因此，本发明乃针对于一种半导体制造装置的控制器模块，其排除现有技术的限制和缺点产生的一个或多个问题。
本发明的一项优点是提供一半导体制造装置的控制器模块，其中一个控制箱中具有多个控制器，装置于一个移动式控制箱支持器上，并在该移动式控制箱支持器上滑动，以利维修和保养。
以下的描述中会提出本发明附加的特色和优点，且部分可从此描述中得知，或由本发明的实行中得知。本发明的目的和其它优点可以由书面的描述、权利要求书以及图标中所特别指出的构造实现并达到。
为了达到依照本发明目的的这些优点和其它优点，如实施和大致描述，用于半导体制造装置的控制器模块，其中该控制器模块具有多个控制器，包含一个控制箱，位于该半导体制造装置之外，其中各个控制器分别装置于该控制箱之中，和一个移动式控制箱支持器，其中该控制箱位于该控制箱支持器上，且可在该控制箱支持器上滑动。此控制箱支持器包含一滑动装置，使该控制箱滑动于该控制箱支持器上。此滑动装置是一线性运动系统，且此线性运动系统包含一导引轨道，和依附于此控制箱底部的一个移动实体。
图1是一典型半导体制造装置的透视图。
图2是根据本发明的一个用于半导体制造装置的一控制器模块。
图中符号说明10 主要反应室21、22、23 控制器100 控制箱200 控制箱支持器210 轮子220 导引轨道221 移动本体
230 支柱图2是根据本发明的一个用于半导体制造装置的一控制器模块。图2中，根据本发明的用于半导体制造装置的控制器模块，其具有多个控制器、一个控制箱100和一个移动式控制箱支持器200。该多个控制器装置于该控制箱100中，且分隔为控制箱100中的许多隔间。一滑动盘(未显示)装置于各个隔间的一个底部，以利该控制器(未显示)装置于该隔间，及使该控制器分离出该隔间。因此，各控制器先被放在该滑动盘，然后该滑动盘滑进该控制箱100，以将该控制器配置于该控制箱100中。该控制器可通过将该滑动盘滑出该控制箱100而脱离该控制箱100。因此，当该等控制器的其中一个需要维修或保养时，此维修和保养的执行可不干扰其它控制器。
该控制箱支持器200主要具有多个滚动物或轮子210、多个支柱230、一滑动装置具有两对导引轨道220和一移动本体221。该多个轮子210装置于该控制箱支持器200的底部，以移动该控制箱支持器200。该多个支柱230也装置在该控制箱支持器200的底部，以固定该控制箱支持器200的位置。一线性运动系统用于本发明的滑动装置。该控制箱100置于该滑动装置上，之后可前后滑动。如上所述，该滑动装置具有两对该导引轨道220，且该移动本体221沿着该导引轨道220直线运动。该直线运动系统的各对，即该导引轨道220和该移动本体221，装置于该控制箱支持器200的两侧。该移动本体221附加于该控制箱100的底部，且因此该控制箱100可由手动或自动操作而前后移动。因此，当该控制器需要维修或保养工作时，一个操作者可以将该控制箱支持器200移动到适合维修和保养的地方，再进行维修和保养。此外，该维修和保养工作可以容易的对该控制器执行，其通过滑动该控制箱100于该控制箱支持器200之上，而此时该控制箱支持器200则固定在原来装置处。
如上所述，根据本发明，半导体制造装置的尺寸可以减小，其通过装置该多个控制器于该移动式控制箱100，且该维修和保养工作可轻易的施行，其通过将该控制箱100移动到适于进行该需要工作之处。此外，根据本发明，当晶片的尺寸变大时，生产力和生产良率可改善。
本领域技术人员，可在不背离本发明的精神和范围中，对本发明的制造和应用作不同的修改和变化。因此，此本发明包含请求范围内所有的改变和变型。
权利要求
1.一种半导体制造装置用的控制器模块，其特征在于，该控制器模块具有多个控制器，且包含一控制箱，位于该半导体制造装置之外，其中，该多个控制器中的每个分别装置于该控制箱中；和一移动式控制箱支持器，其中该控制箱装载于该控制箱支持器之上，并在该控制箱支持器上滑动。
2.如权利要求1所述的半导体制造装置用的控制器模块，其特征在于，该控制箱支持器包含一滑动装置，用以使该控制箱在该控制箱支持器上滑动。
3.如权利要求2所述的半导体制造装置用的控制器模块，其特征在于，该滑动装置是一个线性运动系统。
4.如权利要求3所述的半导体制造装置用的控制器模块，其特征在于，该线性运动系统包含一导引轨道；和一移动本体，依附于该控制箱的一个底部。
全文摘要
一种用于半导体制造装置的控制器模块，其中该控制器模块具有多个控制器，且包含一控制箱，位于该半导体制造装置之外，其中该多个控制器的各个分别装置于该控制箱中，和一移动式控制箱支持器，其中该控制箱装载于该控制箱支持器之上，并在该控制箱支持器上滑动。
文档编号H01L21/677GK1467789SQ0312083
公开日2004年1月14日 申请日期2003年3月20日 优先权日2002年7月4日
发明者高富珍 申请人:周星工程股份有限公司