专利名称：带有排出液体冷却剂的泵的电子设备的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及具有发热元件如半导体插件的电子设备，上述半导体插件由液体冷却剂冷却。更具体来说，本发明涉及在压力下供应冷却剂的泵和接受来自发热元件的热量的受热部分的结构。
日本专利申请公开文本第7-142886号公开了一种用于便携式计算机中的液冷冷却系统。这种冷却系统包括一个受热头部、一个热辐射头部和一条冷却剂循环管。受热头部设置在便携式计算机壳体内，热连接于微处理器。热辐射头部装在便携式计算机的显示器单元内。冷却剂循环管在壳体和显示器单元之间延伸，连接受热头部和热辐射头部。
在这种冷却系统中，受热头部接受微处理器产生的热量。受热头部加热冷却剂，冷却剂通过管送至热辐射头部。热辐射头部当冷却剂在其中通过时辐射热量。冷却剂由于在热辐射头部的热交换而被冷却，并通过冷却剂循环管流回受热头部中。在受热头部中，冷却剂接受微处理器产生的热量。当冷却剂循环时，微处理器发生的热量有效地传至热辐射头部。微处理器可高效地受到冷却。
这种传统的冷却系统包括一个小型泵，该泵设置在冷却剂循环管的中部。该泵设计成在压力下供应冷却剂。该泵具有一个泵壳和设置在泵壳中的叶轮。在叶轮的轴向上看去时，泵壳呈矩形。它具有四个直角的角部。
泵壳的四个角部位于叶轮叶片外缘的圆形轨迹外侧。因此，泵壳具有在角部内的“死区”，死区起不到向冷却剂施加压力的作用。由于具有死区，泵壳大于实际需要。
因此，便携式计算机的印刷电路板需要大的区域来固定泵。换言之，泵占据大的空间，不可避免地限制了许多电路元件的安装区域。
按照本发明的一个方面，提供一种电子设备，该电子设备包括一个容纳一发热元件的壳体。一个受热部分热连接于发热元件。一个热辐射部分辐射由发热元件产生的热量。一条冷却剂循环路径在受热部分和热辐射部分之间循环液体冷却剂。一个泵向热辐射部分供应冷却剂，并具有多个周壁。在泵外侧设置多个逸出空间/固定区域，每个逸出空间/固定区域处于相邻的三个周壁限定的两个角部之间。多个固定部分围绕泵布置，并与逸出空间/固定区域对准。一个保持件紧固在固定部分上，将泵固定在壳体内。
因此，泵没有死区，可以制得更小，因而泵不会限制在设备壳体内容纳其它元件的空间。
本发明的其它实施例在下面的描述中阐述，部分地可从说明中理解，或者可以在实施本发明中掌握。本发明的实施例和优点可通过下文具体描述的手段及组合实现或取得。
图1是作为本发明第一实施例的一便携式计算机的立体图，表示泵、热辐射部分和冷却剂循环路径的位置关系；
图2是第一实施例的立体图，表示显示器单元转动至打开位置；图3是第一实施例的横剖图，表示泵、热辐射部分和冷却剂循环路径的位置关系；图4是第一实施例的热辐射部分的横剖图；图5是第一实施例的立体图，表示固定在印刷电路板上的泵；图6是第一实施例的横剖图，表示与受热部分成为整体且由一保持件固定在印刷电路板上的泵；图7是装在第一实施例中的泵的平面图；图8是作为本发明第二实施例的便携式计算机的横剖图，表示受热部分、泵、热辐射部分和冷却剂循环路径的位置关系；图9是第二实施例的横剖图，表示由第一保持件固定在印刷电路板上的受热部分；图10是第二实施例的受热部分的平面图；图11是第二实施例的横剖图，表示由第二保持件固定在印刷电路板上的泵；图12是装在第二实施例中的泵的平面图；图13是装在本发明第三实施例中的泵的平面图；图14是装在本发明第四实施例中的泵的平面图。
图1和2表示按照本发明的作为电子设备的便携式计算机1。便携式计算机1包括一个计算机主体2和一个显示器单元3。主体2具有一个扁平箱体状的壳体4。壳体4具有一个底壁4a、一个顶壁4b、一个前壁4c、左、右壁4d和后壁4e。顶壁4b支承键盘5。
顶壁4b具有一个显示器支承部分6，该部分位于键盘5的背部。显示器支承部分6在壳体4的宽度方向上延伸，从顶壁4b的后缘向上突出。部分6具有一对凹部7a和7b。凹部7a和7b在壳体4的宽度方向上彼此间隔开来。
显示器单元3包括一个液晶显示板8和一个显示器壳体9。显示器壳体9容纳显示器板8，并具有一对中空腿部11a和11b。腿部11a和11b插在壳体4的凹部7a和7b中。铰链(未画出)将腿部11a和11b固定在壳体4的后缘上。因此，显示器单元3可在一个闭合位置和一个打开位置之间转动。在闭合位置上，显示器单元3从上方覆盖键盘5。在打开位置上，显示器单元3直立，露出键盘5。
如图1和3所示，壳体4内装一个印刷电路板13、一个硬盘驱动器14和一个CD-ROM驱动器15。印刷电路板13、硬盘驱动器14和CD-ROM驱动器15布置在壳体4的底壁4a上。
如图6所示，一个半导体插件16焊接在印刷电路板13的上表面上。插件16是工作中产生热量的圆形元件，它位于印刷电路板13的背部。它具有一个基片17和一个集成电路片18。集成电路片18安装在基片17的中央部分上。集成电路片18工作中产生大量热，这是由于它高速处理数据及进行许多功能的缘故。集成电路片18必须被冷却以便根据需要工作。
如图1和3所示，便携式计算机1内装一个液冷冷却单元20。冷却单元20包括一个受热部分21、一个泵22、一个热辐射部分23和一条冷却剂循环路径24。
如图6所示，受热部分21是一块金属板。受热部分21大于半导体插件16的基片17。因此。受热部分21从上方覆盖集成电路片18。集成电路片18热连接于受热部分21的下表面的中央部分。
泵22与受热部分21形成整体。泵22包括一个叶轮25和一个泵壳26。叶轮25连接于一扁平的电机27，电机固定在泵壳26上。叶轮25具有一根在壳体4的厚度方向上延伸的轴线R1。当便携式计算机1上的电开关接通时，或当半导体插件16的温度升至一个预定值时，扁平电机27开始转动叶轮25。
泵壳26具有一个泵室28，在泵室中设置叶轮25。如图7所示，泵室28具有沿着叶轮25的叶片外缘轨迹延伸的圆形内表面。泵壳26具有一个冷却剂进口29和一个冷却剂出口30。进口29和出口30都与泵室28连通。
如图1和3所示，热辐射部分23夹置在液晶显示板8和显示器壳体9的背部之间。热辐射部分23具有与液晶显示板8几乎相同的尺寸。如图4所示，热辐射部分23包括两个热辐射板32和33。两个热辐射板32和33由具有良好导热率的金属制成。它们一个设置在另一个之上。
第一热辐射板32具有一个从第二热辐射板33突出的膨胀部分34。膨胀部分34是曲折的，具有U形横截面。膨胀部分34通至第二热辐射板33。第二热辐射板33封闭膨胀部分34的开口端部。因此，膨胀部分34和第二热辐射板33限定了一条曲折的冷却剂路径35。
热辐射部分23具有一个冷却剂进口36和一个冷却剂出口37。冷却剂进口36位于热辐射部分23的左端，连接于冷却剂路径35的上游端。冷却剂进口36邻近于显示器壳体9的左侧腿部11a。冷却剂出口37连接于冷却剂路径35的下游端，位于热辐射部分23的右侧。冷却剂出口37邻近于显示器壳体9的右侧腿部11b。因此，进口36和出口37在显示器壳体9的宽度方向上彼此间隔开来。
如图1和3所示，冷却剂循环路径24包括二根管子38和39。第一管子38连接泵壳26的冷却剂出口30和热辐射部分23的冷却剂进口36。第一管子38从壳体4内部伸入显示器壳体9，穿过显示器支承部分6和左侧腿部11a。第二管子39连接泵壳26的冷却剂进口29和热辐射部分23的冷却剂出口37。第二管子39从壳体4内部伸入显示器壳体9，穿过显示器支承部分6和右侧腿部11b。
泵室28、冷却剂循环路径24和热辐射部分23的冷却剂路径注入冷却剂液体。例如，冷却剂液体是向水中添加乙二醇溶液制备的防冻剂，如果必要，还添加腐蚀抑制剂。
如图5至7所示，泵壳26是一个扁平的八边形箱体，由导热金属如铝合金制成。泵壳26具有一个底壁41、一个顶壁42和8个周壁43a至43h。底壁41位于受热部分21的上表面上，因而热连接于受热部分21。顶壁42与底壁41相对。叶轮25位于泵壳26的底壁41和顶壁42之间。第一至第八周壁43a至43h包围叶轮25，将底壁41的边缘和顶壁42的边缘紧固在一起。第一至第八周壁43a至43h与泵室28的圆形内表面相切地延伸。
泵壳26具有八个角部44。角部44是由八个周壁43a至43h限定的，两个相邻的周壁限定一个角部。角部44具有135°的角θ。因此，当在叶轮25的轴线R1的轴向看去时，泵壳26呈八边形。
下面详述泵壳26的形状。第一周壁43a、第三周壁43c、第五周壁43e和第七周壁43g位于相互成直角的垂向平面内。第二周壁43b、第四周壁43d、第六周壁43f和第八周壁43h分别倾斜于第一、第三、第五和第七周壁43a、43c、43e和43g，并与泵室28的圆形内表面相切。
因此，第二周壁43b、第四周壁43d、第六周壁43f和第八周壁43h提供了在泵壳26外侧的四个逸出空间/固定区域45。每个逸出空间45位于两个相邻的角部44之间。逸出空间45的形状象从一个方形箱体切出的四个角部。逸出空间45位于半导体插件16的对角线上。它们横跨叶轮25彼此相对。因此，逸出空间45和第一、第三、第五和第七周壁43a、43c、43e和43g是围绕叶轮25交错布置的。
泵壳26的冷却剂进口29和冷却剂出口30是在泵壳26的第一周壁43a上制成的。进口29和出口30彼此平行延伸，在壳体4的背部上敞口。
呈八边形的泵22固定在印刷电路板13的上表面上。下面对照图5和6描述泵22是如何固定的。固定部分包括四个柱螺栓销46。柱螺栓销46固定在印刷电路板13上。柱螺栓销46位于半导体插件16外侧，在插件16的对角线上，在其一端上有螺钉47。螺钉穿透印刷电路板13，拧入加强板48，该加强板设置并紧固在印刷电路板13的下表面上。
柱螺栓销46从印刷电路板13的上表面向上伸出，与逸出空间45对准。换言之，它们在逸出空间45内分别沿着泵壳26的第二、第四、第六和第八周壁43b、43d、43f和43h延伸。
螺钉51将一个保持件50紧固在柱螺栓销46的顶部上。保持件50是一个板簧，其中央部分是一个推动部分52。推动部分52向下推动泵壳26的顶壁42。因此，泵壳26被夹紧在半导体插件16和保持件50之间。泵22因而在印刷电路板13上保持不移动。
半导体插件16的集成电路片18在便携式计算机1工作时产生热量。集成电路片18产生的热量通过受热部分21传至泵壳26的底壁41。如上所述，泵壳26具有注入液体冷却剂的泵室28。液体冷却剂吸收传至泵壳26的较大部分热量。
当泵22的叶轮25转动时，液体冷却剂从泵室28通过第一管子38被泵入热辐射部分23。然后，液体冷却剂通过泵室28和热辐射部分23循环。
更准确来说，在泵壳26中被加热的液体冷却剂流经在热辐射部分23中曲折的冷却剂路径35。当液体冷却剂流过路径35时，热量散入第一热辐射板32和第二热辐射板33。然后，热量从这些板32和33的表面辐射。
液体冷却剂在流过冷却剂路径35时被冷却。因此，冷却剂通过第二管子39流回到泵室28中。当这样流动时，冷却剂吸收来自集成电路片18的热量。然后，冷却剂送至热辐射部分23。冷却剂的这种循环反复进行，从便携式计算机1辐射集成电路片18的热量。
也用来接受来自集成电路片18的热量的泵22具有一个八边形泵壳26。泵壳26的八个角部44具有135°的角θ。由于角θ大于直角，因而泵壳26接近圆形而非方形。角部44在泵壳26的径向上更少地向外突出。因此，在泵壳26的角部内没有死区。这使泵壳26更小。泵壳26在水平平面中只占据一个小的区域。
如前所述，在泵壳26内的逸出空间/固定区域45的形状象从一方形箱体切出的四个角部。四个柱螺栓销46分别设置在逸出空间45内，将泵22固定在印刷电路板13上。在逸出空间45内布置在半导体插件16的每条对角线上的两个柱螺栓销46只分开一个短的距离。由于泵壳26占据一个小的区域，柱螺栓销46之间的距离短，在印刷电路板13上无需提供大的区域，或在壳体4中无需提供大的空间来容纳泵22。
八角形泵壳26的第一周壁43具有一个冷却剂进口36和一个冷却剂出口37。因此，通过围绕叶轮25的轴线R1将泵壳26转过45°，可以从一个方向至下一个方向将进口36和出口37在八个不同方向上取向。因此，引导第一和第二管子38和39的方向能够以大的自由度调节。这种调节易于将冷却剂循环路径布置在壳体4中。
本发明并不局限于上述第一实施例。图8至12表示本发明的第二实施例。
第二实施例与第一实施例的不同之外在于，用于供应液体冷却剂的泵22和用于接受来自半导体插件16的受热部分60是彼此间隔开来的，而在任何其它结构特征上第二实施例都与第一实施例相同。与第一实施例相同的元件使用相同的附图标记，并不再赘述。
如图8至10所示，受热部分60具有一个壳体61，该壳体呈扁平箱体状。壳体61由导热金属如铝合金制成。壳体61具有一个底壁62、一个顶壁63和八个周壁64a至64h。底壁62的下表面是平的，用作受热表面65。受热表面65热连接于半导体插件16的集成电路片18。第一至第八周壁64a至64h将底壁62的边缘和顶壁63的边缘紧固在一起。因此，壁62、63及64a至64h构成一条在壳体61内的冷却剂路径66。冷却剂可以在冷却剂路径66中流动。冷却剂路径66通过底壁62热连接于集成电路片18。
第一至第八周壁64a至64h围绕冷却剂路径66，并限定壳体61的周边。壳体61具有八个角部67。角部67是由周壁64a至64h限定的，每个角部是由两个相邻的周壁限定的。角部67具有135°的角θ。因此，壳体61是八边形的。
更具体来说，第一周壁64a、第三周壁64c、第五周壁64e和第七周壁64g处于垂向平面内，这些垂向平面彼此成直角。第二周壁64b、第四周壁64d、第六周壁64f和第八周壁64h分别倾斜于第一、第三、第五和第七周壁64a、64c、64e和64g。
因此，第二周壁64b、第四周壁64d、第六周壁64f和第八周壁64h提供了在壳体61外侧的四个逸出空间68。每个逸出空间68位于两个相邻的角部67之间。逸出空间68的形状象从一个方形箱体切成的四个角部。逸出空间68位于半导体插件16的对角线上。它们横跨冷却剂路径彼此相对。
壳体61具有一个冷却剂进口69和一个冷却剂出口70。冷却剂进口69是在壳体61的第三周壁64c上形成的，与冷却剂路径66连通。冷却剂出口70是在第一周壁64a上形成的，与冷却剂路径66连通。因此，进口69和出口70彼此成直角。冷却剂出口通至壳体4的背部，并连接于冷却剂循环路径24的第一管子38。冷却剂进口69通至壳体4的右侧。
如图9所示，壳体61固定在印刷电路板13上，从上方覆盖半导体插件16。第一固定部分包括四个柱螺栓销71。柱螺栓销71固定在印刷电路板13上。柱螺栓销71位于半导体插件16外侧，位于插件16的对角线上。它们一端上有一个螺钉72。螺钉72穿透印刷电路板13，拧入加强板48。
柱螺栓销71从印刷电路板13的上表面向上伸出。它们与位于壳体61外侧的逸出空间68对准。换言之，它们穿过逸出空间68，分别与壳体61的第二、第四、第六和第八周壁64b、64d、64f和64h相对。
螺钉74将第一保持件73紧固在柱螺栓销71的顶部上。第一保持件73是一个板簧，其中央部分是一个推动部分75。推动部分75向下推动壳体61的顶壁63。因此，壳体61被夹紧在半导体插件16和第一保持件73之间。因此，受热部分60在印刷电路板13上保持不移动。
泵22设置在受热部分60的右侧上。泵22具有一个象第一实施例中那样的八边形的泵壳26。泵22的冷却剂进口36和冷却剂出口37是分别在壳体26的第一周壁43a和第七周壁43g上制成的。因此，上述进口36和出口37设置得使其轴线彼此成直角。
冷却剂进口36通向壳体4的背部，它连接于冷却剂循环路径24的第二管子39。冷却剂出口37与受热部分60的冷却剂进口69相对。一根第三管子76将冷却剂出口37连接于冷却剂进口69。
如图11所示，泵22固定在印刷电路板13的上表面上。泵22位于半导体插件16的外侧，该插件也固定在印刷电路板13的上表面上。第二固定部分包括四个柱螺栓销77。柱螺栓销77固定在印刷电路板13上。柱螺栓销77设置在一个方形的对角线上。它们一端有一个螺钉78。螺钉78穿透印刷电路板13，并拧入一块加强板79，该加强板设置并紧固在印刷电路板13的下表面上。
柱螺栓销77从印刷电路板13的上表面向上伸出。它们与泵壳26外侧的逸出空间45对准。换言之，它们穿过逸出空间45，分别与泵壳26的第二、第四、第六和第八周壁43b、43d、43f和43h相对。
螺钉81将第二保持件80紧固在柱螺栓销77的顶部上。第二保持件81是一个板簧，其中央部分是一个推动部分82。推动部分82向下推动泵壳26的顶壁42。因此，泵壳26被夹紧在印刷电路板13和第二保持件80之间。因此，泵22在印刷电路板13上被保持不移动。
集成电路片18产生的热量传至壳体61的受热表面65。较大部分的热量被吸收在壳体61的冷却剂路径66中流动的液体冷却剂中。
当泵22的叶轮25转动时，液体冷却剂从泵室28通过第三管子76泵入冷却剂路径66中。冷却剂由于在冷却剂路径66的热交换被加热，并被送至热辐射部分23。然后，冷却剂流过曲折的冷却剂路径35。当冷却剂流过路径35时，热量从液体冷却剂散入第一热辐射板32和第二热辐射板33中。最后，热量从上述板32和33的表面释放。
液体冷却剂当流过冷却剂路径35时被冷却。这样冷却了的冷却剂通过第二管子39流回到泵室28中。液体冷却剂进而通过第三管子76流至受热部分60的冷却剂路径66。当这样流动时，冷却剂吸收来自集成电路片18的热量。冷却剂的这种循环被重复，通过热辐射部分23从便携式计算机1辐射集成电路片18的热量。
在第二实施例中，从集成电路片18接受热量的受热部分60是八边形的。受热部分60的八个角部67具有135的角θ。由于角θ大于直角，受热部分60更接近于圆形而非方形，因而角部67在壳体61的径向上突出更小。因此，在壳体61的角部中没有死区。这使壳体61更小。壳体61在水平平面中只占据小的区域。
另外，四个逸出空间68设置在壳体61外侧。每个逸出空间位于两个相邻角部67之间。逸出空间68的形状象从一个方形箱体切成的四个角部。逸出空间68容纳四个固定和保持受热部分60的柱螺栓销71。在逸出空间68中设置的、布置在半导体插件16的每条对角线上的两个柱螺栓销71只间隔开一个短的距离。由于壳体61占据小的区域，且柱螺栓销71之间的距离短，因而在印刷电路板13上无需提供大的区域或在壳体4中无需提供大的空间来容纳受热部分60。
四个柱螺栓销71容纳在泵壳26外侧的四个逸出空间45内。因此，与第一实施例中一样，在印刷电路板13上无需提供大的区域来容纳泵22。
图13表示本发明的第三实施例。第三实施例的特征在于，泵91的泵壳92是六边形的。泵壳92具有六个平行的周壁93a至93f。周壁93a至93f包围一个圆形的泵腔94。
第一周壁93a和第六周壁93f位于以直角延伸的两个垂向平面内。类似地，第三周壁93c和第四周壁93d位于以直角延伸的两个垂向平面内。第二周壁93b倾斜于第一和第三周壁93a和93c，并与泵室94的圆周相切。类似地，第五周壁93e倾斜于第四和第六周壁93d和93f，并与泵室94的圆周相切。由于这样的倾斜，第二周壁93b和第五周壁93e提供了两个在泵壳92外侧的逸出空间。逸出空间95的形状象两个从方形箱体切成的角部。它们横跨泵室94在直径上相对。
在第三实施例中，一个冷却剂进口96和一个冷却剂出口97从泵壳92的第一周壁93a突出。进口96和出口97彼此平行地延伸，在相同的方向上开口。
两个用作固定部分的柱螺栓销98布置在泵壳92外侧的逸出空间95内。柱螺栓销98从印刷电路板(未画出)向上突伸。
一个带状保持件99紧固在柱螺柱销98上，从一个柱螺栓销98延伸至另一个柱螺栓销98。保持件99将泵壳92推向印刷电路板(未画出)。
应注意的是，容纳柱螺栓销98的两个逸出空间95处于泵壳92外侧，位于泵壳92的一条对角线上。因此，泵壳92可以制得较小而不减小泵室94的尺寸。
将泵91紧固在印刷电路板上的两个柱螺栓销98设置在泵壳92外侧的逸出空间95内。因此，不仅泵壳92可制得较小，而且也无需印刷电路板具有大的容纳泵91的区域。
图14表示本发明的第四实施例。
第四实施例的特征在于，泵100的泵壳101是五边形的，泵壳101具有五个周壁102a至102e。周壁102a至102e包围一个圆形泵室103。它们与泵室103的圆周相切地延伸。因此，泵壳101具有五个角部104。每个角部104是由两个相邻的周壁限定的，具有110的角θ。
在第四实施例中，一个冷却剂进口105和一个冷却剂出口106是在泵壳101的第一周壁102a上制成的。进口105和出口106平行地延伸，因而在相同的方向上开口。
第三周壁102c和第五周壁102e横跨泵室103彼此相对。两个柱螺栓销107设置在泵壳101的外侧，分别在第三和第四周壁102c和102e上。柱螺栓销107用作固定部分，从印刷电路板(未画出)向上伸出。
一个带状保持件108紧固在柱螺栓销107上，从一个柱螺栓销107伸至另一个柱螺栓销107。保持件108将泵壳101推向印刷电路板。
由于泵壳101是五边形的，它更接近于圆形而非方形。因此，泵壳101在泵室外侧无死区。因此，泵壳101可以制得较小而不减小泵室103的尺寸。
在本发明中，泵壳或受热部分的壳体可以具有多于八个周壁。换言之，泵壳或壳体例如可以是十边形的。在这种情形中，泵壳或受热部分的壳体更接近于圆形，在泵壳或壳体外更无死区。或者泵壳或壳体可具有圆形或椭圆形的壁，它包围一个圆形的泵室，减小或消除泵室或壳体外侧的死区。
另外，按照本发明的电子设备并不局限于便携式计算机。本发明可应用于PDA(个人数字助手)和任何其它类型的数据处理设备。
本专业技术人员很容易理解其它的优点和变型。因此，从广义方面来说，本发明并不局限于本说明书中图示或描述的具体细节和典型实施例。因此，可以作出各种变型而不超出权利要求书限定的总发明构思及其等同物的精神和范围。
权利要求
1.一种电子设备，其特征在于它包括一个容纳发热元件(16)的壳体(4)；一个受热部分(21，60)，它热连接于发热元件(16)并具有多个周壁(43a至43h，64a至64h)；多个设置在受热部分(21，60)周壁(43a至43h，64a至64h)外侧的固定区域(45，68)；多个围绕发热元件(16)布置且与固定区域(45，68)对准的固定部分(46，71)；以及一个紧固在固定部分(46，71)上且将受热部分(21，60)保持在壳体(4)中的保持件(50，73)。
2.如权利要求1所述的设备，其特征在于每个周壁(43a至43h，64a至64h)是从由直壁和弯曲壁构成的组中选择的。
3.如权利要求1所述的设备，其特征在于受热部分(21，60)是八边形的，具有八个彼此等距的角部(44，67)，每个固定区域(45，68)位于相邻的两个角部(44，67)之间。
全文摘要
一种电子设备(1)包括一个壳体(4)、一个热连接于发热元件(16)的受热部分(21)、一个用于辐射由发热元件(16)产生的热量的热辐射部分(23)、一个用于向热辐射部分(23)供应液体冷却剂的泵(22)和一个固定在固定部分(46)上具有将泵(22)保持在壳体(4)内的保持件(50)。泵(22)具有多个周壁(43a至43h)。多个固定区域(45)设置在泵(22)外侧，每个固定部分位于由相邻的三个周壁限定的两个角部之间。固定部分(46)与固定区域(45)对准。
文档编号H01L23/473GK1474248SQ03110598
公开日2004年2月11日 申请日期2003年4月11日 优先权日2002年8月7日
发明者谷本光良, 上川喜规, 小泉文彦, 木下照夫, 夫, 彦, 规 申请人:株式会社东芝