专利名称：光纤的调心方法、半导体激光器组件的制造方法与半导体的激光器组件的利记博彩app
技术领域：
本发明涉及光纤调心方法、半导体激光器组件的制造方法与半导体激光器组件，特别涉及到将两束激光经偏振波复合后对接收它的光纤进行调心的方法与半导体激光器组件的制造方法。
背景技术：
近年来随着高密度波分复用传输方式光通信的进展，更加提高要求光放大器中所用激励光源的高输出化。
最近，作为光放大器，与过去所用的掺饵光放大器相比，对于用作更宽波段的光放大装置的拉曼放大器正寄予更高的期望。拉曼放大是通过以激励光入射光纤时发生的感应拉曼散射使增益出现于离激励光波长约13THz的低频侧，在将具有上述增益的波段的信号光输入这样受激状态的光纤时，利用这种信号光放大现象的光信号的放大方法。
拉曼放大中，在信号光与激励光(抽运光)的偏振方向一致的状态下，信号光将放大，因而需要使信号光与激励光二者的偏振方向的偏移尽可能地小。为此要进行消除激励光的偏振波(无偏振光化去极化)，降低偏振度(DOP)。
作为将来自光放大器的激励光源等所用半导体激光组件的激光消偏振化的方法，例如已知有将两束激光进行偏振波复合而从光纤输出的方法。
图11是用于说明美国专利No.5589684中所公开的过去的半导体激光器装置的说明图。
如图11所示，过去的半导体激光器装置具有以同一波长沿相互正交方向发射激光的第一与第二半导体激光器元件100与101；使第一半导体激光器元件100发射的激光准直的第一准直透镜102；使第二半导体激光器元件101发射的激光准直的第二准直透镜103；将第一与第二准直透镜102与103准直的激光进行正交偏振波复合的偏振波复合耦合器104；将偏振波复合耦合器104进行了偏振波复合的激光聚光的聚光透镜105；让聚光透镜105会聚的激光入射而输送到外部的光纤107。
在过去这种半导体激光器装置中，由于从第一与第二半导体激光器元件100与101沿相互正交的方向发射的激光经偏振波复合耦合器104作了偏振波复合，故能从光纤107出射偏振度小的激光(后面称作已有例1)。
特开昭60-76707号公报中公开了这样的半导体激光器组件，它包括设置于散热器上，光轴与偏振方向相互平行且出射端面大略一致，分别发射出第一与第二激光的第一与第二半导体激光器元件；设置于第一半导体激光器发射出的第一激光的光路上，使第一激光的偏振方向旋转90°，而相对于第二激光的偏振方向成直角的偏振旋转器；使偏振方向相互成直角的第一与第二激光光路在双折射效应下合并的偏振元件(方解石板)；接收来自偏振元件侧的激光且输送到外部的光纤；将通过偏振元件合并的激光耦合到光纤中的透镜。这种半导体激光组件中将第一与第二半导体激光器元件收纳于封装内而单元化(后面称作已有例2)。
特开2000-315757号公报公开的半导体激光器组件具有电子冷却元件；安装于电子冷却元件上，将第一与第二半导体激光器元件发射出的第一与第二激光分别准直的第一与第二准直透镜；将第一与第二激光进行偏振波复合的偏振波复合元件；接收偏振波复合元件输出的激光而输送到外部的光纤。此外，上述第一与第二半导体激光器是作为以发光中心间距为500μm而形成的LD(发光二极管)阵列而构成的。上述第一与第二准直透镜可以作为球面透镜阵列或菲涅耳透镜等透镜阵列构成(后面称作已有例3)。
但在已有例1中，由于需要相对于半导体激光器元件输出的激光需要分别定位透镜，就会有制造工艺复杂，增长制造时间的问题。
在已有例2中，采用了由偏振旋转元件或偏光元件直接接收来自半导体激光元件的激光的结构。因此，在此已有例2的结构下，为了求得高的光耦合效率，需要将半导体激光器元件-透镜间的间隔设计为约300～500μm，这样在实际上极难以在激光器元件-透镜间设置偏置旋转元件与偏振元件。通过用大的透镜虽可形成大的间隔，但封装也将比当前所用的大好几倍，从而随之就有半导体激光器组件大型化的问题。
在已有例3中，采取的是将以宽间隔(发光中心间距500μm)发射出的两束光分别用不同的透镜接收而获得相互平行的两束激光的结构，因而半导体激光器元件将大型化，减少了由一块晶片能制得的半导体芯片的数量，不利于大规模生产。为了解决这一问题，需要将半导体激光器元件的条带间隔变窄而让透镜小型化，这样从各个条带发射出的光相互分离成为困难，因而就不易进行此后的偏振波复合或光的复合。
为了解决上述问题，本申请人提出了，将具有两个条带状发光部(下面简作“条带”)的单一的半导体激光器元件发射出的两束激光进行偏振复合，而由光纤接收的半导体激光器组件(例如参看特愿2001-383840号，下面称其中描述的技术为相关技术)。
图5概示这种相关技术的半导体激光器组件的结构。
如图5所示，此相关技术的半导体激光组件M1包括具有按约100μm以下间隔相互平行形成的第一条带9与第二条带10，从第一条带9与第二条带10的前侧端面2a(图5中的右侧)分别发射出第一激光K1与第二激光K2的单一的半导体激光元件2；使半导体激光器元件2发射出的第一激光K1与第二激光K2入射，将第一激光K1与第二激光K2于第一、第二条带9、10的并列方向分离的第一透镜4；将第一与第二激光K1、K2中至少之一(图5的情形，第一激光K1)的偏振方向依预定角度(例如90°)旋转的半波片6；将第一激光K1与第二激光K2进行光复合后发射出的偏振波复合元件7(以下称为PBC(偏振光复合件))；与PBC7发射出的复合光进行光耦合，将此复合光传输到外部的光纤8。
在第一透镜4与半波片6之间设有使第一与第二激光K1、K2入射，以两者的光轴大致平行出射的棱镜5。在PBC7与光纤8之间设有使通过PBC7已进行偏振波复合的第一、第二激光K1、K2光耦合到光纤8中的第二透镜16。
作为PBC7，可采用金红石晶体、YVO4等双折射元件。
从半导体激光器元件2的第一条带9与第二条带10的前侧端面2a分别出射的第一激光K1与第二激光K2通过第一透镜4相交，再以很宽的间隔充分分离后入射到棱镜5。
通过棱镜5，第一激光K1与第二激光K2以间隔D相互平行地出射，第一激光K1入射到半波片6，使偏振方向转过90°入射到PBC7的第一输入部7a，第二激光K2入射到PBC7的第二输入部7b。
PBC7中使第一输入部7a入射的第一激光K1与第二输入部7b入射的第二激光K2进行偏振波复合，从输出部7c出射。
从PBC发射出的激光由第二透镜聚光，入射到由套筒23保持的光纤8的端面，输出到外部。
根据相关技术的半导体激光组件M1，从于一个半导体激光器元件2中以100μm以下的窄间隔形成的第一、第二条带9、10发射出的偏振方向一致的第一与第二激光K1、K2，由第一透镜4充分分离后，通过半波片6使第一激光K1的偏振方向准确地旋转90°。在此状态下，由于经PBC7使第一激光K1与第二激光K2进行了偏振波复合，就能从光纤8出射高输出、低偏振度的激光。
因此，能把上述半导体激光器组件M1用作要求高输出的掺饵光放大器的，进而用作在放大增益中要求低的偏振波依存性与稳定性的拉曼放大器的激励光源。
此外，由于采用了具有各自发射出激光的两个条带的一个半导体激光器元件2，和使激光K1、K2两者分离的单一的第一透镜4，而缩短了半导体激光元件2与第一透镜4的定位时间。结果减少了半导体激光器组件M1的制造时间。
还由于从单一半导体激光器元件2发射出的两束激光是沿同方向传输，收容半导体激光器元件2、第一透镜4、半波片6、PBC7与第二透镜16等光学器件的封装的翘曲的影响也只限于一个方向(图5中的Z方向)，能使光纤8出射的光输出稳定化。
在此相关技术的半导体激光器组件的制造方法中，光纤8的定位步骤如图12(A)所示。是将光纤8的尾端与功率计26连接，用套筒调心手柄28将保持光纤的套筒23沿X、Y、Z轴方向移动调心并固定，以使光输出成为最大。
但是，如以前所述，由于采用了将金红石晶体、YVO4等双折射元件作为PBC 7，故如图12(B)所示，第一激光K1与第二激光K2通过PBC7的光程的物理长度以及折射率n1、n2分别不同(例如n1＝2.46，n2＝2.71)，因此第一激光K1与第二激光K2于第二透镜16光学的下游形成的各自焦点(光束腰部在高斯射束中，激光的光点直径最小的部分(激光最集中的部分))的位置G1、G2，如图12(B)所示不一致(图12(B)中，F1、F2表示由第一透镜4形成的光束腰部的位置，G1、G2表示由第二透镜16形成的光束腰部的位置)。此外，在耦合到光纤8之前各个激光所发生的衰减量是不同的，同时从各条带发射出的激光的辐射角(FFP)与强度等也是不同的。由于这些原因，耦合到光纤8中各个激光的强度相异。
结果，当把光纤8按其轴向(Z轴方向)定位使光输出最大时，由于耦合到光纤8中的正交状态的光中产生有强度差，有时复合光的偏振度(DOP)不能达到所希望的值以下。
此外，在已有例的半导体激光器组件的制造方法中，由于两个半导体激光器元件间的特性(出射端面的激光的辐射角(FFP远场图案)、光输出、波长以及它们的温度相关性)的个体差以及光学器件的设置状态的不同、封装的翘曲等，有时也会增大偏振度。
发明内容
本发明正是为了解决上述问题而提出的，目的在于提供对与两束激光经偏振波复合所得的复合光进行光耦合的光纤调心。使耦合到光纤中的复合光的偏振度调心到预定值以下的光纤调心方法以及半导体激光组件的制造方法。
本发明的第一光纤调心方法是使通过至少一个第一透镜的两束激光由偏振波复合元件进行偏振波复合后，经第二透镜与此复合光作光耦合的光纤的调心方法，其特征在于，移动上述光纤进行调心使光耦合到上述光纤中的所述复合光的偏振度在预定值以下。
本发明的第二光纤调心方法是使通过至少一个第一透镜的两束激光由偏振波复合元件进行偏振波复合后，经第二透镜与此复合光作光耦合的光纤的调心方法，其特征在于此方法具有移动上述光纤进行调心使光耦合到上述光纤中的前述复合光的强度最大的第一步骤；使上述光纤沿其轴向移动以使光耦合到上述光纤中的所述复合光的偏振度达到预定值以下的第二步骤。
由于通过偏振波复合元件的两束激光在第一至第二透镜间光路的光程长不同，于是在第二透镜光学的下游形成的两束激光各个光束腰部是在上述光纤轴向上的不同位置处。因此若使光纤在这两个不同位置间移动，可以看到各束激光与光纤的耦合效率会变化，而能发现耦合到光纤中的各个激光强度相等的位置，由此能使复合光的偏振度减小。
上述两束激光也可以分别在上述第一透镜与上述第二透镜之间形成射束腰部。
由于射束腰部是在第一与第二透镜之间，故可减小第一与第二光束直径，由于为了使两束激光的分离宽度达到预定值以上而缩短了所需的传输长度，故能缩短到光纤的长度。此外还能使在第一与第二透镜间所用的光学器件小型化。
上述两束激光也可以是从具有各自发射激光的两个条带的单一半导体激光器元件发射出的。
上述两个条带也可以是相互平行的。
上述两个条带也可以分开100μm以下的间隔。
上述第一或第二光纤调心方法中，上述的至少一个第一透镜也可以是使上述两束激光偏转通过的单一透镜，也可以构成为使上述两束激光各自通过的两个透镜组成的透镜阵列。
本发明的第一半导体激光组件的制造方法中，它的半导体激光器组件包括具有各自发射激光且间隔开并列的两个条带的单一的半导体激光元件；使上述两个条带发射的两束激光偏转通过的单一第一透镜；使通过上述第一透镜的两束激光进行偏振波复合的偏振波复合元件；使上述偏振波复合元件发射出的复合光聚光的第二透镜以及与从上述第二透镜出射的复合光进行光耦合的光纤，而此制造方法的特征在于它具有将上述半导体激光元件固定到基台上的第三步骤；为使通过上述第一透镜的所述两束激光分别取预定方向而将上述第一透镜调心固定到上述基台上的第四步骤；将上述偏振波复合元件调心固定的第五步骤；通过本发明的第一或第二光纤的调心方法而将上述光纤调心固定的第六步骤。
根据上述结构，为使两束激光通过偏振波复合元件，使其光路的光程长不同。在此状态下，于第二透镜光学的下游形成的两束激光的光束腰部于光纤的轴向上相互错开。这样，通过采用本发明的第一或第二光纤的调心方法，可以制造输出激光的偏振度小的半导体激光器组件。
此外，由于采用了具有间隔开的并列的两个条带的单一半导体激光器元件和使从它们发射出的两束激光偏转通过的单一的第一透镜，故能制造小型的激光器组件。
上述第四步骤也可以是对上述第一透镜进行调心，以使通过上述第一透镜的两束激光在上述第一与第二透镜之间分别形成光束腰部。
由于第一与第二透镜间有光束腰部，第一与第二透镜间的光束直径将变小，由于为使两束激光的分离宽度达到预定值以上而缩短了必要的传输长度，故可缩短激光器组件的长度。此外，通过使用小型的光学器件可使组件小型化。
上述半导体激光器组件还具有使通过上述第一透镜的两束激光以其光轴相互平行且朝向上述偏振波复合元件出射的棱镜，而上述偏振波复合元件与上述棱镜则保持于共同的支架上；上述第四步骤是为了使通过上述第一透镜的上述两束激光以其光轴相互交叉且相对于此第一透镜的中心轴线成为实质上对称状态下朝向上述棱镜，将此第一透镜调心且固定到上述基台上；上述第五步骤也可以是通过移动上述保持部件对上述偏振波复合元件进行调心并固定。
从上述第一透镜出射的两束激光相对于第一透镜的中心轴对称分离传输，它们的光轴则通过棱镜相互平行，从而偏振波复合元件的设计与加工变得容易，同时激光器元件与透镜、棱镜、偏振波复合元件的对位也变得容易。还由于偏振波复合元件与棱镜一起固定于一个支架上，因而棱镜、偏振波复合元件的调心也变得非常容易。
上述两个条带也可以相互平行。
上述两个条带也可以分离开100μm以下的间隔。
本发明的第二半导体激光组件的制造方法中，它的半导体激光器组件包括具有各自发射一束激光的条带的两个半导体激光元件；使上述两个条带各自发射的激光分别通过的两个第一透镜；将通过上述第一透镜的两束激光进行偏振波复合的偏振波复合元件；将上述偏振波复合元件出射的复合光聚光的第二透镜以及与经此第二透镜出射的复合光进行光耦合的光纤，而此方法的特征在于它具有将上述两个半导体激光器元件固定到基台上的第七步骤；为使通过上述第一透镜的上述两束激光分别取预定方向而将上述两个第一透镜的各个进行调心并固定到上述基台上的第八步骤；将上述偏振波复合元件进行调心并固定的第九步骤，以及根据本发明的第一或第二的光纤调心方法将上述光纤调心并固定的第十步骤。
在上述结构中，从各半导体激光器元件出射的两束激光虽各自通过第一透镜，但当半导体激光器元件与第一透镜的距离在两束激光之间由于制造上的偏差等而不同，故在第二透镜的光学的下游形成的各个激光束的腰部位置有时会在光纤的轴向上相异。此外，当各半导体激光器元件出射端面的辐射角(FFP)等的特性相异时，各半导体激光器元件与光纤的耦合效率也不同。在这种状况下，即便对两束激光进行偏振波复合，偏振度也不会充分地变小，但在本发明的第二半导体激光器组件的制造方法中，由于采用了本发明的第一或第二光纤的调心的方法，通过在第二透镜的光学的下游形成的光束腰部间进行光纤的定位，就能制造输出激光的偏振度小的半导体激光器组件。
上述半导体激光器组件还具有使通过上述第一透镜的两束激光之一朝向上述偏振波复合元件的输入部之一反射的反射器，而上述偏振波复合元件则与上述反射器保持于共同的支架上；上述第七步骤是将上述两个半导体激光器元件固定成，使得从两个上述条带出射的两束激光的光轴相互平行。
上述第九步骤也可通过移动所述支架而对前述偏振波复合元件进行调心固定。
由于偏振波复合装置与反射器一起固定于一个支架上，它们的调心工作就能很容易地进行。
上述两个第一透镜作为透镜阵列构成；上述第七步骤也可以是将所述两个半导体激光器元件固定而使从两个上述条带出射的两束激光的光轴相互平行。
本发明的第三半导体激光器组件的制造方法中，它的半导体激光器组件包括具有各自发射激光且间隔开并列的两个条带的单一的半导体激光元件；使上述两条带各自出射的激光分别通过的两个第一透镜；将通过上述两个第一透镜的两束激光进行偏振波复合的偏振波复合元件；将上述偏振波复合元件出射的复合光聚光的第二透镜以及与此第二透镜出射的复合光光耦合的光纤；此方法的特征在于它具有将上述半导体激光器元件固定于基台上的第十一步骤；将上述两个第一透镜调心并固定到上述基台上以使通过所述两个第一透镜的前述两束激光分别成为所预定方向的第十二步骤；将上述偏振波复合元件调心并固定到所述基台上的第十三步骤，以及通过本发明的第一或第二光纤调心方法将上述光纤调心、固定的第十四步骤。
上述两个条带相互平行。上述两个第一透镜也可作为透镜阵列构成。
本发明的第一半导体激光器组件的特征在于，此组件包括具有间隔开形成的第一条带与第二条带，而从此第一条带与第二条带的一侧端面分别发射出第一激光与第二激光的单一半导体激光元件；使从上述第一条带与第二条带出射的上述第一激光与第二激光偏转通过的第一透镜；使经上述第一透镜出射的第一、第二激光中至少一方的偏振方向旋转的偏振旋转元件；入射上述第一激光的第一输入部；入射上述第二激光的第二输入部；具有将从上述第一、二输入部入射的第一、第二激光复合后出射的输出部的偏振波复合元件；装载上述半导体激光器元件、上述第一透镜的基台；将从上述偏振波复合元件的上述输出部出射的复合光聚光的第二透镜，以及为接收经上述第二透镜出射的激光而进行对位的光纤。
上述光纤则固定于上述第二透镜光学的下游中形成的各个激光的光束腰部之间。
上述第一与第二条带也可以按100μm以下的间隔分离。
本发明的第二半导体激光器组件的特征在于，此组件包括具有间隔开形成的第一条带与第二条带，而从此第一条带与第二条带的一侧端面分别发射出第一激光与第二激光的单一半导体激光元件；使从上述第一条带与第二条带出射的上述第一激光与第二激光分别通过的两个第一透镜；使经上述第一透镜出射的第一、第二激光中至少一方的偏振方向旋转的偏振旋转元件；入射上述第一激光的第一输入部；入射上述第二激光的第二输入部；具有将从上述第一、二输入部入射的第一、第二激光复合后出射的输出部的偏振波复合元件；装载上述半导体激光器元件、上述两个第一透镜的基台；将从上述偏振波复合元件的上述输出部出射的复合光聚光的第二透镜，以及为接收经上述第二透镜出射的激光而进行对位的光纤。
上述光纤则固定于上述第二透镜光学的下游中形成的各个激光的光束腰部之间。
本发明的第三半导体激光器组件的特征在于，此组件包括分别具有发射激光的一个条带的两个半导体激光元件；使从这两个半导体激光元件出射的第一激光与第二激光分别通过的两个第一透镜；将通过上述两个第一透镜的第一、第二激光中至少一个的偏振方向旋转的偏光旋转元件；使上述第一激光入射第一输入部；使上述第二激光入射的第二输入部；具有使从上述第一输入部入射的第一激光与从上述第二输入部分入射的第二激光复合出射的输出部的偏振部复合元件；使通过上述第一透镜的上述第一、第二激光之一朝向上述偏振波复合元件的第一输入部与第二输入部之一反射的反射器；装载上述两个半导体激光元件与上述两个第一透镜的基台；使从上述偏振波复合元件的上述输出部出射的激光聚光的第二透镜，以及为接收经上述第二透镜出射的激光而进行对位的光纤，上述光纤则固定于上述第二透镜光学的下游中形成的各个激光的光束腰部之间。
上述两个第一透镜也可以构成为透镜阵列。
图1是示明据本发明第一实施形式例的方法制造的半导体激光组件结构的侧示剖面图。
图2是用于实施本发明的方法的结构的模式说明图。
图3是示明有关本发明实施形式例的相对于光纤Z轴方向移动量的光输出(设最大值为100时的相对值)与偏振度变化的曲线图。
图4示明使光纤沿Z轴方向移动时，耦合到光纤中的两束激光的强度与复合光的强度。
图5对相关技术与本发明第一实施形式例的半导体激光器组件结构进行了模式化说明。
图6(A)示明偏振合成组件，是图6(B)的A-A线平面剖面图，图6(B)是此组件的侧视剖面图，图6(C)是其正视图。
图7说明第一透镜的调心步骤。
图8是用于说明对偏振波复合组件进行调心固定步骤的斜视图。
图9是示明本发明第二实施形式例的半导体激光器组件的平面图。
图10是示明本发明第三实施形式例的半导体激光器组件的平面图。
图11说明美国专利No.5589684所公开的以往的半导体激光器装置。
图12说明光纤调心方法中的问题。
具体实施形式下面参看
本发明的实施形式。此外，与图5所示半导体激光组件的结构部件相同的部件附以相同的标号而略去其说明。
(第一实施形式)图1是示明据本发明第一实施形式例的方法制造的半导体激光组件结构的侧视剖面图。
如图1所示，根据本发明的实施形式例的方法制造的半导体激光组件M1具有将内部气密封接的封装1；设于此封装1内，发射激光的半导体激光元件2；光电二极管(光接收元件)3；第一透镜4；棱镜5；半波片(偏振旋转元件)6；成为偏振波复合元件的PBC7等；光纤8。
半导体激光元件2如图5所示，具有分隔开沿纵向相互在同一平面上平行形成的第一条带9与第二条带10，从此第一条带9与第二条带10的前侧端面2a分别发射出第一激光K1与第二激光K2。图5中所示K1与K2分别表示从第一条带9与第二条带10发射出的激光束中心的轨迹。光束如图5虚线所示，沿其中心周围扩展传播。第一条带9与第二条带10的间隔为使其各自发射出的光K1、K2入射到一个第一透镜4而设定在100μm以下，例如约40～60μm。此外，通过缩小条带相互之间间隔，也减小了它们相互的光输出特性的差别。
如图1所示，半导体激光元件2固定地安装于基片载件之上(通过图中未示明的散热器)。
光电二极管3接收从半导体激光元件2后侧(图1中左侧)端面2b(参看图5)发射出的监控用激光。光电二极管3固定于光电二极管载件12上。
第一透镜4中入射有从半导体激光器元件2前侧(图1中右侧)端面2a(参照图5)相互平行出射的第一激光K1与第二激光K2，使它们交叉，且使它们的间隔沿条带9、10平行的方向扩展分离，同时激光K1、K2在第一透镜4与后述第二透镜16之间的不同位置F1、F2处形成光束腰部(参看图5)。因此，从第一透镜4出射后的两束激光成为不平行的。
如图1所示，第一透镜4由第一透镜保持件13保持。此外，为了抑制球差的影响，第一透镜4最好采用球差小的与光纤8耦合效率变高的非球面透镜。
棱镜5设置在第一透镜4与PBC7之间，校正入射的第一激光K1与第二激光的光路，使彼此的光轴大致平行地出射(图5)。棱镜5由BK7(硼硅玻璃)等光学玻璃制成。从第一透镜4非平行传输的第一与第二激光K1、K2的光轴，通过棱镜5的折射而平行，因而使设于此棱镜5后方的PBC7的制作变得容易。
如图5所示，半波片6是只使通过棱镜5的第一激光K1与第二激光K2之中的第一激光入射，让入射的第一激光K1的偏振方向旋转90°的偏振旋转元件。通过第一透镜4使第一、第二激光K1、K2充分分离，半波片6的设置变得容易。
PBC7具有使第一激光K1入射的第一输入部7a；使第二激光K2入射的第二输入部7b；使从第一输入部7a入射的第一激光K1与从第二输入部7b入射的第二激光复合出射的输出部7c。PBC7例如是使第一激光K1作为寻常光传输到输出部7同时使第二激光K2作为非寻常光传输到输出部7C的双折射元件。PBC7当它是双折射元件时，可以由TiO2(金红石)制成。
本实施形式中采用将棱镜5、半波片6与PBC7固定到同一保持件14上的偏振复合组件24。图6(A)示明偏振合成组件24，它是(B)的A-A线平面剖面图，(B)是其侧剖面图，(C)是其正视图。如图6所示，偏振复合组件24的保持件14是由适于用YAG激光器焊接的材料(例如SUS403、304等)制成，全长L2约7.0mm，总体略呈圆柱形。保持件14的内部形成收容部14a，棱镜5、半波片6与PBC7分别固定于此收容部14a中。此偏振合成组件如图8所示，通过剖面略呈U字形的第二保持件19b调心固定。
这样就能非常容易地调整棱镜5、PBC7在中心轴C1周围的位置，使从PBC7的第一输入部7a入射的第一激光K1与从第二输入部7b入射的第二激光K2一起从输出部7c出射。
还由于借助保持件14将上述这些光学元件整体化，就能只通过移动保持件14调节激光K1、K2相互在输出部7C中重合的情形。
光纤8接收从PBC7的输出部7C出射的复合光，并将其传到封装1之外。
PBC7与光纤8之间设有使从PBC7的输出部7c出射的激光光耦合到光纤8中的第二棱镜16。此外，第一透镜4最好对位成使第一激光K1与第二激光K2分别在第一透镜4与第二透镜16之间形成光束腰部F1、F2。由此可使第一透镜4与第二透镜16之间的激光光点直径变小。于是为了能把半波片6插入第一激光K1的光路上而需要求得使第一激光K1与第二激光K2有充分分离宽度D’的传输距离L(参看图5)就变短了。因此，可以使半导体激光器组件M1在光轴方向上的长度缩短。结果就能提供在高温环境下半导体激光元件2与光纤8光耦合中时效稳定性优越的可靠性高的半导体激光组件M1。
此外，由于在第一透镜4与第二透镜16之间的光束直径小而可使用小型的光学器件，从而能设计小型的半导体激光器组件M1。
如图1所示。固定半导体激光器元件2的基片载件11和固定光电二极管3的光电二极管载件12，它们都通过焊锡固定于剖面大致呈L形的第一基台17上。第一基台17为了提高相对于半导体元件2发热的散热性最好采用CuW合金等制成。
固定第一透镜4的第一透镜保持件13以及以棱镜5、半波片6与PBC7固定于保持件14上的偏振合成组件24，分别通过第一支承件19a与第二支承件19b，由YAG激光器焊接固定到经银焊固定于第一基台17的平坦部17a上的不锈钢制的第二基台18上。
第一基台17的下部中设有帕耳贴元件组成的冷却装置20。因半导体激光元件2发热造成的升温由设于基片载件11上的热敏电阻20a检测，为使热敏电阻20a检测出的温度恒定。可控制冷却装置20。由此能够使半导体激光元件2的激光出射高输出化与稳定化。
在形成于封装1侧部中的凸缘部1a的内部设有通过PBC7的光入射窗1b和使激光聚光的第二透镜16。第二透镜16由通过YAG激光器焊接固定于凸缘1a的端部上的第二透镜保持件21保持，第二透镜保持件21的端部上通过金属制的滑环22由YAG激光器焊接固定着保持光纤8的套筒23。
以上所述半导体激光组件M1。它的操作在已有技术项目中描述过，故略去其说明。
下面说明以上所述半导体激光器组件M1的制造方法。
首先将固定半导体激光器元件2的基片载件11和固定光电二极管3的光电二极管载件12用焊锡固定于第一基台17上。
然后于预先银焊到第一基台17的平坦部17a上的第二基台18上将第一透镜4调心固定。在此第一透镜4的调心步骤中，将电流供给半导体激光器元件2，使从它的第一与第二条带9、10两者分别发射出第一激光K1与第二激光K2，在将此出射方向设定为基准方向后，插入第一透镜4，决定X、Y、Z各轴向的位置。
图7说明第一透镜4的调心步骤。相对于X轴方向，如图7(A)所示，定位成使如上设定的基准方向(中心轴C2)与第一激光K1的角度θ1等于中心轴C2与第二激光K2的角度θ2。对于Y轴方向，如图7(B)所示，第一激光K1与第二激光K2定位成通过第一透镜4的中心。对于Z轴，按照距半导体激光器元件2的规定距离，定位成使激光的光点直径最小。最好将第一透镜4的Z轴位置确定成使第一透镜4和后面步骤中固定的第二透镜16之间的激光光点的直径最小。将用来把第一透镜4保持于由上述调心步骤决定的位置处的第一透镜保持件13，通过第一支承件19a由YAG激光器焊接固定于第二基台18上。
接着将使棱镜5、半波片6与PBC7整体化的偏振复合组件24调心固定于第二基台18上。在此偏振复合组件24的调心步骤中，将定位用的假光纤(带透镜的光纤，未图示)置于从PBC7的输出部7C接收复合光的位置，为使耦合到此光纤中的光强最大而确定保持件14的X、Y、Z各轴向与θ(绕Z轴的角度)、φ(绕Y轴的)、ψ(绕X轴的角度)的位置(参看图8)。此时，保持件14如图8所示，成为嵌入剖面大致呈U字形的第二支承件19b的两个竖壁之间的开口部19c之中的状态，相对Y、Z、θ、ψ的各方向对位，此外，还通过使包括第二支承件19b在内沿X轴方向与φ方向移动而进行对位。
由以上调心步骤确定的位置，如图8所示，将第二支承件19b用YAG激光器焊接到第二基台18上，再将保持件14由YAG激光器焊接到第二支承件19b的竖壁上。这样，保持件14固定于第二基台18上。
再将第一基台17于预先固定到封装1底板上的冷却装置20之上，对位成使从PBC7出射的激光通过封装1的凸缘部1a的中心而由锡焊固定。
将半导体激光器元件2与监控用光电二极管3通过金丝(未图示)与封装1的引线电气连接。
接着，在惰性气体(例如N2、Xe)气氛中将盖1c覆于封装1上部，通过电阻加热焊接其周缘部成气密封接。
然后相对于封装1的凸缘部1a将第二透镜16于XY面内且沿Z轴方向调心固定。在此步骤中，首先于凸缘部1a的端面上在将第二透镜保持件21插入滑环1d的状态下活动，于从第二透镜16出射的光成为与封装1的凸缘部1a的中心轴(与Z轴平行)平行的位置处，将滑环1d由YAG激光器焊接到凸缘部1a的端部上。接着，在一边监控从第二透镜16出射光的束散角的同时一边移动第二透镜保持件21。在此束射角略等于光纤8的受光角(NA)的位置，用YAG激光器焊接将第二透镜保持件21与滑环1d固定。
最后将光纤调心固定。进行这一步骤时，可采用本发明的光纤调心方法。图2模式地说明用于实施本发明的方法的结构，图3是有关本发明的实施形式例的光纤调心方法的，表示相对于光纤沿Z轴方向移动量的光输出(以最大值为100时的相对值)与偏振度(DOP)变化的曲线图。图3中，P1是耦合到光纤8中的复合光强成为最大的位置，D2是耦合到光纤8中的复合光的偏振度成为最小的位置。
在此步骤中，首先如图2所示，于光纤8的末端通过连接器25连接功率计26与偏振计27。
然后在套筒23插过滑环22的状态下，用套筒调心手柄28夹持，在此状态下，在与光纤8的光轴垂直的平面(XY平面)内以及光纤的光轴方向(Z方向)上，进行位置调节使功率计26测定的光输出成为最大。这样，光纤8移向图3的P1所示的位置。
接着，一边用偏振计27测定两束激光K1、K2的复合光的偏振度，一边使偏振度最小或达到预定值(8％以下，最好是5％)以下，于前述的步骤中将套筒调心手柄28从已调心的位置沿Z轴方向移动，对光纤8进行调心。由此，光纤8定位于图3中P2所示位置。
当如以上所述完成了光纤8的定位后，将套筒23由YAG激光器焊接固定于滑环22的内部。再将滑环22与第二透镜保持件21在两者的界面部由YAG激光器焊接固定。这样就完成了光纤8的调心固定作业。
图4示明光纤8沿轴向移动时，耦合到光纤8中的两束激光K1、K2的光强以及复合光的光的光强。图4中，G1、G2分别对第一、第二激光K1、K2示明在第二透镜16的光学的下游中形成的光束腰部位置。
前述的两束激光K1、，K2经第二透镜16出射后形成的光束腰部(G1、G2)的错位(参看图12(B))，是基于由通过双折射元件(PBC7)内的各个激光光路的物理长度与折射率决定的光程长(折射率与物理长度之积)的不同而发生的。这样，除了此种差异之外，还存在有在到达光纤8时各激光所受的衰减量不同、各激光的辐射角(FFP)不同以及从各条带出射的激光强度的不同等，于是如图4所示，使耦合到光纤8中各激光光强成为最大值的Z轴方向的光纤8的位置(各束激光在第二透镜16光学的下游形成的光束腰部G1、G2的位置分别一致)不仅错位而且其最大值也出现差异。在此状态下，耦合到光纤8中复合光强成为最大的位置(图4的P1)与偏振光成为最小的位置(图4的P2)不同。根据实测数据，从图3可知，在获得最大光输出的光纤的位置(P1)，复合光的偏振度有时会大到约10％。
在本实施形式例中，如以上所述，由于有为使通过双折射元件偏振复合的复合光的偏振度最小而让光纤8沿其轴向(Z轴方向)移动调心的步骤，因而即便各激光的光路的光程长度、各激光所受的衰减量、各激光的辐射角或从各条带发射出的激光光强不同，也能于偏振度最小的位置处将光纤固定。从而能制造出发射出偏振度小的激光的半导体激光组件。
此外，在确定了耦合到光纤8中复合光的光强成为最大的光纤8的位置后，为使偏振度成为最小而对光纤8进行了移动与调心，从而一连串的调心作业能在光纤8的移动量很小的情形下完成，可有效地进行调心。
本实施形式例的半导体激光元件是由两个条带分开100μm以下的距离形成，因此两个条带的特性极为接近，从各条带出射的激光的光强差很小。于是在把光纤从复合光强成为最大的位置移动到偏振度为最小的位置时，能够在光强降低很小的情形下完成。
(第二实施形式例)。
图9是示明本发明第二实施形式例的半导器激光组件的平面图。如图9所示，本发明的第二实施形式例的半导体激光组件M2具有，发射第一激光K1的半导体激光器元件38；发射第二激光K2的半导体激光器元件39；使从这两个半导体激光元件38、39出射的两束激光K1、K2分别入射的两个第一透镜40、41，作为偏振波复合元件的立方光束分裂器42；使激光K2反射到立方光束分裂器42一侧的反射器即反射镜43。有关其他方面的结构则与第一实施形式例相同。
在本发明的第二实施形式例中，由于第二激光K2是通过反射镜43入射到立方光束分裂器42中，因而第一激光K1与第二激光K2光路的光程长不同。此外，第一半导体激光器元件38与第一透镜40的距离α1、第二半导体激光器元件39与第一透镜41的距离α2以及经第一透镜40、41出来的光为成为准直光(束射角为0°)而进行了调整，但在实际情形，由于引起了错位，各激光K1、K2不成为准直光，且一般α1≠α2。这样的两束激光K1、K2由共同的第二透镜16聚光后，于此第二透镜16的光学的下游形成的光束腰部G1、G2的位置，于光纤8的轴向上错位。
此外，当第一半导体激光器元件38与第二半导体激光器元件39的光输出或射束角(FFP)不同时，耦合到光纤8中的光强也不同。
于是，光耦合到光纤8中复合光的偏振度有时不会充分地变低。
因此，在本发明的第二实施形式例中，通过与第一实施形式例相同的方法为减小偏振度而对光纤调心后，即便透镜错位以及各半导体激光器元件有个体差等偏差时，也能求得输出光的偏振度小的半导体激光组件M2。立体光束分裂器42与反射镜43以及半波片6最好固定于外周大致呈圆筒形的同一保持器中，若是通过剖面略呈U字形的第二支承件19b固定于基台18上，则易于进行对位作业。
下面说明此第二实施形式例的半导体激光组件M2的制造方法。
首先将各自具有一个条带的两个半导体激光器元件38、39为使其从各个条带出射的激光的光轴相互平行而将其固定于第一基台17上，然后将未图示的光电二极管3固定于接收从端面侧出射的激光的位置上。
从这两个半导体激光器元件38、39分别出射激光，为使它们都成为准直光，对两个第一透镜40、41分别调心，通过第一支承件19a由YAG激光器焊接到预先由银焊固定到第一基台17上的不锈钢制第二基台18之上。
随后将半波片6、反射镜43与立体光束分裂器(偏振波复合元件)42保持为整体的外周大致呈圆筒形的保持件14(未图示)，通过剖面略呈U字形的第二支承件19b调心。在此调心中，将未图示的假光纤(带透镜的光纤)置于能从立方光束分裂器42的输出部出射的复合光的受光位置，为使耦合到此光纤中的复合光的光强成为最大，可通过将上述保持件沿X、Y、Z方向、θ(绕Z轴的角度)方向、φ(绕Y轴的角度)方向、以及ψ(绕X轴的角度)方向运动，进行调心。当立体光束分裂器42的调心结束，由YAG激光器将第一支承件19b于此位置焊接到第二基台18上，然后将保持件14固定于第二支承件19b上。
包括光纤调心在内的以后制造步骤与第一实施形式例的相同。故略去其说明。
(第三实施形式例)图10是示明本发明第三实施形式例的半导体激光组件的平面图。
第三实施形式例的半导体激光组件M3包括具有以约500μm间隔分开平行形成的第一条带44与第二条带45的阵列激光器的半导体激光元件46；使第一条带44发射出的第一激光K1入射的第一透镜47；使第二条带发射出的第二激光K2入射的第一透镜48。至于其他结构则与第一实施形式例相同。
在此第三实施形式例中，也与第一实施形式例相同采用了PBC7。因而除第一激光K1与第二激光K2的光路的光程长不同外，第一条带44与第一透镜47之间的距离α1以及第二条带45与第一透镜48之间的距离α2，由于制造偏差等会不同。因此，由第二透镜16会聚的激光K1、K2的光束腰部G1、G2会于光纤8的轴向上错位。
第三实施形式例中，光纤8通过调心固定以使在光束腰部G1、G2之间存在端面而能提供偏振度小的半导体激光器组件M3。
此外，最好与第一实施形式例相同，至少将PBC7与半波片6固定于外周略呈圆筒状的一个保持件上，也可以通过剖面略呈U字形的第二支承件19b固定于基台18上。这样就容易进行PBC7、半波片6等的调心、固定作业。
本实施形式例中是把具有两个条带的阵列激光器(条带间隔约500μm)用作半导体激光器元件，但也可将两个半导体激光器元件以狭窄的间隔平行配置用作半导体激光器元件。以外，第一透镜也可以是与两个条带以同一间隔配置的透镜阵列。
下面说明此第三实施形式例的半导体激光组件M3的制造方法。
首先将具有两个条带44、45的半导体激光器元件46固定于第一基台17上，而图中未示明的光电二极管3则固定于接受从此元件46的后端面出射的激光的位置处。
然后从这两个条带44、45分别发射出激光，为使它们都成为准直光，对构成为透镜阵列的两个第一透镜47、48进行调心，并通过第一支承件19a由YAG激光器焊接固定到预先用银焊固定到第一基台17上的不锈钢制的第二基台18上。
再将使半波片6与PBC7保持为整体的外周呈圆筒形的保持件14(未图示)通过剖面略呈U字形的第二支承件19b调心。在此调心中，将未图示的假光纤(带透镜的光纤)置于能接收从PBC7的输出部出射的复合光的位置，为使耦合到此光纤中的复合光的光强成为最大，将上述保持件通过沿X、Y、Z方向、θ(绕Z轴角度)方向、φ(绕Y轴的角度)方向与ψ(绕X轴角度)方向移动进行调整。当PBC7的调心结束后，在此位置上将第二支承件19b用YAG激光器焊接到第二基台18上，然后将保持件14固定于第二支承件19b上。
包括光纤8调心步骤在内之后的的制造步骤与第一实施例的相同，故略去其说明。
本发明不限于上述实施形式，而可以在权利要求书函盖的技术范围内作种种变更。
根据本发明，由于通过使光纤移动、调心而将两束激光的偏振度降到预定值以下，就能制造偏振度低的半导体激光组件。因此，根据本发明的实施形式例的方法制成的半导体激光组件适于用作在放大增益方面要求低的偏振相关性与稳定性的拉曼放大器的激励光源。
权利要求
1.一种光纤调心方法，它是使通过至少一个第一透镜的两束激光由偏振波复合元件进行偏振波复合后，经第二透镜与此复合光作光耦合的光纤的调心方法，其特征在于移动上述光纤进行调心使光耦合到上述光纤中的所述复合光的偏振度在预定值以下。
2.一种光纤调心方法，它是使通过至少一个第一透镜的两束激光由偏振波复合元件进行偏振波复合后，经第二透镜与此复合光作光耦合的光纤的调心方法，其特征在于此方法具有移动上述光纤进行调心使光耦合到上述光纤中的前述复合光的强度最大的第一步骤；使上述光纤沿其轴向移动进行调心以使光耦合到上述光纤中的所述复合光的偏振度达到预定值以下的第二步骤。
3.根据权利要求1或2所述的光纤调心方法，其特征在于上述两束激光分别在上述第一透镜与上述第二透镜之间形成射束腰部。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的光纤调心方法，其特征在于上述两束激光是从具有各自发射激光的两个条带的单一半导体激光器元件发射出的。
5.根据权利要求4所述的光纤调心方法，其特征在于上述两个条带是相互平行的。
6.根据权利要求5所述的光纤调心方法，其特征在于上述两个条带分开100μm以下的间隔。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的光纤调心方法，其特征在于上述的至少一个第一透镜是使上述两束激光偏转通过的单一透镜。
8.根据权利要求1～6中任一项所述的光纤调心方法，其特征在于上述的至少一个第一透镜构成为使上述两束激光各自通过的两个透镜组成的透镜阵列。
9.一种半导体激光组件的制造方法，其中的半导体激光器组件包括具有各自发射激光且间隔开并列的两个条带的单一的半导体激光元件；使上述两个条带发射的两束激光偏转通过的单一第一透镜；使通过上述第一透镜的两束激光进行偏振波复合的偏振波复合元件；使上述偏振波复合元件发射出的复合光聚光的第二透镜以及与从上述第二透镜出射的复合光进行光耦合的光纤，而此制造方法的特征在于它具有将上述半导体激光元件固定到基台上的第三步骤；为使通过上述第一透镜的所述两束激光分别在预定方向上将上述第一透镜调心固定到上述基台上的第四步骤；将上述偏振波复合元件调心固定的第五步骤；根据权利要求1或2的调心方法而将上述光纤调心固定的第六步骤。
10.根据权利要求9所述的半导体激光器组件的制造方法，其特征在于上述第四步骤是对上述第一透镜进行调心，以使通过上述第一透镜的两束激光在上述第一与第二透镜之间分别形成光束腰部。
11.根据权利要求9或10所述的半导体激光器组件的制造方法，其特征在于上述半导体激光器组件还具有使通过上述第一透镜的两束激光以其光轴相互平行且朝向上述偏振波复合元件出射的棱镜，而上述偏振波复合元件与上述棱镜保持在共同的保持件上；上述第四步骤是为了使通过上述第一透镜的上述两束激光以其光轴相交且相对于此第一透镜的中心轴线成为实质上对称状态下朝向上述棱镜，将此第一透镜调心且固定到上述基台上；上述第五步骤是通过移动上述保持件对上述偏振波复合元件进行调心并固定。
12.根据权利要求9～11中任一项所述的半导体激光器组件的制造方法，其特征在于上述两个条带相互平行。
13.根据权利要求9～12中任一项所述的半导体激光器组件的制造方法，其特征在于上述两个条带分离开100μm以下的间隔。
14.一种半导体激光组件的制造方法中，其中的半导体激光器组件包括具有各自发射一束激光的条带的两个半导体激光元件；使上述两个条带各自发射的激光分别通过的两个第一透镜；将通过上述第一透镜的两束激光进行偏振波复合的偏振波复合元件；将上述偏振波复合元件出射的复合光聚光的第二透镜以及与经此第二透镜出射的复合光进行光耦合的光纤，而此方法的特征在于它具有将上述两个半导体激光器元件固定到基台上的第七步骤；为使通过上述第一透镜的上述两束激光分别在预定方向上将上述两个第一透镜的各个进行调心并固定到上述基台上的第八步骤；将上述偏振波复合元件进行调心并固定的第九步骤，以及根据权利要求1或2的光纤调心方法将上述光纤调心并固定的第十步骤。
15.根据权利要求14所述的半导体激光器组件的制造方法，其特征在于上述半导体激光器组件还具有使通过上述第一透镜的两束激光之一朝向上述偏振波复合元件的输入部之一反射的反射器，而上述偏振波复合元件则与上述反射器保持于共同的支架上；上述第七步骤是将上述两个半导体激光器元件固定成使得从两个上述条带出射的两束激光的光轴相互平行；上述第九步骤是通过移动所述支架而对前述偏振波复合元件进行调心固定。
16.根据权利要求14所述的半导体激光器组件的制造方法，其特征在于上述两个第一透镜作为透镜阵列构成；上述第七步骤是将所述两个半导体激光器元件固定成使从两个上述条带出射的两束激光的光轴相互平行。
17.一种半导体激光器组件的制造方法，其中的半导体激光器组件包括具有各自发射激光且间隔开并列的两个条带的单一的半导体激光元件；使上述两条带各自出射的激光分别通过的两个第一透镜；将通过上述两个第一透镜的两束激光进行偏振波复合的偏振波复合元件；将上述偏振波复合元件出射的复合光聚光的第二透镜以及与此第二透镜出射的复合光光耦合的光纤；此方法的特征在于它具有将上述半导体激光器元件固定于基台上的第十一步骤；将上述两个第一透镜调心并固定到上述基台上以使通过所述两个第一透镜的前述两束激光成为预定方向的第十二步骤；将上述偏振波复合元件调心并固定到所述基台上的第十三步骤，以及根据权利要求1或2的光纤调心方法将上述光纤调心、固定的第十四步骤。
18.根据权利要求17所述的半导体激光器组件的制造方法，其特征在于上述两个条带相互平行，上述两个第一透镜是作为透镜阵列构成。
19.一种半导体激光器组件，其特征在于此组件包括具有间隔开形成的第一条带与第二条带，而从此第一条带与第二条带的一侧端面分别发射出第一激光与第二激光的单一半导体激光元件；使从上述第一条带与第二条带出射的上述第一激光与第二激光偏转通过的单一第一透镜；使经上述第一透镜出射的第一、第二激光中至少一方的偏振方向旋转的偏振旋转元件；入射上述第一激光的第一输入部；入射上述第二激光的第二输入部；具有将从上述第一、二输入部入射的第一、第二激光复合后出射的输出部的偏振波复合元件；装载上述半导体激光器元件、上述第一透镜的基台；将从上述偏振波复合元件的上述输出部出射的复合光聚光的第二透镜；以及为接收经上述第二透镜出射的激光而进行对位的光纤；上述光纤则固定于上述第二透镜光学的下游中形成的各个激光的光束腰部之间。
20.根据权利要求19所述的半导体激光器组件，其特征在于上述第一与第二条带是按100μm以下的间隔分离。
21.一种半导体激光器组件，其特征在于此组件包括具有间隔开形成的第一条带与第二条带，而从此第一条带与第二条带的一侧端面分别发射出第一激光与第二激光的单一半导体激光元件；使从上述第一条带与第二条带出射的上述第一激光与第二激光分别通过的两个第一透镜；使经上述第一透镜的第一、第二激光中至少一方的偏振方向旋转的偏振旋转元件；入射上述第一激光的第一输入部；入射上述第二激光的第二输入部；具有将从上述第一、二输入部入射的第一、第二激光复合后出射的输出部的偏振波复合元件；装载上述半导体激光器元件与上述两个第一透镜的基台；将从上述偏振波复合元件的上述输出部出射的复合光聚光的第二透镜，以及为接收经上述第二透镜出射的激光而进行对位的光纤，上述光纤则固定于上述第二透镜光学的下游中形成的各个激光的光束腰部之间。
22.一种半导体激光器组件，其特征在于此组件包括分别具有发射激光的一个条带的两个半导体激光元件；使从这两个半导体激光元件出射的第一激光与第二激光分别通过的两个第一透镜；将通过上述两个第一透镜的第一、第二激光中至少一个的偏振方向旋转的偏光旋转元件；使上述第一激光入射第一输入部；使上述第二激光入射的第二输入部；具有使从上述第一输入部入射的第一激光与从上述第二输入部入射的第二激光复合后出射的输出部的偏振部复合元件；使通过上述第一透镜的上述第一、第二激光之一朝向上述偏振波复合元件的第一输入部与第二输入部之一反射的反射器；装载上述两个半导体激光元件与上述两个第一透镜的基台；使从上述偏振波复合元件的上述输出部出射的激光聚光的第二透镜，以及为接收经上述第二透镜出射的激光而进行对位的光纤，上述光纤则固定于上述第二透镜光学的下游中形成的各个激光的光束腰部之间。
23.根据权利要求21或22所述的半导体激光器组件，其特征在于上述两个第一透镜作为透镜阵列构成。
全文摘要
本发明的光纤调心方法包括移动光纤进行调心以使用功率计所测的光纤光输出成为最大的第一步骤；从上述第一步骤调心后的位置开始，使光纤沿光轴方向(Z方向)移动，以使用偏振计所测的两束激光K1、K2的偏振度到预定值以下的第二步骤。
文档编号H01S5/40GK1623109SQ02828618
公开日2005年6月1日 申请日期2002年9月17日 优先权日2002年4月4日
发明者中江将士, 木村俊雄 申请人:古河电气工业株式会社