磁头的测量方法及其测量装置的利记博彩app

文档序号:6736752阅读:582来源:国知局
专利名称:磁头的测量方法及其测量装置的利记博彩app
技术领域
本发明涉及一种磁头的测量方法及其测量装置,尤其涉及磁头的被钉扎层的被钉扎方向倾斜角的测量方法,以及磁头的自由层的磁化方向倾斜角的测量方法及其测量装置。
背景技术
包含多个旋转磁盘的硬盘驱动器被普遍用来将数据存储在其磁盘表面的磁性媒介上,而包含读传感器的可移动磁头用作从磁盘表面的磁轨上读取数据。传统的用于磁头滑块的磁头一般包括用于从磁盘读取数据的读头以及向磁盘写入数据的写头。当前,读传感器采用磁阻(magnetoresistive, MR)传感器,其相较薄膜诱导型磁头具有能够以更大磁轨和线性密度从磁盘表面上读取数据的能力,因而成为主流的读传感器。因此,磁头的读头通常由一个MR读头构成,例如有电流垂直平面型(CurrentPerpendicular to Plane, CPP)、电流在平面内型(Current In Plane, CIP)、隧道磁电阻(tunnel magnetoresistive, TMR)、巨磁电阻(giant magnetoresistive, GMR)或各向异性磁阻(anisotropic magnetoresistive, AMR)等读头。例如,图1展示了一种具有CPP-TMR读头210和写头220的传统磁头200。该磁头200包括衬底本体201、空气承载面(air bearing surface, ABS) 202以及与ABS 202相对的底面(图未示)、尾边203以及与该尾边203相对的前边(图未示)。该ABS 202被加工至合适的飞行高度。读头210和写头220形成于尾边203上。如图2a所示,该读头210包括衬底层214、两屏蔽层211、212以及层夹于两屏蔽层211、212之间的MR元件(图未标示)。如图所示,该MR元件为一标准的MR元件,其包括钉扎层(或反铁磁性(antiferromagnetic, AFM)层)236,两合成的被钉扎层231、234,隧道势垒层235、自由层237以及盖帽层232。该读头210还包括放置于MR元件两侧的一对硬磁层238和一绝缘层239,该硬磁层238形成在缓冲层216上,用于纵向偏压自由层237的磁性;绝缘层239用于将硬磁层238从自由层237及MR元件的其他层中分隔独立开来。请再次参考图2a,具体地,该硬磁层238具有一个磁方向258,该磁方向258的朝向大致平行于ABS 202 (如图1所示)。被钉扎层231具有一个被钉扎方向254,以防其因施加的磁场而在一定范围内旋转。理想情况下,该被钉扎方向254应垂直于ABS 202以获最佳性能,该方向被称为标准被钉扎方向。自由层237自包含一种铁磁质,并具有一个响应外部磁场而改变的磁化方向256。同样在理想情况下,在没有施加外部磁场时,该磁化方向256的朝向平行于ABS202,该方向被称为标准磁化方向。换言之,理想情况下,被钉扎层231的标准被钉扎方向254垂直于自由层237的标准磁化方向256。然而,在此磁头的实际应用中,由于内部和外部因素的影响,被钉扎层231的实际被钉扎方向254’往往偏移标准被钉扎方向254,而自由层237的实际磁化方向256’也偏移标准磁化方向256。如图2b所不,实际的被钉扎方向254’从标准被钉扎方向254倾斜,并与其成一角度Θ I ;实际的磁化方向256’从标准磁化方向256倾斜,并与实际的被钉扎方向254’成一角度Θ2。显然,因倾斜角的存在会带来不稳定性能,因此制造商并不希望磁头产品出现上述的倾斜角。然而,目前并未有准确测量出上述的实际倾斜角Θ1、Θ2的方法。因此,对技术人员而言,在不知道倾斜角的情况下很难测试被钉扎层和自由层的不稳定性能,相应地,也难于对由倾斜角所带来的缺陷进行补救或改善。更甚,倾斜角严重的磁头有可能因此而被舍弃。因此,亟待一种改进的磁头的测量方法以测量上述的倾斜角,以克服上述缺陷。

发明内容
本发明的一个目的在于提供一种磁头的测量方法,其能够测量出被钉扎层的实际被钉扎方向从标准被钉扎方向倾斜的被钉扎方向倾斜角;再且,该测量方法易于执行,且测
量结果精确。相应地,本发明的另一目的在于提供一种磁头的测量方法,其能够测量出被钉扎层的实际被钉扎方向从标准被钉扎方向倾斜的被钉扎方向倾斜角,以及测量出自由层的实际磁化方向从标准磁化方向倾斜的磁化方向倾斜角。相应地,本发明的再一个目的在于提供一种磁头的测量方法,其能够测量出被钉扎层的实际被钉扎方向从标准被钉扎方向倾斜的被钉扎方向倾斜角;再且,该测量方法易于执行,且测量结果精确。为达到以上目的,本发明提供一种磁头的测量方法,其包括以下步骤:(a)将所述磁头放置于正常位置,定义第一方向和第二方向,所述第一方向平行于所述磁头的空气承载面和两屏蔽层,所述第二方向垂直于所述空气承载面;(b)倾斜所述磁头以使其与所述第二方向成一角度,以所述第一方向向所述磁头施加多个不同强度的第一磁场,并测量出第一输出参数曲线;(C)以不同角度重复步骤(b),并测量出多个第一输出参数曲线;(d)根据多个所述第一输出参数曲线计算磁头的被钉扎层的被钉扎方向从所述第二方向倾斜的多个被钉扎方向倾斜率;以及(e)根据多个所述被钉扎方向倾斜率计算所述被钉扎层从所述第二方向倾斜的被钉扎方向倾斜角。作为一个优选的实施例,所述步骤(b)进一步包括以下子步骤:(bl)从OOe至+15k0e逐渐施加所述第一磁场,以得到所述第一输出参数曲线的第一曲线部分;(b2)从+15k0e至OOe逐渐施加所述第一磁场,以得到所述第一输出参数曲线的第二曲线部分;(b3)从OOe至_15k0e逐渐施加所述第一磁场,以得到所述第一输出参数曲线的第三曲线部分;以及(b4)从_15k0e至OOe逐渐施加所述第一磁场,以得到所述第一输出参数曲线的第四曲线部分。作为另一优选实施例,在所述步骤(e)后还包括以下步骤:(f)倾斜所述磁头以使所述被钉扎方向平行于所述第一方向,以所述第一方向向所述磁头施加多个不同强度的第二磁场,并测量出第二输出参数曲线;
(g)在所述第二输出参数曲线上检测多个最大输出振幅,以计算磁头的自由层的磁化方向从所述被钉扎方向倾斜的磁化方向倾斜率;以及(h)根据所述磁化方向倾斜率计算所述磁化方向从所述被钉扎方向倾斜的磁化反向倾斜角。相应地,本发明提供一种磁头的测量装置,包括:调节设备,用于倾斜所述磁头以使其与第二方向成一角度,所述第二方向垂直于所述磁头的空气承载面;磁场施加设备,用于以第一方向向所述磁头施加多个不同强度的第一磁场,所述第一方向平行于所述磁头的空气承载面和两屏蔽层;测量设备,用于在多个所述第一磁场的施加下测量多个第一输出参数曲线;以及计算设备,用于根据所述第一输出参数曲线计算磁头的被钉扎层的被钉扎方向从所述第二方向倾斜的多个被钉扎方向倾斜率,并根据多个所述被钉扎方向倾斜率计算所述被钉扎层从所述第二方向倾斜的被钉扎方向倾斜角。作为一个优选的实施例,所述调节设备还用于倾斜所述磁头以使所述被钉扎层平行于所述第一方向,所述磁场施加设备还用于以所述第一方向向所述磁头施加多个不同强度的第二磁场,所述测量设备还用于在所述第二磁场的施加下测量第二输出参数曲线,所述计算设备还用于根据所述第二输出参数曲线计算磁头的自由层的磁化方向从所述被钉扎方向倾斜的磁化方向倾斜率。与现有技术相比,本发明能够测量出被钉扎层的实际被钉扎方向从第二方向(标准被钉扎方向)处倾斜的被钉扎层倾斜角,并测量出自由层的实际磁化方向从实际被钉扎方向处倾斜的磁化方向倾斜角。因此,生产制造商能够通过这些倾斜角去了解磁头的性能,继而能在磁头产品投入市场之前设法改善其不良性能。因此,本发明的测量方法对生产制造商而言十分合意。通过以下的描述并结合附图,本发明将变得更加清晰,这些附图用于解释本发明的实施例。


图1为传统磁头的立体图。图2a为图1所示的磁头的读头的剖视图。图2b为图2a所示的读头的被钉扎层的实际被钉扎方向和自由层的实际磁化方向的示意图。图3为本发明的磁头的立体图。图4为图3所示的磁头的读头的立体图。图5为本发明磁头的测量方法的一个实施例的流程图。图6为本发明磁头的测量方法的另一实施例的流程图。图7a_7i和图8a_8i为依照第一实施例的第一磁头样品的测量曲线图。图9为第一实施例的全部被钉扎方向倾斜率的描迹曲线。图9a为被钉扎方向倾斜率的第一倾斜状态。图9b为被钉扎方向倾斜率的第二倾斜状态。
图9c为被钉扎方向倾斜率的第三倾斜状态。图9d为第一实施例的被钉扎方向倾斜率的实际倾斜状态。图10为第一实施例的被钉扎方向与第一方向平行后磁头的响应曲线。图11为第一实施例的实际被钉扎方向和实际磁化方向的倾斜状态。图12a_12h为依照第二实施例的第二磁头样品的测量曲线图。图12i为第二实施例的全部被钉扎方向倾斜率的描迹曲线。图12j为第二实施例的被钉扎方向与第一方向平行后磁头的响应曲线。图12k为第二实施例的实际被钉扎方向和实际磁化方向的倾斜状态。图13a_13h为依照第三实施例的第三磁头样品的测量曲线图。图13i为第三实施例的全部被钉扎方向倾斜率的描迹曲线。图13j为第三实施例的被钉扎方向与第一方向平行后磁头的响应曲线。图13k为第三实施例的实际被钉扎方向和实际磁化方向的倾斜状态。图14为本发明磁头的测量装置的一个实施例的结构框图。
具体实施例方式下面将参考附图阐述本发明几个不同的最佳实施例,其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如上所述,本发明的实质在于提供一种磁头的测量方法,其能够测量出被钉扎层的实际被钉扎方向从标准被钉扎方向倾斜的被钉扎方向倾斜角;再且,该测量方法易于执行,且测量结果精确。在本发明中,本说明书仅着重描述CPP-TMR读头,但本发明并不限于此类读头,任何具有被钉扎层和自由层的MR读头均可由本领域的技术人员在阅读本说明书后通过本发明的测量方法进行测量。如图3所示,本发明的磁头300包括衬底本体301、ABS 202以及与ABS 302相对的底面(图未示)、尾边303以及与该尾边303相对的前边(图未示)。尾边303上设有读头310和写头320。如图4所示,该读头310包括衬底层314、两屏蔽层311、312以及层夹于两屏蔽层311、312之间的MR元件330。如图所示,该MR元件330包括钉扎层(或AFM层)336,两合成的被钉扎层331、334,隧道势垒层335以及自由层337。在MR元件330的两侧设有一对硬磁层338。以下对被钉扎层331的实际被钉扎方向和自由层337的实际磁化方向的测量方法进行描述。为更好的说明,以下的图示中仅显示被钉扎方向和磁化方向。图5为本发明磁头的测量方法的一个实施例的流程图,其包括以下步骤:(51)将所述磁头放置于正常位置,定义第一方向和第二方向,第一方向平行于磁头的ABS和两屏蔽层,第二方向垂直于ABS ;(52)倾斜磁头以使其与第二方向成一角度,以第一方向向磁头施加多个不同强度的第一磁场,并测量出第一输出参数曲线;(53)以不同角度重复步骤(52),并测量出多个第一输出参数曲线;(54)根据多个第一输出参数曲线计算磁头的被钉扎层的被钉扎方向从第二方向倾斜的多个被钉扎方向倾斜率;以及(55)根据多个被钉扎方向倾斜率计算被钉扎层从第二方向倾斜的被钉扎方向倾斜角。结合图4及图5,本发明的磁头300的正常位置即指磁头300的ABS 302与水平面平行,即,磁头300的衬底本体302与水平面平行,没有发生倾斜。如图3、4所示,该第一方向12平行于ABS 302和两屏蔽层311、312,第二方向13垂直于ABS 302和第一方向12,该第二方向13即相当于标准被钉扎方向。具体地,步骤(52)和步骤(53)所指的角度的范围是-80° 90°。在本发明中,每一磁头样品在上述角度范围内进行18次测量,以确保测量精度,例如分别在以下角度进行测量:-80°,-70。,—, -20° , -10° ,0, +10°,+20。,—, +70°,+80。,+90。。当然,本发明并不限制测量的次数。较佳地,每次测量时所施加的第一磁场的强度范围为_15k0e 15k0e。需注意的是,本领域技术人员均能理解正磁场的方向和负磁场的方向相反。具体地,步骤(52)的第一输出参数曲线通过在一个周期内分别施·加四次不同的第一磁场而测量得到。更具体地,其子步骤包括:从OOe至+15k0e逐渐施加第一磁场,以得到第一输出参数曲线的第一曲线部分 ’从+15k0e至OOe逐渐施加第一磁场,以得到第一输出参数曲线的第二曲线部分;从OOe至_15k0e逐渐施加第一磁场,以得到第一输出参数曲线的第三曲线部分;以及从_15k0e至OOe逐渐施加第一磁场,以得到第一输出参数曲线的第四曲线部分。作为本发明的要点,步骤(54)的被钉扎方向倾斜率通过在第一输出参数曲线的对称坐标上检测一对输出振幅,并在第一输出参数曲线上检测最小输出振幅,进而通过公式进行计算。较佳地,在第一磁场的强度在-1.5k0e和+1.5k0e或-1.0kOe和1.0kOe下检测该对输出振幅。更佳地,在第一输出参数曲线的第二曲线部分和第四曲线部分的对称坐标上检测该对输出振幅。在本发明的构思之下,基于测量出的被钉扎方向倾斜角,可测出自由层的磁化方向从被钉扎方向倾斜的磁化方向倾斜角。图6为本发明磁头的测量方法的另一优选实施例的流程图,其包括以下步骤:(61)将所述磁头放置于正常位置,定义第一方向和第二方向,第一方向平行于磁头的ABS和两屏蔽层,第二方向垂直于ABS ;(62)倾斜磁头以使其与第二方向成一角度,以第一方向向磁头施加多个不同强度的第一磁场,并测量出第一输出参数曲线;(63)以不同角度重复步骤(62),并测量出多个第一输出参数曲线;(64)根据多个第一输出参数曲线计算磁头的被钉扎层的被钉扎方向从第二方向倾斜的多个被钉扎方向倾斜率;(65)根据多个被钉扎方向倾斜率计算被钉扎层从第二方向倾斜的被钉扎方向倾斜角;(66)倾斜磁头以使被钉扎方向平行于第一方向,以第一方向向磁头施加多个不同强度的第二磁场,并测量出第二输出参数曲线;(67)在第二输出参数曲线上检测多个最大输出振幅,以计算磁头的自由层的磁化方向从所述被钉扎方向倾斜的磁化方向倾斜率;以及(68)根据磁化方向倾斜率计算磁化方向从被钉扎方向倾斜的磁化反向倾斜角。与第一实施例相似,本实施例的第二磁场的强度范围同样为_15k0e 15k0e。具体地,步骤¢6)的第而输出参数曲线通过在一个周期内分别施加四次不同的第二磁场而测量得到。更具体地,其子步骤包括:从OOe至+15kOe逐渐施加第二磁场,以得到第二输出参数曲线的第一曲线部分 ’从+15k0e至OOe逐渐施加第二磁场,以得到第二输出参数曲线的第二曲线部分 ’从OOe至_15k0e逐渐施加第二磁场,以得到第二输出参数曲线的第三曲线部分;以及从_15k0e至OOe逐渐施加第二磁场,以得到第二输出参数曲线的第四曲线部分。具体地,在 第一、第二曲线部分上检测第一最大输出振幅,在第三、第四曲线部分上检测第二最大输出振幅,通过这两个最大输出振幅可以计算出磁化方向从被钉扎方向倾斜的磁化方向倾斜率,进而根据磁化方向倾斜率计算出磁化方向倾斜角。现通过几个测量实验的例子对本发明的具体构思进行详细说明。在以下的例子中,第一、第二输出参数曲线的输出参数由输出电压表征,当然其也可用输出电阻表征。图7a_7i和图8a_8i为依照第一实施例的第一磁头样品的测量曲线图。如上所述,该磁头样品分别在倾斜角度为-80°,-70°,…,-20° , -10° ,0, +10°,+20°,…,+70°,+80°,+90°进行测量。按照上述的磁场施加方法对该磁头样品施加第一磁场,从而获得第一输出参数曲线,该第一输出参数曲线包括第一、第二、第三、第四曲线部分(图未标不)。继而,根据这些曲线测量出多个被钉扎方向倾斜率。以图7a为例解释被钉扎方向倾斜率的计算方法。如图7a所示,检测出第一输出参数的最小输出振幅Mini,并在Y坐标为-1.5k0e和+1.5k0e下检测出两个输出振幅V1、V2,继而依照以下公式计算被钉扎方向倾斜率:
权利要求
1.种磁头的测量方法,其特征在于包括以下步骤: (a)将所述磁头放置于正常位置,定义第一方向和第二方向,所述第一方向平行于所述磁头的空气承载面和两屏蔽层,所述第二方向垂直于所述空气承载面; (b)倾斜所述磁头以使其与所述第二方向成一角度,以所述第一方向向所述磁头施加多个不同强度的第一磁场,并测量出第一输出参数曲线; (C)以不同角度重复步骤(b),并测量出多个第一输出参数曲线; (d)根据多个所述第一输出参数曲线计算磁头的被钉扎层的被钉扎方向从所述第二方向倾斜的多个被钉扎方向倾斜率;以及 (e)根据多个所述被钉扎方向倾斜率计算所述被钉扎层从所述第二方向倾斜的被钉扎方向倾斜角。
2.权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(b)进一步包括以下子步骤: (bl)从OOe至+15kOe逐渐施加所述第一磁场,以得到所述第一输出参数曲线的第一曲线部分; (b2)从+15k0e至OOe逐渐施加所述第一磁场,以得到所述第一输出参数曲线的第二曲线部分; (b3)从OOe至-15k0e逐渐施加所述第一磁场,以得到所述第一输出参数曲线的第三曲线部分;以及 (b4)从_15k0e至OOe逐渐施加所述第一磁场,以得到所述第一输出参数曲线的第四曲线部分。
3.权利要求2所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(d)进一步包括在所述第一输出参数曲线的对称坐标上检测一对输出振幅,并在所述第一输出参数曲线上检测最小输出振幅,从而计算所述被钉扎方向倾斜率。
4.权利要求3所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(d)进一步包括在所述第二曲线部分和所述第四曲线部分的对称坐标上检测所述一对输出振幅。
5.权利要求3所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(d)进一步包括分别在第一磁场的强度在-1.5k0e和+1.5k0e下检测所述一对输出振幅。
6.权利要求3所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(d)进一步包括分别在第一磁场的强度在-1kOe和+IkOe下检测所述一对输出振幅。
7.权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(e)进一步包括用曲线描迹法计算所述被钉扎方向倾斜角。
8.权利要求1所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(b)中的角度的范围是-80。 +90。。
9.权利要求1所述的测量方法,其特征在于:在所述步骤(e)后还包括以下步骤: (f)倾斜所述磁头以使所述被钉扎方向平行于所述第一方向,以所述第一方向向所述磁头施加多个不同强度的第二磁场,并测量出第二输出参数曲线; (g)在所述第二输出参数曲线上检测多个最大输出振幅,以计算磁头的自由层的磁化方向从所述被钉扎方向倾斜的磁化方向倾斜率;以及 (h)根据所述磁化方向倾斜率计算所述磁化方向从所述被钉扎方向倾斜的磁化反向倾斜角。
10.权利要求9所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(f)进一步包括倾斜所述磁头以使所述被钉扎方向与所述第一方向相同。
11.权利要求9所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(f)进一步包括倾斜所述磁头以使所述被钉扎方向与所述第一方向相反。
12.权利要求9所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(f)进一步包括以下子步骤: (fl)从OOe至+15kOe逐渐施加所述第二磁场,以得到所述第二输出参数曲线的第一曲线部分; (b2)从+15k0e至OOe逐渐施加所述第二磁场,以得到所述第二输出参数曲线的第二曲线部分; (b3)从OOe至-15k0e逐渐施加所述第二磁场,以得到所述第二输出参数曲线的第三曲线部分;以及 (b4)从_15k0e至OOe逐渐施加所述第二磁场,以得到所述第二输出参数曲线的第四曲线部分。
13.权利要求12所述的测量方法,其特征在于:所述步骤(g)进一步包括在所述第二输出参数曲线的第一、第二曲线部分上检测第一最大输出振幅,在所述第二输出参数曲线的第三、第四曲线部分上检测第二最大输出振幅。
14.权利要求9所述的测量方法,其特征在于:所述第一、第二磁场的强度的范围是-15k0e +15k0e。
15.权利要求9所述的测量方法,其特征在于:所述第一、第二输出参数曲线的输出参数是输出电阻或输出电压。
16.种磁头的测量装置,其特征在于,包括: 调节设备,用于倾斜所述磁头以使其与第二方向成一角度,所述第二方向垂直于所述磁头的空气承载面; 磁场施加设备,用于以第一方向向所述磁头施加多个不同强度的第一磁场,所述第一方向平行于所述磁头的空气承载面和两屏蔽层; 测量设备,用于在多个所述第一磁场的施加下测量多个第一输出参数曲线;以及 计算设备,用于根据所述第一输出参数曲线计算磁头的被钉扎层的被钉扎方向从所述第二方向倾斜的多个被钉扎方向倾斜率,并根据多个所述被钉扎方向倾斜率计算所述被钉扎层从所述第二方向倾斜的被钉扎方向倾斜角。
17.权利要求16所述的测量装置,其特征在于:所述计算设备还用于在对称坐标上检测一对输出振幅,并在所述第一输出参数曲线上检测最小输出振幅,从而计算所述被钉扎方向倾斜率。
18.权利要求16所述的测量装置,其特征在于:所述调节设备还用于倾斜所述磁头以使所述被钉扎层平行于所述第一方向。
19.权利要求18所述的测量装置,其特征在于:所述磁场施加设备还用于以所述第一方向向所述磁头施加多个不同强度的第二磁场。
20.权利要求19所述的测量装置,其特征在于:所述测量设备还用于在所述第二磁场的施加下测量第二输出参数曲线。
21.权利要求20所述的测量装置,其特征在于:所述计算设备还用于根据所述第二输出参数曲线计算磁头的自由层的磁化方向从所述被钉扎方向倾斜的磁化方向倾斜率。
22.权利要求21所述的测量装置,其特征在于:所述计算设备还用于在所述第二输出参数曲线上检测多个最大输出振幅,以计算所述磁化方向倾斜率。
23.权利要求22所述的测量装置,其特征在于:所述计算设备还用于根据所述磁化方向倾斜率计算所述磁化方向从所述被钉扎方向倾斜的磁化反向倾斜角。
24.权利要求19所述的测量装置,其特征在于:所述第一、第二磁场的强度的范围是-15kOe +15kOe。
25.权利要求16所述的测量装置,其特征在于:所述调节设备用于倾斜所述磁头以使其与所述第二方向所成的 角度的范围是-80° +90°。
全文摘要
本发明公开一种磁头的测量方法,包括(a)将所述磁头放置于正常位置,定义第一方向和第二方向,第一方向平行于磁头的空气承载面和两屏蔽层,第二方向垂直于空气承载面;(b)倾斜磁头以使其与第二方向成一角度,以第一方向向磁头施加多个不同强度的第一磁场,并测量出第一输出参数曲线;(c)以不同角度重复步骤(b),并测量出多个第一输出参数曲线;(d)根据多个第一输出参数曲线计算磁头的被钉扎层的被钉扎方向从第二方向倾斜的多个被钉扎方向倾斜率;以及(e)根据多个被钉扎方向倾斜率计算被钉扎层从第二方向倾斜的被钉扎方向倾斜角。本发明有利于磁头制造商掌握磁头的性能。
文档编号G11B5/455GK103093763SQ201110344950
公开日2013年5月8日 申请日期2011年11月4日 优先权日2011年11月4日
发明者梁钊明, 李文杰, 梁卓荣, 丁菊仁, 倪荣光 申请人:新科实业有限公司
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